过滤器使用说明天津大明制药设备厂.docx
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过滤器使用说明天津大明制药设备厂
真空泵
1基本概述
简介
真空泵是一种旋转式变容积气体输送泵，真空泵须有前级泵配合方可使用在较宽的压力范围内有较大的抽速，对被抽除气体中含有灰尘和水蒸汽不敏感，广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。
发展
真空泵包括干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等，这些泵是我国国民经济各行业应用真空工艺过程中必不可少的主力泵种。
近年来，伴随着我国经济持续高速发展，真空泵相关下游应用行业保持快速增长势头，同时在真空泵应用领域不断拓展等因素的共同拉动下，我国真空泵行业实现了持续稳定地发展。
据《2013-2017年中国真空泵制造行业深度调研与投资预测分析报告》数据显示[1]，在我国真空泵市场上，外国企业的进入与成功已成为不可争辩的事实，日本真空各地布点，德国莱宝在中国扩建，美国泰悉尔集团、韩国优成等国际著名厂家也纷纷寻找伙伴在中国建制造基地。
他们的胃口很大，势有鲸吞真空泵市场之势。
近年来，国内虽然有一些企业逐渐崛起，在真空泵市场上占据了较为领先的地位，但是多数企业研发能力差，与国外同行相比，高端产品在技术上仍处于劣势。
特点
（1）在较宽的压力范围内有较大的抽速；
（2）转子具有良好的几何对称性，故振动小，运转平稳。
转子间及转子和壳体间均有间隙，不用润滑，摩擦损失小，可大大降低驱动功率，从而可实现较高转速；
（3）泵腔内无需用油密封和润滑，可减少油蒸气对真空系统的污染；
（4）泵腔内无压缩，无排气阀。
结构简单、紧凑，对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感；
（5）压缩比较低，对氢气抽气效果差；
（6）转子表面为形状较为复杂的曲线柱面，加工和检查比较困难。
结构
（1）泵总体结构型式
真空泵的泵体的布置结构决定了泵的总体结构。
立式结构的进、排气口水平设置，装配和连接管路都比较方便。
但泵的重心较高，在高速运转时稳定性差，故这种型式多用于小泵。
卧式泵的进气口在上，排气口在下。
有时为了真空系统管道安装连接方便，可将排气口从水平方向接出，即进、排气方向是相互垂直的。
此时，排气口可以从左或右两个方向开口，除接排气管道一端外，另一端堵死或接旁通阀。
这种泵结构重心低，高速运转时稳定性好。
一般大、中型泵多采用此种结构。
泵的两个转子轴与水平面垂直安装。
这种结构装配间隙容易控制，转子装配方便，泵占地面积小。
但泵重心较高且齿轮拆装不便，润滑机构也相对复杂。
（2）泵的传动方式
真空泵的两个转子是通过一对高精度齿轮来实现其相对同步运转的。
主动轴通过联轴器与电机联接。
在传动结构布置上主要有以下两种：
其一是电动机与齿轮放在转子的同一侧如图。
从动转子由电动机端齿轮直接传过去带动，这样主动转子轴的扭转变形小，则两个转子之间的间隙不会因主动轴的扭转变形大而改变，故使转子之间的间隙在运转过程中均匀。
这种传动方式的最大缺点是：
a.主动轴上有三个轴承，增加了泵的加工和装配难度，齿轮的拆装及调整也不便；b.整体结构不匀称，泵的重心偏向电动机和齿轮箱一侧。
分类
按其工作原理基本上分为气体输送泵和气体捕集泵两种类型。
气体输送泵包括：
1、液环真空泵（水环式真空泵）2、往复式真空泵3、旋片式真空泵4、定片式真空泵5、滑阀式真空泵6、余摆线真空泵7、干式螺杆真空泵8、罗茨真空泵9、分子真空泵10、牵引分子泵11、复合式真空泵12、水喷射真空泵13、气体喷射泵14、蒸汽喷射泵15、扩散泵等。
气体捕集泵包括：
吸附泵和低温泵等
气体传输泵
气体传输泵是一种能是气体不断的吸入和排出，借以达到抽气目的的真空泵，这种泵基本上有两种类型：
变容真空泵
利用泵腔容积的周期性变化来完成吸气和排气过程的一种真空泵，气体在排出前被压缩。
这种泵分为往复式及旋片式两种：
（1）往复式真空泵：
是利用泵腔内活塞做往复式运动，将气体吸入、压缩并排出。
因此，又称为活塞式真空泵。
（2）旋片式真空泵：
是利用泵腔内活塞做旋转运动，将气体吸入、压缩并排出。
