XPS样品制备与测试.docx

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XPS测试是一种常见的分析物质组成的方法，不仅可以分析物质的元素组成，还可以分析元素的化合价。

XPS测试需要相当高的真空度，所以样品越干燥越好，自然不可能用溶液。

XPS的测试深度仅有几十纳米。

XPS中，光电子被激发出后射向样品外面并被那里的检测器收集，这个过程与样品本身的性质没有任何关系。

测试的时候只需要记住一点要求：

XPS需要极高的真空度，所以送进样品室的任何东西都是越干燥越好，以免其中含有的液体气化影响抽真空。

X射线光电子能谱分析（XPS测试）样品准备xps其实对固态样品表面还是有要求的最好洗干净了 然后做个深度剖析 这样会测得准些 粉末的话直接拿去就行了

X射线光电子能谱分析（XPS测试）样品的大小XPS的样品一般是10mm*10mm*5mm,也可以更小些。

厚度不能超过5mm.XPS分析室的真空度可以达到<10-9Pa,因此样品要干燥，不能释放气体。

XPS的灵敏度很高，待测样品表面，绝对不能用手，手套接触，也不要清洗。

X射线光电子能谱分析（XPS测试）主要有两种样品制备方法。

第一，压片的方法。

当样品比较多的时候可以采取这种方法，这样测试结果更为可靠。

具体操作就是将样品磨成细小粉末，均匀铺在铝箔上，盖上一片铝箔，用液压机压平，用剪刀剪成一定形状，揭开，就可以等待测试了。

 第二，硅片制样。

该法对制样要求较高，适用于样品较少的情况。

具体操作就是将溶液状态的样品滴加在清洁的硅片上，烘干，即可测试。

尽量滴加浓一些，这样可以减少污染物的影响。

X射线光电子能谱分析（XPS测试）时样品大概需要多少克比较少的样品就可以了，一般用个几十毫克就足够了。