传感器原理及应用第3章电阻式传感器.ppt

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,第3章电阻式传感器,3.1应变式传感器3.2压阻式传感器3.3电位器式传感器思考题与习题,3.1应变式传感器3.1.1电阻应变效应金属导体的电阻与其电阻率、几何尺寸（长度与截面积）有关，在外力作用下发生机械变形时，引起该导电材料的电阻发生变化，这种由于变形引起金属导体电阻变化的现象称为电阻应变效应。

电阻应变片的工作原理就是基于电阻应变效应，建立金属导体电阻变化与变形之间的量值关系，即求取电阻应变片的灵敏系数。

图3.1所示为金属电阻丝的电阻应变效应原理图。

长度为L、截面积为A、电阻率为的金属电阻丝，在未受外力作用时的原始电阻值为,图3.1金属电阻丝的电阻应变效应,（3.1）,当受到轴向拉力F作用时，其长度伸长L，截面积相应减小A，电阻率则因晶格变形等因素的影响而改变，故引起电阻变化R。

对式（3.1）全微分可得式中：

L/L=金属电阻丝的轴向相对伸长，称为轴向应变，是一个无量纲的量。

（3.2）,因为A=r2，A/A=2（r/r），r/r为径向应变，由材料力学可知r/r=（L/L），负号表示两者变化方向相反，代入式（3.2）得式中：

金属电阻丝的泊松比；S0金属电阻丝的灵敏系数，单位应变引起的电阻值相对变化量,即,（3.3）,（3.4）,对于金属导体材料，/较小，且=0.20.4，则S01+2=1.41.8，实际测得S02.0，说明/对S0还是有一定影响的。

在应变极限范围内，金属材料电阻的相对变化量与应变成正比，即,（3.5）,3.1.2金属电阻应变片1.应变片的结构及测量原理金属电阻应变片简称应变片，其结构大体相同，如图3.2所示。

金属电阻应变片由基底、敏感栅、覆盖层和引线等部分组成。

图3.2金属电阻应变片的结构,2.应变片的种类应变片按照敏感栅材料形状和制造工艺的不同，可分为丝绕式、短接式、箔式和薄膜式等多种类型。

1）丝绕式应变片丝绕式应变片的结构如图3.2所示。

2）短接式应变片短接式应变片的结构如图3.3（a）所示。

敏感栅也由康铜等高阻值的金属电阻丝制成，敏感栅各直线段间的横接线采用面积较大的铜导线，其电阻值很小，因而可减小横向效应。

但是由于敏感栅上焊点较多，因而耐疲劳性能较差，不适于长期的动应力测量。

3）箔式应变片箔式应变片的结构如图3.3（b）所示。

敏感栅由很薄的康铜、镍铬合金等金属箔片通过光刻、腐蚀等工艺制成，厚度为0.0030.01mm，栅长可作到0.2mm，其优点如下：

（1）制造技术能保证敏感栅尺寸准确、线条均匀、可制成各种形状（亦称应变花），适用于各种弹性敏感元件上的应力分布测量。

图3.3（c）和3.3（d）分别为用于扭矩和流体压力测量的箔式应变片；

（2）敏感栅薄而宽，与被测试件粘贴面积大，粘结牢靠，传递试件应变性能好；（3）散热条件好，允许通过较大的工作电流，从而提高了输出灵敏度；（4）横向效应小。

图3.3金属电阻应变片的种类,4）薄膜式应变片薄膜式应变片是利用真空蒸镀、沉积或溅射等方法在绝缘基底上制成各种形状的薄膜敏感栅，膜厚小于1m。

这种应变片的优点是应变灵敏系数大，允许电流密度大，可以在197317温度下工作。

3.应变片的材料1）敏感栅材料的性能要求

（1）应变灵敏系数较大，且在所测应变范围内保持常数；

（2）电阻率高而稳定，便于制造小栅长的应变片；（3）电阻温度系数较小，重复性好；（4）机械强度高，碾压及焊接性能好，与其他金属之间的接触电势小；（5）抗氧化，耐腐蚀性能强，无明显机械滞后。

