防静电管理方案规范标准规范标准.docx
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防静电管理方案规范标准规范标准
^.
防静电管理标准规范
目录:
1.目的
2.适用范围
3.引用标准
4.名词术语
5.防静电工作区系统
6.人体防静电系统
7.职责
8.培训
9.采买
10.记录
11.附录
1.目的
^.
为防范静电敏感元器件在生产、运输、储蓄、检测等过程中碰到静电释放的影响,从而产生短路、电阻漂移、
开路、工作性能退化等不良现象。
特成立《电子产品制造静电防范技术要求》,以保证产质量量,增加可靠性,减
低不良率,节约产品工时成本,降低维修花销。
基于《电子产品制造静电防范技术要求》文件的宣布,提高员工对ESD的认识,加强员工自觉防范ESD现象
之看法,促进生产管理水平之提高。
2.适用范围
本文适用于所有车间中生产制程及电子元器件的采买、运输、储蓄、检测过程中的静电防范。
3.引用标准
SJ/T10694-1996
《电子产品制造防静电系统测试方法》
GB/T15463-1995
《静电安全名词术语》
GJB3007-97
《防静电工作区技术要求》
GJB1649-93
《电子产品防静电放电控制大纲》
GB12014-89
《防静电工作服》
SJ/T10533-94
《电子设施制造防静电技术要求》
SJ/T10630-1995
《电子元器件制造防静电技术要求》
ANSI/ESDSTM3.1-2000
《静电放电敏感产品防范用标准:
离子发生器》
ANSI/ESDS20.20-1999
《成立一个静电放电控制方案
—保护电气和电子零件,装置和设施》
4.名词术语
4.1
静电:
一种处于相对牢固状态的电荷。
它所引起的磁场效应能够忽略不计(静电可由物质的接触与分别、
静电感觉、介质极化和带电微粒的附着等物理过程而产生)。
4.2
ESD:
ElectronicStaticDischarge
,原意是指静电释放,即经过带静电地域直接接触或感觉而引起的静
电电荷在不同样电势物体上的转移。
后常指静电防范,即防范静电释放的发生。
4.3
静电感觉:
当带电物体凑近某一介质时,在该介质表面因感觉而带电荷,并形成感觉电场。
4.4
ESDS:
ElectronicStaticDischargeSensitive
,静电放电敏感(的),平时用来指静电敏感元器件。
4.5
防静电工作区:
由各种防静电设施、器件及明确的地域界限形成的工作场所。
4.6
静电敏感度:
ElectrostaticSensitivity
,元器件所能承受的静电放电电压值。
4.7
表面电阻/点对点电阻:
在与资料的同一侧面相接触的两个规定形状的电极之间,直流电压对于流过的电流
的比值。
该测量结果以欧姆为单位来表示。
4.8
体积电阻/对地电阻/系统电阻:
在与资料的相对两面相接触的两个规定形状的电极之间,直流电压对于流
过的电流的比值。
该测量结果以欧姆为单位来表示。
4.9
摩擦起电:
当使两种资料接触或互相摩擦后分别时,产生静电荷。
4.10
摩擦电压:
物体被摩擦后,表面所带静电荷的电压。
4.11ESD损害:
由静电放电引起的电子元器件性能退化或功能无效。
4.12
消电时间(DecayTime):
一个静电压从其初始值降低到一个给定值(平时是初始值的
10%)所需要的时间。
注:
国际常例对于小于1E6欧姆的电阻使用
10V电压测量,大于或等于
1E6欧姆的电阻使用
100V电压测量,防静
电工作区系统
5.1
防静电工作区的划分:
依照GJB1649规定的静电放电电压敏感的静电放电敏感元器件
组件和设施的分级.静电放电敏感产品按敏
感度电压被分级为:
静电敏感度级别
静电敏感电压(人体模型
—HBM)
I级
0~1999V
II级
2000~3999V
III级
4000~15999V
依照该项标准的规定,所要求的ESD控制大纲一般只包括对
产线本质情况以下:
5.1.1.1LED芯片的静电敏感度相对较高,生产环境相对干燥
I和II,
级敏感产品的防范。
现依照元器件静电敏感度和生
凡是直接操作的半成品、成品生产线均定为I级;
^.
