集成电路制造验收评价报告Word下载.docx

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储存设备有储气罐、液氮罐、液氩罐、贮油设备、硫酸罐、氢氧化钠罐等。

其主要危险因素有：

1）火灾爆炸

油罐如本身缺陷或安全装置失效或管理不善出现泄漏，遇明火可引发火灾、爆炸危险。

锅炉使用燃料是天然气，天然气为易燃易爆气体，一旦出现泄漏遇明火可引发火灾。

当天然气与空气混合的浓度达到爆炸极限时遇点火源可引发爆炸危险。

2）物理爆炸

锅炉、压力容器（蒸发器、冷凝器、储气罐）设备、气瓶等，如设备有缺陷或超压安全附件失效或使用不当，可引发物理爆炸。

3）触电危险

变配电设备、电气线路、用电设备如产品质量不佳、绝缘性能不良或因运行不当、机械损伤、维修不善导致绝缘老化破损或设计、安装不规范，安全净距不足，或违章操作，均可能引发触电危险。

如出现短路、过载、接触不良等，也可引发电气火灾危险。

4）静电危害

如火灾、爆炸危险环境内设备、管路防静电设计或施工不规范，或在使用、输送、贮存易燃易爆物质时所产生的静电电荷不能及时消除，或使用有火花工具、穿用不防静电的鞋、服装而产生静电火花，均可能引燃易燃易爆物质，造成火灾、爆炸。

5）高空坠落危险

凡2m以上各类高空作业点位，其梯、台、道、护栏等常规性防护措施不符合规范要求或损坏，可引发高空坠落危险。

6）车辆伤害

厂内各类运输车辆如车辆本身缺陷，或制动、音响、灯光等失效，道路状况不符合规定要求或误操作可引发车辆伤害。

7）机械伤害

空压站、冷冻站、水泵房、锅炉房的旋转、传动设备如无防护罩或损坏，可引发机械伤害。

8）灼伤

高温设备、蒸气管路等表面，保温、隔热效果不好，易形成烫伤事故。

各类使用激光源、红外线光源的设备、机台上，如因光源密闭性不好或损坏或操作不当，致使光源直射观察者眼睛，将会造成眼灼伤。

9）噪声危险

空压设备、泵类、风机等设备在运转时可产生噪声危害。

4评价方法的选取和评价单元的划分

4.1评价方法的选取

结合本项目建设内容及已做劳动安全预评价的实际，安全验收评价采用以下两种方法：

1、安全检查表（SCL）

依据国家、行业、地方相关法规、规定及技术标准，针对本工程存在的危险、危害因素，编制安全检查表，以查验项目在设计、施工、交付生产使用时，所采取的安全防护设施及技术措施的全面性和可靠性，并据此提出改进措施及建议。

2、专家现场询问，观察法（邀请公司专业技术人员参加、配合）。

4.2评价单元的划分

依据已确定的评价范围及建设内容的实际，本项目的安全验收评价划分如下评价单元。

1、总平面布置及常规安全防护设施安全评价单元

2、生产工艺及危险化学品使用安全评价单元

3、化学品库安全评价单元

4、超纯水制备设施系统安全验收评价单元

5、锅炉房安全验收评价单元

6、油罐区、冷冻机房、空压站、水泵房安全评价单元

7、污水处理站安全评价单元

8、供配电安全评价单元

9、安全生产管理安全评价单元

5.1.2安全检查表

依据GB50187-93《工厂企业总平面设计规范》、SJ30002-92《电子工业职业安全卫生设计规定》、GB4387-94《工业企业厂内铁路道路运输安全规程》、GBJ16-87《建筑设计防火规范》（2001版）、GB50074-2002《石油库设计规范》、GB2894-1996《安全标志》、GB16179-1996《安全标志使用导则》等相关法规、标准及现场状况编制总平面布置及常规安全防护设施安全检查表，检查项目及内容见表5.1.2-1。

