centrotherm烧结炉中文版操作手册手册.docx
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centrotherm烧结炉中文版操作手册手册
Centrotherm
DO11.900-300-FF-HTO-N2/Air-CANtrol
操作指导
目录表
1.操作指导备注
1.1符号与标识描述
1.2定义
1.2.1设备用户
1.2.2受训员工
1.2.3操作人员
1.3版权
1.4对于材料缺陷的依赖性
2.介绍
2.1身份认证
2.2尺寸
2.3熔炉数据
2.3.1传送带
2.3.2加热盒干燥器HTO的加热
2.3.3加热盒干燥器HTO快速烧结FF的加热
2.3.4冷却
2.4过程温度
2.5媒介供应连接
2.5.1水
2.5.2空气
2.5.3氮气
2.5.4废气移除
2.5.5电气
2.6PC设备
2.7功能描述
2安全
3.1正确使用
3.2不正确使用
3.3常规安全指导
3.4安全装置
3.4.1过温保护
3.4.2紧急停止开关
3.4.3“（传送）带停止”按钮“Beltstop”Pushbutton
3.5隔热标识
3.6灭火
4功能描述
4.1入口/出口
4.1.1入口门
4.1.2出口门
4.2加热
4.2.1加热载片盒干燥器HTO
4.2.2对流加热
4.2.3媒介蒙罩1
4.2.4加热载片盒烧结FF
4.2.5媒介蒙罩2
4.2冷却
4.3.1冷却载片盒
4.3.2腔室冷却
4.4驱动设备
4.5媒介
4.5.1电力供应
4.5.2冷却水供应
4.5.3压缩空气供应
4.5.4氮气供应（可选）
4.5.4文氏管系统
4.6操作/控制
4.5.1CANtrol系统控制器
4.6.2动力控制
4.6.3CAN总线1和2
4.6.4温度控制
4.6.5CANtrol加工控制系统
4.6.6远程服务
4.6.7“打印机可用”信号描述
4.7废气移除
4.7.1废气冷凝器及移除
5运输
5.2特殊安全措施
5.3包装类型
5.4运输
5.5入库审查
5.5.1交货范围
5.5.2运输损伤
5.6储存措施
6组装
6.1准备安装场所
6.2设备检查
6.3安装
7服役及退役//投入及退出生产
7.1初始启动
7.2投入生产
7.2.1设备PC
7.2.2手动操作面板
7.2.3动力加载
7.2.4操作模式
7.2.4.1生产
7.2.4.2周末操作
7.3退出生产
7.4处置
8操作
8.1状态屏幕
8.2导航条
8.2.1用户登入和登出
8.2.2保存配方
8.2.3读取配方
8.2.4打印
8.3标签
8.3.1加热
8.3.2气体供应
8.3.3冷却系统
8.3.4设置
8.3.5警报
8.3.6测量
8.3.7选项
8.3.7.1炉管数据
8.3.7.2数据根目录
8.3.7.3配置
8.4CTVisual流程表
8.4.1CTVisual流程表
8.4.2用户登入
8.4.3用户登出
8.4.4改变数值
8.4.5显示数值的循环更新
8.4.6数据登入
8.4.7警报登入
8.4.8更新警报表格
8.4.9开始实时测量
8.4.10读取配方
8.4.11保存配方
8.4.12读取配置
8.4.13时间相关的配方读取
8.4.14退出CTVisual
8.4.15CTVisual系统的目录结构
9维护
9.1故障诊断
9.1.1信号灯
9.1.2单独干扰
9.1.3ID10-74加热故障讯息
9.1.3.1过温控制器FF/HTO
9.1.3.2过温监控器FF/HTO
9.1.3.3故障温度测量
9.1.3.4故障温度测量
9.1.3.5温度回路HTO区1-4，FF区1-6
9.1.3.6温度容许值值FF/HTO
9.1.4ID100-104加热故障讯息
9.1.4.1按下传送带停滞
9.1.4.2变频器带驱动
9.1.4.3带停滞
9.1.4.4带容许值
9.1.4.5按下外部带停滞
9.1.5ID200-255气体供应故障讯息
9.1.5.1加工用空气压力失误
9.1.5.2加工用氮气压力失误
9.1.5.3气动带调整器空气压力失误
9.1.5.4气动带调整器空气压力失误
9.1.5.5Y321-Y338，Y421，Y422气流
9.1.5.6热空气/废气HTO容许值
9.1.5.7热空气/废气HTO安全等级
9.1.5.8微分压力排气废气冷凝器容许值
9.1.5.9微分压力排气废气冷凝器安全等级
9.1.6ID300-322冷却故障讯息
