设备名称技术参数及功能要求.docx
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设备名称技术参数及功能要求
设备名称、技术参数及功能要求
序号
仪器名称
货物需求及技术要求
1
无掩模激光直写机
1.技术指标：
1.1激光光源
*1.2工作平台可接受最大衬底尺寸为6×6
*1.3最大直写面积为125×125mm²
1.4高精密光学装置
1.5高精密的结构摄像系统
*1.6最小曝光能力可达1微米
*1.7气压差式自动聚焦装置
1.8数据转换功能,设备控制操作计算机
*1.9直写模式：
直写模式
Ⅰ
Ⅱ
Ⅲ
Ⅳ
最小特征尺度（μm）
0.6
1
2.5
5
光绘速度（mm2/min）
1
5
35
90
地址网格（nm）
20
40
100
200
边缘精度（3σ，nm）
100
120
200
400
线宽均匀性（3σ，nm）
150
200
400
800
对准精度@50x50mm（3σ，nm）
200
200
400
800
2.设施要求：
2.1主机重量：
不超过100kg
2.2电源供应器重量：
不超过11kg
2.3环境温度要求：
±1ºC
2.4环境湿度要求：
50%±10%（non-condensing）
2.5净房等级要求：
Class1000orbetter
2.6吸真空要求：
0.5bar
2.7压缩空气要求（无水无油）：
6-10bar,Stability±0.5bar
2.8电力要求：
230VAC/6A
3.配套设备要求：
3.1主机一台；
3.2高精度控制空压机一台；
3.3干燥机一台；
3.4平衡台一台；
2
倒置荧光显微镜
一、用途：
可观察细胞培养，用于研究工作。
二、工作条件：
1.适于在气温为摄氏-40℃～＋50℃的环境条件下运输和贮存，在电源220V（10%）/50Hz、气温摄氏-5℃～40℃和相对湿度85%的环境条件下运行。
2.配置符合中国有关标准要求的插头，或提供适当的转换插座。
三、技术参数：
*1.光学系统：
无限远光学系统，齐焦距离不小于60mm。
2.照相V型光路，荧光信号强，观察U型光路显微镜镜体，操作空间大。
3.主机扩展功能强，双层光路设计，在双层荧光光路时，主光路左、右二个图像输出口功能不受影响。
4.主光路：
大孔径光学设计，图像输出口有效视野最大可实现直径25mm视野.
5.聚焦机构：
备有聚焦机构同轴粗、微调旋钮（最小微调刻度单位：
1μm），行程≥10mm，粗调再定焦机构。
7、明场照明：
高亮度，长寿命LED照明，内置复眼式透镜，寿命不少于10000小时。
8.载物台：
平行滑动载物台，行程：
114mm（X）×73mm（Y），配置通用培养器皿适配器；
9.目镜：
10倍目镜，视野≥22，屈光度可调。
*10.物镜配套：
20X,40X相差为切趾型相差，以实现不同细胞同期时，都能高清晰成像。
10.1长工作距离荧光相差物镜4x/0.13wd=17.1mm
10.2长工作距离平场荧光相差物镜10x/0.30wd=16.0mm
10.3长工作距离超级平场荧光ADM相差物镜20x/0.45wd=8.2-6.9mm，带培养器皿底部厚度校正0-2.0mm
10.4长工作距离超级平场荧光半复消色差物镜40x/0.6wd=3.6-2.8mm，带培养器皿底部厚度校正0-2.0mm；
*11.聚光镜：
多功能聚光镜，N.A≥0.52，W.D≥30mm；相差型专用透射光聚光器，带中心调节装置；具有明场、相差等功能
12.反射荧光系统
12.1荧光光源：
100W长寿型金属卤化汞灯。
*12.2激发块转盘：
