特种电子级及电子材料气体可研报告Word下载.docx

1、1.1.3.3 项目建设的必要性和经济意义（一）信息技术作为科学技术领域发展最快的门类之一，是一个国家由工业化向信息化发展的根本标志，其重要作用已受到国内外的广泛重视，已成为维护国家安全、增强综合国力的关键所在。能源是人类生存和发展的重要基础，能源是经济社会可持续发展的必要条件。发展新能源，是保持我国经济可持续发展、保护环境、提高能源供应安全事关全局的重大战略性任务，对于我国促进产业结构升级，转变经济发展方式，推动经济平稳较快发展有着十分重要的意义。我国自上世纪六十年代中期研制成功集成电路以来，经过四十年的发展，制造工艺已经达到最高90纳米、主流技术0.18微米的技术水平，已经跨入世界半导体晶

2、元加工制造先进国家行列。目前世界半导体制造的中心不断向亚洲，向中国转移，近几年我国IC增长速度达到每年30%左右，光伏太阳能电池、半导体发光材料（半导体照明）和平板显示器件的发展势头也异常迅猛。（二）高纯电子气体是“信息技术”和“新能源”两大战略性新兴产业的关键支撑材料，是高端通用芯片技术、12英寸集成电路芯片生产工艺、高性能半导体材料（半导体照明材料）规模化生产技术、TFT-LCD平板显示技术等领域的关键原材料，同时也是硅太阳能电池和薄膜太阳能电池的关键材料。电子气体通过外延生长、离子注入、掺杂、刻蚀、清洗、掩蔽膜生成等关键工艺使硅材料（基底材料）具备半导体等光电性能，它决定了集成电路、半导

3、体材料的性能、集成度、成品率，被称为半导体集成电路制造的“粮食”或“源”，是众多高新技术产业不可或缺的关键原材料，具有通用性强、系列化程度高的特点。长三角及周边地区是我国半导体集成电路产业集聚地，根据半导体集成电路市场需求，不断开拓长三角区域的业务，发挥区域优势，结合中国提供的电子气体产品新技术，为我国信息技术和新能源产业的发展做出积极的贡献。（三）在长三角地区，一共有4家电子材料中心（液化空气张家港材料中心、林德苏州、大阳日酸扬州、昭和电工），他们全部为外资公司，长时间的技术垄断，我们要为民族工业的振兴做出自己的努力。因此，实施新的工程建设，生产以上产品，是很必要的。1.1.4 编制依据、指

4、导思想和原则1.1.4.1 可行性研究报告编制的依据1）可行性研究报告的内容和深度按中国石油和化学工业联合会中石化联产发【2012】115号文关于印发化工投资项目可行性研究报告编制办法（修订版）编制。2）中华人民共和国工业和信息化部公告2013年第35号；3）提供的相关基础资料。4）国家有关法规和技术标准文件；5）与设计有限公司（乙方）签订的项目可行性研究报告编制合同。1.1.4.2 可行性研究报告编制的指导思想和原则 1、本项目“可行性研究报告”按照国家有关工程建设项目可行性研究报告内容和深度的规定，并结合项目具体情况进行编制。2、认真贯彻执行工程设计及工程建设的有关规范、标准。3、工艺技术

5、力求先进、合理、可行，体现国内外先进水平。4、严格按照国家、社会、行业和地区长远发展规划及有关产业政策、技术政策的要求，积极贯彻执行国家及地方的环境保护、“三废”治理、劳动保护、安全卫生、消防方面的法规及其与主体工程建设“三同时”的原则。5、充分依托的基础设施和投资环境，节省项目建设投资。1.1.5 研究范围本可行性研究报告的基本任务是分析论证该项目投资的必要性、工艺技术的可行性及经济上的合理性。其范围为：1）本项目产品的国内、外市场需求预测，产品方案，生产规模的确定及产品价格分析；2）对本项目采用的工艺技术方案进行认证；3）主要设备的选择；4）原材料、公用工程消耗及供应方案确定；6）“三废”

