精密和超精密加工技术.docx
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精密和超精密加工技术
精密和超精密加工技术
[填空题]
1简述精密和超精密加工技术对发展国防和尖端技术的重要意义。
参考答案：
超精密加工技术在尖端产品和现代化武器的制造中占有非常重要的地位。
国防方面，例如：
对于导弹来说，具有决定意义的是导弹的命中精度，而命中精度是由惯性仪表的精度所决定的。
制造惯性仪表，需要有超精密加工技术和相应的设备。
尖端技术方面，大规模集成电路的发展，促进了微细工程的发展，并且密切依赖于微细工程的发展。
因为集成电路的发展要求电路中各种元件微型化，使有限的微小面积上能容纳更多的电子元件，以形成功能复杂和完备的电路。
因此，提高超精密加工水平以减小电路微细图案的最小线条宽度就成了提高集成电路集成度的技术关键。
[填空题]
2简述精密和超精密加工技术的发展。
参考答案：
精密和超精密加工的发展分为两大方面：
一是高密度高能量的粒子束加工的研究和开发；另一方面是以三维曲面加工为主的高性能的超精密机械加工技术以及作为配套的三维超精密检测技术和加工环境的控制技术。
[填空题]
3目要发展精密和超精密加工技术，应重点发展哪些方面的内容？
参考答案：
根据我国的当前实际情况，参考国外的发展趋势，我国应开展超精密加工技术基础的研究，其主要内容包括以下几个方面：
1）超精密切削磨削的基本理论和工艺；
2）超精密设备的精度，动特性和热稳定性；
3）超精密加工精度检测及在线检测和误差补偿；
4）超精密加工的环境条件；
5）超精密加工的材料。
[填空题]
4金刚石刀具超精密切削的切削速度应如何选择？
参考答案：
超精密切削实际选择的切削速度，经常是根据所使用的超精密机床的动特性和切削系统的动特性选取，即选择振动最小的转速，因为在该转速时表面粗糙度最小，加工质量最高，获得高质量的加工表面是超精密切削的首要问题。
使用质量好，特别是动特性好，振动小的超精密机床可以使用高的切削速度，可以提高加工的效率。
[填空题]
5试述各工艺参数对超精密切削表面质量的影响。
参考答案：
切削速度对加工表面粗糙度基本无影响。
当超精切削采用很小的进给量，加工表面粗糙度值减小。
刀具有修光刃的时候，可减少残留面积，减小加工表面的粗糙度值。
背吃刀量减小将使加工表面粗糙度加大。
[填空题]
6超精密切削时，金刚石刀具切削刃锋锐度对切削变形和加工表面质量的影响如何？
参考答案：
锋锐的金刚石刀具可加工出表面粗糙度值较小的加工表面。
用锋锐金刚石车刀切削时，切屑变形系数明显低于用较钝的刀具切削时的切屑变形系数。
[填空题]
7金刚石刀具晶面选择对切削变形和加工表面质量的影响如何？
参考答案：
（100）晶面的车刀切削时的切削变形比用（110）晶面的车刀要小。
（100）晶面的车刀和（110）晶面的车刀的加工表面粗糙度相差不多。
（100）晶面车刀切出的表面层残余应力小于用（110）晶面的车刀所切出的，特别是切向残余应力。
[填空题]
8超精密切削对刀具有哪些要求？
为什么单晶金刚石是被公认为理想的、不能代替的超精密切削的刀具材料？
参考答案：
为实现超精密切削。
刀具应具有如下性能。
1）极高的硬度、极高的耐磨性和极高的弹性模量。
以保证刀具有很长的寿命和很高的尺寸耐用度。
