电镀药水化验操作规范Word格式.docx

1、微蚀 1线886L 2线900LSPS65-95g/l3次/班（1）取样品2ml加DI水50ml、10% H2SO4 10ml,用移液管取100g/l（NH4）2Fe（SO4）210ml. （2）用0.1N KMnO4滴定至浅红色为终点,滴定毫升数A. （3）取DI水代替样品,重复上述步骤,滴定毫升数为B. （4）计算:SPS（g/l）=5.95（B-A） （5）补加:SPS（kg）=（80-测）*V槽/1000H2SO42.0-3.0%（1）取样品2ml加DI水50ml,参加甲基橙指示剂3-4滴. 用0.5NNaOH标液滴定至黄色即为终点.滴定毫升数为V. （2）计算H2SO4（%）=1.3

2、3NV% （3）补加:H2SO4（L）=（2.5-测）*V槽/100Cu2+25g/l（1）取样品2ml参加DI水50ml, 参加20ml PH=10的缓冲液, 加PAN指示剂2-3滴用0.05N EDTA-2Na滴至黄色即为终点. （2）计算Cu2+（g/l）=63.5*N*V/2微蚀速率30-50U（1）取abcm的覆铜基板经酸性除油水洗在120烘干30分钟,冷却称重W1. （2）经微蚀槽（与流程微蚀槽时间一样）水洗,吹干在120烘干30分钟,冷却称重W2. （3）计算:U=（W1-W2）*106/2ab*8.92*2.54第05-2页 共10页槽名体积化 学 铜 （1线2000L 2线2

3、526L）1.8-2.2g/l（1）取试样20ml于锥形瓶中,参加20%硫酸15ml,20%KI10ml,逐滴滴加硫代硫酸钠至淡黄色，加10%KS 20ml加数滴淀粉并用0.1N硫代硫酸钠滴至白色为终点，体积为V。 （2）计算:Cu2+（g/l）=3.175*N*V .（3）补加：EC-251A（L）=（2-测）*26.67NaOH8-10g/l（1）取试样5ml加50mlDI水以0.1N HCl滴至PH=10.5,滴定毫升数为A,加10ml 10% Na2SO3用0.1N HCl 滴至PH=10.5滴定数为B NaOH（g/l）=8*A*N HCHO（g/l）=6*B*N （3）补加:EC-

4、251B（L）=（9-测值）*6.67 EC-251C（L）=（6-测值）*8.33HCHO5-7g/l络合剂0.05N（1）取5ml槽液放入锥形瓶中加0.2gMX指示剂摇匀用0.01N硫酸铜标液滴至绿色为终点络合剂（N）=0.002v+0.0158Cu2+ （3）补加:EC-251M（L）=（0.06-测）*2667沉积速率0.4-0.6m（1）将ab的无铜基板按化铜正常流程走出后,将试验板放入250ml烧杯中,加20ml PH=10缓冲液和7-8滴H2O2,加50mlDI水和5滴PAN指示剂用0.05N EDTA滴定至苹果绿为终点.滴定数为V. （2）沉积厚度（m）=635NV/（2ab*

5、8.92）除 胶 渣 总锰60-70g/l（1）取1ml槽液于250ml锥形瓶中,加50mLDI水，参加10mL 20% KI和10ml 50% HNO3 （2）用0.1N Na2S2O3 滴至淡黄色加1%淀粉指示剂5-6滴,再用0.1N Na2S2O3滴至无色,记下一共所需毫升数. Mn（g/l）=31.6NV （4）补加:KMnO4（kg）=（65-测值）*V/1000水化验操作规第05-3页 共10页槽名（体积）除 胶 渣（ 1线1800L 2线2616L）六价锰20g/l（1）取1ml槽液定容至1000ml容量瓶中,以纯水作参比,用玻璃比色皿取样.读取波长为540、610nm时的吸光度