6、处理、劳动保护、消防设施等方案的确定；7）投资估算和财务分析。1.2 研究结论1.2.1 简要结论 经调查研究和分析论证，本报告认为，年产建设项目在技术和经济上都是可行的，其主要结论如下：1）本项目厂址拟建于位于，区内水、电、汽、污水处理、固废处理等公用工程配套齐全，因此本项目选址合理。2）根据国内外市场调查，本项目产品市场容量大，项目实施后可望有较好的经济效益和社会效益。3）本项目建设单位有丰富的化工生产经验，并有较雄厚的技术力量，这为开发本项目产品提供了生产技术和营销的保证。 4）本项目“三废”处理措施切实可行，没有生产工艺污水，对环境造成污染较小。综上所述，本项目的投资是必要的、可行的。

7、1.2.2 主要技术经济指标（表1-1） 表1.1 主要经济技术指标表序号项目名称单位数量备注一产品方案及生产规模1主要产品及生产规模1.1电子级氨t/a1.2电子级磷烷1.3电子级乙硼烷1.4电子混合气：以电子级磷烷、电子级乙硼烷、电子级硅烷（电子级氮/氢/氩/氦/二氧化碳平衡气）为主要组分配制的电子混合气，以电子级氟化物（以超纯氧为平衡气）为主要组分配制的电子混合气1.5标准混合气（食品级二氧化碳-环氧乙烷混合气）1.6电子级氯气1.7电子级一氧化二氮1.8电子级三氟化硼1.9电子级六氟乙烷1.10电子级一氟甲烷1.11电子级二氟甲烷1.12电子级三氟甲烷1.13电子级八氟环丁烷1.14电

8、子级四氟化碳1.15电子级砷烷二年工作时天四班三运转制三主要原材料用量工业液氨2工业液氯3医用一氧化二氮4硼氢化钠5磷化铝6碘8液氮9液氩10氦气Nm3/a11液氧12氢气13食品级二氧化碳14环氧乙烷15BF316C2F617CH3F18CH2F219CHF320C4F821CF422硅烷23砷化锌24稀硫酸四公用动力消耗量水电万kWh/a五三废排放量废水废气固废六总定员人生产人员非生产人员七本项目占地面积m2八综合能耗总量吨标煤/年九单位产品综合能耗吨标煤/吨产品十单位产值综合能耗吨标煤/万元十一工程项目总投资额万元十二年均销售收入十三成本和费用年均总成本费用年均经营成本十四年均利润总额十

9、五年均销售税金及附加十六财务评价指标总投资收益率%资本金利润率静态投资回收期年全投资财务内部收益率全投资财务净现值（ic=14%）1.2.3 存在的主要问题和建议1.2.3.1 存在的主要问题特种气体及电子级气体产业属于特种行业的新兴产业，本项目的生产技术在国际、国内处于领先地位。2、市场预测2.1 国内外市场情况预测2.1.1 电子级气体发展情况 电子级气体是IC、LED、LCD、太阳能领域重要的 “源”性气体，没有超纯气体，许多高科技就不可能发展，我国早在“六五”期间就开展超纯气体的系列研究，经过近三十年的技术攻关，尤其是近几年受其下游需求的刺激，中国气体发展发生质的飞跃，中国超纯气体的崛

10、起，改变了国外气体公司在中国一统天下的格局，其中以电子级氨为代表的国产气体，已经成为光伏太阳能企业的主供应商，随着中国光伏发展，国产氨将向质优、价廉的方向发展，其用量将超乎想象，如此大的用气量，正是国产氨竞争的优势，由于氨的化学性质，就近供气将是趋势。2.1.2 电子级气体应用的分布情况（1）电子级液氨 目前，我国电子级氨用户主要集中在光伏、半导体、光导纤、LED以及光伏产业。 （2） 电子级磷烷、电子级砷烷、电子级乙硼烷 使用厂家主要集中在河北、北京、江浙等地区，同时它也广泛应用于光电子、化合物半导体、太阳能光伏电池、液晶显示器、光导纤及LCD制造等其它诸多领域。（3）含磷烷、乙硼烷组分的混