2）基底和覆盖层基底和覆盖层的作用是保持敏感栅和引线的几何形状和相对位置，并且有绝缘作用。

一般是厚度为0.020.05mm的环氧树脂、酚醛树脂等胶基材料，要求机械强度好、挠性好、粘贴性能好、电绝缘性好、热稳定性和高温性好、无滞后和蠕变等。

3）引线引线一般采用直径为0.050.1mm的银铜线、铬镍线、铁铅丝等，与敏感栅点焊焊接。

4.应变片的粘贴用应变片测量应力或应变时，必须将应变片利用粘结剂粘贴到被测试件或弹性元件上，粘结剂形成的胶层必须可靠地将被测试件产生的应变传递到应变片的敏感栅上。

选择的粘结剂必须适合应变片材料和被测试件材料及环境，例如工作温度、湿度、化学腐蚀等。

不仅要求有一定的粘结强度能准确传递应变，而且粘合层要有足够的剪切弹性模量，蠕变、机械滞后小，有良好的电绝缘性能，耐湿、耐油、耐老化、耐疲劳等。

常用的粘结剂有硝化纤维素型、氰基丙烯酸脂型、环氧树脂型等。

粘贴工艺包括应变片的质量检查和阻值检查、试件表面处理、定位划线、粘贴应变片、干燥固化、引线焊接、固定以及防护与屏蔽处理等。

粘结剂的性能和应变片的粘贴质量直接影响应变片的工作特性，如零漂、蠕变、滞后、灵敏系数等。

因此，选择合适的粘结剂和采用正确的粘结工艺对保证应变片的测量精度有着重要的关系。

5.应变片的工作特性及参数1）灵敏系数将图3.4所示的应变片粘贴在试件表面上，使应变片的主轴线方向与试件轴线方向一致，当试件轴线上受到一维应力作用时，则应变片的电阻变化率R/R与试件主应力方向的应变x之比，称为应变片的灵敏系数S，即,（3.6）,应变片的灵敏系数S具有以下特点：

（1）应变片的灵敏系数S是按一维应力定义的，但实验时是在二维应变场中（在应变片使用面积内，当产生纵向应变x时，必然产生横向应变y）测得的S值，所以必须规定试件的泊松比，以确定横向应变的影响。

一般选取=0.285的钢试件来确定S值；

（2）由于应变片粘贴到试件上就不能取下再用，因而不可能对每一个应变片都进行标定，只能在每批产品中提取一定百分比（如5%）的样品进行标定，而后取其平均值作为这一批产品的灵敏系数，工程上称为“标称灵敏系数”；,（3）用同一根电阻丝先测定其S0，而后制成如图3.4（a）所示的应变片，再按规定条件测定S值。