6、为A、B。（2）计算：Mn6+（g/l）=147.3B-13.6A（3）计算：Mn7+（g/l）=85.7A-170.1B七价锰35-55g/l35-45g/l（1）取试样1ml,加50mlDI水于250ml烧杯中。（2）以0.1N盐酸滴至PH=10.5为终点. NaOH（g/L）=40NV NaOH（L）=（40-测）*V/400除胶渣速率20-50mg/dm2bcm的双面板无铜基板,在120烘烤30分钟, 冷却称重为W1（g）.（2）将上述基板从膨润走至中和槽水洗吹干在120下烘烤30min,冷却称重为W2（g）. 结果=（W1-W2）*100000/ab中 和 （1线886L 2线820

7、L）Nu-12190-110ml/l（1）取槽液2ml加50mlDI水参加10ml20%的硫酸,加热至60,用0.1N KMnO4滴定至淡红色为终点，滴定数为V. Nu-121（ml/l）=74NV （3）补加:Nu-121（ml）=（100-测）*V槽H+1.8-2.2N（1）取2mL槽液于250mL锥形瓶中加50mLDI水及3-4滴酚酞指示剂. （2）用0.5N的氢氧化钠滴至红色为终点,滴定体积为V。 H+（N）=0.5NV （4）补加:H2SO4（L）=（2.0-测值）* V槽/18.4膨润 1线886L 2线820LSW-11035-45%（1）取槽液数滴于旋光光度计,直接读数A. （

8、2）计算:SW-110（%）=1.43A （3）补加:SW-110L=（40-测）*V槽100第05-4页 共10页化学沉铜预浸1线886L2线820LPD-221B0.58-0.78N（1）取试样2ml,加50mlDI水,加2-4滴PP指示剂以0.5N NaOH滴至红色滴定数为V.PD-221B（N）=0.5NV （3）补加:PD-221BL =（0.68-测）*V槽*70/680活化2线900L0.68-1.08N同上Pd2+50-60ppm（1）取5ml活化槽液，至100ml容量瓶中，加纯硝酸少许，解胶至澄清为止，加纯水定容到刻度，摇匀，用AA机测，读数为a.Pd2+ppm=20*a.

9、添加公式：CA-230（ L ）=（中値-测値）*V槽/1500比重1.145用量程为1.1-1.2的比重计测,直接读数.速化AL-242B0.9-1.3%（1）取加速槽液5mL于锥形瓶中参加50mL水参加6N盐酸25mL,参加20%碘化钾10ml用0.1N硫代硫酸钠标液滴定至黄色, 参加淀粉指示剂继续滴至无色为终点。AL-242B（%）=1.2NV% AL-242B（L）=（1.2%-测）*V槽PH8.75-9.25用PH计直接测量第05-5页 共10页脉 冲 电 镀 线铜槽1500L210-230g/L1次/3天计算与分析方法同一铜线铜槽硫酸CuSO4.5H2O60-80g/L计算与分析方

10、法同一铜线硫酸铜CL-55-85ppm计算与分析方法同一铜线CL-光剂3-5mL/L1次/周计算与分析方法同一铜线光剂哈氏试验电流2A ，记时5min，由赫尔槽打哈氏片判定，哈氏看板三个月一换污染指数120uA由CVS仪直接测定酸洗700LH2SO49-11%计算与分析方法同一铜线酸洗脱铜600LHNO3300-500mL/L计算与分析方法同一铜线脱铜第05-6页 共10页填 孔 电 镀 线计算与分析方法同一铜线铜槽硫酸2.5-6.5mL/L计算与分析方法同一铜线光剂润湿剂7-11mL/L1）用 8mL/L的润湿液作标准曲线并保存2）把槽液放在吸管下,把VMS液放在电极下,按分析即可,记录数据

11、整平剂6-10mL/L1）作整平剂曲线并保存2）用50mL的含LEVER标准液作INTERCEPT,再参加50mL槽液,并加光剂（6-光剂测值）/20毫升,润湿剂 （25-润湿测值）/20毫升,按分析即可,记录数据预浸剂9-11%1）用75mL的INTERCEPT标准液作空白2）参加25mL的预浸槽液按分析即可,记录数据酸洗计算与分析方法同一铜线酸洗HNO3计算与分析方法同一铜线脱铜第05-7页 共10页（体积）一 次 电 镀 铜 1# 线电 镀 铜 槽 （12000L）200-240g/l（1）取1ml样于250ml锥形瓶中,参加50mlDI水,加2-3滴甲基橙.用0.5NNaOH标准液滴定

