洁净厂房安全管理工作标准修订稿Word文件下载.docx

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（2）设备布局时，应将易产生污染的工艺设备布置在靠近回风口的位置。

为保证洁净度符合设计要求，确保操作人员的职业健康，在设备布局时，应将等级高的工序布置在上风侧，易产生污染的工艺设备布置在靠近回风口的位置。

例如：

磨片机、划片机、激光打孔机等都属易产生污染的工艺设备。

（3）按生产的火灾危险性分类，甲、乙类与非甲、乙类生产区域相邻的区段之间应设隔断设施（防火分隔装置）。

化学清洗间中使用闪点小于28℃的诸如但不限于苯、甲苯、氯化苯、甲醇、乙醛、丙酮、乙醚、醋酸甲酯、醋酸乙酯、亚硝基乙酯、汽油、已烷等易燃液体；

外延间、常压化学气相沉积间、化学试剂贮存间等都属甲、乙类火灾危险生产区域，都应与其他非甲、乙类生产区域，在相邻处有防火分隔装置。

2、洁净室内的噪声级（空态），应符合洁净厂房设计的要求

（1）非单向流洁净室不应大于60dB（A），单向流、混合流洁净室不应大于65dB（A）。

单向流是指沿单一方向呈平行流线并且横断面上风速一致的气流；

非单向流是指凡不符合单向流定义的气流；

混合流是指单向流和非单向流组合的气流。

洁净厂房内噪声的控制要求，主要是考虑操作人员烦恼效应、语言通讯干扰和对工作效率的影响。

（2）洁净室内的各种设备均应选用低噪声产品。

对于噪声值超过洁净室允许值的设备，应设置专用隔声设施（如隔声间、隔声罩等）。

3、洁净厂房应符合防火和疏散的安全要求（洁净厂房的耐火等级应为二级及二级以上，与甲、乙类生产相适应）

（1）顶棚和壁板（包括夹芯材料）应为不燃烧体，且不得采用有机复合材料。

为避免因室内或室外一方发生火灾殃及另外一方，规定其燃烧性能，即采用不燃烧体，不得采用有机复合材料，例如：

聚苯板，以避免燃烧时产生窒息性气体、有害气体，甚至造成板材坍塌等。

建议使用金属壁板，例如：

蜂巢板，或夹芯材料为岩棉的彩钢板。

（2）洁净厂房每一生产层、每一防火分区或每一洁净区的安全出口不应少于2个，并应分散布置，有明显的疏散标志。

设置安全出口的条件，是基于甲、乙类生产厂房每层洁净区总建筑面积大于50㎡，且同一时间内的操作人员超过5个定员前提下，应有两个安全出口，并分散布置，且有明显的疏散标志。

