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1、真空泵知识真空泵的性能参数及使用范围Edit by songshu E-Mail:pineyf QQ:120166808 一、真空泵的性能参数 1、真空泵的极限压强 泵的极限压强单位是Pa，是指泵在入口处装有标准试验罩并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的最低压强。 2、真空泵的抽气速率 泵的抽气速率单位是m3/s或l/s，是指泵装有标准试验罩，并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流量与在试验罩指定位置测得的平衡压强之比。简称泵的抽速。 3、真空泵的抽气量 真空泵的抽气量单位是Pa m3/s或Pa l/s。是指泵入口的气体流量。 4、真空泵的起动压强 真空泵的起动压强单位

2、为Pa，它是指泵无损坏起动并有抽气作用时的压强。 5、泵的前级压强 真空泵的前级压强单位是Pa，它是指排气压强低于一个大气压的真空泵的出口压强。 6、真空泵的最大前级压强 真空泵口最大前级压强单位是Pa，它是指超过了能使泵损坏的前级压强。 7、真空泵的最大工作压强 真空泵的最大工作压强单位是Pa，它是指对应最大抽气量的入口压强。在此压强下，泵能连续工作而不恶化或损坏。 8、压缩比 压缩比是指泵对给定气体的出口压强与入口压强之比。 9、何氏系数 泵抽气通道面积上的实际抽速与该处按分子泻流计算的理论抽速之比。 10、抽速系数 泵的实际抽速与泵入口处按分子泻流计算的理论抽速之比。 11、返流率 泵的

3、返流率单位是g/cm2.s。它是指泵按规定条件工作时，通过泵入口单位面积的泵流质量流率。 12、水蒸气允许量 水蒸气的允许量单位是kg/h，它是指泵在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时能抽除的水蒸气质量流量。 13、最大允许水蒸气入口压强最大允许水蒸气入口压强单位是Pa 。它是指在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时所能抽除的水蒸气的最高入口压强。 二、真空泵的使用范围 由于各种真空泵所具有的工作压强范围及起动压强均有所不同，因此在选用真空泵时必须满足这些要求。表3-1给出了各种常用真空泵的工作压强范围及泵的起动压强值，以供参用。 表3-1 常用真空泵的工作压强范围及起动压强真空泵种类工作压强范

4、围（Pa）起动压强（Pa）水环式真空泵11052.71031105活塞式真空泵11051.31021105旋片式真空泵11056.710-11105水蒸气喷射泵11051.310-11105分子筛吸附泵11051.310-11105罗茨真空泵1.31031.31.3103油蒸气喷射泵1.3101.310-21.3105涡轮分子泵1.31.310-51.3油扩散泵1.310-21.310-71.310钛升华泵1.310-21.310-91.310-2溅射离子泵1.310-31.310-96.710-1锆铝吸气剂泵1.3101.310-111.310低温泵1.31.310-111.31.310-1

5、真空常用数据表1、真空区域划分 真空区域压强范围托(Torr)帕(Pa)低真空760101013251333中真空1010-313331.3310-1高真空10-310-81.3310-110-6超高真空10-810-1210-610-10极高真空10-1210-10 2、抽气速率单位换算表 单位立方米/秒(m3/s)升/秒(L/s)立方米/小时立方英尺/分1立方米/秒(1m3/s)1100036002118.881升/秒(1L/s)10-313.62.1191立方米/小时(1m3/h)2.7810-40.27810.591立方英尺/分(1cft/min)4.7210-40.471.691 真

6、空名词术语1、真空的定义 真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态2、真空度 处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。3、真空度单位 通常用托（Torr）为单位，近年国际上取用帕（Pa）作为单位。1托1/760大气压1毫米汞柱4、托与帕的转换 1托133.322帕或1帕7.510-3托5、平均自由程 作无规则热运动的气体粒子，相继两次碰撞所飞越的平均距离，用符号“”表示。6、流量 单位时间流过任意截面的气体量，符号用“Q”表示，单位为帕升/秒（PaL/s）或托升/秒（TorrL/s）。7、流导 表示真

7、空管道通过气体的能力。单位为升/秒（L/s），在稳定状态下，管道流导等于管道流量除以管道两端压强差。符号记作“U”。 UQ/(P2- P1)8、压力或压强 气体分子作用于容器壁的单位面积上的力，用“P”表示。9、标准大气压 压强为每平方厘米101325达因的气压，符号：（Atm）。10、极限真空 真空容器经充分抽气后，稳定在某一真空度，此真空度称为极限真空。通常真空容器须经12小时炼气，再经12小时抽真空，最后一个小时每隔10分钟测量一次，取其10次的平均值为极限真空值。11、抽气速率 在一定的压强和温度下，单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率，简称抽速。即SpQ/（PP0）19、水环

8、真空泵 泵的叶轮转子旋转而产生水环。由于转子偏心旋转而使水环与叶片间容积发生周期性改变而进行抽气的机械真空泵。20、往复真空泵 利用活塞的往复运动而进行抽气的机械真空泵。21、油封机械真空泵 用油来保持密封的机械真空泵，可分为定片式、旋片式、滑阀式、余摆线式等。22、罗茨真空泵 具有一对同步高速旋转的鞋底形转子的机械真空泵，此泵不可以单独抽气，前级需配油封、水环等可直排大气的真空泵。23、涡轮分子真空泵 有一高速旋转的叶轮，当气体分子与高速旋转的涡轮叶片相碰撞时就被驱向出气口再由前级泵抽除。24、油扩散真空泵 扩散泵喷口中喷出高速蒸汽流。在分子流条件下，气体分子不断地向蒸流中扩散，并被蒸汽带向