2）刃口能磨得极其锋锐，刃口半径值极小，能实现超薄切削厚度。
3）刀刃无缺陷，切削时刃形将复印在加工表面上，能得到超光滑的镜面。
4）和工件材料的抗粘结性好、化学亲和性小、摩擦系数低，能得到极好的加工表面完整性。
天然单晶金刚石有着一系列优异的特件。
如硬度极高、耐磨性和强度高、导热性能好、和有色金属摩擦系数低，能磨出极锋锐的刀刃等。
因此虽然它的价格昂贵，仍被一致公认为理想的、不能代替的超精密切削刀具材料。
[填空题]
9简述金刚石晶体的各向异性。
参考答案：
1）（100）晶面的摩擦系数曲线有4个波峰和波谷；（110）晶面有两个波蜂和波谷；（111）晶面有三个波峰和波谷；
2）如都以摩擦系数低的波谷比较，（100）晶面的摩擦系数最低；（111）晶面次之；（110）晶面最高；
3）如比较同—晶面的摩擦系数值的变化，（100）晶面的摩擦系数差别最大；（110）晶面次之；（111）晶面最小。
[填空题]
10简述金刚石晶体的激光定向原理和方法。
参考答案：
金刚石晶体的激光定向原理就是利用金刚石在不同结晶方向上，晶体结构不同，对激光反射而形成的衍射图像不同而进行的。
方法为：
由氦氖激光管产生激光束，通过屏幕上的小孔，照射到金刚石表面。
全刚石表面存在一些在生长过程中形成的形状规则的晶界晶纹和微观凹坑。
当相干性比较好的激光照射到金刚石晶体表面上的这些晶纹和微观凹坑时，如被激光照射的金刚石表面是某晶面面网。
转动金刚石使被测晶面与激光束相垂直，激光被反射到屏幕上，形成特征衍射光像，可根据衍射光像的图形知道被激光照射的晶面是什么晶面，也就确定了该晶面在金刚石晶体内的空间方位。
[填空题]
11简述直线修光刃和圆弧修光刃金刚石刀具的优缺点。
参考答案：
直线修光刃制造研磨容易，这种刀要求对刀良好，直线修光刃应严格和进给方向一致。
圆弧修光刃刀具对刀容易，使用方便，但刀具制造研磨麻烦，价格要高些。
[填空题]
12简述金刚石刀具的金刚石固定方法。
参考答案：
机械夹固；粉末冶金法固定；粘结或钎焊固定。
[填空题]
13单晶金刚石刀具质量的好坏如何评定？
参考答案：
衡量金刚石刀具质量的好坏，首先是能否加工出高质量的超光滑表面，其次是它能否有较长的切削时间保持刀刃锋锐，仍能切出极高质量的加工表面。
[填空题]
14何谓游离磨料加工？
参考答案：
磨粒或微粉不是固结在一起，而是成游离状态的加工方法叫做游离磨料加工。
[填空题]
15固结磨料加工和游离磨料加工各有何特点？
参考答案：
固结磨料加工有精密砂轮磨削、油石研磨、精密珩磨、精密超精加工、砂带磨削和砂带研抛。
游离磨料加工有精密研磨和精密抛光。
[填空题]
16在表示普通磨料磨具和超硬磨料磨具的技术性能时，有哪些技术性能的表示方法相向？
有哪些技术性能的表示方法不同？
为什么？
参考答案：
相同的技术性能有：
显微硬度、抗弯强度、抗压强度和热稳定性。
普通磨具中磨料的含量用组织表示，它反映了磨料、结合剂和气孔三者之间体积的比例关系。
超硬磨具中磨料的含量用浓度表示，它是指磨料层中每1立方厘米体积中所含超硬磨料的重量，浓度越高，其含量越高。
普通磨具的硬度是指磨粒在外力作用下，自磨料表面脱落的难易程度。
超硬磨具没有硬度项。
[填空题]
17简述涂覆磨具制造中三种涂覆方法的特点和应用场合。
参考答案：