总平面布置安全检查表表5.1.2-1

序号

检查项目及内容

依据法规

检查结果

备注

1

厂址选择

1.1

厂址选择在全面考察，其自然和社会环境应优先选在工程地质、水文、气象条件符合安全卫生要求，交通便利，协作方便，环境较为清洁的地区。

SJ30002-92

2.2.2

√

符合要求。

1.2

厂址应位于生活区最小频率风向的上风侧，避免建在已建工厂烟囱主导风向的下风侧。

2.2.4

1.3

厂址应具有满足生产、生活及发展规划所需要电源和给排水条件。

GB50187-93

2.0.5

满足要求

1.4

厂址应与交通线路、车站、港口顺捷合理联接，厂所区尽量靠近公路干道。

2.0.4

交通便利。

1.5

地震断层和设防烈度低于九度地震区。

2.0.11

七度设防。

2

总平面布置

2.1

厂区应根据生产、工艺特点按功能分区布置。

一般可分为厂前区、主要生产区、辅助生产区、仓库区和动力区。

2.3.2

按功能分为办公区、生产区、公用工程区、预留区。

2.2

由厂部办公楼、多层厂房、厂区主入口等组成的厂前区，宜置于厂区最小频率风向的下风侧。

2.3.5

2.3

布局应满足生产加工过程流程。

流程顺畅。

2.4

要求洁净的生产设施应布置在大气含尘浓度低、环境清洁地段。

洁净厂房的布置应符合“洁净厂房设计规范”的规定。

4.2.2

2.5

变配电站宜位于负荷中心，或靠近主要用户。

不受粉尘、水雾、腐蚀性气体影响。

对于大容量的总降压站，尚应在其周围加设围墙。

2.3.15

3.4.4

总降变设在厂区西南角。

各10kW变电站靠近负荷中心。

2.6

空压站应位于空气洁净地段，避免靠近散发爆炸性、腐蚀性和有害气体的粉尘等场所。

4.3.4

2.7

锅炉房宜布置在厂区全年最小频率风向的上风侧。

4.3.7

2.3.13

2.8

污水处理站应布置在厂区边缘地带，位于厂区全年最小频率风向的上风侧。

应靠近污染源，远离水源构筑物及空调空气入口，四周留有必要的卫生防护距离。

2.3.16

3.4.2

2.9

火灾危险性属于甲、乙、丙类液体燃料罐区的布置，应远离明火或散发火花地点。

　　与耐火等级为2、3级厂房距离分别为20m、25m，与厂内主干道距离15m，与次干道距离10m。

4.6.5

GB50074-2002

4.0.8

∽

油罐区距锅炉房西侧外墙15.2m，距厂内道路6m。

2.10

化学危险品库，应布置在厂区最小频率风向的上风侧及边缘地区，应远离火源，并符合国家现行有关防火规范的规定，防火间距不应少于30m。

2.3.12

基本符合有关规定。

2.11

工厂主要建筑物宜呈南北向布置，建筑物的方位应保证室内有良好的朝向、采光和自然通风条件。

2.3.3

2.0.1

条件良好。

2.12

厂区出入口数量不宜少于2个。

人流出入口与货流出入口分开设置。

4.7.4

三个出入口，人、物分流。

2.13

厂区应进行绿化，应在道路及围墙沿线植树，空地上种植灌木，乔木和草皮，厂前区布置花坛，水池以及厂标、雕型等建筑小品。

2.3.20

3

厂区道路

3.1

运输线路，满足生产要求，物流顺畅，线路短捷，人流、货流组织合理。

4.1.8

人流、货流组织合理。

3.2

道路与主要建筑物轴线平行或垂直，主要生产厂、仓库区、动力区的道路应呈环形布置。

厂区尽头端式道路应有足够的消防车回转场地。

2.3.17

5.3.1

呈环形布置。

有回转场地。

3.3

厂区主干线双向行驶路宽≥5m，单向行驶路宽≥3.5m；

