ESD 静电测试作业指导文档格式.docx

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如下

補/增發文件內容：

（請詳述原因/版本﹑版序﹑頁次）

頁次

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8

9

版序

A

核准

審查

申請

表號:

FM050221.0

文件类别

□QM□EM□QP□EP■WI

■內部□外部

■新訂□修改

文件名称

ESD測試作業指導

修改頁次

原版序

新版序

原版本

新版本

文件编号

1/9~9/9

/

1.0

文件制订/变更内容描述：

（篇幅不足，请另以纸张附上）

审核意见或建议：

會簽單位

ME

QRA

MFG

MM

文件制定/变更会签单

備注﹕<

會簽單位>

一欄由文件發行單位自行填入需會簽到的部門.

表號﹕FM050264.0

1.0目的：

1.1編擬本靜電防護週邊環境設施檢測辦法是要以一有系統之管制方式,以求達到本廠靜電防護設備之完善管理檢測系統

1.2定義ESD材料或相關設施的測試方法﹐測試周期﹐及標准范圍

2.0適用範圍：

适用于本公司保護ESD敏感性電子元件及產品所使用的所有相關材料及設備之測試指導

3.0名詞解釋

4.0作業流程：

4.1制程部:

負責制訂靜電防護週邊設施材料的測試方法﹐測試周期﹐及標准范圍

負責靜電線接地，設備接地線，防靜電地板,環境溫濕度量測和記錄

4.2品保部:

材料檢驗區ESD量測和記錄

4.3生產部：

負責車間ESD之量測和記錄

4.4資財部：

負責倉庫ESD之量測和記錄

5.0程序

5.1.手腕帶.靜電鞋電阻的監測﹕

5.1.1每次穿戴靜電環和靜電鞋時應對其穿戴後之人體綜合阻抗進行測量（一般為每此上班時間作量測），在ESD綜合自動測試儀器上刷卡後顯示員工ID和部門，開始按下按鍵並保持3秒,測試通過顯示綠色畫面，系統已自動記錄測試員工測試時間和測試通過狀態，全部為綠色測試通過時員工可正常上班作業;

測試不通將顯示對應的不通過項目為紅色,需排除皮膚和鞋襪等接觸性問題或對應不良項目之裝置後重新測試，直到系統顯示為綠色畫面才上班作業。

5.1.2班組長應每天監督員工ESD測試狀態，對未測試或測試未通過員工應立即就通知重測

5.1.3班組長每天目視檢查6.21EPA性能檢查頻次和測量標准范圍表中項目

員工需穿戴防靜電服裝（含靜電帽）

目視

全檢

　狀態正常

員工需穿戴防靜電腕帶或足跟帶

靜電手環夾子未脫落

員工需穿戴防靜電鞋

每個工作台面靜電扣無脫落

靜電線，設備接地未出現脫落

各種標記張貼未脫落

5.2手套、指套表面電阻的監測

使用接地線夾子﹐手套﹑指套對地電阻監測示意圖如下﹕

手套、指套表面電阻為：

R<

1.0x1011Ω

5.3靜電服裝﹑帽表面電阻的監測﹕

靜電服裝表面電阻測試時﹐一接地電極（夾）接至靜電衣一袖內壁﹐另一接地電極（夾）接至同一袖外壁﹐按下測試儀﹐經10-20s儀表穩定后﹐讀取測量數值﹔再分別依次測試兩前胸﹑一口袋﹑一衣袖﹔監測示意圖如下﹕

靜電服裝﹑帽表面電阻為﹕R<

5.4工作台面表面電阻的監測﹕

表面電阻測試儀放置到台面按下測試儀﹐經10-20s儀表穩定后讀數﹔至少測試3個不同位置的值﹐監測示意圖如下﹕

工作台面的表面電阻為﹕R<

1.0x109Ω

5.5靜電車對地電阻的監測﹕

電極一隻放到靜電車上﹐，另一個電極放到靜電車輪子下面的金屬板上（或銅基板），按下測試儀﹐經10-20s儀表穩定后,讀取測量數值﹐監測示意圖如下﹕

靜電系統電阻為﹕R<

5.6靜電地板表面電阻的監測﹕

兩電極相距900-1000mm放置于地板上﹐按下測試儀﹐經10-20s儀表穩定后,讀取測量數值﹐5000平方英尺內至少測試5個不同位置的值﹔監測示意圖如下﹕

一般要求地板的表面電阻為﹕R<

5.7靜電地板對地電阻的監測﹕

一電極放至地板上任意一點﹐另一電極（夾）接地線上﹐按下測試儀﹐經10-20s儀表穩定后,讀取測量數值﹐5000平方英尺內至少測試5個不同位置的值﹔監測示意圖如下﹕