9.1.6.1冷却水容器冷却器HTO/FF
9.1.6.2冷却水容器冷却器HTO/FF
9.1.6.3冷却水媒介蒙罩分
9.1.6.4冷却水废气冷凝器顶部/底部
9.1.6.5超过温度/流量冷却水回路1分钟
9.1.6.6停滞控制冷却风扇冷却载片盒低部，上部1/2
9.1.7ID400-402UPS/主供应故障讯息
9.1.7.1主供应相位遗失
9.1.7.2动力故障超过10秒
9.1.7.3Surge（振荡,滑脱）保护L1-L3/N触发
9.1.8ID500-505气动故障讯息
9.1.8.1加热载片盒HTO1…3未关闭
9.1.8.2冷却载片盒上部1/2未关闭
9.1.8.3缩短传送带
9.1.9ID600-662Miscellaneous故障/警报讯息
9.1.9.1浓缩滤毒罐全等级1/2
9.1.9.2带驱动关闭
9.1.9.3加热干燥器HTO关闭
9.1.9.4加热FFHTO关闭
9.1.9.5热空气风扇关闭
9.1.9.6加热Heating载片盒FF/HTO
9.1.9.7冷却加热载片盒FF/HTO
9.1.9.8冷却加热载片盒FF/HTO
9.1.9.9带调整器处于位置“cleaning”超声清洁器（U-Cleaner）
9.1.9.10运转超声清洁器
9.1.9.11运转超声清洁器（U-Cleaner）后面的带驱动
9.1.10ID700-703带清洁
9.1.10.1低于超声清洁器最低水位
9.1.11ID801-902故障讯息SSR单独警报
9.1.11.1加热回路控制V1..V59
9.1.11.2加热回路控制V101..V102
9．2所选组件的更换
9.2.1加热
9.2.1.1加热器更换
9.2.1.2对流加热过滤器
9.2.2石英轨迹的石英棒
9.2.2.1更换加热载片盒干燥器HTO石英棒
9.2.2.2更换加热载片盒快速烧结FF石英棒
9.2.2.3更换冷却载片盒石英棒
9.2.3冷却
9.2.3.1更换冷却载片盒的冷去风扇
9.2.3.2更换下部冷却载片盒的冷去风扇
9.2.4带驱动单元
9.2.4.1更换传送带
9.2.4.2更换齿轮马达
9.2.4.3更换离合器
9.2.4.4更换磁滞离合器
9.2.5媒介
9.2.5.1冷却水过滤器的更换
9.2.5.2对流加热的流速表监控器的更换
9.2.5.3废气冷凝器的流速表监控器的更换
9.2.5.4气体加热器
9.2.5.5文氏管喷嘴的更换
9.2.6媒介
9.2.6.1TMM5模块的更换
9.2.6.2单一温度控制器的更换
9.2.6.3CANI/O模块的更换
9.2.6.4RDIO8/24模块的更换
9.2.6.5固态继电器的更换
9.2.6.6热电偶的更换
9.2.6.7变频器的更换
9.2.6.8工业PC（温度控制器）的更换
9.2.6.9PLCCPU模块（CEDIO）的更换
9.2.6.10PLC扩展模块的更换
9.2.6.11BEBRODC马达控制器的更换
9.2.6.12FANCON风扇控制器的更换
9.2.7废气冷凝器滤毒罐的更换
9.3火灾后措施
10预防性维护
10．1安全审查
10．2炉管日志
10．3设备装配板
10．4预防性维护间隔
10．4.1日常预防性维护程序
10.4.1.1检查设置显示
10.4.1.2检查”Alarm”标签上讯息
10．4.2日常预防性维护程序
10.4.2.1检查信号灯功能
10.4.2.2检查传送带
10.4.2.3检查滤毒罐的填充等级
10．4.3月预防性维护程序
10.4.3.1清洁传送带
10.4.3.2检查传送带长度
10.4.3.3测量温度特性
10.4.3.4清洁冷却水过滤器
10.4.3.5清洁冷却载片盒的冷却风扇
10.4.3.6清洁冷干燥器的空气过滤器
10.4.3.7检查传送带导引（Guide）
10.4.3.8执行数据备份
10.4.4.4每季预防性维护程序
10.4.4.1检查单一温度控制器
10.4.4.2清洁文氏管喷嘴
10.4.5半年预防性维护程序
10.4.5.1清洁冷却载片盒
10.4.5.2清洁加热载片盒干燥器
10.4.5.3重新调整加热载片盒干燥器HTO的加热器
10.4.5.4检查对流加热的流速检控表
10.4.5.5检查*
10.4.6每年预防性维护程序
10.4.6.1清洁加热载片盒快速烧结FF
10.4.7每4年的预防性维护程序
11零部件和服务
12附录
1.操作指导备注
此操作指导包含您进行运输、安装、运行、操作、服务以及设备修理所需信息。
此操作
指导为设备技术手册的一部分。
