ESD各项测试验证作业指导书SOP.docx

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ESD各项测试验证作业指导书SOP

1.目的：

建立公司内部各项静电防护项目的测试规范，统一防静电测试方法与判定标准。

2.范围：

适用于本公司静电防护项目的检测，如：

接地系统、防静电地板（地垫）、防静电工作台（桌垫）、周转箱、包装袋、防静电手环、人体静电防护用品、离子风机、烙铁等辅助工具。

3.内容：

3.1静电手环：

3.1.1测试仪器：

静电手环测试仪

3.1.2测试方法：

图1-1静电手环测试示意图

3.1.2.1来料检验时进行抽样测试，并记录于《静电手环测试记录表》。

3.1.2.2静电手环由IQC进行抽样测试。

3.1.2.3必须将腕带扣反面金属接触到手腕时，才能进行测试。

3.1.2.4测试时，腕带扣住一只手，另一端香蕉头插入测试器上的测试端子。

3.1.2.5测试者用手指按下导通器上金属键，看导通器上灯号显示，如图1-1：

①绿灯GOOD亮－OK，且BUZZER长鸣。

②黄灯LOW、红灯HIGH亮－失败，BUZZER无声（需更换腕带或腕带线再测试）。

3.1.2.6且于测试中增加摆动手腕的动作，以确认是否有接触不良。

3.1.2.7测试中若发生有两个灯号同时亮时（绿、黄灯亮或绿、红灯亮），应更换新品或其他良品腕带（腕带或腕带线）再测。

（a）若灯号显示正常，则确认腕带部份不良应更换。

（b）若灯号依然显示两个灯亮，或者时好时坏，判定可能测试器为不良品，应立即通知组长处理，将该测试器重新校验或送修。

3.1.3测量频率：

来料检验（抽样）

3.1.4记录表单：

《静电手环测试记录表》QC-BD-074

3.2人体综合电阻测量：

3.2.1测试仪器：

人体综合电阻测试仪

3.2.2操作方法：

3.2.2.1作业员需标准着装（静电帽、静电衣、静电鞋、静电手环等）（如图1-2）后，站立于人体综合测试仪上。

说明：

头发压入防静电帽中；静电衣袖子不允许挽起；穿静电鞋时，光脚或穿纯棉袜，保证导通性。

如果工作岗位要戴防静电手套或者手指套的，也需穿戴完整。

图1-2着装与测试示意图

3.2.2.2选择需要测试的项目（WRIST、FOOT、WRIST&FOOT）（如图1-3）,将开关打到对应的位置，然后再按下测试仪上按钮，仪器上三个显示灯为绿色“PASS”后,将结果记录在《人体综合电阻记录表》后，方可进入EPA区开始作业。