9、泵出口处逐级被压缩后再由前级泵排除。25、低温真空泵 利用20K以下的低温表面凝聚吸附气体的真空泵。26、冷阱（水冷挡板） 置于真空容器和泵之间，用于吸附气体或捕集油蒸汽的装置。27、气镇阀 油封机械真空泵的压缩室上开一小孔，并装上调节阀，当打开阀并调节入气量，转子转到某一位置，空气就通过此孔掺入压缩室以降低压缩比，从而使大部分蒸汽不致凝结而和掺入的气体一起被排除泵外起此作用的阀门称为气镇阀。28、真空冷冻干燥 真空冷冻干燥，也称升华干燥。其原理是将材料冷冻，使其含有的水份变成冰块，然后在真空下使冰升华而达到干燥目的。29、真空蒸镀 在真空环境中，将材料加热并镀到基片上称为真空蒸镀，或叫真空镀

10、膜。30、真空干燥 利用真空环境下沸点低的特点来干燥物品的方法。31、真空系统常用名称 (1)主泵：在真空系统中，用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵，如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。(2)前级泵：用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。(3)粗抽泵：从大气压下开始抽气，并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵，就是粗油泵。(4)维持泵：在真空系统中，气量很小时，不能有效地利用前级泵。为此配置一种容量较小的辅助泵来维持主泵工作，此泵叫维持泵。如扩散泵出口处配一台小型旋片泵，就是维持泵。4、平均自由程：(

11、510-3)/P (cm)5、抽速：Sdv/dt (升/秒)或 SQ/PQ流量(托升/秒) P压强(托)V体积(升) t时间(秒)6、通导： CQ/(P2-P1) (升/秒)7、真空抽气时间：对于从大气压到1托抽气时间计算式：t8V/S (经验公式)V为体积，S为抽气速率，通常t在510分钟内选择。 8、维持泵选择：S维S前/109、扩散泵抽速估算：S3D2 (D直径cm）10、罗茨泵的前级抽速：S(0.10.2)S罗 (l/s)11、漏率：Q漏V(P2-P1)/(t2-t1)Q漏系统漏率(mmHgl/s)V系统容积(l)P1真空泵停止时系统中压强(mmHg)P2真空室经过时间t后达到的压强(

12、mmHg)t压强从P1升到P2经过的时间(s)12、粗抽泵的抽速选择：SQ1/P预 (l/s)S=2.3Vlg(Pa/P预)/tS机械泵有效抽速Q1真空系统漏气率(托升/秒)P预需要达到的预真空度(托)V真空系统容积(升)t达到P预时所需要的时间Pa大气压值(托）13、前级泵抽速选择：排气口压力低于一个大气压的传输泵如扩散泵、油增压泵、罗茨泵、涡轮分子泵等，它们工作时需要前级泵来维持其前级压力低于临界值，选用的前级泵必须能将主泵的最大气体量排走，根据管路中，各截面流量恒等的原则有：PnSgPgS 或SgPgs/PnSg前级泵的有效抽速(l/s)Pn主泵临界前级压强(最大排气压强)(l/s)Pg

13、真空室最高工作压强(托)S主泵工作时在Pg时的有效抽速。(l/s)14、扩散泵抽速计算公式：SQ/P(Kn)/(Pt)(升/秒)式中：S被试泵的抽气速率(l/s)n滴管内油柱上升格数(格)t油柱上升n格所需要的时间(秒)P在泵口附近测得的压强(托)K滴管系数(托升/秒)KV0(L/n)(0/m)+PaVt其中V0滴管和真空胶管的原始容积(升)L滴管刻度部分的长度(mm)n滴管刻度部分的格数(格)0油的比重(克/厘米3)m汞的比重(克/厘米3)Pa当地大气压强(托)Vt滴管的刻度上的一格的对应的容积(升/格)15、旋片真空泵的几何抽速计算公式：SZnLKv(D2-d2)/(24104) (l/s

14、)式中：Z为旋片数，n为转速(转/分)，L为泵腔长度，D为泵腔直径，d为转子直径(cm)，Kv为容积利用系数(一般取95)。选用真空泵时，需要注意下列事项： 1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求110-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要510-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10-310-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为510-4510-6mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不

15、能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作压强应小于110-5mmHg为好。3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。5、真空

16、设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。6、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工

17、艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。9、真空泵的价格、运转及维修费用。根据以上原则，当泵所需的真空度或气体压力不高时，可优先在单级泵中选取。如果真空度或排气压力较高，单级泵往往不能满足，或者，要求泵在较高真空度情况下仍有较大气量，即要求性能曲线在较高真空度时较平坦，可选用两级泵。如果真空度要求在710mmHg以上，可选用水环大气泵或水环罗茨真空机组作为抽真空装置。如果只作真空泵用，则选用单作用泵比较好。因为单作用泵的构造简单，容易制造和维护，且在高真空情况下抗汽蚀性好。如果仅作较大气量的压缩机使用，则选用双作用的泵比较合适。因为双作用泵的气量大，体积小，重量轻，径向力能得到自动平衡，轴不容易产生疲劳断裂，泵的使用寿命较长。