厂务系统概述.docx

厂务系统概述.docx

《厂务系统概述.docx》由会员分享，可在线阅读，更多相关《厂务系统概述.docx（11页珍藏版）》请在冰点文库上搜索。

厂务系统概述

廠務系統槪述

莊士正

7

整廠系統

SystemIntegration

DATACOM..DATACo«nnH«llC<1lonTELECOM-

OM・

TMcornnuMcMIonC（Mnp

UPW-

LS-g.PCWM£P-

WWT.

50-

BG-

PD-

BC-

GI8

CDA-

sec-

FMCS-

PV・PCX.

ULTRAPUMWATER

LIFESAFETY

CLEANROOM

PROCESSCOOUNGWATER

MECHANtCAtELECTRICALftPLUMBING

WASreWATCfttrcatiacnt

SFeCIALlTVOASeULKGASPnOCESSDRAINBULKCHEMCMGASINSULATEDSWITCHOCARCLEANDRYAIR

SCCUfUTY

FACTORYUONrrORINOANOCONTROLSYSTEM

PROCESSVACUUM

PftOCESSEXHAUST

1.廠務系統功能

7.1水系統在製程中的功能

製程機台冷卻

補水/清洗/稀釋

原水/一般用水

冷卻用冷源/空調用冰水

DI回收/冷凝回收/再生使用

1.2氣體系統在製程中的功能

搬運器/儀器之氣壓缸/…般沖吹

Purge/CDABackup/潔淨沖吹

Purge/空間塡充/超潔淨沖吹

製程需求/Purge/空間塡充/超潔淨沖吹

製程Chamber^充需求/乾蝕刻製程需求

1.3化學系統在製程中的功能

Chemical化學藥品

清潔清洗/濕式蝕刻製程需求

7.4真空系統在製程中的功能

PumpLine製程高真空

1.5排氣/排水系統在製程中的功能

Chambei•製程轉換之高真空建立

機台製程使用之廢Dl/Chemical排放

2.1水系統使用材質

SUS304禁油處理/高壓軟管

SUS304

SUS304

SUS304

CPVC/PVDF/PFATube

2.2氣體系統使用材質弋、锵氣夕巒台端部可能用Teflon軟管）

SUS316LEP/PH2有時用雙套管（EP/AP）

23化學系統使用材質

2.4真空系統使用材質

2.5排氣系統使用材質

不銹鋼TeflonCoating風管（Tefpass）

2.6排水系統使用材質

3.廠務系統流程

3•2冰水系統簡略流程

冰水主機

■■■—

冷媒循環

3.3純水系統簡略流程

CityWatera來水

DMFilter去除鈣鎂

0

Decarbonator

去除CO2

WATower去除碳無

0

SATowerir-K去除碳昭U?

ROTankRO進水槽

MixedBed去除SiO2

a

Permeate

Pit逆潼透底槽

ROUnit逆潑诱腺

0

SafetyFilter過減器

uvsterilizer紫外練殺菌

0

HeatExchange熱文換&

Membrane

Degasifier去除02

◊

UPWTank純水備槽

Cooler冷卻器

uvOxidizer破壊有機鏈

UFUnIt超限過測澳

回水

回水

3.4自來水/回收水系統簡略流程

自來水

回收水

I自來水外g|

I空氣中水份I

收表倆離阀

［今盤/空調朵耳

供應管線

回收管線I

回收水槽

使用點

使用點I

3・5CDA/®2/PN2系統簡略流程

CDA

母壊韌漏務注臣草8•£

ouiqSuidinnj

磊螫魁剧務參蓉將章豊/£

3.9化學系統簡略流程

Chemical

化學品供應槽車

化學品儲槽

傳送系統

◎

供應槽

分配系統

腫液就槽

0

回收管線

0

使用點

0

VMB/P

0

化學管路

3.10廢水收集系統簡略流程

DrainPipe

3・11廢水處理系統簡略流程

WasteWaterTreatment

PH

調整槽

a

污泥收集槽

o

W

0

運棄

曝氣槽

PH反應槽

沉澱槽

a

澄清槽

膠羽凝結槽

Polymer