实验证明，被测应变在很大范围内，S与S0均能保持常数，但S恒小于S0。

其原因有二：

其一，试件与应变片之间的粘结剂传递变形失真；其二，在实际测量过程中，应变片存在横向效应，而后者属原理性误差。

图3.4应变片轴向受力及横向效应,2）横向效应由于应变片的敏感栅是由多条直线段和圆弧段组成，若该应变片受轴向应力而产生纵向拉应变x时，则各直线段的电阻将增加。

但在圆弧段，如图3.4（b）所示，除产生纵向拉应变x外，还有垂直方向的横向压应变y=x，沿各微段轴向（即微段圆弧的切向）的应变在x和y之间变化。

在圆弧段两端的起、终微段，即=0和=180处，承受+x应变；而在=90的微段处，则承受y=x应变。

因此，将金属电阻丝绕成敏感栅后，虽然长度不变，应变状态相同，但应变片敏感栅的灵敏系数S比电阻丝的灵敏系数S0低，这种现象称为应变片的横向效应。

3）零漂和蠕变粘贴在试件上的应变片，温度保持恒定，在试件不受力（即无机械应变）的情况下，其电阻值随时间变化的特性称为应变片的零漂。

如果应变片承受恒定机械应变（1000内）长时间作用，则其指示应变随时间变化的特性称为应变片的蠕变。

蠕变包含零漂，因为零漂是不加载的情况，是加载特性的特例。

应变片在制造过程中所产生的内应力、丝材、粘结剂、基底等变化是造成应变片零漂和蠕变的因素。

4）机械滞后应变片粘贴在试件上，应变片的指示应变i与试件的机械应变j之间应该是一确定的关系。

但在实际应用时，在加载和卸载过程中，对于同一机械应变k，应变片卸载时的指示应变高于加载时的指示应变，这种现象称为应变片的机械滞后，如图3.5所示。

其最大差值i称为应变片的机械滞后量。

机械滞后产生的原因主要是敏感栅、基底和粘结剂在承受机械应变j后的残余变形。

图3.5机械滞后,5）应变极限对于已粘贴好的应变片，其应变极限是指在一定温度下，指示应变i与受力试件真实应变j的相对误差达到规定值（一般为10%）时的真实应变k，如图3.6所示。

6）绝缘电阻绝缘电阻是指已粘贴的应变片引线与被测试件之间的电阻值。

通常要求50100M左右。

绝缘电阻过低，会造成应变片与试件之间漏电而产生测量误差。

应变片绝缘电阻取决于粘结剂及基底材料的种类以及它们的固化工艺。

基底与胶层愈厚，绝缘电阻愈大，但会使应变片的灵敏系数减小，蠕变和滞后增加，因此基底与胶层不可太厚。

图3.6应变极限,7）允许工作电流应变片的允许工作电流又称为最大工作电流，是指允许通过应变片而不影响其工作特性的最大电流值。

允许工作电流的选取原则为：

静态测量时约取25mA左右，动态测量时可高一些，箔式应变片更大些；对于易导热的被测构件材料，也可选得大一些。

对于不易导热的材料，如塑料、玻璃、陶瓷等要取得小些。

8）电阻值应变片电阻值是指应变片没有粘贴、也不受外力作用时，在室温条件下测定的原始电阻值R0。

目前已标准化的系列有60、120、350、600、1000等各种规格，最常用的是120。

电阻值越大，应变片承受的电压就大，输出信号也越大，但敏感栅的尺寸相应地也会增大。

3.1.3应变片的动态特性假设试件内的应变波为阶跃变化，如图3.7（a）所示。

由于只有在应变波通过敏感栅全部长度后，应变片所反映的波形才能达到最大值，即应变片所反映的应变波有一定的时间延迟。

应变片的理论响应特性如图3.7（b）所示，而实际波形如图3.7（c）所示。

由图可以看出上升时间tr（应变输出从10%上升到90%的最大值所需时间）可表示为,（3.7）,图3.7应变片对阶跃变化的响应特性,假设受力试件内的应变波按正弦规律变化，即=msin（2x/），由于应变片反映的应变波是应变片敏感栅各相应点应变量的平均值，因此应变波幅值将低于真实应变波，从而带来一定的误差。

显然，这种误差将随应变片基长的增加而增加，图3.8（a）表示应变波与应变片轴向的响应特性。

设应变波的波长为，应变片两端点的坐标为x1和x2，于是沿应变片基长l内测得的平均应变为,（3.8）,把代入上式得应变波测量的相对误差为由式（3.9）可见，测量误差与应变波长对基长的比值n=/l有关，其关系曲线如图3.8（b）所示。

一般可取/l=1020，其误差范围为1.6%0.4%。

（3.9）,图3.8应变波的响应特性与误差曲线,利用频率f、波长和波速v的关系=v/f和n=/l，可得应变波的频率与应变片基长的关系为,（3.10）,3.1.4应变片的温度误差及其补偿1.温度误差在采用应变片进行应变测量时，由于测量现场环境温度的改变（偏离应变片标定温度），而给测量带来的附加误差，称为应变片的温度误差，又叫应变片的热输出。