11、合气体主要应用于LED、半导体、光纤、太阳能等领域，用户多分布于长三角领域。（4） 四氟化碳等含氟化合物在IC 制造工艺过程中大量使用诸如四氟化碳等化合物，含氟气体是重要的不可缺少的电子气体材料，目前应用在6 吋、8 吋线的刻蚀、清洗工艺中。如99.999%的四氟化碳气体国内每年用量约1500瓶，提纯技术及设备、分析测试方法和仪器落后，目前四氟化碳（99.999%）几乎全部从国外进口，每年大约要消耗450多万美金的外汇。（5） 八氟环丁烷为了保护大气臭氧层，目前IC 线上主流的清洗和刻蚀气体之一的C2F6 将被逐步取代，目前国内C2F6 在6吋和8吋线上的用量，每年大约要15000 瓶用量，约

12、合600 吨/年。而八氟环丁烷将替代六氟乙烷担任未来刻蚀和清洗的重要角色。目前国内99.999%八氟环丁烷严重短缺，近几年来由于某些工艺要求使用99.999%的八氟环丁烷，而国外报价很高。2.2 产品市场预测表2.1 本项目产品价格预测表产品名称预测价格电子级液氨万元/吨2.4125142电子级一氮化二氮标准混合气元/瓶600-50007以磷烷、乙硼烷为主要组分的电子气体0.2-1.0元/g元/Kg6008001500160018001603、产品方案及生产规模3.1产品方案确定原则1）充分考虑国家产业政策、行业发展规划、技术政策、产品结构符合国家清洁生产的要求；2）充分考虑项目产品的市场适应

13、性，采用先进、适用的技术，提高项目的竞争能力；3）充分考虑项目产品技术的先进性，加大技术创新力度，提高产品的技术含量；4）充分考虑项目建设的可靠性，估计各类工程风险，积极采取有效的对策措施，减少风险；5）充分考虑项目产品的环境相容性，三废物质做到综合治理和达标排放，满足环境和可持续发展的要求；6）充分考虑项目收益的合理性，实事求是对该项目的功能性、盈利性等进行全面考虑。根据产品对国家产业政策符合性、市场需求情况预测、工艺技术含量和企业生产的规模效益（产品成本）、三废综合治理、建设投资等综合因素确定生产规模。3.2 产品方案确定经过大量的市场调研和分析，建设项目包括15种产品，即电子级氨、电子级

14、磷烷、电子级砷烷、电子级乙硼烷、电子混合气：以电子级磷烷、电子级乙硼烷、电子级硅烷（电子级氮/氢/氩/氦/二氧化碳平衡气）为主要组分配制的电子混合气，以电子级氟化物（以超纯氧为平衡气）为主要组分配制的电子混合气、标准混合气（食品级二氧化碳-环氧乙烷混合气）、电子级氯气、电子级一氧化二氮、电子级三氟化硼、电子级六氟乙烷、电子级一氟甲烷、电子级二氟甲烷、电子级三氟甲烷、电子级八氟环丁烷、电子级四氟化碳的生产装置、土建、公用工程及辅助工程等。3.3 产品质量指标3.3.1 电子级氨产品质量指标：执行标准GB/T14601 电子工业用气体 氨中光电子级标准。表3.1 电子级氨产品质量指标项 目光电子级

15、氨（NH3）纯度（体积分数）/10-2 99.99994氧/氩（O2/Ar）含量（体积分数）/10-6 0.1氢（H2）含量（体积分数）/10-6 一氧化碳（CO）含量（体积分数）/10-6 0.05二氧化碳（CO）含量（体积分数）/10-6 烃（C1C3）含量（体积分数）/10-6 0.2总杂质含量（体积分数）/10-6 0.63.3.2 电子级磷烷执行标准GB/T 14851电子工业用气体 磷化氢。表3.2 电子级磷烷产品质量指标指 标磷烷（PH3）含量（体积分数）/10-2 99.9997砷化氢（AsH3）含量（体积分数）/10-6 氧+氩（O2+Ar）含量（体积分数）/10-6 0.5