图1-3测试项目按键示意图

3.2.3说明：

3.2.3.1每日上午、下午、加班前进行测试，测试结果记录在《人体综合电阻测试记录表》中。

3.2.3.3必须由使用者本人测试并记录，不得交由他人代测或代填。

3.2.3.4测试者用手指按下导通器上金属键，看导通器上灯号显示（如果有戴防静电手套或手指套，需使用戴手套或手指套的手按下金属键）：

①绿灯“PASS”灯亮－OK。

②黄灯“LOW”、红灯“HIGH”灯亮－NG。

测试结果NG，应立即通知组长处理。

3.2.4测量频率：

每日2-3次（上午、下午、加班）

3.2.5记录表单：

《人体综合电阻测试记录表》PD-BD-043

3.2.6合格标准：

750KΩ～1.0*108Ω

3.3防静电衣：

3.3.1测试仪器：

重锤式电极、数显兆欧表（如图1-4）

图1-4重锤式电极、数显兆欧表组件

3.3.2防静电衣袖对袖、点对点电阻测试步骤：

3.3.2.1将两重锤式电极通过配备的连接线连接到数显兆欧表上，如图1-5；

3.3.2.2将被测的防静电衣平铺在一块面积足够大的绝缘台面上，确保无重叠部分；

3.3.2.3袖对袖测试将两个电极分别放在衣服的两个袖子上，如图1-6；点对点测试将一个电极放在袖子上，另一个电极放置在衣服的任意一个点上，如图1-7

3.3.2.4选取数显兆欧表的100V量程进行测试，如图1-8；

3.3.2.5按下数显兆欧表测试按钮，等待数显兆欧表读数显示。

并记录在《防静电衣/静电帽/静电鞋电阻测试记录表》中。

图1-5数显兆欧表与重锤式电极连接示意图

图1-6袖对袖电阻测试示意图图1-7点对点电阻测试示意图

图1-8数显兆欧表量程选择

3.3.3注意事项：

（1）为保证测量结果的精确度，注意测试过程中不要触碰探头、引线和被测物体，不要使两条引线交迭；

（2）当联机一端的香蕉头插入数显兆欧表右上角的3.5毫米插孔中时，数显兆欧表背面的平行电极处于失效状态；

（3）使用外置重锤式电极测量时，尽管仪器屏幕显示单位为ohms/m2，但实际单位应为“ohms”。

3.3.4测量频率：

来料检验（抽样）、发放使用前及每半年一次（全检）

3.3.5记录表单：

《防静电衣/静电帽/静电鞋电阻测试记录表》EN-BD-093

3.3.6合格标准：

<1*1011Ω

3.4防静电工作表面（台）和固定货架：

3.4.1防静电桌垫表面电阻测试：

3.4.1.1测试仪器：

1　EFM-022静电场测试仪，如图1-9

2　数显兆欧表，如图1-10

图1-9数显兆欧表图1-10EFM-022静电场测试仪

3.4.1.2测试步骤:

将测试器开启后放置防静电桌垫上（上层绿色部分），测量点选择磨损最严重以及经常被使用的较易受磨损的地方进行测试，并观察防静电桌垫静电耗散部分材质的表面电阻是否符合规定值<1*109Ω

3.4.1.3说明：

（1）量测原则：

当静电桌垫在工作使用中有静电安全顾虑时须依规定测试。

（2）其他防静电材料的表面电阻测量方法与防静电桌垫相同，判定指标如规范中表五。

3.4.1.4量测频率：

来料检验、每季度一次

3.4.1.5记录表单：

《电阻测试记录表》EN-BD-084。

3.4.1.6合格标准：

<1*109Ω

3.4.2防静电工作桌、货架对地电阻测试：

3.4.2.1测试仪器：

重锤式电极、数显兆欧表

3.4.2.2测试步骤：

（a）如果工作表面（台）上有导电材料和交流电源的设备，而这些设备有与工作表面（台）相互独立的接地途径，那么在测试时，保持导电材料和交流电源设备的接地状态不变；

（b）将一条联机的一端插入数显兆欧表右上角的插孔中，另一端与一个重锤式电极相联，并将电极放在防静电工作表面（台）的中间位置，如图1-11。

另外一条联机的一端插入数显兆欧表右上角插孔中，另一端接上鳄鱼夹，夹到防静电工作表面（台）的接地点上；

（c）

图1-11防静电桌垫对地电阻测试示意图

（d）将数显兆欧表拨到10V档位，如图1-12；

图1-12数显兆欧表档位示意图

（e）按下测量按钮直至电阻（单位为Ω）、相对湿度、温度值显示在显示屏上，如图1-13；

（f）

图1-13读值示意图

（g）如果显示的电阻等于或大于1*106Ω，将数显兆欧表调节至100V档位，重新测量，如图1-13；

3.4.2.3注意事项：

1．为保证测量结果的精确度，注意测试过程中不要触碰探头、引线和被测物体，不要使两条引线交迭；

2．当联机一端的香蕉头插入数显兆欧表右上角的插孔中时，数显兆欧表背面的平行电极处于失效状态；

3．使用外置重锤式电极测量时，尽管仪器屏幕显示单位为ohms/m2，但实际单位应为“ohms”。

4．如果货架为金属材质，且本身有牢固接地，那么其上铺的防静电桌垫绿色层如能与货架金属表面接触良好，形成二级接地以释放静电荷，则防静电桌垫不需另外接上接地扣，也不需测量表面地阻和对地电阻等两个项目，但需要确认货架的接地导通，测试方法和记录见本文章节3.7。