大孔径6孔位，最大孔径可实现直径32mm通光，光路中内置灰度滤色片，视场光阑、孔径光阑可调，荧光夜视标，具有独特的消除杂散光机构，光吸收涂层可吸收99%以上的杂散光。
12.3荧光滤色块：
带通型蓝色（B）、绿色（G）、紫外（U）滤色镜块;
13.彩色数码CMOS相机：
同厂同品牌摄像系统
13.1物理像素：
不小于590万。
13.21/1.8英寸芯片。
13.3最高分辨率2560*1920。
13.4能同步显示和静态捕捉图像，同步显示23帧/秒完整图象。
13.5高性能信噪比，可捕捉良好的图像。
13.6曝光时间：
130usec~60sec。
*13.7最高采集速度：
37幅/秒。
13.80.5XC接口。
14.显微分析软件：
14.1采集图像：
支持多种型号专业数码相机，界面直观，操作容易，使用户更加容易的集中精力关注生物试验过程；
14.2对图像中的直线显示线上灰度强度变化，从而反映图像中的变化特性；
14.3在图像上添加注释、箭头等功能，可以方便的表示图像中的重点关注部位；
14.4调节亮度、对比度、伽玛值以及灰度显示范围，并可以单独调节RGB各通道的亮度，方便地对图像添加伪彩色、改变色彩模式以及色阶位数等功能，可以改变图像分辨率、旋转图像等各种操作，支持反转、低通、高通、锐化等滤镜，使图像关注点和各荧光通道获得最佳的显示效果；
14.5对单荧光通道图片做色彩合成，方便显示多染标本的图像；
14.6合成透射光和荧光通道图像，显示荧光在细胞上的定位图像；
14.7方便的输入硬件信息即可实现添加标尺功能，从而显示图像的放大比例关系；
14.8手动实时拼图处理，轻松获取高分辨率大视野图像；
14.9可以测量直线长度、曲线长度、矩形面积、圆面积、周长、角度等多个参数，并把测量结果输出到EXCEL，并于后期分析处理；
14.10可以从之前软件获取的图像中再次调入设备和采集参数的信息，以便重复用相同的参数进行成像；
15.台式电脑一台：
i5处理器、4GB内存/1TB硬盘/1GB独立显卡、20英寸液晶
16.主机附件及辅助设备等组成情况：
倒置显微镜、成像系统、台式电脑工作站。
17.售后服务与培训
17.1免费安装调试；
17.2安装调试经用户验收合格当天起，免费保修期1年；
17.3终身维修；
3
大型正置式金相显微镜
一、技术参数：
1.显微镜主机部分：
*1.1采用原装进口研究级正置式材料显微镜，整体光路系统支持25mm视野观察。
并采用国际标准的45mm齐焦距离，保证良好的兼容性。
1.2主机采用内置供电系统，无外置电源，保证显微镜一体性。
1.3光学系统：
采用最先进的HCS平行无限远复消色差校准光路，所有光学部件和光路统一消色差设计；最大限度地消除杂散光等干扰因素,提供高衬度、高分辩率的图像质量。
1.4放大倍数：
50X~1000X（10倍标准目镜下）
1.5观察方式：
配置反射明场、暗场、斜射照明等三种观察方式；
*1.6配置反射光斜射照明模块：
采用波轮式设计，可随时调整斜射照明的角度，实现对样品起伏表面的立体观察；
1.7反射明场模块：
配置Smith专用反射明场模块，提高观察对比度和衬度，实现最高质量明场观察。
*2.反射光路部分：
2.1反射光路需配置4位工业专用功能模块，可方便的切换明场、暗场等观察方式，4位工业专用功能转盘转换效率高，同时保证升级空间。
2.2辅助光阑调节系统：
配置CDA彩色编码光阑辅助系统，实现光阑大小调节直接与物镜倍率相对应，更准确的控制景深，提供最佳对比度、衬度，减少人为粗略调节带来的视域明暗差异、衬度差异。
此外，光阑系统必须采用可调中心设计，长时间使用可校准中心。
3.镜头及观察筒部分：
3.1观察筒：
超宽视野三目观察镜筒，视场数不低于25mm；
3.2目镜：