不满足这两个条件的洁净厂房可不受这个条件的限制。

人员净化路线不应作为安全出口设置。

（3）洁净区与非洁净区、洁净区与室外相通的安全疏散门应向疏散方向开启，并加闭门器。

安全疏散门不应采用吊门、转门、侧拉门、卷帘门以及电控自动门。

（4）通风、净化空调系统的风管应设防火阀。

符合现行国家标准《建筑设计防火规范》（GBJ16）的有关条文要求的。

（5）洁净厂房内不得设置危险化学品库房。

为减少洁净厂房内的危险容量，应限制厂房内的危险化学品的存储，可设置专用橱柜用于周转少量的危险化学品。

具体要求为：

允许洁净厂房内危险化学品最大周转量为：

生产场所小于当班用量或最小包装单位。

现场周转存放的危险化学品应分类（诸如灭火方式不一样的、化学性质相抵触的、剧毒的）分别设置专门橱柜贮存，并有良好的通风。

废危险化学品应及时处置清理，做到日产日清。

（6）洁净厂房内应配置足量的灭火器。

配置足量的灭火器是扑救初期火灾最有效的手段。

洁净厂房内应按50㎡面积至少配置一个5公斤二氧化碳灭火器，或8公斤干粉灭火器。

灭火器材应定期检查、检验、充装。

灭火器材应每6个月定期进行一次外部检查；

每年应进行一次全面定期检查、检测，压力不足的灭火器材应进行充装。

4、有良好的通风排毒（烟）装置

（1）洁净厂房内产生粉尘和有害气体的工艺设备，应设局部排风，排风量应符合有毒有害作业场所职业卫生的要求。

局部排风一般情况下风速应满足0.7－1.5m/s。

产生粉尘和有害气体的工艺设备包括有：

磨片机、划片机、激光打孔机、化学清洗间、涂胶间、化学腐蚀间、外延炉、扩散炉、刻蚀机、电镀以及相关辅助设施工艺设备等，均应设局部排风系统。

一般有毒有害作业可采取作业与通风同步的方式，但剧毒气瓶柜及作业点的通风应采取24小时连续排风。

在下列情况下，局部排风系统应单独设置：

1、排风介质混合后能产生或加剧腐蚀性、毒性、燃烧爆炸危险性和发生交叉污染的，例如：

氰化物与酸；

2、排风介质中有毒与无毒、毒性相差很大的，例如粉尘与剧毒；

3、易燃易爆与一般化学品，例如：

氢气与化学清洗或化学腐蚀。

局部排风系统的风速应每年检测一次，并做好检测记录。

不符合规定的局部排风系统应有整改措施及整改后合格的复测记录。

（2）甲、乙类生产火灾危险区域不应采用循环空气，应设置局部排风系统，并满足国标《采暖通风与空气调节设计规范》（GBJ19）的规定。

设计时应有适合洁净厂房要求的措施。

其一是有防止室外气流倒灌措施。

采用中效过滤器、止回阀、密闭阀、自动控制装置；

其二是含有易燃易爆物质的局排系统应有防爆措施；

其三是排风介质中有害物浓度及排放量超过国家或地区有毒物排放浓度及排放量规定时，应进行无害化处理。

焚烧、活性碳吸附、酸雾处理塔中和等；

其四是对含有水蒸汽和凝结性物质的排风系统，应设有坡度及排放口。

（3）根据生产工艺要求设置事故排风系统。

事故排风是保证发生火灾时，抢修、救援、逃生过程中现场和通道人身安全的一项必要措施，应设自动和手动控制开关，报警与电气开关联锁，手动控制开关应分别设置在洁净室及洁净室外便于操作的地方。

报警与电气开关联锁应每6个月进行一次检查、试验，并有记录。

5、气体管道的设计、布置、使用应符合安全生产要求

（1）气体管道应敷设在技术夹道、上下技术夹层内。

引入洁净室的气体管道应设装饰面板，可燃气体管道应敷设在装饰面板的外侧，水平敷设时应在其顶部。

当可燃气体泄漏积聚时，可通过报警探测器及时发现和排除。

（2）可燃气体和氧气管道的末端或最高点应设放散管。

放散管引至室外应高出屋脊1m，并有防雨、防杂物侵入的措施。

可燃气体和氧气管道系统发生事故或气体纯度不符合使用要求，或对管道进行维保维修时，都需吹除置换。

尾气排放不能直接排放在室内，所以在管道未端或最高点以及管道汇流站点都应设放散管，以便将尾气排入大气。

放散管的排放口应高出屋脊1m，以防止由于风向的影响使排放的气体倒灌回室内，并有防雨、防杂物进人的措施。

（3）甲类火灾危险生产用气体入口室的设置，应符合安全规定。

甲类火灾危险生产用气体是指爆炸下限＜10％的气体，如氢气、乙炔气、天然气、水煤气、液化石油气、硅烷等。

其入口室的设置应满足的安全规定有：

毗连布置时，宜设在单层厂房靠外墙处，且有良好的通风。

泄压面积与人口室体积的比值（m2/m3）不应小于0.05。

电气防爆应按现行国家标准《建筑设计防火规范》（GBJ16）、《爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范》（GBJ0058）的规定执行。

（4）可燃气体管道应设下列安全技术措施：

A．接至用气设备的支管和接至屋顶的放散管，应设阻火器。

B．引至室外的放散管，应设可靠的防雷保护设施。

C．应设可靠的防静电接地措施。

D．根据使用压力的工艺要求，设置减压阀。

为了防止可燃气体管道系统与明火直接接触以及管道系统中压力突然降低，造成倒流形成回火，故在接有明火源的每台或每组使用可燃气体的设备接管上和接至屋顶的放散管上设置阻火器，制止火焰蔓延至管道系统，保证安全进行。