请充分利用此操作指导来熟悉设备。
此操作指导将帮助您避免出现失误。
您的个人安全和设备的安全操作取决于您所依照操作指导进行的工作。
请在设备附近常备此操作指导。
此操作指导为受过必要培训和具有必要资质的人员进行安装、操作、服务和设备维修所撰写。
下列规则应用于此操作指导；
－文本中使用简写。
这些简写在每一章第一次使用时被加以说明。
用来描述一个术语的简写包含在术语后的圆括号里。
示例：
操作指导（OI）
－每一章的页码按序排列。
－表格和图表按序排列
－文本中的交叉索引将指导您以更完备或详细的信息。
第三章包含在设备操作中可能发生的潜在危险的常规标识。
另外，可能危急人身或设备安全的安全方面特殊标识将优于操作指导而给出。
此操作指导并非为服务协议的一部分。
在由于技术进步而导致的设备修改之后，升级相应的文件资料将成为您的职责。
1.1符号与标识描述
此符号用来指示危险、警告或防范。
危险性被划分为三个级别;
危险Danger：
瞬时危险有可能导致严重人身伤亡。
警告Warning：
潜在危险环境有可能导致严重的潜在人身伤亡。
注意Attention：
潜在危险环境有可能导致轻微人身伤害。
同时指示相关于财产损伤的警告。
Warning：
Dangerousvoltage
警告：
危险电压
此符号在有可能遭受电击危险时使用。
设备上所有的电性操作只能由受训员工进行。
确保满足所有的国家和本地安全要求。
由于有害或刺激性气体导致的危险
此符号用于设备中存在接触性有毒材料而导致的危险。
Attention!
注意!
此符号用来指示当关闭或移动固定器件时可能导致的挤压手危险。
Attention,hotsurfaces!
注意，灼热表面！
此符号用来标注由于灼热表面而导致的烧伤危险。
Attention!
注意!
本设备只能由受训员工通过适当工具进行运输。
由于基底区域和高度的比例设备可能倾覆。
穿戴安全手套
穿戴具有多道过滤的呼吸道设备
穿戴防护服
此符号印制于包含关键功能的特殊信息或特殊应用标识之后，帮助您理解设备的所有功能。
1.2定义
1.2.1设备用户
设备用户拥有或者租借此设备。
设备用户对设备的安全操作负责并使用设备作为一种收益来源。
设备用户按其目的对设备操作负责。
设备用户同时也对雇佣人员进行设备搭建、运行、操作和维护负责。
1.2.2受训员工
受训员工在专业培训之后可以进行各自工作并辨识出可能涉及的危险。
另外，受训员工具有所有的可应用规则、事故防护条规和所有特殊设备条件的知识。
设备用户对其所需培训负责。
设备用户对受训员工的资格认证负责。
受训员工安装和维护设备。
1.2.3操作人员
操作人员接受关于设备不正确操作而可能导致的潜在危险的在职指导。
操作人员熟悉所有必需的安全装置和措施、应用条规、事故防护指导和特殊设备条件。
设备用户对其所需培训负责。
设备用户对操作人员的资格认证负责。
1.3版权
此操作指导为设备用户、受训员工和操作人员所撰写。
Centrotherm保留对这些操作指导的版权。
基于此点，您不可以在没有Centrotherm事先书面允诺的情况下全部或部分复制、拷贝、分配或者出于竞争目的而使用这些OI。
保留所有版权
生产商地址;
CentrothermGmbH+Co.KG
Johannes-Schmid-Str.
89143Blaubeuren,Germany
Tel:
+49（0）7344/9186-0
Fax:
+49（0）7344/9186-388
eMail:
do@centrotherm.de
1.4对于材料缺陷的依赖性
此操作指导是基于所交付设备的技术和产品特殊参数基础上。
然而，生产商保留对操作指导添加更完备信息的权利。
生产商只接受个体契约协议相关的担保声明。
生产商不会接受基于以下之一或若干原因而导致的人身伤害或财产损失的担保和责任。
－设备没有被正确使用。
－设备没有按照操作指导操作。
－设备在安全装置移除后使用。
－设备在没有Centrotherm事先允诺之下结构和/或功能上被修改。
－设备安装有未被Centrotherm提供和认可的备件。
－设备被不正确修理。
－设备被Centrotherm没有书面授权的受训员工修理。
－设备由于“不可抗因素”导致的损伤。
2介绍
进一步的技术数据可以在设计布局图中找到，见12.2章图画、规格、电路图，12-1。
2.1身份认证
用户：
生产商：
CentrothermGmbH+Co.KG
Johannes-Schmid-Str.
