TFT工艺流程中中英文标准名称.docx
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TFT工艺流程中中英文标准名称
一．TFT工艺流程中英文标准名称
ArrayProcessFlow
阵列段工艺流程
Input
投料
Unpacking
拆包装
Initialclean
预备清洗
Particlecount
尘埃粒子测试
Gate
栅电极层
Cleanbeforedepo
成膜前清洗
Gate（Mo/Alalloy）Filmdepo
栅电极成膜
RSmeter
电阻测量
MacroInspection
宏观检查
CleanbeforePR
涂胶前清洗
Prebake
预烘
PRCoating
光刻胶涂布
PRvacuumdry（VCD）
光刻胶低压干燥
PRsoftbake
前烘
Expose
曝光
TitlerExpose/EdgeExpose
打标/边缘曝光
Develop
显影
PRhardbake
坚膜
ADI
显影后自动光学检查
Mic/MacInspection
宏微观检查
CDafterdevelop
显影后关键尺寸检查
Totalpitch
长寸测量
GateWetetch
栅电极湿刻
Contactangle
接触角测量
PRstrip
光刻胶剥离
CDafteretch
刻蚀后关键尺寸测量
AEI
刻蚀后自动光学检查
Micro/MacroInspection
宏微观检查
LaserRepair
激光修补
Active层
Cleanbeforedepo
成膜前清洗
Activefilmdepo
Active成膜
AOI
自动光学检查
MacroInspection
宏观检查
ThicknessMeasurement
厚度测量
CleanbeforePR
涂胶前清洗
Prebake
预烘
PRCoating
光刻胶涂布
PRvacuumdry
光刻胶低压干燥
PRsoftbake
前烘
Expose
曝光
Develop
显影
PRhardbake
坚膜
ADI
显影后自动光学检查
Mic/MacInspection
宏微观检查
ActivefilmDryetch&Ashing
Active膜干刻与灰化
ThicknessMeasurement
厚度测量
PRstrip
光刻胶剥离
AEI
刻蚀后自动光学检查
Mic/MacroInspection
宏微观检查
S/D
源/漏电极层
Cleanbeforedepo
成膜前清洗
S/DMofilmdepo
源/漏电极成膜
RSmeter
电阻测量
MACROInspection
宏观检查
CleanbeforePR
涂胶前清洗
Prebake
预烘
PRCoating
光刻胶涂布
PRvacuumdry
光刻胶低压干燥
PRsoftbake
前烘
Expose
曝光
Edgeexpose
边缘曝光
Develop
显影
PRhardbake
坚膜
ADI
显影后自动光学检查
MIC/MACInspection
宏微观检查
CDafterdevelop
显影后关键尺寸检查
Hardbakebyoven
烘炉坚膜
S/DMoWetetch
源电极/漏电极湿刻
n+a-SiDryetch
n+高掺杂膜干刻
PRstrip
光刻胶剥离
ThicknessMeasurement
厚度测量
CDafteretch
刻蚀后关键尺寸测量
AEI
刻蚀后自动光学检查
Micro/MacroInspection
宏微观检查
CleanbeforeO/Stest
短路/开路测试前清洗
Open/ShortTest
短路/开路测试
Passivation
保护层
Cleanbeforedepo
成膜前清洗
Pass'nfilmdepo
保护膜成膜
AOI
自动光学检查
MACROInspection
宏观检查
ThicknessMeasurement
厚度测量
CleanbeforePR
涂胶前清洗
Prebake
预烘
PRCoating
光刻胶涂布
PRvacuumdry
光刻胶低压干燥
PRsoftbake
前烘
Expose
曝光
Edgeexpose
边缘曝光
Develop
显影
PRhardbake
坚膜
ADI
显影后自动光学检查
Micro/MacroInspection
宏微观检查
SinXDryetch&ASHING
氮化硅干刻与灰化
PRstrip
光刻胶剥离
AEI
刻蚀后自动光学检查
Micro/MacroInspection
宏微观检查
ITO
ITO层
CleanbeforePR
成膜前清洗
a-ITOfilmdepo
ITO成膜
RSmeter
电阻测试
Anneal
煺火
MacroInspection
宏观检查
CleanbeforePR
涂胶前清洗
Prebake
预烘
PRCoating
光刻胶涂布
PRvacuumdry
光刻胶低压干燥
PRsoftbake
前烘
Expose
曝光
Develop
显影
PRhardbake
坚膜
ADI