（1）重力落砂法先将粘接剂均匀涂敷在基底上，再靠重力将砂粒均匀地喷洒在涂层上，经烘干去除浮面砂粒后即成卷状砂带，裁剪后可制成涂覆磨具产品，整个过程自动进行。
一般的砂纸、砂布均用此法，制造成本较低。
（2）涂覆法先将砂粒和粘接剂进行充分均匀地混合，然后利用胶辊将砂粒和粘接剂混合物均匀地涂敷在基底上。
粘接剂和砂粒的混合多用球磨机，而涂敷多用类似印刷机的涂敷机，可获得质量很好的砂带，一般塑料膜材料的基底砂带都用这种方法。
简单的涂覆法也可用喷头将砂粒和粘接剂的混合物均匀地喷洒在基底上，多用于小量生产纸质材料基底的砂带，当然质量上要差一些。
精密和超精密加工中所用的涂覆磨具多用涂敷法制作。
（3）静电植砂法其原理是利用静电作用将砂粒吸附在已涂胶的基底上，这种方法由于静电作用，使砂粒尖端朝上，因此砂带切削性强，等高性好，加工质量好，受到广泛采用。
[填空题]
18简述超硬磨料砂轮的各种修整方法的机理、特点和应用范围。
参考答案：
车削法：
用单点、聚晶金刚石笔，修整片等车削金刚石砂轮以达到修整目的。
这种方法的修正精度和效率都比较高，但修整后的砂轮表面平滑，切削能力低。
磨削法：
用普通磨料砂轮或砂块与超硬磨料砂轮对磨进行修整，普通磨料（如碳化硅、刚玉等）磨粒被破碎，对树脂、陶瓷、金属结合剂起切削作用，失去结合剂把持的超硬磨粒就会脱落。
这种方法的效率和质量都较好，但普通砂轮、砂块磨损相当迅速，是目前最为广泛采用的修整方法。
滚压挤轧发：
滚压法是用碳化硅、刚玉、硬质合金或钢铁等制成修整轮，与超硬磨料砂轮在一定压力下进行自由对滚（修整轮无动力），使结合剂破裂形成容屑空间，并使超硬磨粒表面崩碎形成微刃，该法修整效率低，修整压力大，要求磨床刚度高。
喷射法：
（1）气压喷砂法将碳化硅、刚玉磨粒从高速喷嘴喷射到转动的砂轮表面上，从而去除部分结合剂，使超硬磨粒突出。
主要用于修锐，效果较好。
（2）液压喷砂法用高压泵打出流量为20L／min、压力为150Pa的冷却液，当冷却液进入喷嘴的旋涡室时，形成低压，从边孔中吸入碳化硅或刚玉等磨粒及空气，与冷却液形成混合液，并以高速从喷嘴喷射到转动的砂轮上。
这种方法修锐的砂轮精度高、锋利、修锐时间短。
电加工法：
（1）电解修锐法利用电化学腐蚀作用蚀除金属结合剂。
这种方法的装备简单，可方便地实现在线修锐，多用于金属结合剂砂轮的修锐，非金属结合剂砂轮无效，该方法不能用于整形。
（2）电火花修整法其原理是电火花放电加工，适用于各种金属结合剂砂轮。
若在结合剂中加人石墨粉，也可用于树脂、陶瓷结合剂砂轮。
修整时可用电火花线切割方式和电火花成型方式进行修整。
若配置数控系统，尚可进行成形修整。
这种方法既可整形，又可修锐，效率较高，质量可与磨削法相当。
超声波振动修整法：
用受激振动的簧片或超声波振动头驱动的幅板作为修整器，并在砂轮和修整器间放入混油磨料，通过游离磨料撞击砂轮的结合剂使超硬磨粒突出结合剂。
该法修锐效果较好，用于整形较少。
[填空题]
19在超硬磨料砂轮磨削时如何选用磨削液？
参考答案：
金刚石砂轮磨削时常用油性液和水溶性液为磨削液，视具体情况而定，如磨削硬质合金时普遍采用煤油，但不宜使用乳化液；树脂结合剂砂轮不宜使用苏打水。
立方氮化硼砂轮磨削时采用油性液为磨削液，一般不用水溶性液，因为在高温下下立方氮化硼磨粒和水会起化学反应，称水解作用。