旋转真空泵又有如下几种形式：
①油封式真空泵：
它是利用油类密封各运动部件之间的间隙，减少有害空间的一种旋转变容真空泵。
这种泵通常带有气镇装置，故又称气镇式真空泵。
按其结构特点分为如下五种形式。
a旋片式真空泵：
转子以一定的偏心距装在泵壳内并与泵壳内表面的固定面靠近，在转子槽内装有两个（或两个以上）旋片，当转子旋转时旋片能沿其径向槽往复滑动且与泵壳内壁始终接触，此旋片随转子一起旋转，可将泵腔分成几个可变容积。
b.滑阀式真空泵：
在偏心转子外部装有一个滑阀，转子旋转带动滑阀沿泵壳内壁滑动和滚动，滑阀上部的滑阀杆能在可摆动的滑阀导轨中滑动，而泵腔分成两个可变容积。
c.定片式真空泵：
在泵壳内装有一个与泵内表面靠近的偏心转子，泵壳上装有一个始终与转子表面接触的径向滑片，当转子旋转时，滑片能上下滑动将泵腔分成两个可变容积。
d.余摆线式真空泵：
在泵腔内偏心装有一个型线为余摆线的转子，它沿泵腔内壁转动并将泵腔分成两个可变容积。
e.多室旋片式真空泵：
在一个泵壳内并联装有由同一个电动机驱动的多个独立工作室的旋片真空泵。
②干式螺杆真空泵：
它是一种不用油类（或液体）密封的变容真空泵。
③液环式真空泵：
带有多叶片的转子偏心装在泵壳内，当它旋转时，把液体（通常为水或油）抛向泵壳内形成泵壳同心的环液，环液同转子叶片形成了容积周期性变化的几个小容积，故亦称旋转变容真空泵。
④罗茨真空泵：
泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转子，转子间、转子同泵壳内壁之间均保持一定的间隙。
它属于旋转变容真空泵。
机械增压泵即为这种形式的真空泵。
动量传输泵：
这种泵是依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给气体或气体分子，使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。
具体可分为下述几种类型。
（1）分子真空泵：
它是利用高速旋转的转子把能量传输给气体分子，使之压缩、排气的一种真空泵。
它有如下几种型式：
①牵引分子泵：
气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得力量，被送到出口，因此，是一种动量传输泵。
②涡轮分子泵：
泵内装有带槽的圆盘或带叶片的转子，它在定子圆盘（或定片）间旋转。
转子圆周的线速度很高。
这种泵通常在分子流状态下工作。
③复合分子泵：
它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联起来的一种复合式分子真空泵。
（2）喷射真空泵：
它是利用文丘里（VENTURI）效应的压力降生产的高速射流把气体输送到出口的一种动量传输泵，适于在粘滞留和过渡流状态下工作。
这种泵又可详细地分成以下几种：
①液体喷射真空泵：
以液体（通常为水）为工作介质的喷射真空泵。
②气体喷射真空泵：
以非可凝性气体作为工作介质的喷射真空泵。
③蒸汽喷射真空泵：
以蒸汽（水、油或汞蒸汽）作为工作介质的饿喷射真空泵
（3）扩散泵：
以低压高速蒸汽流（油或汞等蒸汽）作为工作介质的喷射真空泵。
气体分子扩散到蒸汽射流中，被送到出口。
在射流中气体分子密度始终是很低的，这种泵适于在分子流状态下工作。
可分为：
①自净化扩散泵：
泵液中易挥发的杂质经专门的机械输送到出口而不回到锅炉中的一种油扩散泵
②分馏式扩散泵：
这种泵具有分馏装置，使蒸汽压强较低的工作液蒸汽进入高真空工作的喷嘴，而蒸汽压强较高的工作液蒸汽进入低真空工作的喷嘴，它是一种多级油扩散泵。
（4）扩散喷射泵：
它是一种有扩散泵特性的单级或多级喷嘴与具有喷射真空泵特性的单级或多级喷嘴串联组成的一种动量传输泵。
油增压泵即属于这种形式。
（5）离子传输泵：
它是将被电离的气体在电磁场或电场的作用下，输送到出口的一种动量传输泵。
气体捕集泵
这种泵是一种是气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上，从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵，有以下几种型式。
吸附泵：
