力传感器.ppt

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力传感器,力传感器主要用于两个方面：

测力和称重。

压力是自动化生产过程中的重要工艺参数。

电子秤、汽车、机床、桥梁监测都需要力传感器。

化纤厂、化肥厂、炼油厂的压力储罐压力传感器提供控制依据。

钢丝绳测力传感器,钢丝绳测力传感器结构示意图,电阻应变式力传感器的核心是电阻应变片。

为了测量金属棒在工作过程中所承受的力，将电阻应变片贴在金属棒上。

金属棒受到外力后，产生应变，并传递给电阻应变片，应变片敏感到应变后产生电阻变化，经测量电路转换成与外力成正比的电信号。

实现了力的检测。

力传感器工作原理示意图,弹性敏感元件,弹性敏感元件,作用：

把力或压力转换成应变或位移，再由传感器将应变或位移转换成电信号特性：

刚度、灵敏度、弹性滞后、弹性后效、固有振荡频率弹性敏感元件的分类,弹性敏感元件的分类,变换力的弹性敏感元件变换压力的弹性敏感元件,电阻应变式传感器,电阻应变式传感器是利用电阻应变片将应变转换为电阻变化的传感器,传感器由在弹性元件上粘贴电阻应变敏感元件构成。

当被测物理量作用在弹性元件上时,弹性元件的变形引起应变敏感元件的阻值变化,通过转换电路将其转变成电量输出,电量变化的大小反映了被测物理量的大小。

应变式电阻传感器是目前测量力、力矩、压力、加速度、重量等参数应用最广泛的传感器。

电阻应变传感器工作原理,导体或半导体材料在外力作用下伸长或缩短时，它的电阻值相应地发生变化，这一物理现象称为电阻应变效应（简称应变效应）,电阻应变传感器工作原理,将应变片贴在被测物体上，使其随着被测物的应变一起伸缩，这样应变片里面的金属材料就随着外界的应变伸长或缩短，其阻值也相应地变化。