配置10X超宽视野目镜，视场数不低于25mm，同时配10mm/100格目镜测微尺，两只目镜屈光度均可调节。
*3.3物镜：
配置高分辨率反差增强型半复消色差物镜5X、10X、20X、50X、100X五只，所有物镜孔径不低于32mm，保证最大通光亮；采用高折射低色差最顶级光学级萤石材料，提供最佳衬度和对比度。
采用特殊镀膜工艺技术，不使用药剂防霉，以保证即使恶劣环境下长时间使用也不长霉。
为了保证高倍观察效果，50X和100X物镜满足如下参数：
50X,NA≥0.8，WD≥1.1mm；100X，NA≥0.75，WD≥4.7mm；既保证高分辨率，又保证足够的工作距离，方便高倍微观观察。
4光源及机械部分：
4.1光源：
采用研究级科勒照明LED高亮光源，功率不低于15W，保证提供足够照明。
LED光源色温恒定，克服卤素灯光源有色偏和发热、闪烁的弊端，有效寿命不低于35000小时。
光源要求主机直接供电，不接受外置电源。
4.1物镜转换器：
5孔高精度物镜转换器，采用大孔径设计，每个物镜孔直径不低于32mm，以实现最大通光量观察。
4.2Z轴调焦机构：
采用粗、中、细三级高精度调焦机构，实现更精确调焦；并且调焦手轮高度可调，同时适合不同手型大小和不同臂长的使用者。
4.3高性能高耐磨机械载物台：
XY同轴控制手柄，行程不低于150mm×150mm。
4.4载物台的X/Y轴调节旋钮松紧度（张力）可调。
载物台控制手柄可左右互换，并且手柄可上下伸缩，高低可调，方便不同操作人员使用；
5.数码采集部分：
*5.1显微镜厂家原厂生产彩色数码摄像头，选用不低于1000万物理像素（3648X2736）彩色高清（HD）摄像头；
5.2独立式操作：
无需连接电脑即可进行图像采集和视频录制，所有操作通过无线遥控器实现。
所采集的数据高速存储在可取出的SD卡上。
无线遥控器可设定所有摄像头参数，只需一个按键即可捕捉和查看图像或影像片段。
5.3快速实时图像传输：
可实现每秒30帧的全高清分辨率（1920x1080）动态实时图像传输观察，最大限度减少拖尾现象；具备HDMI高清接口，可进行高清图像及视频传输；
6软件和图像输出设备：
*6.1专业版图像分析系统，显微镜厂家原厂生产，非国内定制软件；
6.2图像采集：
爆光时间，亮度，对比度，白平衡，补偿等；图像处理：
锐化，增强，对比度，背景处理等；
6.3图像分析：
可实时添加比例尺，可实时测量任意两点间距离，可任意添加目标标注等;全面的图像浏览器，包括注释，图像叠加，图像画廊和图像比较；
6.4为了便于使用和人机工程学的面向工作流的用户界面；对实验条件直观的设置进行快速设置和收集；优化数据处理的快速采集和大型数据集显示；
6.5易于操作模式的用户界面查看用户的具体布局，组织和导出数据；项目树的数据管理保存，重命名，复制，删除，导出为TIFF，JPEG，QuickTime的AVI，MPEG-4，WMV，ASCII；
*6.6具备二维图像测量功能，可测量强度，长度和面积测量；通过图像栈测量面积强度；显示实时图像；合并，裁剪和图像增强处理；
6.7具备图像拼接功能，实现大视野观察；
6.8电脑：
商务电脑一台，市场主流配置，1T硬盘，4G内存，1G独显，22寸液晶屏幕。
二、售后服务条款
1.安装：
签订合同之后，制造商对仪器安装场所的安装条件、布局等予以咨询和确认。
2.调试：
仪器设备到达买方现场之后，制造商根据买方指定的日期，安排技术人员按时赶到现场，进行清点、安装、调试工作。
3.现场培训：
制造商的工程师在现场安装、调试、验收之后，为买方使用以及维护人员进行操作、使用和日常维修等技术培训，使用户能独立操作使用。
4.备品备件服务：
制造商通过设在中国的保税仓库，及时地向用户提供修理和改造用的零部件。