它主要依靠具有大表面的吸附剂（如多孔物质）的物理吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵
吸气剂泵：
它是一种利用吸气剂以化学结合方式捕获气体的真空泵。
吸气剂通常是以块状或沉积新鲜薄膜形式存在的金属或合金。
升华泵即属于这种形式。
吸气剂离子泵：
它是使被电离的气体通过电磁场或电场的作用吸附在有吸气材料的表面上，以达到抽气的目的。
它有如下几种型式。
（1）蒸发离子泵：
泵内被电离的气体吸附在以间断或连续方式升华（或蒸发）而覆在泵内壁的吸气材料上，以实现抽气的一种真空泵。
（2）溅射离子泵：
泵内被电离的气体吸附在由阴极连续溅射散出来的吸气材料上，以实现抽气目的的一种真空泵。
低温泵：
利用低温表面捕集气体的真空泵
按其真空度可以分为：
粗真空、高真空、超高真空三大类。
粗真空系
主要用来抽除空气和其它有一定腐蚀性、不溶于水、允许含有少量固体颗粒的气体。
广泛用于食品、纺织、医药、化工等行业的真空蒸发、浓缩、浸渍、干燥等工艺过程中。
该型泵具有真空度高、结构简单，使用方便、工作可靠、维护方便的特点。
主要用于粗真空。
抽气量大的工艺过程中。
它主要用来抽除空气和其它无腐蚀，不溶于水，含有少量固体颗粒的气体，以便在密闭容器中形成真空。
所吸气体中允许混有少量液体。
它被广泛应用于机械、制药、食品、石油化工等行业中。
是获得粗真空的主要真空设备之一。
广泛应用于化工、食品、建材等部门，特别是在真空结晶、干燥、过滤、蒸发等工艺过程中更为适宜。
无油（耐腐蚀）立式往复真空泵是卧式真空泵的更新换代产品，是获得粗真空的主要设备。
由于采用全密封装置，实现了曲轴箱和汽缸的完全隔离；加上活塞环使用了自润滑材料，便实现了先进的无油润滑。
由于无污水排放，所以该型真空泵特别适用于化工、医药和食品等行业的真空蒸馏、真空蒸发、真空干燥、真空浓缩、真空浸渍等工艺过程中。
高真空系
滑阀式真空泵
（RotaryPistonVacuumPump）
广泛应用于真空拉晶、真空镀膜、真空冶金、真空热处理、真空浸渍、真空干燥、真空蒸馏、真空练泥、航空航天模拟试验等新材料、新技术、新工艺的生产与研制中。
滑阀真空泵可单独使用，也可作为罗茨真空泵、油增压泵、油扩散泵的前级泵的使用。
当抽吸对黑色金属有腐蚀、对真空油起化学反应、含大量蒸汽、大量粉尘的气体时，需附加装置。
优点：
相比旋片式真空泵耐用性要高好几倍且抽气速率大，价格相对高一点。
用来抽除密闭容器的气体的基本设备之一。
它可以单独使用，也可作为增压泵、扩散泵、分子泵的前级泵使用。
该型泵广泛应用于冶金、机械、电子、化工、石油、医药等行业的真空冶炼、真空镀膜、真空热处理，真空干燥等工艺过程中。
旋片式真空泵
（SlidingVaneRotaryVacuumPump）
具有结构紧凑，体积小，重量轻，噪音低，振动小等优点。
所以，它适用于作扩散泵的前级泵，而且更适用于精密仪器配套和实验室使用。
例如：
质谱仪器，冰箱流水线，真空冷冻干燥机等。
罗茨真空泵
（RootsVacuumPump）
是一种旋转式变容真空泵，须有前级泵配合方可使用在较宽的压力范围内，有较大的抽速，对被抽除气体中含有灰尘和水蒸汽不敏感。
广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。
主要用于真空机组的主泵，需要用前级泵辅助。
如：
水环式真空泵，滑阀真空泵，立式无油真空泵，分子真空泵等。
最大罗茨真空泵保持纪录为10000L/S。
真空泵（2张）
术语解释
真空的定义
真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态
真空度
处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。
真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。
真空度单位
通常用托（Torr）为单位，国际上取用帕（Pa）作为单位。
1托=1/760大气压=1毫米汞柱
托与帕的转换
1托=133.322帕 或 1帕=7.5×10-3托
平均自由程
作无规则热运动的气体粒子，相继两次碰撞所飞越的平均距离，用符号“λ”表示。