12、至黄色为终点,滴定毫升数为V .H2SO4=49*N*V H2SO4=（220-测）*7.9CuSO45H2O55-75g/l（1）取1ml样于锥形瓶中加PH=10的缓冲液至溶液呈深蓝色,加50mlDI水加2-3滴PAN指示剂用0.05N EDTA-2Na滴至黄绿色为终点,滴定毫升数为V CuSO45H2O（g/l）=250*N*V.5H2O（Kg）=（65-测）*5.5Cl-40-80ppm（1）取样25ml置入锥形瓶中,参加50mlDI水,加入25ml50%HNO3摇匀,作其后之比拟（2）重复上述步骤,将测试液加5-6滴0.1N AgNO3标液.（3）用0.01N Hg（NO3）2滴定至清

13、晰为止,再滴1-2滴,如澄清那么已到终点,如浑浊那么继续滴直到清晰,清晰度与此液比拟核实. （4）计算:Cl-（ppm）=1420*N*V （5）添加:HCl（mL）=（60-测）*14.5光剂含量1-3mL/L（2800L）300-500ml/l（1）取样1ml于250ml锥形瓶中,参加50mlDI水,用2-3滴甲基橙指示剂0.5NNaOH滴至黄色为终点,记下NaOH之毫升数V. HNO3（L）=65.94*V*N HNO3（L）=（400-测）*V槽/1000（1600L）6-8%同PTH线微蚀槽中H2SO4的分析养板槽（1000L）0.5-1.0%第05-8页 共10页一 次 电 镀 铜

14、 2# 线电 镀 铜 槽 （5500L）（1） 取1ml样于250ml锥形瓶中,参加50mlDI水,加2-3滴甲基橙.用0.5NNaOH标准液滴定至黄色为终点,滴定毫升数为V .（2） 计算:（3） 补加:H2SO4=（220-测）*17.1（1） 取1ml样于锥形瓶中加PH=10的缓冲液至溶5H2O（Kg）=（65-测）*12（1） 取样25ml置入锥形瓶中,参加50mlDI水,加（2） 重复上述步骤,将测试液加5-6滴0.1N AgNO3标液.（3） 用0.01N Hg（NO3）2滴定至清晰为止,再滴1-2滴,如澄清那么已到终点,如浑浊那么继续滴直到清晰, 清晰度与此液比拟核实. （4）

15、计算:Cl-（ppm）=1420*N*V （5） 添加:HCl（mL）=（60-测）*31.5（2768L）（1）取样1ml于250ml锥形瓶中,参加50mlDI水,用2-3滴甲基橙指示剂0.5NNaOH滴至黄色为终点,记下NaOH之毫升数V. 第05-9页 共10页一 次 电 镀 铜 3# 线电 镀 铜 槽 （3700L）（1）取1ml样于250ml锥形瓶中,参加50mlDI水,加2-3滴甲基橙.用0.5NNaOH标准液滴定至黄色为终点,滴定毫升数为V .2计算:3补加:1取1ml样于锥形瓶中加PH=10的缓冲液至溶（1）取样25ml置入锥形瓶中,参加50mlDI水,参加25ml50%HNO3摇匀,作其后之比拟（2）重复上述步骤,将测试液加5-6滴0.1N AgNO3标液.（3）用0.01N Hg（NO3）2滴定至清晰为止,再滴1-2滴,如澄清那么已到终点,如浑浊那么继续滴直到清晰,清晰度与此液比拟核实. （780L）（1200L）第05-10页 共10页一 次 电 镀 铜 4# 线（1）取1ml样于250ml锥形瓶中,参加50mlDI水,加2-3滴甲基橙.用0.5NNaOH标准液滴定至黄色为终点,滴定毫升数为V .