简单光学镜头优化设计5倍显微物镜的优化设计文档格式.docx

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简单光学镜头优化设计5倍显微物镜的优化设计文档格式.docx

  附录D提供的式、式和式,有

  P  4P(h)310  

  W  3W(h)210

  I  h  

  CI

  C2  

  410

  u11

  h

  u

  其中,是物镜的光焦度,1/f。

  4、第2步将P和W规化到无限远

  附录D提供的式有

  2

  PPu1(4W1)u1(32)

  WWu1

(2)

  将已得出的P、W和u1值代入得  3

  P10  1W10  5、求P0

  22

  P0P(WW0)P(W)

  其中,对于冕牌玻璃在前的玻璃对,W0;

对于火石玻璃在前的玻璃对,W0。

这里取它们的平均值W0。

  6、选物镜玻璃对

  据已得的CI和P0数据,在附录F的双胶薄透镜P0、Q0表中找出物镜的玻璃对及相关

  数据。

现选出5对玻璃对,以资比较。

  第1对玻璃对为,这是冕牌玻璃在前的玻璃对,其中BaK7的折

  射率和阿贝数分别为n1,1;

ZF3的折射率和阿贝数分别为

  n,2。

这对玻璃,当CI0时,P0,Q0。

2第2对玻璃对为,这也是冕牌玻璃在前的玻璃对,其中K3的折射率

  和阿贝数分别为n1,1;

ZF2的折射率和阿贝数分别为n2。

  2。

  第3对玻璃对为,这是火石玻璃在前的玻璃对,其中ZF2的折射

  率和阿贝数分别为n11.6726,81;

BaK2的折射率和阿贝数分别为

  n2,。

这对玻璃,当

  时,

  。

  第4对玻璃对为,这也是火石玻璃在前的玻璃对,其中F2的折射率

  CI0P0Q0

QK3

  的折射率和阿贝数分别为

  n22  

  第5对玻璃对为,这是冕牌玻璃在前的玻璃对,其中QK3的折射

  率和阿贝数分别为n1,1;

ZF3的折射率和阿贝数分别为n2。

  2

  。

但这对玻璃对的参数并不符合上面计算的结果,这对玻璃对,当CI0时。

  P0,Q0。

选择这对玻璃对的用意是测试在选错玻璃对的情况下的镜头参数。

7、分配光焦度,计算半径

  附录D提供的式、式和式有

    2

  12  112

  WW0QQ0  

  1

  c  21  c1c2  n11

  c3c2  n21

  Q

  用物镜的焦距除式,就得物镜各半径为

  fr1  c1

  fr2  c2

  fr3  c3

  在式~式中代入第1对玻璃对的相关数据,可得

  r1,r2,r3

  在式~式中代入第2对玻璃对的相关数据,可得

  在式~式中代入第3对玻璃对的相关数据,可得

  在式~式中代入第4对玻璃对的相关数据,可得

  在式~式中代入第5对玻璃对的相关数据,可得

  至此,5对玻璃对的初始结构已解毕,下面转入优化。

  设计步骤二:

对玻璃对进行优化  

  对玻璃对进行优化1、玻璃对的初始结构和像差

  玻璃对的初始结构如表1-1所示。

其中两片镜片的厚度取值为

  和,这是根据工艺情况估算的。

在进行优化前,它的光路图如图1-2所示,像差曲线图1-3和图1-4所示,要求消除的几个像差数据如表1-2所示,这些曲线图和数据是使用

  ZEMAX-EE–20XX0进行计算得到。

  表1-1玻璃对的初始结构

  图1-2光路图

  图1-3横向像差曲线图

  简单光学镜头优化设计设计任务——-5显微物镜的优化设计

  ×

  姓

  名:

洪梅华

  号:

20XX28015926012

  学

  培养单位:

中国科学院微电子研究所

  专业:

微电子学与固体电子学

  任务要求:

-5显微物镜的优化设计

  利用ZEMAX程序优化设计一个-5显微物镜。

先依据初级像差理论解出初始结构,然

  后在计算机上进行优化,找到一个像质较优的解。

  -5显微物镜展开的光路如下简图1-1所示。

  图1-1-5显微物镜展开光路简图

  具体设计任务的要求为:

  焦距f;

数值孔径NA(urad);

线视场2y15mm;

  即l1;

离物镜92mm,即d292mm;

  镜头采用双胶结构,孔径光阑安放在物镜上;

镜头只消球差,彗差和位置色差;

像质按显微物镜像差允限要求;

  按照计算光路的方向,横向放大率1/5;

  光路中有一块棱镜,展开长度为d,材料是K9玻璃。

它离物平面

  该显微物镜用于目视观察,对d光消单色像差,对F光和C光消色差。

用PW方法选出玻璃对,解出初始结构;

  利用ZEMAX程序优化初始结构,使像质达到像差公差要求;

这个低倍显微物镜的相差公差是:

  A、球差:

  球差的公差有两部分构成,即全口径边缘轴向球差Lm和剩余轴向球差L。

  球差的公差为:

  L(mm)

  m

  nu2

  L

  6

  (mm)nu2m

  上式中,是d光波长,n和um分别是像方折射率和像方最大孔径角。

B、位置色差:

于不同波长的球差一般不同,所以光学系统中存在色

  球差。

对于双

  胶合这种结构简单的镜头,一般只要求在孔径处得位置色差为:

  LL(mm)

  FCnu2

  C、正弦差OSC:

  正弦差OSC的公差要求是:

OSC

  设计步骤一:

依据初级像差理论求解初始结构

  1、棱镜的初级像差数据计算:

  近轴情况下,按照计算光路,物方数值孔径为:

  u1u/u(1/5)

  棱镜的等效空气为:

  dd/n

  物方视场角为:

  up  y-

  l1-d-d2--

  附录B提供的公式,计算出平行平板的有关像差系数如下:

  21n  ud10

  45  mm

  Ip1  n3  311n2105mmSuud

  1pn

  Cu2d(1n)104mm

  2Ip1  n  

  IIp3  

  式中u10.03rad为物镜的物方孔径角;

up0.0529r4ad为物方视场角;

  d38.63mm为棱镜展开后平板的厚度;

n和分别是K9玻璃的折射

  图1-4轴向像差曲线表1-2镜头的几个像差数据

  像差  数值m全口径边缘轴向球差L  剩余轴向球差L  -位置色差LLFC  

  正弦差OSC-×

10-32、优化玻璃对

  从上面的曲线图和数据表可知,经过计算得到的玻璃对虽然达到了比较好的效果,但还

  是没有达到设计的像差公差要求,需要对镜头进行优化。

取物镜的前两个半径作为变量。

  它的第三个半径保证像方数值孔径。

采用三个评价函数进行优化,分别为轴上点全孔径d

  光的纵向像差LONA、轴上点孔径F光和C光的轴向色差AXCL和正弦差OSCD。

  优化目标都为0,权重都为1。

  优化后的结构参数见表1-3所示,优化后的像差曲线如图1-5和1-6所示,优化后的像

  差数据如表1-4所示。

  表1-3镜头优化后的结构参数

  图1-5镜头优化后的横向像差曲线图

  图1-6镜头优化后的纵向像差曲线表1-4镜头优化后的几个像差数据

  像差  数值m全口径边缘轴向球差L-×

10mm-4剩余轴向球差L  --×

10mm位置色差LL-4FC正弦差OSC×

10-4将优化后的像差数据跟显微物镜的像差公差要求对比:

  全口径边缘轴向球差Lm

  剩余轴向球差L位置色差LFLC

  正弦差OSC

  可见,优化后镜头的像差在公差范围内,合乎要求。

  3、对镜头进行进一步优化

  在上面的优化中,将像面的位置定在近轴主光线与光轴的交点上,即理想像面的位置。

  如果在上面的优化基础上将像面的位置也作为一个变量,可以对镜头进行进一步优化。

  优化后的结构参数见表1-5所示,优化后的像差曲线如图1-7和1-8所示,优化后的像

  差数据如表1-6所示。

  表1-5镜头优化后的结构参数

  图1-7镜头优化后的横向像差曲线图

  图1-8镜头优化后的纵向像差曲线表1-6镜头优化后的几个像差数据

  像差  数值m全口径边缘轴向球差L  -×

10-14mm剩余轴向球差L  --×

10位置色差LLF-13Cmm  

  正弦差OSC×

10-11从上表的数据可知离焦优化后镜头可以达到更理想的效果。

  玻璃对的初始结构如表1-7所示。

其中两片镜片的厚度取值为和

  这是根据工艺情况估算的。

在进行优化前,它的光路图如图1-9所示,像差曲线图

  1-10和图1-11所示,要求消除的几个像差数据如表1-8所示,这些曲线图和数据是使用ZEMAX-EE–20XX0进行计算得到。

  表1-7玻璃对的初始结构

  图1-9光路图

  图1-10横向像差曲线图

  图1-11轴向像差曲线

  像差表1-8镜头的几个像差数据

  数值全口径边缘轴向球差Lm  剩余轴向球差L  -位置色差LLFC  

  优化后的结构参数见表1-9所示,优化后的像差曲线如图1-12和1-13所示,优化后的

  像差数据如表1-10所示。

  表1-9镜头优化后的结构参数

  图1-12镜头优化后的横向像差曲线图

  图1-13镜头优化后的纵向像差曲线

  像差表1-10镜头优化后的几个像差数据

  数值m全口径边缘轴向球差L  -×

10mm位置色差LL-3FC正弦差OSC×

  全口径边缘轴向球差Lmmm

  优化后的结构参数见表1-11所示,优化后的像差曲线如图1-14和1-15所示,优化后

  的像差数据如表1-12所示。

  表1-11镜头优化后的结构参数

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