显影后自动光学检查
Micro/MacroInspection
宏微观检查
ITOfilmetch
ITO膜湿刻
PRstrip
光刻胶剥离
AEI
刻蚀后自动光学检查
Micro/MacroInspection
宏微观检查
FinalE/T
最终电测
Anneal
煺火
Arraytest
阵列测试
Arrayrepair
阵列修补
TEGtest
TEG测试
Sort
分级
CellProcessflow
制盒段工艺流程
CFInput
彩膜投料
CFInitialClean
彩膜预备清洗
CFAOI
彩膜自动光学检查
CFSort
彩膜分级
PI
配向膜
CleanbeforePI
配向膜涂布前清洗
PIPrint
配向膜涂布
Pre-cure
预固化
PIInspection
配向膜检查
PIThickness
Measurement
配向膜厚度测量
Main-cure
固化
PIrework
配向膜返工
ODF
CF&TFTMatching
CF&TFT匹配
Rubbing
配向摩擦
RubbingInspection
摩擦检查
Loader&Unloader
上料机/下料机
Buffer
缓冲器
CSTBuffer
工装栏缓冲器
Rotation/CoolingUnit
旋转/冷却单元
TurnAlignUnit
旋转/对位单元
TurnOverUnit
翻转单元
AfterRubbingCleaner
摩擦后清洗
SpacerSpray
衬垫球散布
SpacerCounter
衬垫球计数
Spacerrework
衬垫球返工
SpacerCure
衬垫球附着固化
ShortDispense
导电胶涂布
SealantDispense
边框胶涂布
SealInspection
边框胶检查
LCDispense
液晶滴下
VacuumAssembly
真空贴合
UVCure
紫外线固化
Mis-alignmentcheck
错位检查
SealOven
边框胶热固化
EyeInspection
目视检查
CellgapMeasurement
盒厚测试
Cutting
切割
1/4（1/6）SheetCutting,
1/4（1/6）切割
StickCutting,
切条
CellCutting
切粒
VisualTest
Visual测试
ECP
EdgeGrind
磨边
Dippingclean
浸泡式清洗
CleanbeforePol
贴片前清洗
PolAttach
贴片
PolInspection
贴片检查
Polrework
贴片返工
AutoClave
AutoClave
消泡
LaserTrimmer
LaserTrimmer
激光切线
Test
测试
GrossTest
终检
Repair
修补
Binsorter
分级
OQCTest
出货检查
Store
货栈
ModuleProcessFlow
模块段工艺流程
COG
Padcleaning
端子清洗
ICBonding
IC邦定
MicroscopeInspection
AOI
镜检
自动光学检查
Adhesivetest
粘接力测试
FOG
ACFAttaching
ACF粘贴
FOGBonding
FOG邦定
MicroscopeInspection
镜检
Peelingstrengthtest
拉力测试
ETtest1
电测1
ICorFPCRepair
修补
UVgluesealing
封胶
FPCreinforcement
补强
UVgluecuring
UV胶固化
Assembly
组装
ETtest2
电测2
anti-ultraviolettapeattaching
遮光胶带粘贴
protectedtapeattaching
保护胶带粘贴
Backlightassembly
背光源组装
Backlightsoldering
背光源焊接
Touchpanelassembly
触摸屏组装
FinalETtest
最终电测
Rework
返工
Aging
老化
QCtest
QC检验
Codeprinting
喷码
Packing
包装
OQCTest
出货检验
Finishedgoodshipment
合格品出货
CIMname
集成控制系统名称
CIM
计算机集成制造系统
CIMSystem
计算机集成制造系统
ManufacturingExecutionSystem（MES）
制造执行系统（MES）
PreventiveMaintenanceSystem（PMS）
设备预防保养系统（PMS）
StatisticalProcessControl（SPC）
统计过程管理（SPC）
EquipmentAutomationProgram（EAP）
设备自动化（EAP）
Report
报表
EngineeringDataAnalysis（EDA）
工程数据分析（EDA）
FinishedGoodManagementSystem（FGMS）
成品管理系统（FGMS）
Product
产品
Glass
玻璃基板
Panel