会加剧砂轮磨损，可加极压添加剂以减弱水解作用。
[填空题]
20什么是镜面磨削？
参考答案：
镜面磨削一般是指加工表面粗糙度达到Ra0.02-0.01μm，表面光泽如镜的磨削方法。
[填空题]
21简述精密砂轮磨削和精密砂带磨削的机理、特点和应用范围。
参考答案：
精密砂轮磨削机理：
（1）微刃的微切削作用使用较小的修整导程和修整深度精细修整砂轮，使磨粒微细破碎而产生微刃，一颗磨粒就形成了多颗微磨粒，相当于砂轮的粒度变细，微刃的微切削作用形成了低粗糙度表面；
（2）微刃的等高切削作用由于微刃是砂轮精细修整形成的，因此分布在砂轮表层的同一深度上的微刃数量多、等高性好，从而使加工表面的残留高度极小，微刃的等高性除与砂轮修整有关外，尚与磨床的精度、震动等因素有关；
（3）微刃的滑挤、摩擦、抛光作用砂轮修整得到的微刃开始比较锐利，切削作用强，随着磨削时间的增加而逐渐钝化。
同时，等高性得到改善，这时，切削作用减弱。
滑挤、摩擦、抛光作用加强，磨削区的高温使金属软化，钝化微刃的滑挤和挤压将工件表面凸峰碾平，降低了表面粗糙度。
精密砂带磨削机理：
砂带磨削时，除有砂轮磨削的滑擦、耕犁和切削作用外，由于有弹性，还有磨粒的挤压使加工表面产生的塑性变形、磨粒的压力使加工表面产生的加工硬化和断裂、以及因摩擦升温而引起的加工表面热塑性流动等。
因此从加工机理来看，砂带磨削兼有磨削、研磨和抛光作用，是一种复合加工。
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[填空题]
22简述接触轮外缘截面形状及其结构对砂带磨削的影响。
参考答案：
平滑形用于细粒度砂带精磨、精密和超精密及研抛；锯齿形用于粗磨和精磨；填充形用于粗磨。
[填空题]
23如何处理砂带磨削时的冷润与除尘问题？
参考答案：
磨削液与干磨剂的选择：
湿磨时，磨削液的选择除考虑加工表面粗糙度、被加工材料外，必须要考虑砂带粘接剂的种类。
另外，还应考虑基底材料。
干磨时，当粒度号大于P150时，可采用干磨剂。
砂带磨削的除尘：
无论是湿磨还是干磨，无论是在砂带磨床磨削还是在普通机床上利用砂带磨削头架磨削，都应设有吸尘和集尘装置。
可用封闭罩或吸尘管等结构将磨削液、切屑、磨粒等汇集于集尘箱内，通过过滤回收、磨削液再用；干磨时则不必回收。
[填空题]
24简述我国发展超精密机床概况。
参考答案：
我国在60年代起即开始发展精密机床，经过近30年的努力，我国的精密机床已有相当规模，不仅品种上基本满足我国生产需要，而且精度质量上达到一定的水平。
例如昆明机床厂、宁江机床厂和以汉川机床厂生产多种坐标镗床，有立式的并且有卧式的，最新的坐标镗床已有精密数控系统。
坐标镗床的定位精度在3-5μm。
宁江机床厂现又生产MK2932B连续轨迹数控坐标磨床，工作台面积320mm×600mm，定位精度±2μm。
重庆机床厂生产高精度滚齿饥、武汉重型机床厂生产大型高精度滚齿机。
北京航空精密机械研究所研制成功空气轴承主轴的超精密车床和金刚石镗床，该研究所用花岗岩制造精密空气轴承主轴，使用性能良好。
哈尔滨工业大学研制成功带激光在线测量的空气轴承主轴数控超精密车床，性能良好。
我国超精密机床的生产和研制，实际是现在才开始，和国外的差距甚大。
由于这项新技术直接影响国防和尖端技术的发展、尖端技术产品的生产，有着极大的重要性。