5.1.1.2可是是器件的储藏和运输,也不需要严格的防静电措施,原由是产品在这个时候没有被加工。
把这些地域或车间定为II级;
依照上述原由,现规定敏感级别为:
级别
地域
I级固焊车间、灌胶车间、模压车间、外观、分光、包装等
II级成品包装地域、货仓地域,生产仓,收料仓等
公司内部由黄、黑双色斑马线围起的地域或门口挂有静电标示牌的车间为防静电工作区。
元器件敏感度分级由QC1ESD工程师按后附录1——《ESDS元器件分类》酌情分级,并确定。
5.2防静电工作区基本环境要求
防静电工作区应保持干净,防范有灰尘积聚或飘扬的状态发生
车间内温湿度的控制结合车间的本质情况定为:
地域
温度
湿度
万级干净室
21
2C
%~%
10万级干净室
21
2C
%~%
一般车间
23
3C
%~%
在不对产品造成有害影响的前提下,赞同使用增湿设施喷洒制剂或水,以增加环境湿度。
防静电工作区应清楚注明地域界限以及警示标志,见附录14。
要求使用防静电地板或在一般地面上铺设防静电地垫,并保证有效接地。
严禁直接使用木制地板或铺设毛、
麻、化纤地毯及一般地板革。
天花板及墙壁建议使用防静电资料制品,一般情况下赞同使用石膏制品或石灰涂料,严禁使用一般塑料制品。
5.3
防静电工作区接地系统
应有独立可靠的接地装置,接地电阻一般应小于
10欧姆,为保证人员安全,在与人员直接接触的地方应加
装1兆欧姆限流电阻。
接地线的要求以下:
接地线
截面积
接地电阻
要求
接地总线
不小于100mm2的铜制导线
小于10欧姆
ESD线不得直接接在电源零线上。
ESD线不
接地支干线
不小于6mm2的铜制导线
小于10欧姆
得与防雷地线共用。
使用三相五线制供电,
其
设施和工作
不小于1.25mm2的多股或单
小于
10欧姆或
大地线能够作为ESD地线,但需保证电源地
台的接地线
股的铜制绝缘套导线
0.8兆欧~1.2兆欧
线与零线不能够搭接。
ESD地线应用绿色绝缘套表记。
台垫等物件的接地配件依照来料的颜色使用。
厂房接地总线的接地电阻小于10欧姆,由行政部负责如期检查,周期为一个月一次。
并填写《厂房接地电阻测试记录表》。
车间内部的设施和工作台的接地线的接地情况由
PE负责如期检查,周期为3个月一次。
并填写《工作台地
线接地电阻测试记录表》。
测试台的防静电设施,工用具的接地由
TE负责如期检查,周期为3个月一次。
并填写《工作台地线接地电
阻测试记录表》。
5.4
防静电地域设施及辅料要求
I级地域
II级地域
防静电安全工作台
防静电安全工作台
防静电容器、运输工具(料盒、料箱、运输车)
防静电容器、运输工具(料盒、料箱、运输车)
防静电腕带
防静电腕带
防静电工衣(帽)
防静电工衣(帽)
防静电工鞋
防静电工鞋
防静电测试架
离子风机(离子棒/离子风枪)(视工序而定)
防静电烙铁(如需使用烙铁)
5.5
防静电工作区的ESD技术要求
^.