89143Blaubeuren,Germany
Tel:
+49（0）7344/9186-0
Fax:
+49（0）7344/9186-388
eMail:
do@centrotherm.de
指定：
传送炉
类型：
DO11.900-300-FF-HTO-N2/Air-CANtrol
组建于：
2.2尺寸
技术数据可在设计布局图中找到，见12.2章图画、规格、电路图，12-1。
2.3炉管数据
技术数据可在设计布局图中找到，见12.2章图画、规格、电路图，12-1。
2.3.1传送带
炉管技术数据可在设计布局图中找到，见12.2章图画、规格、电路图，12-1及在备件列表，
见12.7备件和耗材，12-2。
材料;NiCrV
网孔,:
宽－螺旋－线连接带
2.3.2加热载片盒干燥器HTO的加热
加热长度：
3,230mm
热区数量：
3
对流加热:
1
2.3.3加热载片盒快速烧结FF的加热
加热长度：
2,150mm
热区数量：
6
2.3.4冷却
冷却线长度：
3,500mm
冷却盒数量：
1
2.4加工温度
校准设置HTO：
最高至530℃
最大过程温度：
300℃
校准设置FF：
最高至1050℃
最大温度－1区至4区：
700℃
最大温度－5区至6区：
1050℃
2.5媒介供应连接
2.5.1水
进一步的技术数据可以在设计布局图中找到，见12.2章图画、规格、电路图，
12-1．
冷却水入口：
大约20－25℃最小65升/分钟
无悬浮物质和粒子
最大8bar，绝对量
冷却水出口：
最小比入口小2bar
名称
要求
新水温度
冷却水温度
15-25℃
<25℃
PH值
6-8
水硬度（含碱土量）
10-130dHresp.100-130mg/lCaO
机械污染
<100mg/l
最大粒子尺寸
<50µm
2.5.2空气
进一步的技术数据可在设计布局图中找到，见12.2章图画、规格、电路图，12-1。
压缩空气干燥，纯净
最小6bar
最大8bar
消耗量最大670slm
2.5.3氮气
进一步的技术数据可在设计布局图中找到，见12.2章图画、规格、电路图，12-1。
压缩氮气干燥，纯净
最小6bar
最大8bar
消耗量最大60slm
2.5.4废气移除
进一步的技术数据可在设计布局图中找到，见12.2章图画、规格、电路图，12-1。
2.5.5电气
进一步的技术数据可在设计布局图中找到，见12.2章图画、规格、电路图，12-1。
2.6PC设备
处理器INTELPentium4处理器2.6GHz
内存512MB
硬盘40GBE-IDE
网卡INTELpro/100s
远程控制AcerModem56SurfPCI
显示器15”TFT显示
操作系统微软Windows2000
可视化操作CT-Visual-Software
输入单位trackballKeyboardUS
2.7功能描述
此设备功用为干燥硅片上印刷浆料，燃尽浆料的有机组分，并烧结电极。
此程序在硅片的双面同时进行。
此过程划分为三个步骤：
－干燥最后应用的浆料，
－燃尽有机粘合剂，
－烧结并将电极渗透入硅片表面。
干燥硅片电极浆料将释放大量溶剂。
硅片和应用浆料必须保持在同样温度以得到最优化的质量。
达到这一点需要以下的帮助：
－加热辐射器，
－优化后的温度控制系统，
－高流速。
媒介蒙罩1将加热载片盒快速烧结FF与加热载片盒干燥器HTO相分离。
防止溶剂气体蒸发至加热载片盒快速烧结FF。
这些溶剂气体将通过废气冷凝器移除并处置。
硅片暴露于加热载片盒快速烧结FF中的高强度短波红外辐射resp.可见光，以烧入硅片电极。
媒介蒙罩2将加热载片盒快速烧结FF的炉管气氛与冷却载片盒相分离。
硅片和传送带在冷却载片盒中冷却。
3安全
3.1正确使用
此设备功用为干燥硅片上印刷浆料，燃尽浆料的有机组分，并烧结电极。
另外，留意观察如下的操作指导：
－所有此操作指导中的标识，
－可接受的技术规则，
－所有相关律法、标准和条规。
3.2不正确使用
任何以上没有述及的使用被视为不正确使用。
生产商不接受因不正确使用而导致的人身伤害责任。
3.3常规安全指导