应变片利用应变效应，通过测量电阻的变化而对应变进行测。

电阻应变片分为金属电阻应变片和半导体应变片两大类。

在力传感器中大多数使用的是金属电阻应变片。

将电阻丝排成栅网状，粘贴在厚度约为15-16m的绝缘基片上，电阻丝两端焊出引出线，最后用覆盖层进行保护，即成为应变片。

使用时只要将应变片贴于被测物体上就可构成应变式传感器。

在测量时，将应变片贴在不同的部位，它可以感受拉伸的力（拉力，正应变），也可以感受压缩的力（压力，负应变）。

例如圆柱形拉力传感器。

R1、R2、R3、R4是四个完全相同的应变片，R1、R4竖粘，为轴向贴片，感受拉伸，正应变；R2、R3横粘，为径向贴片，感应压缩，负应变。

金属电阻应变片按结构形式可分为丝式、箔式和薄膜式三种。

电阻应变式传感器的使用方法有以下二种：

第一种是将应变片直接粘贴于被测构件上，用来测定构件的应变或应力。

第二种是将应变片贴于弹性元件上，与弹性元件一起构成应变式传感器敏感元件。

这种传感器可以测量力、位移、加速度等物理参数。

2023/5/15,半导体应变片,半导体应变片是利用半导体材料的压阻效应而制成的一种纯电阻性元件。

对一块半导体材料的某一轴向施加一定的载荷而产生应力时，它的电阻率会发生变化，这种物理现象称为半导体的压阻效应。

半导体应变计应用较普遍的有体型、薄膜型、扩散型、外延型等。

体型半导体应变计是将晶片按一定取向切片、研磨、再切割成细条,粘贴于基片上制作而成。

几种体型半导体应变计示意图如图所示。

电阻应变式传感器的测量电路,应变电阻变化是极其微弱的，电阻相对变化率仅为0.2%左右。

例如：

应变电阻为300，电阻变化量为0.6，要精确地测量这么微小的电阻变化是非常困难的。

通常采用惠斯登电桥电路进行测量，将电阻相对变化R/R，转换为电压的变化，再用测量仪表应变式传感器测量电路便可以简单方便地进行测量。

R1，R2，R3，R4为四个桥臂的电阻，电桥的供电电压为U，电桥输出电压为Uo。

当四个桥臂的初始电阻满足R1/R2=R3/R4时，桥路输出电压为Uo零，即桥路平衡。

在被测物体未施加作用力时，应变为零，应变电阻没有变化。

在测量电路中，应变片应该怎样接入电桥更有利于信号测量呢？

1单臂半桥电桥电路,2023/5/15,R1为应变片，其余各桥臂电阻为固定电阻，其输出有：

2023/5/15,如果测出电桥的输出电压就可以计算出应变的大小，进而推算出力的大小：

上式中为应力；E为弹性系数或杨氏模量，不同的材料有固定的杨氏模量。

2双臂半桥电桥电路,2023/5/15,R1、R2为应变片，其余各桥臂电阻为固定电阻，这种电路可以有两种接入方法。

为便于测量，希望获得较大灵敏度，使两应变片产生的应变相加。

以上二种连接方法都可以做到：

在前图中使R1为正应变，R2为负应变；在后图中R1、R2同为正应变或负应变。

2023/5/15,在实际工程中更多采用前者，R1、R2分别为正、负应变，其输出为相邻两桥臂应变相减，在灵敏度提高的同时，可以将应变片的温度误差和非线性误差相互减去、抵消，提高测量精度。

3全桥电桥电路,2023/5/15,电桥的四臂全部接入应变片称为全桥电桥电路。

若四片应变片完全相同，其中R1、R4感应正应变；R2、R3感应负应变。

将应变片接成全桥电路时，要特别注意：

相邻桥臂的应变片所感受的应变必须相反，否则上式不成立。

应变式传感器典型测量电路,在测量力时，可将应变片直接粘贴在被测部位。

应变片的粘贴，是应变片测量技术的关键环节之一，将直接影响胶的粘接质量及测量精度，如果贴片不严格，技术不熟练，即使选用最好的应变片也无济于事。

五、应变片的粘贴,应变片的粘贴工艺步骤,2023/5/15,2023/5/15,检查合格后，焊接引出导线。

将引线加以固定、绝缘，防止应变片线脚与被测工件接触，短路。

应变片之间通过漆包线或其他软线连接组成电桥。

最后检查焊接引线与组桥连线。

这样就完成了整个粘贴过程。

电阻应变片安装必备工具及材料:

用于应变片粘贴表面处理的清洁剂，应变片粘接剂（胶），保护应变片的涂层材料（胶），电阻丝或应变片引线，接线端子，电缆，焊锡和助焊剂等。

2023/5/15,任务实施,方案一：

测量、控制起重设备吊运货物的重量，可以采用在吊钩的圆柱壁上粘贴应变片的方法，检测起吊重量。

2023/5/15,测量吊运货物的重量，量程较大，一般在吊钩的圆柱壁上横竖各粘贴一片应变片，组成双臂半桥电路。

2023/5/15,为应变电桥提供2V稳压电源，电桥输出信号接入差动直流放大电路，测量输出电压。

根据输出电压值可以推算出应力的大小，即重力。

也可以使用应变片专用测量仪电阻应变仪进行检测。

这种测量方法简单、方便，成本低。

但容易损坏，受环境影响大，使用寿命短。

长期使用时，零点漂移大，需要在使用前调节零点。

2023/5/15,方案二：

在本课题中也可以直接采用电子吊秤的方法（课题二介绍）。

购买电子吊秤接在起重设备下，可实现货物在线装卸测量、在线称重，随时改变称量地点，可实现分次分批称重，提高效率，但成本较高。

2023/5/15,课题二电子秤,任务导入,某生产线上要安装自动称重和装料装置。

为了实现对物料的快速、准确的称量，提高工业生产过程自动化程度，通常采用电子秤进行载荷测量，将输出信号提供控制中心，再由微机控制各阀门工作。

2023/5/15,电子秤的料箱先复位，电磁线圈1通电，漏斗给电子秤自动加料，加到额定重量时，停止加料。

与此同时，装料的箱子或袋子沿传送带运动，传送到装有物料的电子秤正下方，停止运动，电磁线圈2通电，电子秤料斗翻转，使料全部倒入箱子或袋子中，然后传送带马达再次通电，将装满料的箱子或袋子移出，完成任务。

2023/5/15,2023/5/15,知识点了解电子秤的基本结构学习电子秤的测量方法与适用范围技能点掌握称重传感器的选用与使用了解,2023/5/15,相关知识,用于测量物体重量（质量）的电子装置称为电子秤。