要从国外引进又受保密、禁运的限制，必须自己开发研究。
因此必须给予充分的重视。
应该投入充分的人力、物力、给予充分的财力支持，大力加强我国自己的开发研究工作，使我国的超精密加工技求和超精密机床能够得到加速发展。
[填空题]
25能代表超精密机床最高水平的是哪几台超精密机床？
参考答案：
大型超精密金刚石DTM-3型车床和大型超精密车床LODTM。
[填空题]
26空气主轴轴承有哪些常用的结构形式？
它有哪些优缺点？
参考答案：
（1）圆柱径向轴承和端面止推空气静压轴承这种空气轴承主轴结构比较简单，但要求前后径向轴承有很高的同心度，径向轴承和止推轴承有很高的垂直度，因此要求很高的制造工艺水平。
（2）双半球空气轴承主轴前后轴承均采用半球状，又是径向轴承又是止推轴承。
由于轴承的气浮面是球面，有自动调心作用，因此可以提高前后轴承的同心度，提高主轴的回转精度。
（3）前部用球形后部用圆柱径向空气轴承的主轴这种结构一端为球形，同时起到径向和轴向止推轴承的作用，并有自动调心的作用，可以提高前后轴承的同心度，从而提高了主轴回转精度。
（4）立式空气轴承径向轴承制成圆弧面，可起到自动调心、提高精度的作用。
[填空题]
27超精密车床有哪几种总体布局？
各自的优缺点是什么？
参考答案：
1）主轴箱位置固定、刀架装在十字形滑板上
优缺点：
这种结构布局要求十字形滑板的上下导轨，不仅要有很高的直线运动精度，而且要有非常严格的相互垂直精度。
这要求有很高的制造精度，才能满足超精密机床的精度要求.否则下滑板的运动误差将影响上滑板的起动精度。
采用这种结构布局时，主轴相位置固定不动，因此主轴用传动带驱功很方便，电动机可以有单独地基，可以减少电动机振动对主轴的影响。
2）T形布局
优缺点：
这种总体布局结构，有利于提高导轨的制造精度和运动精度。
测量系统安装简单，大大提高了测量精度。
3）R-θ布局
优缺点：
在工件的厚度改变时，主铀箱〔或回转工作台）需要在Z向调整、机床结构比较复杂，加工调整计算和习惯用的不一致，因此用得不多。
4）立式结构布局
优缺点：
当工件直径较大并且重量较重时，超精密机床多采用立式结构布局，超精密机床要求高的刚度、故多用龙门形式。
在机床精度要求特别高时，可采取了特殊的在线测量和误差补偿措施，来补偿消除运动误差。
[填空题]
28简述精密和超精密机床的导轨结构形式，并说明各自的优缺点。
参考答案：
1）V平面
优缺点：
导轨磨损后可自动补偿，保持间隙和润滑，不少机床采用这种结构。
但这种结构有下述缺点.第—，V形和平面导轨面的磨损不相等，因此工作台面因导轨而磨损而下降量下均匀；第二，当工作台重心和载重偏离中央并偏向平导轨面—侧时，v平面导轨的导向能力就要明显下降。
2）双V形导轨能为直线运动提供良好的导向性
优缺点：
两条导轨上的摩擦和磨损是均勺的，驱动元件可对称称地处在两条v形导轨之间。
这些都可保证导轨的直线运动精度。
双v形导轨在载重偏离中央时、仍能行较好的导向性。
3）压力油润滑导轨
优缺点：
对超精密机床导轨部件要求有极高的直线运动精度，并月能长期保持它的精度，要求直线运动时绝对没有爬行现象。
这一方面要求导轨有极高的制造精度，同时要求导轨的偶合面没有摩擦和磨损。
4）导轨偶合面的接触形式
优缺点：