流量
单位时间流过任意截面的气体量，符号用“Q”表示，单位为帕·升/秒（Pa·L/s）或托·升/秒（Torr·L/s）。
流导
表示真空管道通过气体的能力。
单位为升/秒（L/s），在稳定状态下，管道流导等于管道流量除以管道两端压强差。
符号记作“U”。
U=Q/（P2-P1）
压力或压强
气体分子作用于容器壁的单位面积上的力，用“P”表示。
标准大气压
压强为每平方厘米101325达因的气压，符号：
（Atm）。
极限真空
真空容器经充分抽气后，稳定在某一真空度，此真空度称为极限真空。
通常真空容器须经12小时炼气，再经12小时抽真空，最后一个小时每隔10分钟测量一次，取其10次的平均值为极限真空值。
抽气速率
在一定的压强和温度下，单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率，简称抽速。
即Sp=Q/（P－P0）
冷阱（水冷挡板）
置于真空容器和泵之间，用于吸附气体或捕集油蒸汽的装置。
气镇阀
油封机械真空泵的压缩室上开一小孔，并装上调节阀，当打开阀并调节入气量，转子转到某一位置，空气就通过此孔掺入压缩室以降低压缩比，从而使大部分蒸汽不致凝结而和掺入的气体一起被排除泵外起此作用的阀门称为气镇阀。
真空冷冻干燥
真空冷冻干燥，也称升华干燥。
其原理是将材料冷冻，使其含有的水份变成冰块，然后在真空下使冰升华而达到干燥目的。
真空蒸镀
在真空环境中，将材料加热并镀到基片上称为真空蒸镀，或叫真空镀膜。
真空干燥
利用真空环境下沸点低的特点来干燥物品的方法。
真空系统常用名称
①主泵：
在真空系统中，用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵，如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。
②前级泵：
用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。
如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。
③粗抽泵：
从大气压下开始抽气，并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。
如真空镀膜机中的滑阀泵，就是粗油泵。
性能参数
⑴真空泵的极限压强
泵的极限压强单位是Pa，是指泵在入口处装有标准试验罩并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的最低压强。
⑵真空泵的抽气速率
泵的抽气速率单位是m3/s或l/s，是指泵装有标准试验罩，并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流量与在试验罩指定位置测得的平衡压强之比。
简称泵的抽速。
⑶真空泵的抽气量
真空泵的抽气量单位是Pam3/s或Pal/s。
是指泵入口的气体流量。
⑷真空泵的起动压强
真空泵的起动压强单位为Pa，它是指泵无损坏起动并有抽气作用时的压强。
⑸泵的前级压强
真空泵的前级压强单位是Pa，它是指排气压强低于一个大气压的真空泵的出口压强。
⑹真空泵的最大前级压强
真空泵口最大前级压强单位是Pa，它是指超过了能使泵损坏的前级压强。
⑺真空泵的最大工作压强
真空泵的最大工作压强单位是Pa，它是指对应最大抽气量的入口压强。
在此压强下，泵能连续工作而不恶化或损坏。
⑻压缩比
压缩比是指泵对给定气体的出口压强与入口压强之比。
⑼何氏系数
泵抽气通道面积上的实际抽速与该处按分子泻流计算的理论抽速之比。
⑽抽速系数
泵的实际抽速与泵入口处按分子泻流计算的理论抽速之比。
⑾返流率
泵的返流率单位是g/cm2.s。
它是指泵按规定条件工作时，通过泵入口单位面积的泵流质量流率。
⑿水蒸气允许量
水蒸气的允许量单位是kg/h，它是指泵在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时能抽除的水蒸气质量流量。
⒀最大允许水蒸气入口压强
最大允许水蒸气入口压强单位是Pa。
它是指在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时所能抽除的水蒸气的最高入口压强。
