半导体行业氢氟酸中毒危害及个人防护实用版.docx

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半导体行业氢氟酸中毒危害及个人防护实用版

YF-ED-J4650

可按资料类型定义编号

半导体行业——氢氟酸中毒危害及个人防护实用版

InOrderToEnsureTheEffectiveAndSafeOperationOfTheDepartmentWorkOrProduction,RelevantPersonnelShallFollowTheProceduresInHandlingBusinessOrOperatingEquipment.

（示范文稿）

二零XX年XX月XX日

文件名

半导体行业——氢氟酸中毒危害及个人防护实用版

日期

20XX年XX月

版次

1/1

编制人

XXXXXX

审核

XXXXXX

批准

XXXXXX

半导体行业——氢氟酸中毒危害及个人防护实用版

提示：

该解决方案文档适合使用于从目的、要求、方式、方法、进度等都部署具体、周密，并有很强可操作性的计划，在进行中紧扣进度，实现最大程度完成与接近最初目标。

下载后可以对文件进行定制修改，请根据实际需要调整使用。

　　氢氟酸档案

　　氢氟酸：

HydrofluoricAcid;CAS：

7664-39-3

　　分子式：

HF分子量：

20.2；

　　俗名：

氟酸、白骨酸、化骨水、洗钻水、除锈剂、酸洗等；

　　特征：

具有刺激气味及剧毒性，属于中等强度偏弱的酸，与金属氧化物、氢氧化钠和碳酸盐反应生成金属氟盐，具有溶解硅和硅酸盐的性质，与三氧化硫或氯磺酸生成氟磺酸，与卤代芳烃、醇、烯、烃类反应生成含氟有机物，溶于水生成腐蚀性很强的酸；

　　用途：

氢氟酸主要用于半导体行业和玻璃蚀刻剂，因为硅的化学性质不活泼,常温下不与水、空气、酸反应，与强碱反应。

　　注意事项：

氢氟酸如不当使用可能对人体的严重危害，其暴露途径包括皮肤及黏膜接触、呼吸道吸入及肠胃道摄入，皮肤若接触到50％以上较高浓度的氢氟酸，会立刻引起疼痛、泛白、红肿反应，1至2小时内产生水泡，6至24小时则会坏死及溃烂，若接触到10％以下较低浓度者，则往往于6小时或更长时间才发生疼痛等症状，因此常被当事人忽略而太晚处理，最后造成永久性伤害，一般常见受伤害的部位为手指。

另外，如呼吸道、肠胃道等其它途径暴露，将产生咳嗽、烧灼感及呼吸困难等症狀，或造成腹痛、恶心、吐血、肠道穿孔等症狀。

氢氟酸对人体的伤害，除了酸性腐蚀伤害外，进入人体的氟离子可能与钙、镁离子结合，导致血钙过低、血镁过低和血钾过高，进而影响神经和心脏血管系统。

　　使用氢氟酸时应避免与身体接触，包括皮肤、眼睛及呼吸道等，预防皮肤接触时需佩戴氟化聚乙烯（PVDF）、天然橡胶等材质之手套为佳，不要使用布质及棉质手套，并于易飞溅场合应做到全身防护，可使用连身式防护服、防化靴/工作靴，眼部应使用护目镜或全面式面罩。

若不慎遭到氢氟酸腐蚀，应尽速采用大量的清水冲洗患部至少30分钟，直到身上看不到任何附着的固体或液体，并尽速送医，就医时应携带所接触的化学品，以提供医护人员及时进行正确诊疗。