3.4.2.4测量频率：

来料检验、每季度一次

3.4.2.5记录表单：

《电阻测试记录表》EN-BD-084

3.4.2.6合格标准：

<1*109Ω

3.5周转车（推车、rack架等移动设备）：

3.5.1表面电阻测试：

3.5.1.1与防静电工作台表面的电阻测试方法、标准相同，请参考本文3.4章节进行测试并将结果记录在《电阻测试记录表》中。

3.5.2对地电阻测试：

3.5.2.1目的：

验证周转车接地系统（通过导电车轮或接地链和防静电地板接触泄放静电的周转车）的对地电阻是否在规定范围内，是否符合ESD防护要求。

注：

通过接地扣和接地线（非使用接地链通过防静电地板接地的周转车）的周转车对地电阻测试与货架、工作台的要求相同，具体测试参照本文“章节3.4防静电工作表面（台）和固定货架”。

3.5.2.2测试仪器：

重锤式电极、数显兆欧表、金属板

3.5.2.3测试步骤：

（a）将周转车放置在防静电地板上；

（b）移除周转车上所有ESD敏感元器件；

（c）将数显兆欧表分别与两个重锤式电极相联，如果是多层手推车或RACK架，将其中一个电极放在最上层中间位置；另一个电极放在金属板上（金属板压在推车其中一个轮子下面）如图1-14；