防静电地板
用防静电PVC地板专用干净剂或中性干净用品如期进行干净,
严禁使用强酸、强碱或能溶解
PVC资料的化
学溶剂进行冲刷,若是属于更严重的污渍,能够使用异丙烯基乙醇干净。
严禁带有尖刺、粗糙的重物在地板表面擦划、拖拉。
不能够将硫化物、丙酮、酒精等物件撒落在
ESD地板上,如发生以上情况,应马上干净。
使用防静电地板蜡水进行如期涂敷、养护,一般
6个月一次。
地板蜡的电阻小于
1E9欧姆。
地板安装时应满足的
ESD技术指标包括:
表面电阻值和系统电阻值均在
1E4~1E9欧姆范围以内。
生产部应及时向行政部要求对防静电地板进行打蜡保护,
行政部做好地板打蜡后应及时通知
QC1部ESD工
程师。
对于K4干净室的地板,经IE评估且经过ESD工程师的认可,能够不做地板打蜡。
QC1部ESD工程师应行家政部对防静电地板打蜡后做一次防静电地板表面电阻、系统电阻测试,测试方法
见附录2,并填写《防静电地板电阻测试记录表》
。
防静电安全工作台(含测试台)
各地域的防静电安全工作台由负责该地域的
PE或TE确定范围。
比方:
回流焊后的检查台、
QC1检查台、
维修台和测试台等。
防静电安全工作台基本要求和严禁项目
要求
严禁
工作台表面铺设防静电台垫,同时台垫必定接地。
工作台上放置一般塑料盒(片)
、橡皮、玻璃、普
特别情况能够没有台垫,但需经
ESD工程师认可。
通泡沫等简单产生静电的杂物.
装备腕带接头、ESD地线、离子风机(可选)、防
距离ESDS元器件30厘米以内有摩擦电压高于
静电工具(可选)和防静电测试架
200V的物件
在防静电区内使用不吻合防静电要求的物料且一准时,必定获取
QC1ESD工程师的评估和认可。
防静电台台面应满足
ESD技术指标。
表面电阻值和系统电阻值均在
1E4~1E9欧姆范围以内。
防静电台椅子应满足
ESD技术指标。
表面电阻值和系统电阻值均小于
1E9欧姆范围。
防静电胶帘的表面电阻应在
1E4~1E11欧姆内。
5.5.2.7PE应每6个月做一次相应的工作地域内的防静电台垫和防静电工椅电阻测试,防静电台垫测试方法见附录
3,填写《防静电台垫电阻测试记录表》。
防静电工椅测试方法见附录8,填写《防静电工椅测试记录表》,
倘如有不合格的,须及时更换。
防静电辅料/工具
防静电溶剂瓶:
系统电阻在
1E4~1E11欧姆范围。
防静电烙铁/焊接工具:
从热的端头到地的电阻应小于10
欧姆。
防静电文件袋(夹):
表面电阻在1E4~1E11欧姆范围。
PE应每6个月做一次防静电辅料电阻测试,测试方法见附录
7,填写《防静电辅料电阻测试记录表》
。
防静电包装及容器
防静电容器包括——ESDS原料包装袋(盒/盘)、装板的料盒、等所有包装、储蓄
ESDS的容器。
赞同使用局部抗静电涂料对容器表面进行办理,但使用收效必定由相关
PE如期检查。
防静电容器应满足ESD技术指标:
表面电阻(包括内表面面)在1E4~1E11欧姆范围,系统电阻在
1E4~1E10
欧姆范围。
若是产品或产品的金属部分不直接与防静电容器接触,则赞同防静电容器的电阻小于
1E4欧姆。
PE应每6个月做一次防静电容器(包括吸塑、托盘、料箱等)表面电阻和体积电阻测试,测试方法见附录
4。
填写《防静电周转容器电阻测试记录表》,测试结果由PE保存半年,并在吻合标准的容器上做标志。
QC2
应按SEF对来料的包装袋和容器进行测试,并填写《防静电包装袋
容器电阻测试记录表》。
防静电运输工具及存放架等
防静电运输工具包括—ESD运输车、ESD小推车等
为保护ESDS不碰到外面强静电场的影响,运送ESDS的防静电运输工具应由高导电性资料
(建议使用不锈
钢)制作,车子经常固准时要求硬接地。
其对地电阻应小于
10欧姆。
当运输车由不锈钢组成时,且经常搬动时,其对地电阻应小于
1E9欧姆。
^.