与机械秤相比，它不仅可以测量物体重量，还可以将采集的数据传送到数据处理中心，作为在线测量或自动控制的依据。

2023/5/15,一、电子秤结构,电子秤的种类很多，如家用的小量程电子秤、健康秤，适合便利店、超市、大卖场等场所使用条码秤、计价秤、计重秤、收银秤，广泛应用于仓库、车间、货场、集贸市场、工地等场所使用的电子平台秤，适用于吊装物料称量的吊钩秤，应用于港口、仓储、工厂、货场的电子汽车衡等。

2023/5/15,电子秤的核心是称重传感器，主要由称重传感器、放大电路、A/D转换电路、显示或控制电路组成。

2023/5/15,称重传感器感受被测物体的重量，输出一个小信号，经过放大电路，成为电信号，通过A/D转换电路转换成数字信号，用于显示或控制。

有的电子秤还增加了智能控制、自动补偿等功能。

电子秤的承重结构的种类很多，常见到有独梁承重、四脚承重。

2023/5/15,2023/5/15,二、称重传感器,称重传感器是工业测量中使用较多的一种传感器，它是电子秤的敏感重力的敏感元件，几乎运用到了所有的称重领域。

称重传感器的量程从几克到几百吨。

称重传感器根据制造原理不同可分为应变式、感应式、电容式、振弦式等，其中应变式称重传感器在电子称重系统中应用最广泛。

2023/5/15,2023/5/15,电阻应变式称重传感器由弹性元件、应变片和外壳组成。

弹性元件是称重传感器的基础，被测物的重量作用在弹性元件上，使其在某一部位产生较大的应变或位移；弹性元件上的应变片作为传感元件，将弹性元件敏感的应变量或位移完全地同步地转换为电阻值的变化量，转换成电信号，完成了重力的测量。