并有单向行驶标记，且能形成环形通道；

人行道>

0.75m；

沿主干线人行道1.5m。

5.3.5

5.3.6

厂区道路21m、15m、12m、7m。

有人行道。

3.4

职工上下班时间内，人流密集的出入口和路段，应停止行驶货运和机动车辆。

GB4387-94

5.1.8

3.5

易燃易爆区、储存库区将道路划分为限制车辆通行或禁止车辆通行的路段，并设标志。

5.1.4

×

油罐区、化学品库道路未划分限行路段。

无标志。

3.6

厂区道路在弯道交叉路口的横净距范围内，不得有妨碍驾驶员视线的障碍物。

5.1.10

3.7

厂区道路应设置交通标志。

5.1.3

无交通标志。

3.8

路面平整、路基稳固、边坡整齐、排水良好。

5.1.1

良好。

3.9

有完好的照明设施。

完好。

4

常规安全防护设施

4.1

架空平台、走道、钢梯应符合国家现行《固定式工业平台、工业防护栏杆、钢直梯、钢斜梯》等标准的规定。

凡采用直梯的场所，应采取防护措施，相邻两层的直梯宜错开设置。

2.6.7

2.6.8

厂区平台、钢梯基本符合要求。

4.2

厂区各种井、沟应有盖板。

2.6.10

有盖板。

4.3

道路上部管架和栈桥等障碍物，在干道上的净高不得小于5m。

2.3.18

4.4

凡容易发生事故危及安全的场所，应设置安全标志。

必要处尚应设置声光、色或声光结合的紧急警告信号。

2.9.1

安全标志不齐全，不醒目。

4.5

各种输送气体、液体及其它物料的管道，均应按国家及电子工业有关规定涂色。

2.9.2

未按规定涂色。

4.6

厂房、动力站房的安全出口及疏散通道、应设置明显的标志。

2.9.3

不齐全。

4.7

安全标志的涂色，应符合国家现行《安全标志》及《安全色》标准的规定。

2.9.4

不规范。

5.1.3综合评价分析

1、危险危害辨识

1）厂区建（构）筑物如间距小，道路狭窄，路面不平整、不畅通，若人流、物流不能有效分流，车辆无回车场地或车辆刹车、音响、灯光等出现问题，易引发车辆伤害事故。

2）厂区内丙烷站、化学品库（室），油罐区、110KV变电站等易燃、易爆、易中毒，及要害部位无安全标志，无限行、禁行等交通标志。

易造成误入及违章等，引发中毒、燃爆、触电等伤害。

3）厂区内若坑、孔、井及走台、平台无防护围栏或盖板，直梯、斜梯不符合有关规定都可引发碰、磕、摔伤和坠落伤害。

4）厂区内若道路无路标无交通标志，过路工业管路无限高标志，可造成各种车辆随意超速，任其闯越工业管路架设较低区域，易造成车辆交通事故或设备损害事故。

2、问题与建议

厂区总平面布置根据生产、工艺特点按功能分区布置，能够满足生产加工过程流程要求，建（构）筑物安全距离基本符合有关规定要求，厂区道路与主要建筑物轴线平行或垂直，主要生产区、库区、动力区的道路呈环形布置，能满足消防车畅通和回转的要求，厂区各种井、沟有盖板、平台、走台、钢梯基本符合有关标准要求。

但仍有一些问题应引起注意。

需采取相应措施以消除可能导致事故发生的隐患。

1）油罐区与锅炉房和厂区道路的间距未达到GB50074《石油库设计规范》的要求。

应按油罐区评价单元的建议完善其防火防爆措施并控制储油量。

2）凡容易发生事故危及安全的场所，安全出入口，应设置齐全醒目的安全警示标志。

安全标志的涂色应符合国家现行的《安全标志》及《安全色》标准的规定。

3）厂区工业管路应按GB7231-87《工业管路的基本识别色和识别符号》规定，基本识别色应涂刷在管路全长上或在管路上涂刷宽150mm的色环或在管路上用基本识别色胶带缠绕宽150mm的色环。