存放架的表面电阻和对地电阻应小于
1E9欧姆。
防静电运输工具应满足
ESD技术指标:
表面电阻和对地电阻小于
1E9欧姆。
PE应每6个月做一次防静电运
输车、ESD小推车之台面对轮脚系统电阻测试,测试方法见附录
5。
填写《防静电运输工具/存放架电阻测
试记录表》,测试结果由
PE保存半年,并在吻合标准的运输工具上做标志。
除静电离子风机/离子棒
当防静电地域内不能防范的需要使用会产生高静电的资料时,
且该资料要求被放置在离
ESDS30厘米内时,
必定使用离子风机或离子棒。
对于不能够接地又直接接触
ESDS元件的物体,必定保证其保持在零电位状态,
必要时,能够使用离子风机消
除在这个过程中产生的静电。
5.5.6.3离子风机在使用的过程中会产生较大功率的RF信号,因此进行通信产品测试的车间不适用离子风机。
若是要用,则需要经过QC1ESD工程师的评估。
悬挂式离子风机应悬挂在离工作台面
60厘米的高度,(特别工位可例外,但须经
ESD工程师认可)离子风
机的出风口不能够有异物阻截。
离子风机的平衡电压保持在
50V
以内,消电时间(从
1000V中和到100V)
应小于10秒(高风速)。
台式离子风机应放置在工作台上且离工作地域
30~45
厘米左右,以保证有足够的覆盖范围和快速的静电消
除。
离子风机的出风口不能够有异物阻截。
离子风机的平衡电压保持在
50V以内,消电时间(从1000V中和
到100V)应小于3秒(高风速)。
离子棒应悬挂在合适的工作高度以保证除静电收效,离子棒的平衡电压应保持在
50V以内,消电时间(从
1000V中和到100V)应小于60秒。
QC1ESD工程师应每6个月做一次离子风机平衡电压和消电时间测试,填写《除静电离子发生器测试记录
表》,对不吻合要求的离子风机,应及时办理。
其他防静电物料及相关要求
不在上面列出来的物料则按一般防静电要求,
表面电阻在1E4~1E11欧姆内,系统电阻在1E4~1E11欧姆内。
特别情况下,若是找不到合适的供应商,又经过ESD专员的评估,确认不会对产品组成
ESD隐患的情况下,
能够引入表面电阻或体积电阻小于
1E11欧姆的物料。
6人体防静电系统
6.1
防静电腕带
直接接触ESDS的任何人员都应按规定佩带防静电腕带(俗称静电带)
,严禁使用无线防静电腕带。
防静电腕带的接触线应内置一个
1
兆欧姆电阻,以保证人体安全以及快速泻放静电,防静电腕带的腕带应
是导电性的,表面电阻应小于
1E3
欧姆。
同时应保证防静电腕带与人体皮肤有优异的接触,系统电阻应小
于35兆欧姆,且使用鳄鱼夹或插头座可靠的连接在
ESD线上。
应每天一次测量防静电腕带的系统电阻,
由拉长填写《静电带检查记录表》,检查不合格时应交由维修检修,
不能够修复时,应及时更换。
6.2
防静电鞋/防静电鞋套
所有进入防静电地域的人员都应穿用防静电鞋
/鞋套,防静电鞋
/鞋套的使用要保证鞋的系统电阻在
1E5~3.5E7欧姆范围内。
应每天一次测量防静电鞋
/鞋套的系统电阻,由拉长填写《防静电鞋
/鞋套检查记录
表》,检查不合格时应及时更换。
6.3
防静电工作服
防静电工作服包括
——防静电连体衣、防静电大褂、防静电工鞋(鞋套)和工帽,防静电工作服要求使用
导电网格防静电绸制作,制造要求应吻合
GB12014之规定,其各部分之间应存在电气连续性。
工作服的设
计应能保持在穿着状态下与人体皮肤直接或间接地接触。
进入防静电地域时,防静电工作服、工鞋和工帽要求穿着整齐,所有纽扣(拉链)要系好(拉完好)
,头发
必定包在工帽内,不能够有外露。
不同样使用人员之防静电工作服按颜色划分:
人员
一般工作地域及
10万级洁
万级干净室
净室
^.