设备在符合所有相关法律条规和所有安全条规的条件下组建。
代表技术发展水平并符合欧共体一致要求。
然而，当设备在不恰当操作或不正确使用时可能危及人身和财产安全。
用户需要确保任何设备工作人员已经阅读并理解此操作指导的第三章。
留意观察以下安全指导以避免人身和/或财产的损害。
－用户需要为操作者提供完整必要的防护设备。
－设备用户必须进行相应的指导和审查以确保设备的操作工作站经常保持洁净。
另外，本地安全规则和事故防护条规必须在操作设备时加以留意。
警告：
危险电压！
防护门和盒盖机架电压或者热部，以及用人力移动的部件只能由受训员工开启。
确保留意所有本国和本地安全需求。
注意：
灼热表面！
加热载片盒和热偏转板的表面温度可能超过60℃。
移除金属盖片可能导致烧伤！
当工作于灼热表面时穿戴安全手套。
3.4安全装置
所有的安全装置例如紧急停止开关和传送带停止按钮必须在任何时刻都出于良好工作条件。
如果任一装置具有缺陷，设备均不可以进行操作。
如果在操作中某安全装置失灵，设备自动切换至一安全、非激活状态。
设备只有在故障功能已经被受训并授权人员解除后才可以进行操作。
设备用户对服从此条规负责。
设备安全装置不可以任何方式被无效操作或放弃。
此适用于所有设备和组件以及软件应用逻辑电路。
每一安全装置需要经受训人员的定期安全功能检查。
3.4.1过温保护
一单一温度控制器（STC）被安装以做为任一热区的过温保护。
STC连接至NiCr/Ni-或者PtRh/Pt热偶。
如果设置的过高温度被检测到，STC断开热开关并触发一警报。
驱动单位继续操作。
3.4.2紧急停止开关
图1.主电源开关
主电源开关同时也做为紧急停止开关。
主电源开关的确切位置详细述及于设计布局图，见12.2章图画、规格、电路图，12-1．
3.4.3“（传送）带停止”按钮“Beltstop”Pushbutton
图2.“（传送）带停止”按钮－入口
图2中细目描述
1“（传送）带停止”按钮
设备安装有两个“（传送）带停止”按钮，在入口和出口的两面。
当启动时，这些“（传送）带停止”按钮将立刻停止驱动系统。
“（传送）带停止”按钮的确切位置详细述及于设计布局图，见12.2章图画、规格、
电路图，12-1．
如何重启驱动系统：
1.旋转以解锁“（传送）带停止”按钮。
2.按用户界面上的”Disturbancereceipt”按钮。
3.按用户界面上的”Reset”按钮。
进一步信息参考8.3.1章加热,8-7
3.5隔热标识
产品的技术生产过程需要隔热板在900℃至1250℃操作温度之间安全发挥功用。
这使的隔热板保持机械强度和弹性十分重要。
设备要求隔热板在加热和冷却阶段对湿气和凝结液具有很大的抗性。
隔热板由铝硅酸玻璃纤维制成。
此种纤维由ECguideline97/69/EGdated05.12.1997.划分
为致癌物质（2类），参考见12.2章图画、规格、电路图，12-1的安全数据页“Kerform,Kerheat,Kerasetter”。
由于隔热是完全密封，没有粉尘粒子能逃逸进附近工作空间，故在正常熔炉操作中安全防范不是必需的。
然而，当在隔热板上进行维护和修理工作时，纤维和纤维粉尘粒子会不可避免的逃逸进入附近工作空间。
当工作于隔热板时留意下列安全指导。
有害及刺激性粉尘粒子的危险警告！
工作于加热载片盒快速烧结FF的隔热板上可能导致有毒粉尘粒子的释放！
工作于加热载片盒时时刻留意“危险材料技术规则”TRGS521（德国有效），其需要移除隔热板。
维护工作只能由专门、授权的、受训的员工进行。
在维护工作进行时将工作区域隔离，并确保未授权人员无权进入工作区域！
在加热载片盒上的工作区域设置外部废气系统。
当工作于隔热板上时穿戴安全手套！
当工作于隔热板上保持穿戴FFP2过滤罩！
我们建议穿戴FFP2过滤罩作为高粉尘聚集的防护。
当工作于隔热板上时穿戴防护服。
3.6灭火
存在爆炸、燃烧、腐蚀和中毒的危险！
在灭火时注意尽快通知消防局。
所有下述建议只作为在火灾发生时的
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