氢氟酸分子小渗透力强，如不清洗彻底将产生蚀骨的永久性伤害，直至节肢；

　　危害、防护和紧急处理

　　健康危害：

对皮肤有强烈的腐蚀作用。

灼伤初期皮肤潮红、干燥。

创面苍白，坏死，继而呈紫黑色或灰黑色。

深部灼伤或处理不当时，可形成难以愈合的深溃疡，损及骨膜和骨质。

本品灼伤疼痛剧烈。

眼接触高浓度本品可引起角膜穿孔。

接触其蒸气，可发生支气管炎、肺炎等。

　　慢性影响：

眼和上呼吸道刺激症状，或有鼻衄，嗅觉减退。

可有牙齿酸蚀症。

骨骼Ｘ线异常与工业性氟病少见。

　　燃爆危险：

本品不燃，剧毒,具强腐蚀性、强刺激性，可致人体灼伤。

　　皮肤接触：

立即脱去污染的衣着，用大量流动清水冲洗至少15分钟。

就医。

　　眼睛接触：

立即提起眼睑，用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗至少15分钟。

就医。

　　吸入：

迅速脱离现场至空气新鲜处。

保持呼吸道通畅。

如呼吸困难，给输氧。

如呼吸停止，立即进行人工呼吸。

就医。

　　食入：

用水漱口，给饮牛奶或蛋清。

就医。

　　危险特性：

本品不燃，但能与大多数金属反应，生成氢气而引起爆炸。

遇Ｈ发泡剂立即燃烧。

腐蚀性极强。

　　有害燃烧产物：

氟化氢。

　　灭火方法：

灭火剂：

雾状水、泡沫。

　　应急处理：

迅速撤离泄漏污染区人员至安全区，并进行隔离，严格限制出入。

建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿防酸碱工作服。

不要直接接触泄漏物。

尽可能切断泄漏源。

小量泄漏：

用砂土、干燥石灰或苏打灰混合。

也可以用大量水冲洗，洗水稀释后放入废水系统。

大量泄漏：

构筑围堤或挖坑收容。

用泵转移至槽车或专用收集器内，回收或运至废物处理场所处置。

　　操作注意事项：

密闭操作，注意通风。

操作尽可能机械化、自动化。

操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。

建议操作人员佩戴自吸过滤式防毒面具（全面罩），穿耐酸碱服，戴橡胶耐酸碱手套。

防止蒸气泄漏到工作场所空气中。

避免与碱类、活性金属粉末、玻璃制品接触。

搬运时要轻装轻卸，防止包装及容器损坏。

配备泄漏应急处理设备。

倒空的容器可能残留有害物。

　　储存注意事项：

储存于阴凉、通风的库房。

远离火种、热源。

库温不超过30℃，相对湿度不超过85％。

保持容器密封。

应与碱类、活性金属粉末、玻璃制品分开存放，切忌混储。

储区应备有泄漏应急处理设备和合适的收容材料。

监测方法：

离子选择性电极法；氟试剂－镧盐比色法

　　工程控制：

密闭操作，注意通风。

尽可能机械化、自动化。

提供安全淋浴和洗眼设备。

　　呼吸系统防护：

可能接触其烟雾时，佩戴过滤式防毒面具（全面罩）或空气呼吸器SCBA。

紧急事态抢救或撤离时，建议佩戴氧气呼吸器。

　　眼脸防护：

呼吸系统防护中已作防护，或配防飞溅防护眼镜或眼罩，防飞溅全面具。

　　身体防护：

穿耐酸碱防护服、防护围裙、袖套等。

　　手足部防护：

戴橡胶耐酸碱手套/防化靴。

　　其他防护：

工作现场禁止吸烟、进食和饮水。

工作完毕，淋浴更衣。

单独存放被毒物污染的衣服，洗后备用。

保持良好的卫生习惯。

　　主要用途：

用作分析试剂、高纯氟化物的制备、玻璃蚀刻及电镀表面处理等。

　　禁配物：

强碱、活性金属粉末、玻璃制品。

　　废弃处置方法：

用过量石灰水中和，析出的沉淀填埋处理或回收利用，上清液稀释后排入废水系统。

　　包装方法：

装入铅桶或特殊塑料容器内，再装入木箱中。

空隙用不燃材料填充妥实；装入塑料瓶，特种电木、橡胶或铅容器，严封后再装入坚固木箱中。

木箱内用不燃材料衬垫，每箱净重不超过20公斤，3～5公斤包装每箱限装4瓶。