应变片产生温度误差的主要原因如下：

1）敏感栅材料电阻温度系数的影响当环境温度变化t时，敏感栅材料电阻温度系数为t，则引起的电阻相对变化为,（3.11）,2）试件材料和敏感栅材料线膨胀系数的影响当试件与敏感栅材料的线膨胀系数不同时，由于环境温度的变化，敏感栅会产生附加变形，从而产生附加电阻，引起的电阻相对变化为式中：

S应变片的灵敏系数；1、2试件材料和敏感栅材料的线膨胀系数。

（3.12）,因此由温度变化引起的总电阻相对变化为相应的热输出为2.温度补偿1）自补偿法利用应变片的敏感栅材料及制造工艺等措施，使应变片在一定的温度范围内满足t=S（12）（3.15）,（3.14）,（3.13）,双金属敏感栅是实现温度自补偿的常用方法，即利用两段电阻温度系数相反的敏感栅Ra和Rb串联制成的复合型应变片，如图3.9（a）所示。

若两段敏感栅Ra和Rb由于温度变化而产生的电阻变化Rat和Rbt大小相同、符号相反，就可实现温度自补偿。

电阻Ra和Rb的比值可由下式确定,（3.16）,若双金属敏感栅材料的电阻温度系数相同，则如图3.9（b）所示。

在两种材料Ra和Rb的连接处再焊接引线2，构成电桥的相邻臂如图3.9（c）所示。

图中Ra为工作臂，Rb与外接电阻RB组成补偿臂，适当调节Ra和Rb对应的长度比和外接电阻RB的数值，就可以使两桥臂由于温度引起的电阻变化相等或接近，实现温度自补偿，即由此可得,（3.17）,图3.9自补偿法,2）电桥补偿法利用测量电桥的特点来进行温度补偿，是最常用且效果较好的补偿方法，如图3.10所示。

图3.10电桥补偿法,3.1.5测量电桥1.直流不平衡电桥的工作原理直流不平衡电桥采用直流电源供电，将应变式的电阻变化转换成电桥的电压或电流输出，如图3.11所示。

图中U为电源电压（或供桥电压），R1、R2、R3、R4为桥臂电阻，RL为负载电阻。

利用基尔霍夫定律，可以求得流过负载电阻的电流为,图3.11直流不平衡电桥,当IL=0时，电桥处于平衡状态，此时电桥无输出，从而得到电桥的平衡条件为R1R4=R2R3（3.18）若电桥后接放大器，由于放大器的输入阻抗很大，即RL，则电桥输出电压为,（3.19）,若桥臂中R1为应变片，其他桥臂为固定电阻，则当应变片R1承受应变x时，将产生电阻变化R1=SR1x，考虑电桥初始平衡条件R1R4=R2R3，其输出电压为,（3.20）,令，且，忽略分母中的“微小项”，则式（3.20）可写为电桥的电压灵敏度定义为：

电桥输出电压Uo与应变片的电阻相对变化量R1/R1之比，用符号Su表示，即,（3.21）,（3.22）,2.电桥的连接方式1）单臂电桥单臂电桥如图3.12（a）所示，桥臂R1为工作应变片，其他桥臂为固定电阻，且R1=R2，R3=R4。

当R1的阻值随被测量变化而产生电阻变化量R1时，输出电压和电压灵敏度由式（3.20）、（3.21）和式（3.22）得,（3.23）,（3.24）,单臂电桥的实际输出电压为当x0，即时，单臂电桥的理想输出电压为单臂电桥的非线性误差为,（3.27）,（3.26）,（3.25）,将式（3.25）、（3.26）代入式（3.27）得将上式展开为泰勒级数形式，且当时,（3.28）,2）差动半桥差动半桥如图3.12（b）所示，相邻桥臂R1和R2为工作应变片，R3和R4为固定电阻。

