二次配工程规范.docx

1、二次配工程规范中纬积体电路(宁波)新建工程气体管线二次配工程规范CONTENTS PAGES1. 目的 32. 范围 33. 文件送审 44. 施工说明 45. 其他说明 96. 验收标准 107. 保固期限 121. 目的为使设备机台按照计划顺利装机、运转，且亦能维护Hook Up二次配管施工之品质及作业安全。本规范如有任何疑虑依业主及总顾问公司解释为准。2. 范围2.1. 制程设备气体管线Hook-up工程材料采购及管路安装；Hook-up范围，GN2、PN2、PO2、CDA自主管预留阀至机台内部接点(含支管)，PH2、SiH4、SiH4/N2由气体站氢气纯化器出口及SiH4、SiH4/N

2、2气瓶柜出口接至机台(含VMB)，其他特殊气体自位於气体房或Subfab之气瓶柜/架至机台内部接点(含VMB/VMP)，其中必要的管线、管件及焊接所需气体，均由承包商负责提供。GN2、PN2、PO2各支管位置及预留take-off阀尺寸及数量，请参照”FAB栋一层大宗气体二次配平面图”(图号SP-211)；各VMB/VMP位置，请参照”FAB栋一层特殊气体二次配平面图”(图号SP-212)；气体站至FAB间气体管线，请参照”气体站至FAB栋气体二次配管线平面图”(图号SP-234)；GN2、PN2、PO2、CDA自take-off阀至机台间所需装设之阀件，请参照”SP-2二次配管详图”(图号S

3、P-231)；而take-off阀及VMB/VMP与机台衔接点等相关资料，请参照附件一”Bulk gas take-off list”、附件二”Specialty gas VMB/VMP list”及附件三”CDA take-off list”。承包商需根据该表资料，设计至机台管线之路径。2.2. 前项气体管线Hook-up工程之管路细部设计、施工图绘制、ISO图绘制(Auto 2000或以上版本图档予顾问及业主)、安装後泄漏侦测、各项不纯物量测、讯号测试、材料存放及废料清洁等杂项工程。其中施工图及ISO图面，需依照机台用量流程图(P&ID)及机台设备外观图绘制，并配合材料明细表供业主确认。2

4、.3. 本项工程为连工带料施工，并包含施工中所需之施工工具、施工设备、无尘服、安全防护器具、管支撑及杂项消耗等，均由承包商负责。2.4. 配合”二次配工程说明”(规范标号NS-SP001)要求所需各项杂项费用。2.5. 所有管路标示，管路标示依照”二次配工程说明”办理。2.6. 所有管路防震固定支撑架之安装定位。2.7. 高架地板开孔及收边之工程发包、请款，切割区域管理。2.8. 气体站至FAB间管线所需管桥由业主提供，承包商需负责依业主指示规划气体管线路径，并负责安装所需管夹等固定装置。3. 文件送审文件名称投标阶段(3份)设计阶段(5份)竣工阶段(5份)报价表(Quotation form

5、)X专案组织表(Project organization)XX专案执行时程表(Project schedule)XX工程界面清单及位置图(List & location of tie-in point)XXX系统管仪图(P&IDs)XXX焊接设备清单(Equipment list)XXX设备及材料型录及资料(Vendors catalogs and information to support his quotation， including electrical system & I/C system)XXX仪表安装详图(Instrument installation drawing)XX送

6、审文件清单及时程(Transmittal list and schedule)X品质管制程序书(Quality control procedure)X工地办公室及物料暂存区需求(Site office and warehouse requirements)X验收及测试计划/报告(Inspection & test plan/reports)XX制造商测试报告(Manufactures inspection & test reports/records)XX计算书(Contractors calculations)XX管线配置图(Pipe routing plan)XXX管线支撑详图(Pipe

7、support drawing)XX管材规格(Piping material specification)XX管线施工程序书(Piping construction specification)XX注： 1. 承包商需於得标後一周内提出文件送审清单，并於施工前2周提送设计文件及相关管件及标示实体供审核；送审图面则需在业主提出意见後3天内修改并再次送审。2. 所有送审文件必须以中文或英文书写；英文送审文件需附中文说明。3. 所有竣工阶段需提送之文件均需检附电子档4. 施工说明4.1. 一般说明4.1.1. 承包商应於施工前提送施工程序书及管路测试程序书，经审核通过後，方可据以施工。4.1.2.

8、承揽商需於工作场所设置工程负责人，需有相关工程经历三年以上，其工作职责为：4.1.2.1. 施工进度控制。4.1.2.2. 施工人员管理及安排。4.1.2.3. 材料数量管制。4.1.2.4. 现场会勘放样。4.1.2.5. 参与承揽商沟通协调会议4.1.3. 承揽商需於工作场所设置品管负责人，需有相关工作经历三年以上，其阶层与工程负责人同等，其工作职责为：4.1.3.1. 施工品质控制。4.1.3.2. 施工完工品质验收。4.1.3.3. 施工验收报告汇总。4.1.3.4. 原料进厂自主检查。4.1.4. 承揽商需於工作场所设置物管负责人，需有相关工作经历一年以上，其工作职责为：4.1.4.