超精密机床导轨部件要求有极高的直线运动精度，不能有爬行，导轨偶合面不能有磨损、这一方面要求导轨有很高的制造精度，导轨的材料要有很高的稳定性和耐磨性。
导轨的偶合面有很好的偶合形式。
[填空题]
29提高机床结构的抗震性和减少机床内部震动有哪些办法？
参考答案：
1）各运动部件都经过精密动平衡，消灭或减少机床内部的振源
机床内的主要振源是高速转动的部件，如电机、主轴等，这些转动的部件必须经过精密动平衡，使振动减小到最低；有可能产生振动的还有电机和主抽的不同心。
空气轴承的振荡，滚珠丝杠和螺母的不同心，导轨运动部件直线运动速度的变化，加工工件有偏心重量等。
当发现机床有振动时，必须要找出振源，尽量消除减少振动。
2）提高机床结构的抗振性
使用很大的机床床身以降低它的自振频率。
如有振动产生，应找到机床结构中易于产生振动的薄弱环节，予以加强，使振动减小。
3）在机床结构的易振动部份，人为的加入阻尼，减小振动。
4）使用振动衰减能力强的材料制造机床的结构件。
[填空题]
30精密和超精密机床的隔振防震措施有哪些？
参考答案：
1）使超精密机床尽量远离振源。
机床附近的振源，如空压机、泵等应尽量移走。
实在无法移走时，应采用单独地基，加隔振材料等措施，使这些无法移走的振源所产生的振动对精加工的影响尽量减小。
2）超精密机床采用单独地基，隔振沟、隔扳墙等。
为减少外界振动的干扰，地基应有足够的深度，地基周围用隔振沟，沟中使用吸振材料。
过去为防止外界振动的传入，有使用弹簧将地基架起来，它的隔损频率不够低，且不能自动找水平。
3）使用空气隔振垫。
机床使用空气隔振垫后需要有自动找水平的控制系统，必须在机床运动部件移动重心改变时，仍能保持水平。
[填空题]
31减少机床热变形的措施有哪些？
参考答案：
1）尽量减少机床中的热源：
如机床主轴采用空气轴承代替液体静压轴承以减少发热量、使用发热量小的电动机；将发热器件放在机床床身外、如进给电动机和激光管放在机床床身外侧等。
2）采用热膨胀系数小的材料制造机床部件，例如现在不少坐标测量机和超精密机床使用花岗岩、铟钢、陶瓷、铟钢铸铁、低热膨胀系数的铸铁等做机床的关留部件。
3）结构合理化使在同样的温度变化条件下，机床的热变形最小。
4）使机床长期处在热平衡状态，使热变形量成为恒定。
5）使用大量恒温液体浇淋，形成机床附近局部地区小环境的精密恒温。
[填空题]
32怎样选择量具和量仪的材料？
参考答案：
选择量具和量仪材料的原则有：
1、根据材料热膨胀系数选择
当量具和量仪使用于恒温的计量室或要用于测量绝对长度时.应选择热膨胀系数尽量小的材料制作，这可使环境温度变化引起的尺寸误差最小。
当量具和量仪在加工车间使用时，由于车间经常是温度波动大，这时选用的量具和量仪材料其热膨胀系数应尽量和被测件的热膨胀系数接近，这时测量结果受环境温度变化的影响最小，测量差最小。
例如制造量块常用淬火轴钢，其热膨胀系数和钢制工件接近。
硬质合金、花岗岩和某些陶瓷虽硬度高、耐磨，但热膨胀系数和钢差别大，不宜用于制造量块。
氧化锆陶瓷的热膨胀系数和钢接近，并且耐磨，现生产中已用于制造量块。
2、根据材料的稳定性的耐磨性选择
过去量具常用淬火轴承钢GCr15制造，其硬度达62~66HRC，有较高的硬度和耐磨性，但这种材料的淬火马氏体中有残余奥氏体，长期使用中因产生相变而使体积和尺寸变化，约为0.02μm/100mmm年，尺寸稳定性差。