当R1受拉产生+R1，R2受压产生R2时，输出电压由式（3.19）得,若电桥初始状态是平衡的，即R1R4=R2R3成立，且R1=R2，R3=R4。

当R1=R2时，输出电压和电压灵敏度为,（3.29）,（3.30）,3）差动全桥差动全桥如图3.12（c）所示，四个桥臂均为工作应变片，且阻值变化相同的应变片接在电桥的相对臂，阻值变化相反的应变片接在电桥的另一相邻臂。

当R1=R2=R3=R4时，输出电压和电压灵敏度为,（3.31）,（3.32）,图3.12电桥的连接方式,3.交流电桥原理及平衡条件交流电桥采用交流电源供电，如图3.13（a）所示。

图中Z1、Z2、Z3、Z4为复阻抗，u为交流电压源，uo为开路输出电压。

对于应变片构成的交流电桥，即使桥臂为电阻应变片，但由于引线间存在分布电容，相当于在桥臂上并联了一个电容，差动半桥如图3.13（b）所示。

桥臂上的复阻抗分别为：

，Z3=R3，Z4=R4。

图3.13交流电桥,交流电桥的输出电压为交流电桥的平衡条件为Z1Z4=Z2Z3（3.34）将桥臂上的复阻抗代入式（3.34）可得,（3.35）,（3.33）,3.1.6应变式传感器的应用1.应变式力传感器应变式力传感器主要用于各种电子秤与材料试验机的测力元件，也可用于发动机的推力测试、水坝坝体承载状况的监视和切削刀具的受力分析等。

应变式力传感器利用弹性元件把被测荷重或力的变化转换成应变量的变化，弹性元件上粘贴有应变片，再把应变量的变化转换成应变片的电阻变化。

弹性元件的形式多种多样，要求具有较高的灵敏度和稳定性，在力的作用点稍许变化或存在侧向力时，对传感器的输出影响小，粘贴应变片的地方应尽量平整或曲率半径大，所选结构最好能有相同的正、负应变区等。

1）柱（筒）式力传感器图3.14（a）和（b）分别为柱式和筒式力传感器的弹性元件，图3.14（c）和（d）分别为应变片的粘贴图和电桥连接图。

为了消除偏心和弯矩的影响，将应变片对称粘贴在应力分布均匀的圆柱表面的中间部分，四片沿轴向，四片沿径向。

R1和R3、R2和R4分别串联接在电桥的相对臂，R5和R7、R6和R8分别串联接在电桥的另一相对臂，构成差动全桥，不仅消除了弯矩的影响，而且能实现温度补偿。

柱（筒）式弹性元件的结构简单紧凑，可承受很大的载荷，最大载荷可达107N，地磅秤一般采用柱式力传感器。

图3.14柱（筒）式力传感器,2）环式力传感器环式力传感器的弹性元件如图3.15（a）所示。

与柱式相比，环式弹性元件应力分布变化大，且有正有负，可以选择有利部位粘贴应变片，便于接成差动电桥。

对于r/h5的小曲率圆环，可用下式计算A、B两点的应变式中：

E材料的弹性模量；b、h、r圆环的宽度、厚度和平均半径。

（3.37）,（3.36）,图3.15环式力传感器,3）悬臂梁式力传感器悬臂梁式力传感器的弹性元件有多种形式，如图3.16所示。

图3.16（a）为等截面梁，结构简单，易于加工，灵敏度高，适于测量5000N以下的载荷，要求四个应变片粘贴在悬臂梁的同一个断面。

图3.16（b）为等强度梁，当力F作用在悬臂梁的自由端时，悬臂梁产生变形，梁内各断面产生的应力相等，表面上的应变也相等，故对应变片的粘贴位置要求不严。

图3.16（c）和（d）分别为双孔梁及“S”形弹性元件，利用弹性体的弯曲变形，采用对称贴片组成差动电桥，可减小受力点位置的影响，提高测量精度，因而广泛用于小量程工业电子秤和商业电子秤。