（d）层与层电阻：

使用表面电阻测试仪测试，测试方法为将两个电极分别放置在推车或货架上的第一层和第二层，连接电极与测试仪主机上的导线，开机读数，读数在小于1x106Ω即为合格。

第一层到第三层之层间电阻依照同样的方法测试

✧注意：

所有使用接地链通过防静电地板接地的周转车，均需使用焊接或铆接方式保证接地链牢固，并保持台车接地链清洁，以确保接地导通效果良好。

图1-14多层手推车、RACK架测试示意图

（e）将数显兆欧表拨到10V档位，如图1-12；

（f）按下测量按钮直至电阻（单位为Ω）、相对湿度、温度值显示在显示屏上，如图1-14；

（g）如果显示的电阻等于或大于1*106Ω，将数显兆欧表调节至100V档位，重新测量，如图1-13。

3.5.2.4注意事项：

（1）为保证测量结果的精确度，注意测试过程中不要触碰探头、引线和被测物体，不要使两条引线交迭。

（2）当联机一端的香蕉头插入数显兆欧表右上角的插孔中时，数显兆欧表背面的平行电极处于失效状态；

（3）当发现台车接地线遗失或断裂时，应停止使用该台车。

待修复完成后才可使用。

（4）－－有防静电地板处：

如果台车为金属，均需在台车底层加金属链拖地，与大地接地导通。

如果台车为木质或其他非导体材质，则需将台车上静电皮连上接地扣并接金属链拖地，与大地接地导通。

接地链与地面接触部分长度需5—8cm，需打磨接线处后，采取焊接或铆接方式，确保导通性。

－－无防静电地板处：

如果台车为金属，增加接地线与防静电接地系统支线相连接，确保接地良好。

如果台车为木质或其他非导体材质，则需将台车上静电皮连上接地扣与防静电接地系统支线相连接，确保接地良好。

（5）无论台车为金属还是木质材质，如在台车上操作和存放静电敏感对象时，该台车需铺设防静电桌垫，并接地（与加金属链不同）。

3.5.2.5测量频率：

来料检验、每季度一次

3.5.2.6记录表单：

《电阻测试记录表》EN-BD-084

3.5.2.7合格标准：

<1*109Ω

3.6防静电地板：

3.6.1表面电阻测试：

3.6.1.1测试仪器：

重锤式电极、数显兆欧表（如图1-4）

3.6.1.2操作说明：

a.将重锤式数显兆欧表的两个电极放置于静电地板上（如图1-15），按下测试按钮，读取数显兆欧表上读值。

b.每500平方米至少取5个测试点，且需涵盖磨损严重、经常使用处，观察测试值是否符合规定值<1*109Ω。

若测试值等于或大于1*109Ω代表超出规格外，请立即通知领班或ESD协调人员处理。

图1-15防静电地板表面电阻测试示意图

3.6.1.3注意事项：

（1）为保证测量结果的精确度，注意测试过程中不要触碰探头、引线和被测物体，不要使两条引线交迭。

（2）当联机一端的香蕉头插入数显兆欧表右上角的插孔中时，数显兆欧表背面的平行电极处于失效状态；

3.6.1.4量测频率：

每半年一次。

3.6.1.5记录表单：

《电阻测试记录表》EN-BD-084

3.6.1.6合格标准：

<1*109Ω

3.6.2对地电阻测试：

3.6.2.1测试仪器：

重锤式电极、数显兆欧表（如图1-4）

3.6.2.2操作说明：

将一条联机的一端插入数显兆欧表右上角插孔中，另一端与一个重锤式电极相联，并将电极放在防静电地板的中间位置。

另外一条联机的一端插入数显兆欧表插孔中，另一端接上鳄鱼夹，夹到防静电地板的ESD接地点上，如图1-16；

图1-16防静电地板对地电阻测试示意图

3.6.2.3注意事项：

（1）为保证测量结果的精确度，注意测试过程中不要触碰探头、引线和被测物体，不要使两条引线交迭。

（2）当联机一端的香蕉头插入数显兆欧表右上角插孔中时，数显兆欧表背面的平行电极处于失效状态；

3.6.2.4量测频率：

每半年一次。

3.6.2.5记录表单：

《电阻测试记录表》EN-BD-084

3.6.2.6合格标准：

<1*109Ω

3.6.3防静电地板的保养与清洁：

图1-17环氧树脂防静电地板

3.6.3.1环氧树脂防静电地板的清洁和保养：

a.环氧树脂防静电地板的常见变化：

1　变色：

阳光晒得特别严重的地方易泛黄；

2　磨损：

经常有人员、货物等通行的情况下易发生磨损；

3　刮痕：

通常由以外锐物划过后产生，划痕太深应及时修补，否则影响其周围涂膜的附着力；

4　软化：

在经常有开水流淌的基面，或有化学溶剂浸渍的表面上容易发生；

5　脏污：

地面上有日常清洁所不能去除的污渍，日积月累，使地面变得污旧，影响美观。

b.环氧树脂防静电地板保养及维护方法：

1　在地面全新时或完全清洁干净后打上防静电地板蜡；

2　日常清扫时适用柔软扫帚或抹布清洁；

3　污垢严重时，适用中性清洁剂清洗，然后用水过清，充分干燥；

4　地面上有溅有酸、碱等化学药品时，应及时用水清洗，如果是油类则用抹布擦拭即可；

3.6.3.3防静电地板蜡：

a.实施防静电地板蜡的意义：

（1）防静电地板蜡涂覆后可以提高或保持防静电地板的静电耗散性能；

（2）防静电地板蜡可以在防静电地板表面形成保护蜡膜，日常工作产生的地面污垢都被隔绝在蜡膜之上，不会污染地板，只需在蜡膜彻底脏污后再起蜡重塑，地面光洁如新，可以大幅延长造价昂贵的防静电地板的寿命；