压强范围
真空泵种类工作压强范围（Pa）起动压强（Pa）
活塞式真空泵1×105～1.3×1021×105
旋片式真空泵1×105—6.7×10-11×105
水环式真空泵1×105—2.7×1031×105
罗茨真空泵1.3×103—1.31.3×103
涡轮分子泵1.3—1.3×10-51.3
水蒸气喷射泵1×105—1.3×10-11×105
油扩散泵1.3×10-2—1.3×10-71.3×10
油蒸气喷射泵1.3×10—1.3×10-2<1.3×105
分子筛吸附泵1×105—1.3×10-11×105
溅射离子泵1.3×10-3—1.3×10-96.7×10-1
钛升华泵1.3×10-2—1.3×10-91.3×10-2
锆铝吸气剂泵1.3×10—1.3×10-111.3×10
低温泵1.3—1.3×10-111.3—1.3×10-1
2应用情况
液环泵
虽然液环泵属于粗真空泵，但在中国的石油、化工、电力、轻纺、造纸、医药等领域仍然有着很大的市场。
液环泵工作原理
在国外，液环泵的销售额占全部真空泵市场的14%，仅次于干泵，由于液环泵大部分是铸件，加工要求也不高，属劳动密集型产品，所以国产液环泵在价格上有竞争优势，关键是要改进设计，缩小体积，减轻重量，提高效率，降低能耗。
滑阀泵
由于滑阀泵比较耐用、可靠，国内外各种真空炉、镀膜机以及干燥、浸渍等设备都是用滑阀泵作为前级泵，
滑阀泵工作原理
但是滑阀泵铸件重，加工工作量较大，所以国外各真空厂都在中国寻找合作伙伴。
为了使国产滑阀泵能够进入国际市场，必须进一步降低泵的振动噪声，杜绝喷油和漏油，提高滑阀泵长期运行的可靠性。
直联旋片泵
随着真空技术在各个应用领域的不断扩大，直联旋片泵的需求量越来越大。
由于这种泵数量很多，加工装配工作量很大，价格又很低，所以有的国外真空厂商在中国建立专业厂。
国产中小型直联旋片泵在技术上已经过关，价格又远比国外的泵便宜，所以国产泵仍然有竞争优势，关键是要解决轴封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能质量问题，确保直联泵在高速、高温下性能稳定和运行可靠，同时还要进一步提高国产直联旋片泵抽除水蒸气的能力。
罗茨泵
从国外罗茨泵生产情况来看，国外几家大公司，如Leybold、Balzers、Alcatell、Edwards和ULVAC，他们各家罗茨泵的销售额占全球罗茨泵销售额的比例都没超过5%，这5家总计才20%，罗茨泵产量不大，但国外罗茨泵
罗茨泵工作原理
的价格远比国产泵要高得多。
国内外几乎所有大型或小型的高真空和中真空系统，为了缩短抽气时间、提高生产效率都配有罗茨泵，所以国产罗茨泵一定要在占领国内市场基础上设法进入国际市场，这样就必须进一步降低国产罗茨泵的振动噪声，彻底解决轴封漏油问题，改进泵的外观质量，提高泵内的光洁度和清洁度。
另外，还要考虑到有些国家和地区的电源频率为60Hz，更要确保罗茨泵在提高转速的情况下长期运行的可靠性。
国内气冷式直排大气罗茨泵进展很快，技术上已经成熟。
由于这种泵在排气口的下面装有气体冷却器，其中一部分被冷却的气体通过管道返回泵腔以冷却转子，从而使压缩热得到平衡，所以这种泵可以直排大气。
为了满足不同极限真空度的要求，这种泵可以串联使用，一般前面加一台气冷式直排大气罗茨泵，所达到的极限真空要比前级泵高一个数量级。
这种泵由于在泵腔内没有工作介质，实际上也是属于干泵。
这种气冷式直排大气罗茨泵及机组已经在石油、化工、塑料、农药、汽轮机转子动平衡、航空航天空间模拟等装置上得到了长期运行的考验，所以应该在国内大力推广和应用。
分子泵
分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。
由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。
为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。
这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。
随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。