将图中应变片R1和R4、R2和R3分别接在电桥的相对臂，构成差动全桥，其输出电压与力F成正比。

图3.16悬臂梁式力传感器,4）轮辐式力传感器轮辐式力传感器的弹性元件如图3.17（a）所示。

力F作用在轮毂顶部和轮圈底部，每根轮辐的力学模型可等效为一端固定、另一端承受F/4力和Fl/8力矩作用的等截面梁，如图3.17（b）所示。

两端断面处产生的弯矩最大，应变片粘贴处的应变为式中：

、M力F作用时产生的应力和弯矩；W抗弯模量，矩形截面W=bh2/6；l、b、h轮辐的长度、宽度和厚度。

（3.38）,图3.17轮辐式力传感器,2.应变式压力传感器应变式压力传感器主要用于流体和气体压力的测量，其弹性元件有筒式、膜片式和组合式等形式。

1）筒式压力传感器当被测压力较小时，多采用筒式弹性元件，圆柱体内有一盲孔，如图3.18所示。

在圆筒外表面的筒壁和端部沿圆周方向各粘贴一个应变片，当被测压力p进入筒腔内时，筒体空心部分发生变形，圆筒外表面沿圆周方向产生的环向应变为,（3.39）,式中：

材料的泊松比；n圆筒的内径与外径之比，即n=D/D0。

对于薄壁圆筒，环向应变为,（3.40）,图3.18筒式压力传感器,2）膜片式压力传感器膜片式压力传感器的弹性元件为周边固定的圆形平膜片，如图3.19所示。

当膜片受到均匀压力p作用时，将产生径向应变r和切向应变t，其表达式分别为式中：

r沿膜片半径方向的距离；h、R膜片的厚度和半径。

（3.41）,（3.42）,图3.19膜片式压力传感器,3）组合式压力传感器组合式压力传感器的应变片不是直接粘贴在压力感受元件上，而是由某种感压元件（如膜片、膜盒、波纹管）通过传递机构将感压元件的位移传递到贴有应变片的弹性元件上，如图3.20所示。

图3.20（a）和（b）中感压元件为膜片，压力产生的位移传递给悬臂梁或薄壁圆筒。

图3.20（c）中感压元件为波纹管，位移传递给双端固定梁。

这种传感器的尺寸和材料选择适当时，可制成灵敏度较高的压力传感器，但固有频率较低，不适于瞬态测量。

图3.20组合式压力传感器,3.应变式加速度传感器图3.21所示为应变式加速度传感器的结构示意图，主要由应变片、悬臂梁、质量块和壳体等组成。

质量块2固定在悬臂梁3的一端，梁的上下表面粘贴应变片4。

测量时将壳体1与被测对象刚性连接，当被测对象以加速度a运动时，质量块得到一个与加速度方向相反、大小与加速度成正比的惯性力使悬臂梁变形，从而使应变片产生与加速度成比例的应变值，利用电阻应变仪即可测定加速度。

图3.21应变式加速度传感器,3.2压阻式传感器3.2.1压阻效应金属电阻丝受到外力作用时，电阻的变化主要是由几何尺寸变化而引起的。

而半导体材料受到外力作用时，电阻的变化主要是由电阻率发生变化而引起的，半导体几何尺寸变化引起的电阻变化可以忽略不计。

对于长为L、截面积为A、电阻率为的条形半导体应变片，在轴向力F作用下，由式（3.3）可得到半导体应变片的电阻相对变化量为,（3.43）,根据半导体材料理论可知式中：

L沿某晶向的纵向压阻系数；沿某晶向的应力；E半导体材料的弹性模量。

半导体材料的灵敏系数为,（3.45）,（3.44）,3.2.2温度误差及其补偿半导体材料对温度比较敏感，压阻式传感器的电阻值及灵敏系数随温度变化而发生变化，引起的温度误差分别为零位温漂和灵敏度温漂。