2023/5/15,1应变式称重传感器的工作原理,传感器弹性元件一般是由优质合金钢材、有色金属铝、铍青铜等材料加工成型，其外形结构多种多样。

根据被测量的大小及受力方式不同，选择不同结构的弹性元件。

常见的有柱式、悬臂梁式、环式、轮辐式等，,2023/5/15,根据传感器弹性元件的结构不同，称重传感器分为柱式、悬臂梁式、环式、轮辐式等。

不同结构的传感器量程范围、安装形式、适用场所也不尽相同。

应变式称重传感器主要用于测量力、荷重和扭矩。

2应变式称重传感器种类,2023/5/15,

（1）柱式称重传感器,这种传感器的特性是结构简单紧凑、易于加工，可设计成压式或拉式的，或拉、压两用型，并可承受很大的载荷。

其缺点是灵敏度低、精度低等。

适用于大、中量程的传感器（1t500t）。

2023/5/15,2023/5/15,在圆棒中央打孔，在孔内粘贴4个应变片。

当其在集中载荷作用下，四个应变片位置可获得应变相等而方向不同的应变。

这样输出灵敏度高、线性好；受力状态稳定、结构简单、易于加工、可制成拉、压两用型。

该种传感器宜制作中、小量程（0.5t50t）的称重（测力）传感器。

（2）柱环式称重力传感器,2023/5/15,传感器的弹性元件为双孔平行梁式弹性元件，应变片贴在弹性元件的最薄处。

由于弹性体成平行四边形，其输出不受力作用点位置变动的影响。

该结构一般适用于小量程称重传感器（500g500kg）。

（3）悬臂梁式称重传感器,2023/5/15,还有一种常用的称重传感器的弹性元件是双梁式弹性元件。

在上下梁的端部，加工成弧形截面，应变片贴在应变梁的最薄处，这样可提传感器的输出灵敏度。

该种结构形式受力状态稳定，一般适用于数百克到100kg的称重传感器，精度可达0.01%。

2023/5/15,环式称重传感器的载荷的作用点和支持点在同一轴线上，受力状态稳定。

称重时，利用其弯曲变形，产生信号。

由于存在零弯矩区，力作用点变化对输出的影响小。

这种结构形式一般适用5kg5t的称重传感器，精度可达0.02%。

（4）环式称重传感器,2023/5/15,轮辐式称重传感器主要由五个部分组成：

轮轱、轮圈、轮辐条、受拉和受压应变片。

轮轱由顶端的钢球传递重力。

当外力F作用在轮轱上端和轮圈下面时，矩形轮辐条产生平行四边形变形。

这种结构形式过载能力很强，线性测量范围比较宽。

一般适用5t50t的称重传感器。

（5）轮辐式称重传感器,三、称重传感器选择方法,1环境因素

（1）对于高温环境下工作的传感器除了可采用耐高温传感器，还必须加有隔热、水冷或气冷等冷却装置。

（2）粉尘、潮湿对传感器造成短路的影响。

（3）腐蚀性较高的环境。

（4）电磁场可干扰传感器输出信号。

（5）易燃、易爆的环境。

2023/5/15,2传感器数量和量程的选择传感器数量的选择是根据电子秤的用途、秤体需要支撑的点数而定。

2023/5/15,传感器量程的选择可依据电子秤的最大量程、选用传感器的个数、秤体的自重和可能产生的最大过载等因素来确定。

一般应使传感器工作在量程的30%70%范围内；对于一些在使用过程中存在较大冲击力的秤，如动态轨道衡、动态汽车衡、钢材秤等，在选用传感器时，要扩大其量程，以保证传感器的使用安全和寿命。

2023/5/15,传感器量程的计算公式是经过大量的实验而确定的，公式如下：

C单个传感器的额定量程；W秤体自重；Wmax被称物体净重的最大值；N秤体所采用支撑点的数量；K0保险系数，一般取值1.21.3之间；K1冲击系数；K2秤体的重心偏移系数；K3风压系数。

2023/5/15,3传感器的适用范围根据受力情况、性能指标、安装形式来选择称重传感器的种类。

柱环式称重力传感器适用于大、中量程柱式传感器适用于汽车衡、动态轨道衡、大吨位料斗秤悬臂梁式称重传感器适用于小量程铝式悬臂梁传感器适用于计价秤、平台秤钢式悬臂梁传感器适用于料斗秤、电子皮带秤、分选秤；钢质桥式传感器适用于轨道衡、汽车衡、天车秤等。

2023/5/15,例如：

一台30t电子汽车衡，最大称量是30t，秤体自重为1.9t，采用四只传感器。

根据当时的实际情况，选取保险系数K01.25，冲击系数K11.18，重心偏移系数K21.03，风压系数K31.02，试确定传感器的吨位。

解：

根据传感器量程计算公式：

可知：

C1.251.181.031.02（301.9）412.36t可选用量程为15t的称重传感器（传感器的吨位一般只有10t、15t、20t、25t、30t、40t、50t等，除非特殊订做）。

2023/5/15,安装时，如果使用单个秤重传感器，物体受力方向或物体重心应通过传感器的中心线；如果使用多个秤重传感器，传感器承载点要求在同一水平面上，无偏载现象；如果传感器为径向承载型（如轮辐式、柱式）时，安装后应保证传感器纵向轴心和水平秤面垂直；如果传感器为剪切承载型（如悬臂梁式）时，安装后应保证传感器承载面和水平面平行。

传感器在安装时应采用高强螺栓，安装牢固无蠕动。

四、称重传感器使用方法、注意事项,2023/5/15,测量时，将传感器的输出引线根据使用说明书与变换器相联。

通常变送器除了具有放大、阻抗匹配、线性补偿、温度补偿等基本功能，还具有标准信号外调零，外调增益功能，以适应不同电桥、不同量程的传感器。

最终将力转换成电流或电压信号输出，如420mA、010mA、05V、15V等，该信号可直接与自动控制设备的接口或计算机相联。

2023/5/15,在使用力传感器时，应注意以下事项：

1传感器、变送器应定期进行静态标定。

2传感器载荷不应超过满量程的120%。

3传感器避免与较高的非工作热辐射接触。

4安装时，选择与量程相应强度的紧固螺钉。

5变送器增益调节有两种:

一种是放大倍数调节；一种是微调，用于静态标定时使用。

2023/5/15,2023/5/15,任务导入,化工行业常用一种干燥、造粒装置。

通过压力式雾化器给料液施加一定的压力（2-4MPa），使料液雾化。

料液雾化后表面积大大增加，在热风气流中，瞬间就可蒸发9598的水分，成为粒度均匀的球状颗粒，制成微粒状成品。

完成干燥的时间仅需十几秒到数十秒钟。

为保证干燥时间，干燥机的外形为高塔形。

课题三应变式压力传感器,2023/5/15,2023/5/15,在该工业生产过程中，压力直接影响产品的质量和生产效率。

在该装置中，雾化器压力参数的控制是较为关键的工艺参数。

压力是怎样测量的？

压力传感器的结构如何？

本课题的目的就是学习压力的测量方法，了解压力传感器的一般结构？

2023/5/15,2023/5/15,知识点了解应变式压力传感器的分类与基本结构学习应变式压力传感器的测量方法与适用范围技能点掌握应变式压力传感器基本使用方法,2023/5/15,在检测领域和工业中的“压力”，就是物理学中的“压强”，用P表示，它等于垂直作用在单位面积上的力。