可燃气体管道的静电接地，是根据现行国家标准《建筑防雷设计规范》（GB50057）的规定，对金属管道防止雷电感应的高压电被引入室内，应有接地措施。

减压阀是为了满足工艺和设备安全运行要求而必须设置的，以降低气体的使用压力。

（5）气体管道应按不同介质设有明显的标识。

不同介质的气体管道标识为：

净化压缩空气管为深蓝色底白色环、氧气管道为深蓝、液化石油气管道为黄底绿色环、氢气管道为粉红色、氮气管道为棕色等。

（6）压力管道的日常维护和定期检验。

压力管道是指最高工作压力大于或等于0.1MPa（表压），输送可燃、易燃气体、液化气体或有毒、有腐蚀性、最高工作温度高于或者等于标准沸点的液体介质，且公称直径大于25mm的管道。

压力管道的日常维护包括：

安全阀和压力表要经常擦试，确保其灵敏准确，并按时进行校验；

定期检查紧固螺栓的完好状况，做到齐全、不锈蚀、丝扣完整、连接可靠；

静电跨接、接地装置要保持良好完整，发现损坏及时修复；

停用的压力管道应排除内部介质，并进行置换、清洗和干燥，必要时做惰性气体保护。

外表面应进行油漆防护（不锈钢管道除外），有保温的管道注意保温材料完好；

检查管道和支架接触处等容易发生腐蚀和磨损的部位，发现问题及时采取措施；

及时消除管道系统存在的跑、冒、滴、漏现象；

压力管道的定期检验包括在线检验和全面检验。

在线检验是运行条件下对在用工业管道进行的检验，使用单位根据具体情况制定检验计划和方案，在线检验每年至少检验一次。

在线检验工作由使用单位进行，使用单位也可将检验工作委托给具有管道检验资格的单位。

在线检查一般以宏观检查和安全附件检验为主。

全面检验是按一定的检验周期在在用压力管道停车期间进行的较为全面的检验。

安全状况等级为1级和2级的在用压力管道，其检验周期一般不超过6年，安全状况等级为3级的在用压力管道，其检验周期一般不超过3年。

在用压力管道全面检验工作由已经获得质量技术监督部门资格认可的检验单位进行（取得在用压力管道自检资格的使用单位可以检验本单位自有的在用压力管道）。

不属压力管道管理适应范围的管道。

即：

最高工作压力虽然大于或等于0.1MPa（表压），输送可燃、易燃气体、液化气体或有毒、有腐蚀性、最高工作温度高于或者等于标准沸点的液体介质，但公称直径不大于25mm的管道。