（3）防静电地板蜡涂覆后可以有效地提高防静电地板的光泽度，防护地板，美化环境。

b.防静电地板蜡的实施方法：

（1）使用专业的起蜡水去除原有的蜡层，并用清水彻底清理；

（2）待地面自然风干后，上蜡两至三层，每层上蜡要均匀平整。

在正常情况下，每层地板蜡面的干燥时间为30~60分钟，干燥时需采用自然干燥的方式，以便于防静电地板蜡自然流平。

不可使用强风、加热等方式催干，以免引起地板蜡面不平，影响美观。

c.防静电地板蜡的实施频率和日常清洁：

（1）对于防静电地板，初次使用一般为一次上蜡两至三层；

（2）补蜡的周期取决于日常地板蜡面的保养、使用状况、地板蜡面磨损以及对地面电阻的要求，一般为一季度一次；

（3）补地板蜡之前使用专业清洁剂清洁地面，待彻底干燥后，再按照正常程序上蜡两至三层；

（4）日常保养使用干拖地或者干抛光，请勿使用湿拖地以及任何非专业清洁剂。

干抛光之后需要推尘，去除表面尘屑。

3.6.3.4防静电地板的日常保养：

（1）严禁带钉的鞋子在地板上行走；

（2）严禁硬物、硬件在地板上划，特别是设备运输路线及安装设备的周围要补垫胶合地板，以防地板划伤和油渍污染；

（3）严禁用带腐蚀的溶剂擦洗地板表面；

（4）应穿软底专用鞋或鞋套进入，严禁粉尘进入工作场所；

（5）严禁渗透性强的油墨、机械油污染地板表面；

（6）严防重压的拖车在地板表面拖压，生产场所小推车选用的轮胎尽量避免易脱色的黑胶轮胎，建议采用尼龙类的轮胎；

（7）地板确有污染时，用专业地面清洁剂清洗地板表面，然后在表面上打上防静电蜡；

（8）地板最长半年后必须再清洗一次，然后使用防静电地板蜡进行保养处理。

3.7设备接地、防静电地和电源地、腕带支线接地电阻测试

3.7.1设备接地电阻测试

目的：

3.7.1.1测试仪器：

万用表

3.7.1.2操作说明：

将万用表调至200Ω档位，一端表笔接触设备的非氧化金属面，另一端接触该设备的接地线测量其电阻值。

3.7.1.3量测频率：

每季度一次

3.7.1.4记录表单：

《静电压、接地电阻测试记录表》EN-BD-080

3.7..5合格标准：

设备接地电阻＜25Ω

3.7.2防静电地和电源地之间电阻的测试：

目的：

确保防静电地和电源地之间的电阻<25Ω

3.7.2.1测试仪器：

万用表

3.7.2.2操作说明：

将万用表调至200Ω档位，一端表笔接触电源地线，另一端接触防静电地线测试其电阻值。

3.7.3.3量测频率：

每季度一次

3.7.3.4记录表单：

《静电压、接地电阻测试记录表》EN-BD-080

3.7.3.5合格标准：

电源地和电源地线之间的接地电阻＜25Ω

3.7.3腕带支线接地电阻测试

目的：

验证腕带支线接地状况是否在规定范围内，是否符合ESD防护要求，包括每条有配置ESD接地线的生产线或货架。

3.7.3.2测试仪器：

万用表

3.7.3.3步骤：

（1）准备一根足够长的辅助测量线，测量时辅助测量线的电阻；

（2）辅助测量线一端接本区域接地线的末端，另一端接万用表表笔，将万用表调至Ω档位，另一支表笔接触需另外生产线的接地线末端，测出电阻值，记录数据。

3.7.3.4注意事项：

（1）生产线、货架与地线连接处必须为金属导电材质。

（2）生产线、货架与地线连接时，地线须先压接端子，以螺丝与设备锁定，如图1-18，对于螺丝无法锁牢固的情况，可采用焊锡连接。

（3）若生产线、货架本身有经油漆或其他表面处理，会影响连接点电阻值时，必须先将地线与设备连接点处，先刮去油漆或其他表面加工处理。

图1-18地线连接方式

3.7.3.5量测频率：

每季度一次。

3.7.3.6记录表单：

《静电压、接地电阻测试记录表》EN-BD-080

3.7.3.7合格标准：

腕带支线接地电阻<2Ω

3.8烙铁：

3.8.1电烙铁测试：

3.8.1.1测试仪器：

烙铁测试夹具（见图1-19）、烙铁温度测试仪（见图1-20）

3.8.1.2操作说明：

a.电阻值测试方法：

烙铁测试夹具连接电源后将电烙铁插入夹具插座待烙铁头预热后，开关闭合，表示地线连通，将万用表调至电阻200Ω档位，此时万用表黑色一端插入夹具上的黑色测试端口形成并联测试，用预热的烙铁头（非氧化金属面,不同工具的接触点参照3.8.1.3注意事项）接触万用表红色分支线连接的铜片，此时可读取电阻值。

b.漏电压测试方法：

烙铁测试夹具连接电源后将电烙铁插入夹具插座待烙铁头预热后，开关闭合，表示地线连通，将万用表调至直流电压档位200MV，此时万用表黑色一端插入黑色测试端口形成并联测试，用预热的烙铁头（非氧化金属面,不同工具的接触点参照3.8.1.3注意事项）接触万用表红色分支线连接的铜片，此时可读取电压值。

c.漏电流测试方法：

烙铁测试夹具连接电源后将电烙铁插入夹具插座待烙铁头预热后，开关打开，表示地线断开，将万用表调至电流档位200MA万用表黑色一端插入夹具上的黑色测试端口，万用表红色一端插入夹具上的红色测试端口与地线形成串联测试，此时可读取电流值。