9、1. 材料数量管理。4.1.4.2. 进厂料件验收。4.1.5. 承揽商需於工作场所设置工安卫负责人，需有相关工作经历一年以上，其阶层与工程负责人同等，其工作职责为：4.1.5.1. 现场安全卫生工作监督。4.1.5.2. 参与承揽商安全卫生协调会议。4.1.5.3. 承揽商施工人员安全卫生训练。4.1.6. 施工人员数组，依工程数量适时增加人员，但在工程期限内最低需保留三组，每组人员最少三人，每组至少有一人有焊接执照，并由一资深组长带领，所有进厂施工之人员必须经过认可且通过工安检定之人员。4.1.7. 品管人员数组，依工程数量适时增加人员，但在工程期限内最低需保留一组，每组人员最少二人，由一

10、资深组长带领，但不可由品管负责人担任。4.1.8. 承揽商有任何人员调动需经过认可，且业主相关之人员有权提出异议要求更换，承揽商不得有异议。4.2. 材料说明4.2.1. 气体管线之分类及其材质要求如下表规定办理。气体种类材质一般大宗气体GN2CDACDA (for burnbox)SUS 316L BA/ 5SSUS 316L AP/ 5SSUS 304 / 5S自燃性气体SiH4, SiH4/N2, PH3/N2内管SUS 316L EP/外管SUS 304其他气体PN2, PO2, SiH2Cl2, NH3, PH2, B2H6/N2, Cl2, HBr, NF3, BCl3, HF,

11、CHF3, CF4, C2F6, SF6, PAr, PHe, N2O, He/O2SS 316L EP/ 5S；另BCl3、SiH2Cl2之管线需提供加热带以确保供气量。4.2.2. 各类管线、管件及仪表厂牌，请依下表规定办理，承包商应以一次配选用厂牌为优先考量，如欲选用非下表规定之厂牌，需经过业主审核同意後使得选用。项目规格厂牌SUS 316L BA pipeRmax 3.0mSumikin/ KuzeSUS 316L BA tubeRmax 3.0 mSumikin/ KuzeSUS 316L BA fitting (for pipe)Rmax 4.5 mKitz/ Kuze/ Swag

12、elok/ Ham-letSUS 316L BA fitting (for tube)Rmax 4.5 mKitz/ Kuze/ Swagelok/ Ham-letSUS 316L EP pipeRmax 0.7 mSumikin/ KuzeSUS 316L EP tube (注1)Rmax 0.7mSumikin/ KuzeSUS 316L EP fitting (注1)Rmax 0.7mKitz/ Kuze/ Swagelok/ Ham-letSUS 316L BA valve (15A)Bellow valve, Rmax 4.5 mKitz/ Ohno/ MotoyamaSUS 316

13、L BA valve ( 15A)Diaphragm valve, Rmax 3.0 mKitz/ Fujikin/ Ohno/ MotoyamaSUS 316L EP valve (15A)Bellow valve, Rmax 1.0 mKitz/ Ohno/ MotoyamaSUS 316L EP valve ( 15A)Diaphragm valve, Rmax 0.7 mKitz/ Fujikin/ Ohno/ MotoyamaRegulatorSUS 316L EP, VCR type, Rmax 0.1 m)PN2、PO2 每段支管末端。 所有机台Tie-in点前。1 pcs/sc

14、f ( 0.1 m)其他制程气体机台Tie-in点前1 pcs/scf ( 0.1 m)6.6. 氧气含量测试：6.6.1. 承包商应使用PN2作为purge gas，并连续纪录氧气含量变化，以观察其下降趋势及作为是否合格之依据。6.6.2. 各类气体测试点及含量要求应依下表办理：气体种类应测试位置氧气含量要求GN2 每段支管末端。 所有机台Tie-in点前。100 ppbPN2 每段支管末端。 所有机台Tie-in点前。10 ppb其他制程气体机台Tie-in点前10 ppb6.7. 验收时需检附各项测试报告及竣工ISO图面。7. 保固期限自验收合格後保固期限一年。附件一 Bulk Gas

15、Take-off ListTAKE-OFFTAKE-OFFTool机台流量机台接机台接NOTENO.尺寸LPM头尺寸头型式GN55011/2CV-etcher/QC LabCV-etcher55 3/8DECAP(QC)-1/8ETCHER(QC)-1/4GN55021/29F19F125 1/49F1120 3/89F1120 3/8GN55031/29F29F2120 3/89F2120 3/8GN55041/28F8F55 3/88F50 3/88F50 3/8GN55051/2WJ-999(1)/(2)WJ-999(1)55 3/8WJ-999(2)55 3/8GN55061/2SPA

16、REGN55071/2ND-6200ND-620020 1/4ND-620020 1/4GN55081/2NOVELLUSNOVELLUS20 1/4NOVELLUS20 1/4GN55091/2SPAREGN55101/2SPAREGN55111/2SPAREGN55121/2SPAREGN55131/2AMI 8330CAMI 8330C3 1/4AMI 8330C3 1/4AMI 8330C3 1/4AMI 8330C3 1/4GN55141/2SPAREGN55151/2AMI 8330DAMI 8330D3 1/4AMI 8330D3 1/4AMI 8330D3 1/4AMI 8330D3 1/4GN55161/2AMI 8330BAMI 8330B3 1/4AMI 8330B3 1/4AMI 8330B3 1/4AMI 8330B3 1/4