基本识别色色环应涂刷在所有管路交叉、阀门和穿孔西侧等的管路上以及其他需要识别的部位。

在管路上用识别符号标识管内流体性质、名称和流向。

4）厂区道路应设置显示道路名称、方向、车辆限速的交通标志。

在易燃易爆的生产区域应根据需要可将部分道路划分出限制或禁止车辆通行的路段，并设置标志。

5.1.4评价结论

厂区总平面布置综合考虑有利生产，方便工作的要求，各建（构）筑物按功能分区，生产工艺流程短捷便利，整体布局合理、厂区道路呈环形布置，消防通道畅通、照明完好，人、物分流，并为企业发展留有余地和空间，基本符合GB50187《工业企业总平面设计规范》的要求，只要按照检查表和建议的内容给予补充完善，可为实现安全生产创造更为有利的条件。

5.2生产工艺及危险化学品使用安全评价单元

　　　　支援车间危险化学品使用、储存、安全措施情况如表5.2.1-3所示：

危险化学品使用、储存及安全措施表表5.2.1-3

储存场

所名称

储存危险化学品名称

气柜数量（个）

安全设施

毒性气

体室

砷化氢混合气（AsH3/H2）

10%氦气/氮气工艺吹扫、TGM报警、消防水喷淋、排风、火灾声光报警、shutdown按钮、劳动防护用品专柜、双套管输送，内套管为真空，设侦测器，介质泄漏时，报警。

1.5%锗烷/氢气（GeH4/H2）

1%磷化氢/氮气混合气（PH3/N2）

5%磷化氢/氮气混合气（PH3/N2）

易燃气体室

氨气（NH3）

8

10%氦气/氮气工艺吹扫、TGM报警、氨、氟环境监测报警、消防水喷淋、排风（酸碱性排风系统分开）、火灾声光报警、shutdown按钮、劳动防护用品专柜。

一氧化碳（CO）

二氯硅烷（SiH2Cl2）

二氟甲烷（CH2F2）

50ppm乙硼烷/氢气（B2H6/H2）

氟甲烷（CH3F）

100ppmB2H6/N2

5%B2H6/N2

100ppm乙硼烷/氢气（B2H6/H2）

10%氨气/氮气

C4F6

腐蚀性气体室

Cl2

10%氦气/氮气工艺吹扫、TGM报警、消防水喷淋（ClF3无）、排风、火灾声光报警、shutdown按钮、劳动防护用品专柜。

ClF3

HBr

HCl

11

SiF4

氧化气体室

NF3

9

10%氦气/氮气工艺吹扫、TGM报警、消防水喷淋、酸性排风、火灾声光报警、shutdown按钮、劳动防护用品专柜。

N2O

7

30%O2/He

6

5

惰性气体室

1.2%He+N2

10%氦气/氮气工艺吹扫、TGM报警、消防水喷淋、排风、火灾声光报警、shutdown按钮、劳动防护用品专柜。

C4F8

CHF3

C2F6

CO2

CF4

SF6

He

4%H2/N2

酸室

HClCDM

设排风系统、收集井、吸收棉、双套管输送、内设泄漏报警侦测器、PEH在线型火灾声光报警装置，自动水喷淋装置。

BOECDM

HFCDM

NOECDM

HNO3CDM

H3PO4CDM

H2SO4CDM

HF100:

1CDM

BaseRoom

（碱室）

NH4OH

设排风系统、收集井、吸收棉、双套管输送内设泄漏报警侦测器，PEH在线型火灾声光报警装置，自动水喷淋装置、消防器材。

H2O2

SD-1

溶剂室

ACT940CDM

设溶剂排风系统、收集井、吸收棉、双套管输送、内设泄漏报警侦测器、PEH在线型火灾声光报警装置，自动水喷淋装置、消防器材。

EG-01

EBR10A

1PA-01CDM

5.2.2危险危害辨识与分析

1、火灾、爆炸

各类易燃液体、易燃气体在生产、储存、输送过程中，一旦因设备材质缺陷、制造质量差、机械损伤等原因致使设备密封效果不好、包装容器破损以及人员误操作，造成物料泄漏，如作业现场通风不良，与空气混和达到爆炸极限，遇有火源可能发生火灾、爆炸；