表达式为：

PF/S压力的国际单位为“帕斯卡”（Pa），它表示1（N/m2）。

由于Pa太小，工程上常用其倍数单位MPa（兆帕）来表示:

1MPa=106Pa。

一、压力的基本概念及单位,2023/5/15,相关知识,2023/5/15,压力单位换算表,压力表示法有两种:

绝对压力以绝对真空作为基准所表示的压力。

相对压力以当地环境的大气压力作为基准所表示的压力，也称表压。

相对压力又可分为差压和表压。

差压是指两个压力的差。

绝对压力与相对压力的换算关系为：

绝对压力相对压力大气压力。

2023/5/15,压力传感器是指将压力信号转变为电信号的装置。

压力的传感器分为三大类，即绝对压力传感器、相对压力传感器和差压传感器。

二、压力传感器的种类,2023/5/15,1绝对压力传感器绝对压力传感器所测得的压力是以真空为起点的压力。

将P2密封为真空腔时，即为绝对压力传感器。

环境大气压就是指绝对压力。

如果某一容器内液体的绝对压力小于外界环境大气压，可以认为是“负压”,所测得压力相当于真空度：

真空度大气压绝对压力,2023/5/15,2相对压力传感器相对压力传感器也称表压传感器。

表压传感器所测得的压力是以环境大气压为参考基准的压力。

将P1端通向大气，为环境大气压，P2接被测压力。

表压传感器的输出为零时，所测介质环境实际上存在一个与大气压力相等的绝对压力。

一般普通压力表的指示值都是相对压力。

在工业生产和日常生活中所提到的压力绝大多数指的是表压。

2023/5/15,3差压传感器差压是指两个压力p1和p2之差，又称为压力差。

感压膜片的上下两侧分别接入两个被测压力，所测的压力差PP1P2，当P1P2时，P为正值。

2023/5/15,很多情况下，在压差传感器敏感元件的两侧均存在一个很大的压力。

例如：

P10.9MPa1.1MPa,P2=0.9MPa1.0MPa，压力差为0.1MPa，选择测量范围为-0.1MPa+0.1MPa的差压传感器。

注意：

差压传感器在使用时不允许在一侧仍保持很高压力的情况下，将另一侧的压力降低到零，这样会使两面的压力差剧增，造成过载，使原来用于测量微小差压的膜片塑性变形或破裂。

2023/5/15,应变式压力传感器因结构简单、价格便宜应用非常广泛。

应变片粘贴在测量压力的弹性元件表面（即感压膜片）。

三、应变式压力传感器,2023/5/15,应变式压力传感器的弹性元件是一个圆形的金属膜片，金属元件的膜片周边被固定，然后焊接在带有压力接嘴的基座上,当膜片一面受压力P作用时，在膜片中心处，应变达到正的最大值，在膜片边缘处，径向应变达到负的最大值。

R2、R3贴在正的最大区域，R1、R4贴在负的最大区域，四个应变片组成全桥电路。

这样既可提高传感器的灵敏度，又起到温度补偿作用。

2023/5/15,2023/5/15,应变式压力传感器结构简单，价格便宜使用方便，在一些测量精度要求较低的场所应用广泛。

常用于测量管道内部压力，内燃机燃气的压力、喷射力，发动机和导弹试验中脉动压力以及各种领域中的流体压力。

但是，由于贴片式应变片的粘贴工艺，使应变片与膜片之间的应变需要应变胶来传递，传递性能会因环境因素改变，如温度，湿度，会存在蠕变、机械滞后、零点漂移等问题，测量精度不高。

干燥、造粒装置通过压力式雾化器给料液施加一定的压力，使其雾化，压力控制在2-4MPa，要求的精度不是很高，在该装置中的压力传感器体积也不受限制。

方案一：

可以选择应变式压力传感器为测压元件。

，适于恶劣环境，短期测量精度较高，但稳定性差，零点会漂移，产品价格较低。

方案二：

可以选择压阻式压力传感器（下一课题详细介绍）。

这种传感器结构简单，体积小，测量精度较高，但受温度影响较大。

任务实施,2023/5/15,压力传感器安装的有两个关键环节：

一是压力传感器的引压管与所测压力管道或压力容器的必须密封连接，不能因压力传感器的安装而使压力管道或压力容器泄漏，影响被测系统的正常运转。

二是压力取样口位置的选择。

取压口是从被测对象中取压力信号的地方，其位置、大小及开口形状直接影响压力测量的准确度。

四、压力传感器的安装,2023/5/15,1压力传感器的密封连接方法压力传感器密封连接方法很多。

一般根据传感器的量程、结构、密封等要求不同，连接方法也不尽相同。

小压力传感器的压力接嘴呈倒刺状，可以用皮管直接相连；大压力传感器的压力接嘴为平底螺纹状，加密封垫或O型圈后用扳手紧固；大压力传感器的压力接嘴也可以为球头，要与相应当接头连接。