首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。
干泵
国外干泵市场的不断增长，其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。
在日本，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，大大提高了产品的性能和质量。
为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。
极限压力从10Pa～10-2Pa，抽速从20m3/h～500m3/h。
水环泵
水环真空泵（简称水环泵）是一种粗真空泵，它所能获得的极限真空为2000~4000Pa，串联大气喷射器可达270~670Pa。
水环泵也可用作压缩机，称为水环式压缩机，是属于低压的压缩机，其压力范围为1~2×105Pa表压力。
水环泵最初用作自吸水泵，而后逐渐用于石油、化工、机械、矿山、轻工、医药及食品等许多工业部门。
在工业生产的许多工艺过程中，如真空过滤、真空引水、真空送料、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮和真空脱气等，水环泵得到广泛的应用。
由于真空应用技术的飞跃发展，水环泵在粗真空获得方面一直被人们所重视。
由于水环泵中气体压缩是等温的，故可抽除易燃、易爆的气体，此外还可抽除含尘、含水的气体，因此，水环泵应用日益增多。
如图：
在泵体中装有适量的水作为工作液。
当叶轮按图中顺时针方向旋转时，水环的上部内表面刚好与叶片顶端接触（实际上叶片在水环内有一定的插入深度）。
此时叶轮轮毂与水环之间形成一个月牙形空间，而这一空间又被叶轮分成和叶片数目相等的若干个小腔。
如果以叶轮的下部0°为起点，那么叶轮在旋转前180°时小腔的容积由小变大，且与端面上的吸气口相通，此时气体被吸入，当吸气终了时小腔则与吸气口隔绝；当叶轮继续旋转时，小腔由大变小，使气体被压缩；当小腔与排气口相通时，气体便被排出泵外。
综上所述，水环泵是靠泵腔容积的变化来实现吸气、压缩和排气的，因此它属于变容式真空泵。
水环泵和其它类型的机械真空泵相比有如下优点：
结构简单，制造精度要求不高，容易加工。
结构紧凑，泵的转数较高，一般可与电动机直联，无须减速装置。
故用小的结构尺寸，可以获得大的排气量，占地面积也小。
压缩气体基本上是等温的，即压缩气体过程温度变化很小。
由于泵腔内没有金属磨擦表面，无须对泵内进行润滑，而且磨损很小。
转动件和固定件之间的密封可直接由水封来完成。
吸气均匀，工作平稳可靠，操作简单，维修方便。
水环泵也有其缺点：
效率低，一般在30%左右，较好的可达50%。
真空度低，这不仅是因为受到结构上的限制，更重要的是受工作液饱和蒸气压的限制。
用水作工作液，极限压强只能达到2000~4000Pa。
用油作工作液，可达130Pa。
总之，由于水环泵中气体压缩是等温的，故可以抽除易燃、易爆的气体。
由于没有排气阀及摩擦表面，故可以抽除带尘埃的气体、可凝性气体和气水混合物。
有了这些突出的特点，尽管它效率低，仍然得到了广泛的应用。
3测量方式
热偶真空计
利用热电偶的电势与加热元件的温度有关，元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。
电离真空计
由筒状收集极，栅网和位于栅网中心的灯丝构成，筒状收集极在栅网外面。
热阴极发射电子电离气体分子，离子被收集极收集，根据收集的离子流大小来测量气体压强的真空计。
复合真空计
由热偶真空计与热阴极电离真空计组成，测量范围从大气~10-5Pa。
冷阴极电离计
阳极筒的两端有一对阴极板，在外加磁场作用，阳极筒内形成潘宁放电产生离子，根据阴极板收集的离子流的大小来测定气体压强的真空计。
电阻真空计
利用加热元件的电阻与温度有关，元件的温度又与气体传导有关的原理，通过电桥电路来测量真空度的真空计。
麦克劳真空计
也成为压缩式真空计，将待测的气体用汞（或油）压缩到一极小体积，然后比较开管和闭管的液柱差，利用玻义尔定律
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