光电检测技术及应用第10章-外观检测201607.ppt

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激光器出光束入射到偏振分束器输pbs1上,p光透射,s光反射.s光被反射后沿光路1束经扩镜l1束后入射到半反片扩pb上.p光透射后入光路进2,在光路2中入插/2波片,p光经/2波片变为s光,被pbs2反射后入射到束缩镜l2束后再入射到半反分束缩镜pb上.整光路使束光在调两pb上同心.经pb后束光的一部分偏振片两经p3相互干涉被光接收器电pin1接收作考信为参号进入相放大器锁;另一部分由聚焦透镜l3聚焦再照射到被表面测,整光路使光调束垂直入射,光束被反射后沿原光路返回则,其次一间两经过个/4波片,注意入射光都为s光,最后都则变为p光返回.束两p光经pb后一部分光路经2被pbs2透射在p2相互干涉,pin2接收,出包含了被表面相位的信息输测,作被为信入相放大器测号进锁;另一部分沿光路1在pbs1透射经p1和四象限光接电收器作聚焦整信用控制物台描为调号来载扫,使光束在被表面聚焦最小测.整个光路系有光返回激光器统没.光路结构简单,充分利用了光路的每一部分出输,在接收端束光偏振同向两态（都为s光或p光）,使干涉信可度最大号见,提高了系的信噪比统.考信和被信相放大器理后出参号测号经锁处输,由算机采分析即可得到被计样表面的表面廓均方根偏差测轮rms值.控制步机可描被表面进电连续扫测,得到整表面的粗糙度分布个.由于各因素的影种响,激光器的工作率不定频稳,引起它将zeeman激光器的拍出有大的漂移频输.示实验显,在不到10min内,漂移达8.5khz（70khz拍频）.拍的不定系大的量差频稳将给统带来测误,使系不能正常工作并统.故采用了措施稳频（见图2）,率定性在频稳1h化内变0.5khz.