5、质保期：
1年，从设备验收合格之日起算。
质保期内制造商免费维修仪器，免费更换非人为损坏部件。
制造商负责仪器终身维修。
6.售后服务：
质保期内免费提供损坏零件（非人为损坏）和服务，超过保修期，卖方也需向买方提供优惠而广泛的终身售后服务；在购买仪器超过保修期后，买方仍然可享受卖方提供的技术支持、应用咨询、使用问题解答以及例检。
质保期外的维修，只收取零件费用；对使用者提出的问题，除了晚上、双休日和假期，4小时内响应进行电话支持。
必须上门维护的48小时内到达现场。
4
电子束图形发生器
技术指标：
一、电子显微镜配件：
1.工作条件：
1.1电源：
220V（±10％），50Hz；单相
1.2环境：
20±5℃
1.3相对湿度：
＜60％
1.4连续工作时间，连续操作。
2.技术说明：
2.1主要用于材料表面的微观形貌的高分辨观察，可配备X射线能谱仪等其他附件，应具有配备X射线能谱仪、电子背散射衍射（EBSD）分析系统等的相应安装接口。
2.2技术参数
*2.21分辨率：
二次电子图像：
0.8nm（15kV）,1.0nm（1kV）
分析模式分辨率：
3.0nm（15kV,5nA,WD=8mm）
2.22背散射电子像：
1.6nm（15kV）
2.23加速电压:
0.1-30KV连续可调
2.24束流范围：
1pA～200nA连续可调
2.25放大倍率25X–1,000,000X；放大倍数粗、细模式连续可调，具有随着工作距离或加速电压的变化自动精确校正、补偿、预设等功能
2.3真空系统
2.31真空度：
电子枪室高真空10-7Pa,样品室真空10-4Pa
2.32泵系统：
分子泵、离子泵和机械泵
2.33气锁保护系统：
防止大开门设计所带来的水汽和灰尘进入
2.4电子光学系统
*2.41电子枪：
高稳定性浸没式肖特基（Schottky）热场发射电子源，能自动合轴调整
*2.42聚光镜：
2级电磁透镜会聚系统，束流强度可连续可调；
光阑角度控制透镜控制束斑尺寸,20nA以下无需手动切换光阑
2.43物镜光阑：
4级可调、X/Y方向精细可调对中
2.44消像散器：
八级电磁系统，具有自动消像散功能
2.45扫描线圈：
2级电磁系统，具有扫描图像旋转连续可调，并随工作距离能自
动旋转补偿等功能
2.46自动调整功能：
具有自动透镜控制、自动合轴、自动聚焦、消像散、反差、
亮度调节功能，样品台导航控制等功能，并兼有手动调整功能
2.5样品室和样品台
2.51样品台：
5轴马达驱动全对中样品台,示意图在监视器上显示
2.52样品台尺寸可装直径不小于150mm的样品，并提供相应的waferholder。
2.53行程：
X＝70mm,Y=50mm,Z=1.5-25mm,倾斜-5°-+70°,旋转360°
2.54样品更换：
快速气锁更换样品（直径最大150mm），时间不超过3分钟
2.55附件接口：
样品室提供包括二次电子探测器、背散射电子探测器、X射线能谱仪（EDS）、背散射电子衍射（EBSD）系统、红外CCD照相机、波谱仪（WDS）等不少于11件接口，且二次电子探测器、EDS和EBSD接口分布应有利于多种手段的原位综合分析的最优化设计。
2.6探测器及成像系统
2.61高位和低位二次电子探测器：
二次电子像
2.62背散射电子探测器：
纯成份像和形貌像
2.63成像模式：
同时得到二次电子像、背散射电子像、二次电子和背散射电子混合信号图像，且其相对含量连续可调
2.64探测器可以结合GB模式使用，从而减少电子束对样品造成的损伤，增加表面信息，抑制充电效应。
2.7扫描电镜控制系统
2.71主机：
带有刻录功能，Windows®
2.72显示器：
23.8英寸LCD