压阻式传感器一般在半导体基片上扩散四个电阻，当四个扩散电阻的阻值相等或相差不大、电阻温度系数也相同时，其零位温漂和灵敏度温漂会很小，但工艺上难以实现。

零位温漂一般采用串、并联电阻的方法进行补偿，如图3.22所示。

串联电阻RS调电桥的零位不平衡输出，而并联电阻RP为阻值较大的负电阻温度系数，补偿零位温漂。

RS、RP的阻值和电阻温度系数要选择合适。

图3.22温度误差补偿电路,设RS、RP、R1、R2、R3、R4为低温下的实测电阻值，、为温度变化后的实测电阻值，则应满足如下关系,（3.46）,3.2.3压阻式传感器的应用1.半导体应变式传感器半导体应变式传感器常用锗、硅材料做成单根状的敏感栅，粘贴在基底上制成，如图3.23所示。

其使用方法与金属应变片相同，突出优点是灵敏系数很大，可以测微小应变，尺寸小，横向效应和机械滞后小。

其缺点是温度稳定性差，测量较大应变时，非线性严重，必须采取补偿措施。

此外，灵敏系数随拉伸或压缩而变化，且分散性大。

图3.23半导体应变式传感器,2.压阻式压力传感器图3.24所示的压阻式压力传感器，核心部分是一周边固定的圆形N型硅膜片，其上扩散四个阻值相等的P型电阻，构成差动全桥。

硅膜片两侧有两个压力腔，一个是与被测压力相通的高压腔，另一个是与大气相通的低压腔。

当被测压力p作用时，膜片上各点产生应力和应变，使四个电阻的阻值发生变化，由电桥输出获得压力的大小。

图3.24压阻式压力传感器,图3.25所示为一种可以插入心内导管的压阻式压力传感器，为了导入方便，在传感器端部加一塑料壳6。

当被测压力p作用于金属波纹膜片7上时，将压力转换为集中力，使硅片梁5产生变形，从而使硅片梁上扩散的电阻4发生变化。

这种传感器可用于心血管、颅内、眼球内等压力的测量。

图3.25压阻式压力传感器,3.压阻式加速度传感器图3.26所示为压阻式加速度传感器的结构示意图。

图中悬臂梁用单晶硅制成，在悬臂梁的根部扩散四个阻值相同的电阻，构成差动全桥。

在悬臂梁的自由端装一质量块，当传感器受到加速度作用时，质量块的惯性力使悬臂梁发生变形而产生应力，该应力使扩散电阻的阻值发生变化，由电桥输出获得加速度的大小。

图3.26压阻式加速度传感器,3.3电位器式传感器3.3.1电位器的结构类型电位器是一种将机械位移（线位移或角位移）转换为与其成一定函数关系的电阻或电压的机电传感元件，主要由电阻元件和电刷（活动触点）两个部分组成，如图3.27所示。

电阻元件是由电阻率很高、极细的绝缘导线，按照一定规律紧密整齐地绕在一个绝缘骨架上制成的。

电阻元件上装的滑动电刷由具有弹性的金属薄片或金属丝制成。

电刷与电阻元件之间有一定的接触压力，使两者在相对滑动过程中保持可靠的接触和导电。

图3.27电位器的结构类型,3.3.2电位器的负载效应1.线性电位器的空载特性电位器的后接电路一般采用电阻分压电路，如图3.28所示。

负载电阻RL相当于测量仪器的内阻，输出电压为式中：

R电位器的总电阻；Rx随电刷位移x而变化的电阻值。

（3.47）,图3.28电阻分压电路,对于线性电位器，电刷的相对行程与电阻的相对变化成比例，即当负载电阻RL时，即空载状态下，输出电压Uo与电刷位移x成正比，即,（3.48）,（3.49）,2.线性电位器的负载特性一般情况下电位器接有负载电阻RL，其输出电压Uo与电刷位移x为非线性关系。

令n=Rx/R、m=R/RL，代入式（3.47）得负载电阻RL产生的非线性误差为,（3.50）,（3.51）,3.非线性电位器非线性电位器是指其输出电压（或电阻）与电刷行程x之间具有非线性关系，如图3.2