3.8.1.3注意事项：

因工具结构所限，测量时万用表表笔接触点各不相同，调温电烙铁的表笔接触点为尖端。

图1-19烙铁测试夹具图1-20烙铁温度测试仪

3.8.1.4量测频率：

每日开班前测量（2-3次）

3.8.1.5记录表单：

《烙铁温度、漏电检测记录表》EN-BD-026

《烙铁头来料检测记录表》QC-BD-075

3.8.1.6合格标准：

来料测试标准：

接地电阻<2Ω,漏电压<20mv,漏电流<10mA，

生产线测试标准：

接地电阻<10Ω,漏电压<20mv温度值：

依SOP规定；

3.9静电防护材料（防静电组件盒、托盘、周转箱、箱盖、中空隔板、IXPE泡棉、防静电普通泡棉、防静电包装袋等）：

3.9.1表面电阻测量：

3.9.1.1测量仪器和操作方法：

与防静电工作表面之表面电阻测试仪器和操作方法相同，请参考本文3.4章节进行测试并记录。

3.9.1.2量测频率：

每种静电防护材料测量频率不尽相同，具体请参考《静电防护控制程序》表五。

3.9.1.3记录表单：

《静电防护材料定期检验记录表》。

3.9.1.4合格标准：

每种静电防护材料合格标准不尽相同，具体请参考《静电防护控制程序》表五。

3.9.2低带电性检测：

3.9.2.1测试仪器：

EFM-022静电场测试仪

3.9.2.2操作说明：

（a）仪器操作

1.旋转叶片式探测头

2.探测头保护盖（先开机再打开）

3.2cm距离标杆（可拆卸）

4.精度调节孔（QC标签后面）

5.零位调节孔

6.LCD显示屏

7.仪器外壳（导静电）

8.功能键

9.接地孔

10.电池舱（仪器背面）

（b）Function/on功能键：

仪器所有操作通过中间的

功能键完成，基本操作如下：

1．开机：

按1次功能键

2．关机：

快速按2次功能键

3．读数锁定：

按1次功能键锁定/解锁读数

4．仪器设置：

按住功能键直到“ChangeMode”出现在显示屏上，然后每按1次功能键可以选择不同的测试距离或转为CPS模式

（c）测量静电位：

按1次功能键开机，然后取下探测头保护盖。

（d）EFM-022默认测试距离为2cm,读数单位为V、KV。

读数小等于999V，显示V；读数大于999V，单位自动切换为KV。

（见图1-20）

（e）屏幕上行显示设置的测试距离，下行显示所测到的静电位。

测试过程中按1次功能键锁定当前读数，这时上行显示“hold”，下行显示锁定的读数。

再按1次功能键解除锁定，屏幕继续显示实时读数。

当屏幕显示“overflow”，表示超出量程，这时应选择更大的测试距离。

距离被测物体2cm可测量0～+/-20KV的静电位。

如果被测物体表面电位高于20KV或表面凹凸粗糙时，应选择更大的测量距离；如果被测物体表面电位低于10KV或表面平整时，可选择1cm测试距离以获得更高测试精确度。

（f）

图1-20静电电压测试图

3.9.2.3注意事项：

（1）测量静止物体静电电压或摩擦后静电电压时需考虑现场环境。

例如普通PE塑料袋，日常工作时是以手拿取，则测量时需用带手套的手单向摩擦塑料袋，摩擦频率为20次/min,记录最大值。

（2）注意：

必须先开机然后取下保护盖，保护盖是提供一个零位检测参考。

（3）注意：

仪器必须有效接地，仪器外壳采用静电材料，当用表人员接地良好情况下（例如：

佩戴手环/静电手套、静电鞋等），仪器本身可以不通过接地线接地。

（4）注意：

使有2cm绝缘标杆可方便地控制测试距离

（5）注意：

每次关机后，仪器返回默认的2cm距离

3.9.2.4量测频率：

每种静电防护材料测量频率不尽相同，具体请参考《静电防护控制程序》表五。

3.9.2.5记录表单：

《静电防护材料定期检验记录表》。

3.9.2.6合格标准：

每种静电防护材料合格标准不尽相同，具体请参考《静电防护控制程序》表五。

3.10EPA静电压的检测：

3.10.1目的：

降低静电防护区域内静电放电风险，需对EPA内静电源进行识别与有效管控。

当EPA区域存在绝缘体，或某种动作或行为有静电安全顾虑时须依规定测试。