洁净工作台出厂检测报告新模板Word格式文档下载.docx
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采样周期：
1~10分钟
采样点数：
2~7
采样次数：
2~9
采样量：
2.83升/分
自净时间：
≤10分钟
检测方法：
1.将玻璃升到规定的最高值，无玻璃窗操作口的可直接检测；
2.在工作台面向上200mm，测试区域边界与洁净台的内壁及操作口的距离应为100mm；
3.除在测试区域四个角布置采样点外，还需在测试区域内沿中心线平均布点，测试区域内的采样点数目不得少于5个；
4.每个采样点的采样次数不得少于3次，每次采样量应不小于5.66L；
5.粒子计数器的采样口应正对气流方向；
布点图：
性能指标：
洁净等级应满足100级要求：
≥0.5μm的尘埃粒子数≤3.5个/L
检测结果：
检测结论：
3.风速
热式风速仪
TSI9535
显示范围：
0~30m/s；
精度：
读数的±
3%或±
0.015m/s；
分辨率：
0.01m/s
将洁净台的气流流速设置为生产厂商规定的最低值，按下列方式在散流装置前侧100mm的垂直面上确定测量点位置，多点测量穿过该平面的水平气流流速：
a）测量点等距分布，形成的正方形栅格不大于150mm×
150mm，测试点最少应有3排，每排最少应有7个测量点；
b）测试区域边界与洁净台的内壁及操作口的距离应为100mm；
c）用夹具将风速仪探针准确定位在各测量点进行测量。
记录所有测量点的测量值并根据测量值计算出平均值；
d）将洁净台的气流流速设置为生产厂商规定的最高值，重复上述试验步骤。
洁净台工作区平均气流流速在0.30m/s~0.50m/s
4.噪音
数字声级计
HS5633
1.测量范围：
1）低量程档L：
40dB—100dB；
2）高量程档H：
70dB—130dB。
2.频率范围：
31.5Hz～8kHz
3.频率计权：
A计权；
4.显示器特性：
数字自动显示，循环时间为1次/秒，分辨率0.1dB；
5.时间计权特性：
F（快）
a）将声级计设置为“A”计权模式；
b）打开洁净台的风机和照明灯，在洁净台前面中心水平向外300mm、工作台面上方380mm处测量噪声。
≤65dB（A）
5.振动
振动计
AWA5933
1.传感器：
压电加速度计，电荷灵敏度约3pC/m.s2；
频率范围：
10Hz～5000Hz；
重量：
约20g
10Hz～1000Hz
3.测量范围：
振动加速度a（峰值）0.01～199.9m/s2
振动烈度Sev（速度有效值）0.01～199.9mm/s
振幅s（峰—峰值）0.1～1999μm
a）用夹钳、螺钉、带有凡士林凝胶薄膜的磁铁或双面胶带将振动仪的传感元件固定到工作台面的几何中心；
b）测定洁净台正常工作时的总振动振幅；
c）关闭洁净台的风机，测定背景振动振幅；
d）从总振动强度中减去背景振动振幅，为洁净台的净振动振幅。
振幅≤5µ
m（rms）
6.照明
照度计
TES1330A
1.测量范围:
20/200/2000/20000Lux
2.过载显示:
Hightestdigitof
（1）isdisplayed
3.分辨率:
0.1Lux
4.准确度:
±
3%rdg±
0.5%f.s.（<
10,000lux）
4%rdg±
10dgts（>
（以色温2856K标准平面灯校正）
a）在工作台面上，沿工作台面两内侧壁中心连线设置照度测量点，测量点之间的距离不超过300mm，与侧壁最小距离为150mm；
b）关掉洁净台的照明灯，从一侧起依次在测量点进行背景照度测量。
平均背景照度应在110lx±
50lx；
c）打开洁净台的照明灯，启动洁净台的风机，从一侧起依次在测量点进行洁净台的照度测量。
操作台面平均照度不得小于300lx.光线应均匀、柔和，避免眩光
7.介电强度
电气安全性能综合测试仪
AN9635HS
交流耐压测试
额定输出容量
AN9635HS:
200VA（5000V/40mA），短路电流大于200mA；
AN9636HS:
500VA（5000V/100mA），短路电流大于200mA；
输出电压设置
范围，精度
100～5000V，±
（2%×
设定值+5个字）
输出频率设置
50Hz或60Hz，±
0.1%×
设定值
报警电流设置
上限范围，精度
0.10～40.00mA（或100.0mA），±
下限范围，精度
0.000～9.999mA，±
时间设置
测试时间范围
0.5～999.9s（0，为时间无限长）
缓升时间范围
0.1～999.9s
缓降时间范围
时间设置精度
（0.2%×
设定值+1个字）
测量表头
电压范围，精度
0.01～5.00kV，±
（1.5%×
读数值+1个字）
频率范围，精度
读数值
电流范围，精度
0.10～100.0mA，±
读数值+2个字）
时间范围，精度
0.1～999.9s，±
输出电压波形、失真度、调整率
正弦波，小于2%（纯阻负载），小于（2%×
设置值+5V）（从空载到满载）
起始电压设置
（0%～50%）×
输出电压设定值
电流补偿设置
0.000~
40.00mA，自动、手动
电弧侦测
1～9级，9级最灵敏，0为关闭
将高压表笔夹（红色）和低压表笔夹（黑色）分别接到被测电器LN端和金属外壳上，按下“启动”按钮，测试灯亮。
按规定的时间测试高压，若无声光报警则认为高压测试合格，若有声光报警则认为被测试品不合格。
介电强度：
带电部件和金属外壳之间在交流电压1390V下，持续5s不击穿
8、接地电阻
接地导通电阻测试仪
AN9613B
试验电流（允许误差：
5%）：
（5～30）A
测量范围：
（5～10）A:
（0～600）mΩ；
（11～25）A:
（0～300）mΩ；
（26～30）A:
（0～200）mΩ
最大允许误差：
（5～25）A:
2.5%；
（25～30）A:
±
5%
1mΩ
将测试线接至仪器的“恒流输出”和“测量输入”端子，再将两侧试线的另一端分别接到被测物体的接地端子和金属外壳，按【启动】键后，仪器开始测试，输出指示灯亮，接地电阻测量值显示窗口显示被测电器的实测电阻值。
此时，按【停止】键，仪器返回到待机状态。
若测试时接地电阻实测值大于0.1Ω，则蜂鸣器会发出“嘟-嘟-”的间歇报警声，同时报警指示灯及接地电阻测量值显示窗口数值闪动，表示测试结果不合格。
可触及金属表面与电源插头“地”插销间的电阻值≤0.10Ω
9.气流方向
气幕检测仪
QMY-1S
外型尺寸：
100×
55×
230（mm×
mm×
mm）
电源:
AC220V50HZ
额度功率：
25W
超声频率:
1.7Mhz
a）将洁净台的气流流速设置为生产厂商规定的最低值；
b）用烟雾发生装置沿着工作台面高度的中心线，在操作口内侧300mm的位置，从洁净台的一侧到另一侧；
c）用烟雾发生装置在散流装置前方150mm，距离顶端150mm的位置，从洁净台的一侧到另一侧；
d）烟雾发生装置在工作台面上方150mm、在操作口内侧300mm的位置，从洁净台的一侧到另一侧；
e）将洁净台的气流流速设置为厂家规定的最高值，重复上述试验步骤。
水平流洁净工作台工作区内的气流应向外，应不产生旋涡和回流，且无死点
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