2、腐蚀、中毒、化学灼伤

清洗、扩散、光刻、蚀刻等生产区、酸室、Baseroom、碱室、溶剂室等腐蚀性化学品生产、储存、使用场所内，盛装酸、碱性腐蚀品磷酸、盐酸等设备、容器以及输送管路因材质缺陷，制造质量差，搬运、使用过程机械损坏、倾翻，造成物料泄漏，如人体接触泄露的酸、碱性物质将会引起严重的化学灼伤；

同时各类腐蚀性气体、毒性气体因盛装气瓶、输送管路、使用设备腐蚀、制造缺陷等原因造成泄漏，人接触或吸入有毒、腐蚀性气体，均会造成人员中毒。

3、物理爆炸

各类压力容器（包括气瓶）、管道，如果设备、管道因材质缺陷、设计不合理、制造焊接质量差、腐蚀等使其强度降低以及安全阀、压力表等附件失灵等，可能发生容器、管道不能承受设计压力而发生爆炸，造成人员伤亡，设备损坏。

4、高温灼伤

5、激光、红外线辐射灼伤

在各类使用激光源、红外线光源的设备、机台上，如因光源密闭性不好或损坏或操作不当，致使光源直射观察者眼睛，将会造成眼灼伤。

6、高频、噪声伤害

在离子植入区，使用离子植入机等高频设备；

清洗、光刻、蚀刻区使用各类清洗机、蚀刻机、微影机等产生噪声的设备，如上述各类设备高频、噪声防护措施不当或损坏都会对人员造成物理因素伤害。

7、高处坠落

当去废溶剂储罐等相对基准面标高超过2m设备进行检查、操作或维修设备时，若未按标准设置钢梯、护栏、平台或设置不完善，作业人员去检查、操作或检修时，稍不慎会发生高处坠落事故。

8、触电

各类用电设备、照明、配电系统线路保护接零未接或失效，线路绝缘损坏、线路短路等均可能发生触电事故。

9、电气火灾

电气设备、配电系统未按规定装设漏电保护器、过电压保护等装置或失效，线路绝缘损坏、短路，以及防爆场所电气设备、线路、照明不符合防爆要求等均会发生电气火灾。

10、雷电危害

建筑物防雷设计不合理、施工不规范、接地电阻值不符合规范要求，当雷击建筑物、电力设备、线路等时，会产生雷电过电压，在雷电波及的范围内会导致严重损坏建筑物、设备并可能危及人身安全。

雷电火花还可能引发易燃易爆物质的火灾、爆炸，造成严重的生命、财产损失。

11、静电危害

如火灾、爆炸危险环境内（如：

光刻、清洗区、扩散区、可燃气体储藏间等）设备、管路防静电设计或施工不规范，在使用、输送、贮存易燃易爆物质时所产生的静电电荷，不能及时消除，随着时间延续，静电荷将越聚越多，静电电压逐渐升高，当达到一定程度时，发生放电火花；

或使用有火花工具、穿用不防静电的鞋、服装而产生静电火花等，均可能引燃易燃易爆物质，造成火灾、爆炸。

5.2.3安全检查表

依据GBJ16-87《建筑设计防火规范》（2001版）、GB50187《工厂企业总平面设计规范》、SJ30002-92《电子工业职业安全卫生设计规定》、GBJ19-87《采暖通风与空气调节设计规范》（2001年版）、GB50073-2001《洁净厂房设计规范》、GB5083-99《生产设备安全卫生设计总则》、GB12801-91《生产过程安全卫生要求总则》、GB2893-2001《安全色》、GB2894-96《安全标志》、GB15603-95《常用化学危险品贮存通则》、国务院令第344号《危险化学品安全管理条例》等法规、标准、规范编制安全检查表，查验结果详见表5.2.3-1。

生产工艺及危险化学品使用单元