建议参照进行全面检验。

6、报警器和视频监控装置完好。

（1）洁净厂房中的易燃易爆气体的贮存、使用场所，管道入口室及管道阀门等易泄漏的地方，以及上下技术夹层或技术夹道内有可燃气体易积聚处，应设可燃气体探测器。

可燃气体探测器的配置应重点针对氢气、乙炔气、天然气、水煤气、液化石油气、硅烷等甲类火灾危险生产的化学品使用和贮存场所。

（2）剧毒气体的贮存、使用场所，应设毒气报警器和视频监控装置。

毒气报警器的配置应首先突出剧毒气体的贮存和使用场所，例如：

砷烷、磷烷、硼烷、氯气、氟混合气、氟气化学物气等。

（3）可燃气体报警器、毒气报警器的传感器每年由有资质单位至少校验一次。

应建立台帐和效验记录。

毒气报警器台帐和效验记录见附录一。

（4）易燃易爆危险品使用和贮存场所应设置视频监控装置。

视频监控装置在设计安装时应注意：

首先突出氢气、乙炔气、天然气、水煤气、液化石油气、硅烷、甲苯、丙酮、酒精等甲类生产的火灾危险物品；

记录信息保存时间不应低于90天；

视频监控系统应符合相应的防爆性能要求，危险场所的电气线路应穿镀锌焊接钢管明敷，严禁裸线明敷和使用PVC保护管。

7、洁净厂房的生产区应有完好的火灾探测、监控和报警装置。

（1）技术夹层应设置火灾探测器。

（2）洁净厂房生产区及走廊应设置手动火灾报警按钮。

（3）洁净厂房应设置消防值班室或控制室，其位置不应设在洁净区内。

火灾探测、监控和报警装置应按照国家有关规定做好定期检查、检测、维修和记录工作。

a、每日应检查火灾报警控制器的功能并填写系统运行和控制器日检登记表。

b、每季度应检查和试验火灾自动报警系统的下列功能并应按格式填写季度登记表。

（a）采用专用检测仪器分期分批试验探测器的动作及确认灯显示；

（b）试验火灾警报装置的声光显示；

（c）试验水流指示器压力开关等报警功能信号显示；

（d）对次主电源和备用电源自动切换试验；

（e）用自动或手动检查下列消防控制设备的控制显示功能；

①每半年检查一次防排烟设备、电动防火阀、电动防火门；

②防火卷帘等的控制设备；

③室内消火栓自动喷水灭火系统的控制设备、卤代烷二氧化碳泡沫干粉等固定灭火系统的控制设备；

④火灾事故广播、火灾事故照明灯及疏散指示标志灯；

（f）强制消防电梯停于首层试验；

（g）消防通讯设备应在消防控制室进行对讲通话试验；

（h）检查所有转换开关；

（i）强制切断非消防电源功能试验；

c、每年对火灾自动报警系统的功能应作下列检查和试验并应按格式填写年检登记表。

（a）每年应用专用检测仪器对所安装的探测器试验1次；

（b）试验火灾事故广播设备的功能；

8、气瓶使用、存贮、管理应符合有关安全生产规定

（1）各种气瓶库（汇流排供气点）应集中设置在洁净厂房外。

当日用气量不超过1瓶时，气瓶可设置在洁净室内，但应设置在有完好局部排风的气瓶柜内。

（2）气瓶使用应符合《气瓶安全监察规程》的规定，超过检验周期的气瓶应按期撤出洁净厂房，定期送检。

气瓶检验周期为：

盛装一般气体的气瓶，每三年检验一次；

盛装惰性气体的气瓶，每5年检验一次；

盛装腐蚀性气体的气瓶，每2年检验一次。

洁净厂房内的气瓶管理应作为一个重点，氯气、硅烷、氨气等都具腐蚀性、砷烷、磷烷、硼烷都属剧毒气，且投资昂贵，在年使用量较小时，管理难度较大。

使用单位应根据使用特点，采取必要措施确保气瓶的使用安全。

（3）气瓶的外观应符合安全规定，表面应清洁不积尘、有稳固的固定措施。

洁净室内洁净度要求进入洁净室的气瓶应采取不积尘和易于清洁的措施。

气瓶摆放在使用场所时，必须有稳固的固定措施。

9、洁净厂房内的照明应符合安全生产要求

（1）无采光窗洁净区混合照明中的一般照明，其照度值最低不得小于200Lx。

无采光窗洁净区混合照明中的一般照明，其照度值应按各视觉等级相应混合照度值的10～15％确定，并不低于200Lx。

（2）洁净厂房内应设置事故备用照明，以满足所需场所或部位在意外停电的情况下保证应急处置的最低照度。

当洁净厂房正常照明灯具因供电故障而熄灭时，不能进行及时和必要的操作处置而可能导致生产流程混乱，加工处理的贵重部件损坏，或由于不能进行必要的操作处置而可能引起火灾、爆炸和中毒等事故。