16、氮（N2）含量（体积分数）/10-6 一氧化碳（CO）含量（体积分数）/10-6 二氧化碳（CO2）含量（体积分数）/10-6 总烃（C1C3）含量（体积分数）/10-6 水（H2O）含量（体积分数）/10-6 杂质总含量（体积分数）/10-6 金属总离子供需双方商定颗粒3.3.3电子级乙硼烷表3.3 电子级乙硼烷产品质量指标乙硼烷（B2H6）含量（体积分数）/10-2 99.999氮（N2）含量（体积分数）/10-6 氧+氩（O2+Ar）含量（体积分数）/10-6 二氧化碳（CO2）含量（体积分数）/10-6 甲烷（CH4）含量（体积分数）/10-6 水（H2O）含量（体积分数）/10-6

17、3.3.4标准混合气（食品级二氧化碳-环氧乙烷混合气）表3.4 食品级二氧化碳-环氧乙烷混合气产品质量指标环氧乙烷浓度（%（w）二氧化碳浓度（%（w）允差（%）食品级二氧化碳环氧乙烷混合气-1090食品级二氧化碳环氧乙烷混合气-2080食品级二氧化碳环氧乙烷混合气-3030703.3.5电子混合气：以电子级磷烷、乙硼烷、硅烷（电子级氮/氢/氩/氦/二氧化碳平衡气）为主要组分配制的电子混合气，以电子级氟化物（以电子级氧为平衡气）为主要组分配制的电子混合气供需双方商定。3.3.6电子级氯气执行标准GB/T 18994 电子工业用气体 高纯氯。表3.5 电子级氯产品质量指标氯（CL2）含量（体积分数

18、）/10-2 99.996氧（O2）含量（体积分数）/10-6 一氧化碳（CO）含量（体积分数）/10-6 二氧化碳（CO2）含量（体积分数）/10-6 烃（C1C3）含量（体积分数）/10-6 注：1、C1C3系指CH4、C2H2、C2H4、C2H6 2、高纯氯中金属和颗粒的要求及检验由供方与用户商定。3.3.7电子级一氧化二氮GB/T 14600电子工业用气 氧化亚氮。表3.6 电子级氧化亚氮产品质量指标氧化亚氮（N2O）含量（体积分数）/10-2 99.9994二氧化碳（CO2）含量（体积分数）/10-6 一氧化碳（CO）含量（体积分数）/10-6 烃C1C5（以甲烷计）含量（体积分数）

19、/10-6 氧（O2）含量（体积分数）/10-6 水（H2O）含量（体积分数）/10-6 一氧化氮（NO）含量（体积分数）/10-6 二氧化氮（NO2）含量（体积分数）/10-6 杂质总含量含量（体积分数）/10-6 3.3.8电子级三氟化硼GB/T 14603电子工业用气 三氟化硼。表3.7 电子级三氟化硼产品质量指标三氟化硼（BF3）纯度（摩尔分数），10-2 氮（N2）含量（摩尔分数），10-6 氧+氩（O2+Ar）含量（摩尔分数），10-6 二氧化碳（CO2）含量（摩尔分数），10-6 四氟化碳（CF4）含量（摩尔分数），10-6 四氟化硅（SiF4）含量（摩尔分数），10-6 总杂质

20、含量（摩尔分数），10-6 3.3.9 电子级六氟乙烷表3.8电子级六氟乙烷质量指标C2F6含量（摩尔分数），10-299.999%N2含量（摩尔分数），10-6O2含量（摩尔分数），10-6CO含量（摩尔分数），10-6CO2含量（摩尔分数），10-6H2O含量（摩尔分数），10-6THC含量（摩尔分数），10-6Other Halocarbon含量（摩尔分数），10-63.3.10电子级一氟甲烷 表3.9电子级一氟甲烷质量指标CH3F含量（摩尔分数），10-299.993.3.11电子级二氟甲烷表3.10电子级二氟甲烷质量指标CH2F2含量（摩尔分数），10-2其它氟碳含量（摩尔分数），10-650酸度（HF）含量（摩尔分数），10-63.3.12电子级三氟甲烷表3.11电子级三氟甲烷质量指标CHF3含量（摩尔分数），10-2N2 含量（摩尔分数），10-6O2 含量（摩尔分数），10