生产部作业员工
白色的防静电服(帽)
黄色防静电连体服帽
质量部员工
粉红色的防静电服(帽)
粉红色防静电连体服帽
工程人员
蓝色的防静电服(帽)
蓝色防静电连体服帽
生产管理人员
白色的防静电服(帽)
白色防静电连体服帽
外来人员
白色的防静电服(帽)
白色防静电连体服帽
购买防静电工衣时应满足
ESD技术指标:
表面电阻值(
1E5欧姆~1E10欧姆)。
生产部应每半年做一次防静电工衣表面电阻测试,
测试方法见附录6,并填写《防静电工衣表面电阻
测
试记录表》,对于不吻合指标要求的防静电工衣,予以更换。
6.4防静电手套/指套
由消逝性资料制成,人体穿着对地电阻在
1E5~1E11欧姆范围,摩擦电压小于
50V。
6.5
人体综合接地测试系统
要求
手段带-人体
工鞋-人体
指示灯
电阻下限
7.5E5欧姆
1E5欧姆
电阻上限
3.5E7欧姆
3.5E7欧姆
电阻在范围以内
绿灯
电阻不在范围以内
红灯
每个进入防静电地域的人员须进行人体综合接地收效测试,若是亮红灯,则表示测试失败,应更换工鞋
/鞋
套或手段带重新进行测试并通知相关人员。
6.6
人员防静电一般要求
要求进入防静电区的人员尽量穿着棉质衣物,尽量防范穿着尼龙等合成纤维制品,省得产生强电场以致静
电感觉放电现象。
在防静电工作区内不得大声喧华,坐立姿势正直,防范不用要的走动,以及不用要的大幅度身体运动,如
弯腰、晃着手臂等,在防静电工作区内如有必要走动,应闲步行走,严禁奔跑。
接触静电敏感器件及组件从前应戴好防静电腕带,防静电腕带再接入防静电地线系统,要保证腕带与皮肤
接触优异,在戴腕带处皮肤上不得涂护肤油、防冻油等绝缘物质。
手持静电敏感器件及组件时应防范接触其导电(金属管脚)部分,操作过程中应尽量减少对静电敏感器件
及组件的接触次数。
按需要逐一取用,不得一次倒出一堆纷乱地放在工作台面上,确需暂时叠放时必定用
防静电资料隔走开。
外来人员参观,必定有本公司人员全程陪同,按参观路线行进,不得随意走动,不得进入机器外面的斑马
线地标,更不得随意触摸产品。
7职责
7.1
生产经理、课长、组长等管理人员,职责包括:
负责做好物料、作业员、及其他出入防静电工作区人员及物件的出入管理,保证其按
ESD要求正确着装,
保证作业员及在防静电工作区内的人员正确使用
ESD设施,包括防静电工衣、防静电工帽、防静电工鞋、
防静电腕带、防静电台垫、离子风机、
ESD料盒和ESD地板等;
保证没关人员不接触产品,不对产品产生静电释放;
对思疑是静电损害的产品,需要保存样品并报告给相应的部门作无效解析;
如期检查防静电工衣、工鞋、腕带的
ESD质量,如有质量异常,及时向采买部提出采买申请更换;
每天检查ESD设施、台垫等的接地情况(目视)
,保证接地线正确的连接到
ESD总线上;
每六个月要求服务组对防静电地板进行打蜡。
7.2ESD工程师/技术员,职责包括:
兼备全厂的ESD控制,如期对生产线的静电防范水平做出评估,并给出改进建议,提高其静电防范水平;
负责搜寻新的防静电用品的供应商,评估新购的防静电用品的性能;
协助人力资源部进行ESD培训;
督查各个部门的ESD管理情况,及时反响ESD情况;
对生产线的静电损害样品作无效解析,解决工序中的ESD情况;
如期检查除静电离子发生器的性能,保证其正常工作;
^.
负责对打蜡后的地板进行测量。
责成行政部保证车间内的相对空气湿度在各车间规定的范围内;
如期检查ESD总线的接地情况,保证其情况优异;
如期使用专用的防静电地板蜡水对防静电地板打蜡,打完蜡后进行电阻测试。
7.3人力资源部,职责包括:
负责对新进厂的员工进行初步的防静电知识培训;
如期对员工进行防静电知识培训,并进行培训的再审察。
7.4
开发部,职责包括:
开发部在设计新产品时应试虑到器件的静电敏感度,尽量采纳拥有最大静电抗扰度的元件;
在新产品设计阶段应尽量引入防静电网络到电路设计中去,以保护产品里面的静电敏感元件;
要求供应商供应元器件静电敏感度的级别。
包括人体模型(HBM)、机器模型(MM)和带电器件模型(CDM)(应
列明何