设置事故备用照明的规定，正是为了防止上述事故的发生。

备用照明应满足所需要的场所或部位进行各项活动和工作所需的最低照度值，一般不应低于正常照明照度标准的1/10。

为确保备用照明能在应急时发挥应有的作用，应对备用照明灯具进行定期维护保养。

本条款规定：

每三个月进行一次充放电试验和外观检查。

试验和外观检查的结果填入附表二《应急照明灯具检查记录表》。

（3）在洁净厂房安全出口、疏散口和疏散通道转角处，应按现行国家标准设置疏散标志。

针对洁净厂房的密闭性、通道曲折迂回的特点，为便于事故情况下人员的疏散及发生火灾时能救灾灭火，洁净厂房应设置供人员疏散用的应急照明。

在安全出口，疏散口和疏散通道转角处设置标志灯，以便于疏散人员辨认通行方向，迅速撤离事故现场。

在专用消防口设红色应急灯，便于消防人员及时进入厂房进行灭火。

10、洁净厂房应根据工艺生产要求设置静电防护措施

（1）防静电地面应设有导电泄放措施和接地构造，其对地泄放电阻值应为1.0×

105～1.0×

109Ω。

静电泄放的良导体是半导体，其对地泄放电阻值参照电子行业标准《电子产品和制造防静电系统测试方法》（SJ/T10694）确定的为1.0×

（2）洁净室净化空调系统的送风口、回风口、风管、排风系统的排风管应有可靠的防静电接地措施。

采用法兰及螺栓连接的配管系统，一般不必另设跨接线。

（3）洁净室内可能产生静电危害的设备、流动液体、气体或粉体管道应采取防静电接地措施。

洁净厂房可能产生静电的生产设备和容易产生静电的流动液体、气体或粉尘的管道，都应采取防静电接地措施消除静电。

当这些设备与管道处在爆炸和火灾危险环境中时，设备和管道的连接安装要求更加严格，以防发生严重灾害。

因此，强调执行现行国家标准《爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范》（GB50058）的规定。

（4）防静电接地系统各个连接部位之间的电阻值应小于0.1Ω。

防静电接地体的接地电阻宜控制在100Ω左右。

静电接地系统各部位的相互连接以及接地体的接地电阻给出了具体数值要求，但应加强日常管理，坚持定期检查、检测、记录，保证静电泄漏通道的畅通。

新建防静电接地体接地电阻，一年内检测4次；

一年后每21个月检测一次。

11、供配电系统及接地系统应符合安全规定

（1）洁净厂房的用电负荷等级和供电要求应根据现行国家标准《供配电系统设计规范》（GB50052）和生产工艺要求确定。

其消防用电设备、电源线切断装置、配电设备、电气管线等设置、选型、安装等应符合相关安全要求；

对供电电源有特殊要求的用电设备宜另设置不间断电源（UPS）。

对供电可靠性有特殊要求的电子专用设备，应设置不间断电源（UPS）。

这里所指的“特殊要求”是指：

采用备用电源自动投入方式或柴油发电机组应急自启动方式仍不能满足要求者；

一般稳压稳频设备不能满足要求者；

计算机实时监控系统和通信网络监控系统等。

为确保UPS在意外断电时能发挥作用，本条款规定：

每6个月应对UPS进行一次全面地外观检查和充放电试验。

外观检查和充放电试验情况应填入附件三《UPS台帐及定期充放电记录表》

（2）洁净厂房低压配电宜采用接地电网（TN-S，TN-C-S）配电系统，采用单项三线制、三相五线制的供配电方式，接地系统中有专用不带电的保护接零线（PE线），接地电阻一般小于4Ω。