近年来很多量具改用氮化钢（如38CrMoAl等）制造，这种材料经表面氮化处理后表面硬度达70HRC以上，内部仍为原来的软的组织，不会产生相变、故不仅有很高的硬度和耐磨性，而且有很好的尺寸稳定性。
氮化钢的热膨胀系数和其他钢相同，适宜制适量具在车间使用。
[填空题]
33精加工工厂如何选用自己的长度基准？
参考答案：
对于精加工工厂，如果使用量块作为长度基准不能满足测量精度要求，可以使用经国家检定的自己的长度基准。
例如，可以采用圆柱端面规作为长度基准。
外圆柱面可磨到很高圆柱度，水平放在V形支架内，可旋转以校验端面和外圆柱面的垂直度.容易达到两端面的高度平行。
[填空题]
34简述零件垂直度的检测方法。
参考答案：
零件中垂直度的检测，经常在测量平台上用90°角尺检测。
常用90°角尺有L形、T形和圆柱形。
其中圆柱形90°角尺容易制成很高精度，常用作基准90°角尺。
这种圆柱形90°角尺先将外圆磨成精密圆柱形（没有锥度），然后放在V形块内转动，检测并研磨端面，使端面和外圆高度垂直，垂直放在测量平台上即可使用。
[填空题]
35试述圆度误差的评定方法。
参考答案：
圆度误差的有4种评定方法：
1）最小外接圆法先求出包容实际轮廓曲线且半径为最小的外接圆，然后再画出和它同心且半径最大内接圆，这两圆的半径差即为圆度误差。
这种评定方法适用于轴类。
因为它工作时起作用的是外接圆。
2）最大内接圆法先求出内切于实际轮廓且半径为最大的内接圆，然后再画出和它同心且半径最小的外接圆，两圆的半径并即为圆度误差。
这种评定力法适用于孔类。
因它工作时起作用的是内接圆。
3）最小包容区域圆法这方法也称最小半径差法，它是以包容实际轮廓且半径差为最小的两个同心圆的半径差为圆度误差。
这种评定方法得到的圆度误差要比第1和第2方法得出的小，因此零件最容易合格.但这方法使用电算比较麻烦。
4）最小二乘方圆法它是以最小二乘方法求得轮廓图形的中线—平均圆作为基础圆，再作同心的轮廓外切圆和内切圆，这外切和内切圆的半径差即是圆度误差。
[填空题]
36简述主轴回转精度的测量原理和方法。
参考答案：
主轴回转精度的测量方法有两种：
1.用高精度钢球测主轴的回转精度。
回转精度在0.5~1μm以下的精密主轴，可以使用高精度标准钢球（圆度在0.05-0.1μm）来检测其回转精度。
将高精度钢球卡在主轴的端部，尽量调整使其同心，然后用测微仪测出共径向跳动.
2.用三点法误差分离原理测精密主轴的回转误差
主轴回转精度达到0.1μm左右时，可有三点法误差分离原理来测量。
三点法一般以离散采样方式，通过误差分离汁算。
同时得到工件圆度误差和主轴的回转误差。
[填空题]
37简述激光测量中使用空气参数补偿的必要性和加补偿后效果。
参考答案：
必要性：
环境干扰对双频激光测量测量精度有相当大的影响，环境条件主要是温度、气压、湿度和气流变化、为提高精度，采用激光光路真空封闭或管路封闭，采用空气参数补偿。
如果环境条件较差时，测量误差值可能较大，故空气参数补偿在要求较高测量精度时足十分必要的。
补偿后效果：
双频激光测量系统有空气补偿后，测量精度可以达到0.1μm。
[填空题]
38件述非接触式激光干涉
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