2023/5/15,2023/5/15,2023/5/15,2023/5/15,2取压口位置的选择一般选择原则是：

（1）取压口不得取在管道的弯曲、分叉及流速形成涡流动地方；

（2）当管道内有突出物体时，取压口应选在出物体的前面；（3）如果在阀门附近取时，距阀门的距离应大于2D，（D为管道直径），取压口若在阀门后，与阀门的距离应大于3D；（4）取压口应处于流速平稳、无涡流动区域。

2023/5/15,安装压力传感器时还应考虑以下因素：

1安装在能满足仪表使用环境条件和易观察易检修的地方；,2023/5/15,2023/5/15,2安装地点应尽量避免振动和高温影响，对于蒸汽和其他可凝结的气体以及当介质温度超过60时，就需要选用带冷凝管的压力接嘴进行安装。

2023/5/15,3测量有腐蚀性、粘度较大、易结晶、有沉淀物的介质时，应选取带隔离膜片的压力传感器。

引压管向下倾斜，防止沉淀物堵塞4仪表必须垂直安装。

若装在室外时，还应加装保护箱。

5当测量小压力信号时，压力传感器应与取压口在同一高度，否则需要进行修正因高度差所引起的测量误差。

总之，在安装压力传感器时，要根据压力的大小，被测介质，被测环境合理选择压力密封形式，选取安装位置。

五、压力传感器的校验,压力传感器校验方法是：

在常态工作条件下，将传感器固定在试验夹具上，按下图联接电路和油路，压力源精度要高于或等于0.15级，为压力传感器提供准确压力源，稳压电源为传感器提供电源。

2023/5/15,2023/5/15,满量程60MPa,满量程6MPa,传感器校准点的压力值可根据量程选择包括零点和满量程点在内的六个适当的点。

给传感器加压至各压力校准点，在各压力点上判读传感器稳定的输出值为校准值，试验次数为正反行程各二次，计算出压力与输出电压的方程或曲线。

注意：

校准前，一定要先检查加压系统的气密情况。

2023/5/15,2023/5/15,任务导入,一般城市水管网的水压只能保证6层以下居民的用水，为满足高层住宅楼居民的生活供水，需要在小区内设立恒压供水系统。

恒压供水指的是主水管出口压力恒定。

变频调速恒压供水系统通过实时检测供水主管出口压力，然后与设定值进行比较，经压力调节器运算处理后，在线自动调节变频器输出频率，控制泵的转速随压力变化而变化，最终达到主水管出口压力稳定在设定值上的目的。

课题四压阻式压力传感器,2023/5/15,2023/5/15,2023/5/15,检测出水压力常采用压阻式压力传感器，本课题的任务就是学习压阻式压力传感器的测量方法，根据其特点能够正确使用压阻式压力传感器。

2023/5/15,知识点了解压阻式压力传感器的分类与基本结构学习压阻式压力传感器的测量方法与适用范围技能点掌握压阻式压力传感器的安装和使用方法,2023/5/15,一、压阻式压力敏感元件,相关知识,压阻式压力传感器的敏感元件是压阻元件，它主要由外壳、硅杯和引出线组成。

其核心部分是一块带有应变电阻的硅膜片（硅杯）。

压阻元件的膜片应变电阻经微细加工成一体结构，没有可动部分，也称为固态传感器。

2023/5/15,2023/5/15,压阻式压力传感器测量原理，与应变式压力传感器相同，只是材料和工艺不同。

压力敏感元件的弹性元件是单晶硅膜片，是利用集成电路工艺，在一块圆形的单晶硅膜片上，制成四个扩散电阻，组成全桥测量电路,二、压阻式压力传感器工作原理,对一块半导体材料的某一轴向施加一定的载荷而产生应力时，该材料的电阻率会发生变化，这种物理现象称为半导体的压