面板
ProcessFlow
工艺流程
Operation
操作
EDC
工程数据收集
Equipment
设备
Chamber
腔体
Unit
单体
SubUnit
副单体
Port
端口
OIC（OperatorInterfaceClient）
操作者界面
EDB
工程数据库
FGMS
成品管理系统
Dispatcher
派货
Create
建立
Start
下线
Scrap
报废
Unscrap
取消保废
Complete
完成
Ship
出货
Unship
取消出货
Receive
收料
TrackIn
入账
TrackOut
出账
Wait
等待
Hold
滞留
Release
释放
Rework
返工
Vehicle
搬运车
Robot
机械手
AGV（AutomaticGuidedVehicle）
自动搬运车
MGV（ManualGuidedVehicle）
人工搬运车
Cleanlifter
净化电梯
LIM（LinearInductionMotor）Carrier
线性感应马达传送载具
OHS（OverheadHandlingSystem）
天车搬送系统
Stocker（cleandepot）
工装篮存放架
Battery
电池
Bay
作业区
Inter-bay
作业区和作业区之间
Intra-bay
作业区之内
Bumper
减震缓冲器
Charger
充电器
Controller
控制器
Conveyor
传送带
Crane
吊车（在Stocker内）
FFU（FanFilterUnit）
风扇过滤器
Host
主机
I/O（Input/Output）
输入/输出
IR（Infra-Red）
红外线
IRIF（Infra-RedInterface）
红外接口
Load
上料
Unload
下料
Magnetictape
磁条（AGV路径所使用的磁条）
Retrieve
检索
RTM（RotaryTransferMachine）
旋转传送机构
SCARAarm
AGV传送臂
Reset
重新设定
Transportation
传输
Recipe
工艺参数的组合
Stockout
将工装篮取出货栈
Request
要求,请求
Transfer
传送,运送
Instruction
命令,指令
Select
选择
Cancel
取消
Operation
作业,操作
Support
支援,支持
Process
工艺
Start
开始
Batch
批量
Lot
批（指生产线的在制品或产品控制单位）
ID（Identity）
识别码（如LotIDorChipID）
Sheet
片（Array区玻璃基版计数单位）
Inspection
检验
Defect
缺陷
Hold
滞留
Release
释放
Equipment
设备（简称为EQP）
Tool
工具,机台
WIP（WorkInProcess）
在制品（工艺在制品）
Maintenance
维修保养
Cassette
工装篮（阵列段）,卡匣（制盒段及模块段）
Empty
空的
Reserve
预备
Report
报告
Rework
返工
Logon
登录，入系统
Logoff
注销登录，离开系统
Note
批注
Unpackingline
拆包线
Unpacker
拆包机
Glassconveyor
玻璃传送带
InitialCleaner
预清洗
Unloader
下料机
CassetteManualGuideVehicle（MGV）
工装篮人工搬运车
ArrayCassette
Array工装篮
ODFCassette
ODF工装篮
AutomatedMaterialHandlingSystem（AMHS）
自动物料搬运系统
CleanStocker（STK）
洁净工装篮存放架（STK）
OverheadHandlingSystem（OHS）
天车搬送系统（OHS）
MaterialControlSystem（MCS）
物料控制系统（MCS）
CleanRobot
洁净机械手
Loader/Unloader
上/下料机
Sorter
分片机
二．TFT材料中英文标准名称
类型
Type
Materialsname
材料名称
玻璃
Glass
Glass
玻璃基板
Colorfilter
彩色滤光膜
Bareglass
白玻璃基板
LCDPanel
液晶面板
靶材
Target
AlNd/AlTarget
铝钕/铝靶材
MoNb/MoTarget
钼铌/钼靶材
ITOTarget
ITO靶材
化学液体
Chemical
AlEtchant
Al蚀刻液
ITOEtchant
ITO蚀刻液
HNO3
硝酸
CH3COOH
乙酸
Developer
显影液
Stripper
剥离液
MEA
单乙醇胺
PhotoResist
光刻胶
OrganicPhotoResist
有机膜用光刻胶
Thinner
稀释剂
NMP
N-甲基-2-吡咯烷酮
HF
氢氟酸
Acetone
丙酮
IPA
异丙醇
Ethanol
酒精
辅助器材
Submaterial