2.73电镜控制软件
a）具有自动聚焦、自动消像散、自动对比度/亮度调节等功能
b）具有鼠标控制放大、聚集、消像散等功能，且放大倍数同步调整
d）具有样品台自动对中功能
c）图像格式：
BMP，JPEG，TIFF
d）图像显示：
可以全屏、分屏的形式显示和保存
e）图像测量：
具有点、线、角度、直径等图像测量功能
2.74安全保护：
具有突然断电、断水、真空状态不良保护措施
3.附件及备品备件
3.1提供设备标准配置和随机标准附件，以及质量保证期内所需的必要的备品备件（包括但不限于专用维护工具、真空脂、抛光膏、手套、无尘布、导电胶带等），列出清单，并计入投标总价。
3.2卖方应保证在10年内提供优质优价的备品备件以及优质的维修服务。
3.3设备交货时应提供以下完整的技术文件资料：
a）设备出厂检验报告、产品合格证
b）仪器设备的安装手册、操作手册、工作软件说明书、维修保养手册
c）设备原理图和线路图；
d）验收标准和验收方法；
4.技术服务
4.1安装、调试
卖方必须提供设备现场安装及调试服务，并承担相应的全部费用。
卖方或设备制造厂必须派遣称职的技术人员到买方现场负责设备安装和调试工作，并有责任解答买方技术人员提出的问题。
卖方应对安装和调试工作进行详细记录，安装和调试工作结束后，由卖方人员在记录文件上签字并交买方备案。
设备安装和调试达到要求后方可进行最终验收。
*4.2保修期：
设备保修期为2年,其中电子枪保修期至少为3年
4.3要求电镜厂家在中国大陆设有三个以上固定维修站，并配有专业维修工程师，保证提供及时优质的售后服务。
二、图形发生器主体：
1.硬件指标：
1.1基于PCI技术的图形发生器硬件，扫描频率为6MHz,且6MHz都可用于像素的自由选址。
1.2含有主动抗尖峰脉冲电路，对应温度微小漂移
*1.3需配备6个16位高速数据收集和控制系统，通过硬件精确修正写场的平移、倾斜、旋转等畸变，可以控制步长低于纳米量级，最小步距增量不大于0.1nm。
*1.4可设定写场范围不小于0.5umx0.5um~2mmx2mm
1.5提供配有法拉第杯的通用样品台，采用卡钳的方式固定小样片，样品尺寸最大为20x20mm。
*1.6提供用于写场精细校准的CHESSY。
1.7提供束闸及皮安表
1.8高速图像采集和标记注册（400ns视频ADC）
1.9消光器控制电路TTL5V
1.11可连接电缆到SEM或FIB和RaithPC
2.软件指标
2.1多用户环境，每个用户可以使用独立的文件和参数。
2.2无缝集成GDSII编辑器，可对曝光图形进行分层设计（不低于64层），具有处理复杂图形的能力。
2.3数据输入格式可以为DXF,ASCII,CIF,etc
2.4提供多种扫描方式可供选择。
提供圆形扫描模式，用于圆形或环形结构的扫描填充，保证图形边缘的光滑，以及低数据量的快速处理。
2.5可手动或自动方式完成套刻工艺。
2.6提供表面编辑模块，可直接在SEM图像上编辑图形，进行精确套刻功能。
2.7模式对齐，用户辅助，完全自动化
2.8带有参数和系统信息日志的作业控制功能
2.9第二套离线数据处理软件许可
3.气体辅助和/或铣削应用的表面编辑模块:
3.1CAD工具箱为
3.11电子/离子束诱导沉积（EBID/IBID）
3.12铣削用离子束的精确位置
3.1.3CAD元素是直接编辑和叠加到SEM或FIB图像
3.1简化受控电子束和离子束诱导沉积
3.2工具箱Starterkit包含
3.21镊子，螺丝刀，艾伦钥匙
3.22用于聚焦助剂的乳胶球
3.23抗蚀剂尺寸为10×10毫米、硅上的PMMA为100纳米的样品
3.24带有Au标记阵列的Si芯片
3.3标准样品架
通用样本保持器是一个简单的解决方案，以固定小样本。