一般要求地板的對地電阻為﹕R<

5.8靜電接地線的測試﹕

用萬用表一表筆接車間內第一線的ESD接地線上﹐另一表筆接第二線的ESD接地接﹐依次進行測試車間內的ESD接地線﹐并記錄﹔參照圖如下﹕

靜電接地線終端到地電阻﹕R<

10Ω

5.9設備接地線的測試﹕

同5.8靜電接地線測試方法R<

5.10靜電接地棒的測試﹕

工務每半年對工廠靜電接地棒進行測試:

R<

1Ω

5.11防靜電皮帶線的測試﹕

表面測試方法同工作台表面電阻測試方法一樣。

皮帶至少選取3個測試點﹐得出其表面電阻值。

R<

5.12零件周轉箱、盒、盤等中間運輸容器的表面電阻的監測﹕

表面電阻的測量方法是在器具表面上放置兩電極（如工作台面表面電阻的測試方法）﹐至少選取3個測試點﹐得出兩點之間的電阻值。

一般要求表面電阻為﹕R<

5.13能產生靜電之材料表面靜電壓的測試:

（試驗參考）

先用塑料摩擦一下被測試物體﹐將靜電壓測試開啟﹐然后將測試儀歸零﹐再將兩紅外線圓重合為一圓﹐對准待測試材料﹐若其讀取顯示數值由大到小逐漸下降至小于150V時﹐表示合格﹐若其讀取顯示數值由大到小逐下降﹐無法降至150V以下時﹐表示不合格﹐需及時做出改善動作,改善OK后再次檢測。

一般要求EPA內所有材料/設備表面的安全靜電壓小于或等于+\-150V,如示意圖

5.14離子風機除靜電功能測試﹕（試驗參考）

先測試帶電的物體（帶電體表面電壓需大于600V）表面靜電電壓﹐記錄下﹐將帶電體距15cm處﹐經離子風機吹佛3-5s，再測試其表面靜電電壓﹐若其值在10s內可將數千的靜電降至50V以下為合格﹐若在10s內不可將1000V的靜電降至50V以下為不合格﹐需及時做出改善處理﹐改裝OK后再次檢測。

5.15電烙鐵接地電阻

用萬用表一表筆接電烙鐵頭金屬上﹐另一表筆接第二線的設備接地接﹐依次進行測試車間內電烙鐵接地電阻﹐并記錄﹔參照圖如下﹕電烙鐵接地電阻﹕R<

2Ω

5.16EPA性能檢查頻次和測量標准范圍

EPA性能檢查頻次和測量標准范圍

檢查頻次參考GJB3007-1997測量標准參ANSI/ESDS20.20-2007

檢查頻次

項目名稱

負責部門

檢查方式

檢查要求

測量標准范圍

每日1次

系統測量

全測

目視系統測試畫面應為綠色

每月1次

電烙鐵接地電阻

測量

2Ω

靜電扣電阻檢測

0.8x106<

1.2x106

ESD接地線電阻

設備接地線電阻

靜電衣,手套,指套表面電阻

抽測

1.0x1011Ω

能產生靜電材料的靜電位水平

實驗方式

<

±

150V

靜電消除器中和能力

50V

每季度1次

小車對地系統電阻

周轉容器表面電阻

地板系統電阻和表面（點對點）電阻

系統接地棒電阻

1.0Ω

工作台面對表面電阻

備注﹕所有檢測之儀器應得到周期性的校驗.（Table1）

5.17檢測記錄與標示

依據Table1（EPA性能檢查頻次和測量標准范圍）之內容定期檢測並作記錄存檔

針對檢測結果易標示與被測物表面之設備或材料，應粘貼下圖之標示與被測物

備注：

無法標示與現場之檢測數據將記錄與下列表單中

6.0附檔記錄表單

6.1接地系統檢測記錄表FM09031

6.2ESD接地線檢測記錄表FM10060

6.3設備接地點檢記錄表FM09024

6.4靜電衣_手套_指套抽測記錄FM10061

6.5烙鐵接地電阻检測记录表FM10062

6.7導電地板檢測記錄表FM10063

6.8静电扣點检记录表FM09028

7.0參考文件

ANSI/ESD-S20.20-2009

SJT10694-2006

GJB3007-1997