步进式对准机ch3c.docx

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步进式对准机ch3c

3-4.Illuminationsystemandprojectionlens

3-4-1Hglamp超高壓水銀燈

Arclamp型式,內充Hg及Xe,Xe的比例有助於提昇短波長的intensity,工作壓力約>30atm,常用i,gline部份的頻譜,lamppower最近有到3500W者.壽命約800~1600hrs,表面通常coating一層抗反射層,以降低<365nm波長光線之發射,稱為ozone-freelamp.以避免高溫及短波長加速廠房內NMP,HMDS,Ammonia等物質互相反應形成powder,coating於opticalparts,造成opticalsystem的degradation.如illuminationintensity,uniformity,telecentricy劣化,scattering

上述異常造成through-put大幅降低,CDcontrol失控,甚至造成ghostimage,意即漏光造成異常影像曝在wafer上

有些illuminator會加裝chemicalfilter,以降

低此impact.定期清潔,及更換parts是必要

的

3-4-2.Ellipsoidalmirror

將Hglamp光源反射到opticalsystem,通常使用coldmirror型式,將不必要的長波長（熱源）濾除,以免heatingupopticalparts

3-4-3.Arcmonitor

monitorHglamp的physicalposition

3-4-4.Exposureshutter

3-4-5.AAlightandFRAlight

opticalfiber將光線導引到alignmentsystem作為光源

3-4-6.i-linefilter

interferencefilter型式,含lowpass及highpassfilter,將I-line獨立出來

3-4-7.Firstandsecondcondenserlens

調整光束shape,focus,telecentic

3-4-8.Fly;seyelens

使光線intensity均勻化

3-4-9.inputlensandstopperswitchingunit

3-4-10.Projectionlens

典型的lens由>30以上的singlelens組立在黃銅製成的鏡筒,重量一般而言高達數百公斤,工作時要保持溫度絕對安定,有些控制到<±0.01°C的變化,通常環繞著冷卻水,coolant,並通入氣體以維持固定溫度如N2,He,O3等等,O3用來將lens內逸散的的膠合劑或掉鏡片上的殘渣清除.

Lens的製作極為不易,是stepper最昂貴的部份,近代對lens要求使得有些glassmaterial必需用CVD法製作.一個批次的材料含回火常常長達數個月

`

Lens工作時極易受溫度影響,假設透光率為70%,便有可能有30%的光能在lens內變成熱能,不僅使工作環境溫度變化,也使lenselement受熱變形,隨著曝光的進行,lens累積的熱量持續變化,除了aberration變化以外,focus及magnification變化嚴重影響system,必須collect這些data包含:

Reticle透光率

Dosage（lamppower,chipsize）

Waferreflectionrate

Exposureduty

透過software的運算,盡量來校正此偏差,通常透光率差的lens愈嚴重