将提供CHESSY作为校准标准，作为精确写入字段调整的参考。
3.31样本大小可达20×20毫米
3.32法拉第杯用于探头电流测量
3.33CHESSYSEM测试及校准标准
3.4皮安表
*3.41当前读取与pA分辨率和集成时间为几秒。
3.5束闸
3.51落料板总成，以适应PCD端口
3.52集成法拉第杯钛冲裁板
3.53脉冲驱动放大器（在板上）和电源
3.54BNC连接器上的探头电流显示和探头电流输出
3.555V（TTL）消隐脉冲输入
3.56最大脉冲频率2MHz
3.57320v最大偏转电压
*3.58光束开/关时间约为50nsec
3.59最大HT电压40keV
3.5.10紧凑的桌面控制器与状态显示
3.5.11电源电压100V（SEM电源）
4.技术服务
4.1安装、调试
卖方必须提供设备现场安装及调试服务，并承担相应的全部费用。
卖方或设备制造厂必须派遣称职的技术人员到买方现场负责设备安装和调试工作，并有责任解答买方技术人员提出的问题。
卖方应对安装和调试工作进行详细记录，安装和调试工作结束后，由卖方人员在记录文件上签字并交买方备案。
设备安装和调试达到要求后方可进行最终验收。
5
低阻测试系统
一、低阻测试设备1：
*1.电流:
±（100fA–100mA）
*2.电阻:
10nΩ到100MΩ（需搭配低阻测试设备2）
3.扫描点:
65,536（64k）
4.PC界面:
GPIB、RS-232、以太网络
*5.内部波形产生器:
1mHz-100kHz，搭配每秒10M取样点输出更新率
6.1014Ω输出阻抗，确保稳定电流输出进入具有广泛输出阻抗的负载。
7.65000点输出内存，允许从电流输出直接执行全方位测试电流扫描。
8.10mV步进中从0.1V到105V的输出电压兼容性，防止怀疑电压过载的装置可能损坏。
9.从4pA峰值到210mA峰值的输出交流电流，支持对组件和材料的交流进行特性分析。
10.10MHz输出更新率，产生最高达100kHz的平滑正弦波。
11.内建标准和任意波形产生器，搭配1mHz到100kHz频率范围，支持做为复杂的可程序设计负载或传感器讯号，以及支持噪声仿真。
12.短至5μs的可程序设计脉波宽度，在脆弱低功率组件中限制功率损耗，以及在与其他奈伏电压表搭配使用时，支持低至50μs的脉冲I-V量测。
13.可重新配置的三轴输出，简化比对应用的防护需求作业。
二、低阻测试设备2：
1.电压:
1nV-100V
2.操作温度:
-200°C-1820°C
*3.电阻:
10nΩ到200MΩ
4.通道数:
2
5.缓冲区大小:
1,024rdgs
6.1nV灵敏度提供精确的超低电压量测。
7.通常，在1秒响应时间中只有15nVp-p噪声，而在60毫秒中有40–50nVp-p噪声，确保在广泛实用的响应时间里都是低噪声位准。
8.双信道，支持量测电压、温度或未知电阻与参考电阻的比率。
9.量测周期会同步至电源线交流周期，由于开始于线路周期的不同相位的读数而将变化降至最低。
结果对线路干扰有非常高的耐受性，因此略需或无需屏蔽和滤波功能。
内建热电耦线性化和冷接点补偿，简化进行准确的温度量测作业。
10.内部极性反向量测技术，消除热错误输出。
11.最适合与其他电流输出搭配使用，允许在进行差动电导、脉冲和电阻量测时，这两种仪器有如单一仪器般操作。
*12.与其他电流输出结合时，采用差值模式电流反向量测技术，可进行低至10nΩ的电阻量测。
13.与其他电流输出结合可同步化讯号脉波和量测，可将灵敏感应温度DUT的功率消耗量降至最低。
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