PhotoMask
光罩
APRPlate
APR版
RubbingCloth
摩擦绒布
AdhesiveTape
双面胶布
Probeframeforarraytester
阵列电测架
E/TFrame
电测用探测架
CellETProbeUnit
屏电测用探测头
Open/Shorttesterandprober
开路、短路电测用探测头
TeflonTape
特氟龙带
Siliconrubber
硅胶皮
WiperTape
无尘卷布
高纯气体
Highpuritygas
NF3
三氟化氮
SiH4
硅烷
SF6
六氟化硫
NH3
氨气
Cl2
氯气
HCL
氯化氢
CHF3
三氟甲烷
PH3
磷烷
CF4
四氟甲烷
N2
氮气
O2
氧气
H2
氢气
Ar
氩气
He
氦气
液晶
LC
LC
液晶材料
胶膜
Film
Polarizer
偏光片
Diffuser
散光膜
涂料
Dope
Paint
PI
聚酰亚胺
树脂
Resin
Sealant
边框胶
UVglue
UV胶
ACF
各向异性导电膜
ConductiveSpacer
导电衬垫球
SpacerusedinSealant
边框胶内衬垫球
SpacerusedinCell（White）
盒内衬垫球（白）
SpacerusedinCell（Black）
盒内衬垫球（黑）
元器件
Parts
BackLightUnit
背光源
Integratedcircuit/DriverIC
集成电路/驱动IC
PCB
印刷电路板
FPC
柔性印刷线路板
ModuleFrame
模块外框
TouchPanel/Touchfilm
触摸屏/触摸膜
RCL
阻容器件
焊接材料
Soldering
material
FLUX
助焊剂
SOLDERCREAM
焊锡/焊接剂
三．TFT设备中英文标准名称
Englishname
中文名称
PHOTO
曝光
Exposer
曝光机
CoaterDeveloper
陈列黄光制程清洗机-涂布机-显影机
longsizemeasuringandcriticaldimensionmeasuringmultipleequipment
测长仪和线宽测量仪
Titler&EdgeExposer
打标机和边缘曝光复合机
EdgeExposer
边缘曝光机
AFM
原子力显微镜
FIB
聚焦离子束系统
FE-SEM
场发射扫描电子显微镜
UVMeter
UV照度计
EXCIMERUV
准分子紫外清洗机
IonizerBar
除静电棒
FireExtinguisher
灭火器
PhotoIonizer
软X射线静电消除器
PVD&WET
溅射&湿式
PVD
（Multi-chambertypesputteringsystem）
磁控溅射成膜机
Particlecounter
尘埃粒子测量仪
UltrasonicCleaner
超声波清洗机
Stripper
脱膜机
ContactAngleAnalyzer
接触角测量仪
RSMeter（4pointProbe）
四探针仪
CassetteCleaner
工装篮清洗机
InitialCleaner
预备清洗机
PreCVDcleaner
成膜前清洗机
HFCleanerbeforeS/D
S/D成膜前带HF清洗机
LiquidParticleCounter
液体内尘埃粒子测量仪
CCSS
中央化学品供应系统
AnnealOven
退火炉
HardBakeOven
后烘炉
FilmTester
薄膜附着力测试仪
EtchantConcentrationManagementSystem
刻蚀液浓度管理系统
DMS
显影液浓度管理系统
DRS
显影液溶剂回收系统
RMS
剥离液浓度管理系统
WetEtcher
湿刻机
4.5G-MacroReviewSystem
4.5G宏观检查机
4.5G-Mic/MacReviewSystem
4.5G宏观、微观检查机
RGA（ResidualGasAnalyzer）
残余气体分析仪
PECVD
化学气相沉积
HotN2TransferSystem
热N2供应系统
PECVD
等离子增强化学气相淀积设备
SpecialGasSupply&MonitorSystem
特种气体供应和监视管理系统
TemperatureRecorder
温度记录仪
GasScrubberforPECVD
PECVD用尾气处理装置
FullAutomaticSpectroscopicEllipsometerforFlatPanelDisplay
平板显示用全自动椭圆偏振光谱仪
CleanCrane
洁净室起重机设备
SpectroscopeReflectometer
平板显示用全自动分光反射光谱仪
HeLeakDetector
氦气检漏仪
DRY
干刻
DryPumpforCVD
化学气相沉积设备用真空泵
DryPumpforPVD
物理气相沉积设备用真空泵
EPDforDryEtching
干刻终点侦测器
DrypumpforDryEtching
干刻机设备用
升级会员 