（3）在确保设备、设施的金属外壳与保护接零线（PE线）相连接的前提下，为确保进一步提高安全性能，可另设重复接地。

但严禁在设备、设施的金属外壳未与PE线相连接的前提下，擅自将设备、设施的金属外壳与独立接地体相连接。

（4）静电接地、交流接地、保护接零（PE线）、屏蔽接地等，一般情况下可以共用综合接地方式，但应遵循等电位联结原则，以抑制电子设备之间的电磁干扰。

（5）防雷接地系统设计应符合现行国标《建筑防雷设计规范》（GBJ0057）的规定。

防雷接地接地电阻每年应进行一次检查和检测，有检查和检测记录。

（6）洁净厂房内禁止使用临时电源线，限制活动接线板的使用。

12、电子专用设备应符合安全使用的规定

（1）设备的外露传动装置应有防护网罩，联动生产线应有紧急刹车制动装置或联锁装置，且灵敏可靠。

本条款要求“外露传动装置应由防护罩”；

联动生产线应有紧急刹车制动装置或联锁装置；

悬挂输送机、托盘与链体连接应牢固，经过人行通道的地方，应有防坠落的遮挡网架；

在地面输送时，应安装有护栏。

（2）设备的制动器、限位开关、联锁装置应灵敏可靠、定期检查。

（3）设备的电气表具、开关、部件等连接应可靠，无严重发热及烧损现象。

（4）设备的电源线绝缘层无破裂、漏电现象。

（5）使用易燃易爆危险化学品的场所，电气设施应符合相应的防爆性能要求。

（6）对装有压力容器的专用设备，应符合压力容器的安全规定。

（7）使用产生X射线设备场所，应符合安全生产和职业卫生要求。

产生X射线设备的安装地点，必须使用专用隔离间，通风良好；

入口处应挂有警告标记；

放射防护必须符合《中国人民共和国放射性污染防治法》、《放射性同位素与射线装置安全和防护条例》、《放射性同位素与射线装置安全许可管理办法》中的规定要求；

领取使用许可证；

配备与辐射类型和辐射水平相适应的防护用品和监测仪器（个人剂量报警仪、辐射监测仪）；

操作人员经培训后持证上岗；

设备防护罩或铅板防护门以及观察窗铅玻璃屏蔽完好，铅板防护门与高压装置联锁完好等。

（8）激光加工设备应装配有必要的安全防护。

根据国家标准《激光产品的辐射安全、设备分类、要求和用户指南》（GB7247-87）的规定：

1类激光产品是固有安全的；

2类激光产品是低功能产品；

3类激光产品分为3A类和3B类；

4类激光产品为高功率激光产品。

管理重点是3类和4类激光产品。

对3类、4类激光产品的要求是：

操作间入口处，除贴有警告标记外，还应该说明“勿直视或通过光学仪器观看激光束”以及属于那一类激光产品的标记；

对3B类或4类激光产品的遥控联锁连接器要与应急用总切断联锁或同房间内的固定连锁器相连；

对3类和4类激光器应设“开关控制钥匙”、“光束终止器或衰减器”和“发射指示器”。

在安全操作规程中英明确规定3类、4类激光产品在不用时、应拔出锁开关的钥匙，以防误用；

激光设备操作人员按要求使用防护镜和防护衣、帽以及功率监测计；

对使用激光设备而产生伴随危害如各种有害气体、广辐射危害、高电压电气危害伴生的X射线危害等要有相应的治理措施和安全防护手段。

（9）有微波、高频辐射的作业场所，应有可靠的屏蔽、接地等安全措施。

具体要求是：

对有辐射的设备，必须加装屏蔽装置，并有良好的接地；

采用遥控、电视监视等手段远距离操作微波泄漏强的设备，使操作人员远离辐射源；

设有声光警示装置，以示设备正在运行，警戒无关人员进入；

设有必要的检测手段和超剂量报警器；

操作人员因工作需要进入超剂量区时，必须使用微波作业防护服、帽、眼镜、以免造成不必要的伤害。

我国射频辐射允许强度的卫生标准为：

高频电磁辐（1000KHz~30MHz）的辐射强度：

电场强度不超过为20V/m、磁场强度为5A/m；

微波辐射强度一日8小时连续辐射时，不应超过38uW/cm2。

（10）高电压测试设备的电气安全防护和联锁完好。

高电压测试设备系指对交流电压2000V以上或直流电压在500V以上电子元器件产品进行高电压测试的设备。

具体安全要求为：

高电压测试设备应安装有机电联锁装置（门开关）；

高电压测试设备必须有专用屏蔽安全网或栅栏。

设备的外壳必须有牢固可靠的保护接零和重复接地；

高电压测试设备要配备符合安全要求的放电装置；

设备的绝缘必须符合保证安全的电压等级要求；

操作位地面应设置有绝缘橡胶垫等。

13、集中空调通风系统应有预防空气传播传染性疾病的措施。

洁净厂房是一个密闭空间，仅有10%～30%新风作为补充,其余均为循环风.洁净厂房内的操作人员一旦发生传染性疾病,极可能发生群体性传染病的爆发，造成科研生产的中断。

为了预防空气传播传染性疾病在洁净厂房中的传播，保障洁净厂房内操作人员的健康，依据《中华人民共和国传染病防治法》、《公共场所卫生管理条例》和《突发公共卫生事件应急条例》，特对集中空调通风系统应有预防空气传播传染性疾病（化脓性感染、破伤风、百日咳、白喉、结核病、肺炎、流行性感冒、感