厂务与安全.docx
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厂务与安全
厂务与安全实例
1半导体厂电力汇流排安装开关箱电弧灼伤事故
一、发生时间：
九三年四月二日下午约三时
二、接獲通報時間：
九十三年四月二日下午約四時二、接获通报时间：
九三年四月二日下午约四时三、罹災人數：
三人灼傷
三、罹灾人数：
三人灼伤四、事故經過：
四、事故经过：
園區某半導體公司廠房電力匯流排開關箱安裝工程，於九十三年四月园区某半导体公司厂房电力汇流排开关箱安装工程，于九十三年四月
二日下午約三時進行低壓低容量（480V，400A）電力開關箱安裝，施工人二日下午约三时进行低压低容量（480V，400A）电力开关箱安装，施工人
員因開關箱插入匯流排作業，發現有阻力無法完全插入，於是將匯流排絕緣员因开关箱插入汇流排作业，发现有阻力无法完全插入，于是将汇流排绝缘
板拆除，於進行開關箱預插入時，匯流排與開關箱發生短路產生電弧，造成板拆除，于进行开关箱预插入时，汇流排与开关箱发生短路产生电弧，造成
三位施工人員灼傷。
三位施工人员灼伤。
四、狀況分析：
四、状况分析：
1、 疑因匯流排絕緣板拆除後，匯流排端子因無絕緣板隔絕，開關箱插入1、疑因汇流排绝缘板拆除后，汇流排端子因无绝缘板隔绝，开关箱插入
時，造成相間短路產生電弧。
时，造成相间短路产生电弧。
2、 施工人員因均佩帶安全帽及安全索，幸未發生高處墜落之二次傷害。
2、施工人员因均佩带安全帽及安全索，幸未发生高处坠落之二次伤害。
五、處理對策：
五、处理对策：
1、 本局接獲通報，立即派員了解，協助處理此事故狀況。
1、本局接获通报，立即派员了解，协助处理此事故状况。
2、 該匯流排短路插座先予停工，以利故障原因之調查。
2、该汇流排短路插座先予停工，以利故障原因之调查。
3、 安排與該廠及相關承攬商召開事故檢討會，針對此次事故檢討並提出確3、安排与该厂及相关承揽商召开事故检讨会，针对此次事故检讨并提出确
保施工安全之防護設施及監督管理計劃。
保施工安全之防护设施及监督管理计划。
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4、 本案勞資組將製作事故案例，通報園區各使用電力匯流排廠商知悉，落4、本案劳资组将制作事故案例，通报园区各使用电力汇流排厂商知悉，落
實廠商加強承攬商施工管制及管理。
实厂商加强承揽商施工管制及管理。
5、 委託專家學者協助本局及廠商實施承攬商施工作業安全、管理及監督工5、委托专家学者协助本局及厂商实施承揽商施工作业安全、管理及监督工
作，以加強勞工作業之安全（配合本年度園區光電半導體廠安全衛生評作，以加强劳工作业之安全（配合本年度园区光电半导体厂安全卫生评
核作業實施）。
核作业实施）。
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燒毀之電力開關箱接頭烧毁之电力开关箱接头
電力匯流排受損情形电力汇流排受损情形
事故現場照片-1事故现场照片-1
事故現場照片-2事故现场照片-2
電力開關箱電弧事故照片电力开关箱电弧事故照片
2
期别
3636
出版時間出版时间
88年8月88年8月
專欄专栏
研究主題研究主题
篇名篇名
半導體廠及光電廠化學品供應系統安全基準（上）半导体厂及光电厂化学品供应系统安全基准（上）
作者作者
林永芬林永芬
摘要摘要
一、前言一、前言
近年來由於半導體相關產業的蓬渤發展，園區半導體相關產業之重大工安意外事故損失有逐漸增加之趨勢。
近年来由于半导体相关产业的蓬渤发展，园区半导体相关产业之重大工安意外事故损失有逐渐增加之趋势。
由新竹科學園區83年至87年職業災害分析資料顯示，與化學品接觸引發之職業災害佔發生災害類型的第二位。
由新竹科学园区83年至87年职业灾害分析资料显示，与化学品接触引发之职业灾害占发生灾害类型的第二位。
日本勞工部統計資料顯示，日本半導體製程災害事故也以液體類化學品造成的災害事故高達61%以上，其中酸/鹼液體佔51%、有機可燃性液體也高達10%之多，所以在災害預防上對於液體類化學品的使用、輸送及管理實不可輕忽。
日本劳工部统计资料显示，日本半导体制程灾害事故也以液体类化学品造成的灾害事故高达61%以上，其中酸/碱液体占51%、有机可燃性液体也高达10%之多，所以在灾害预防上对于液体类化学品的使用、输送及管理实不可轻忽。
由保險界對全球半導體業在1985-1994年間災害損失金額及事故件數之統計資料分析資料中也顯示出，液體洩漏是造成巨額損失的首位，總損失達五億八仟萬美元。
由保险界对全球半导体业在1985-1994年间灾害损失金额及事故件数之统计资料分析资料中也显示出，液体泄漏是造成巨额损失的首位，总损失达五亿八仟万美元。
故新竹科學園區管理局因鑑於半導體及光電工廠製程使用之化學品種類及特性之複雜性及高潛在危害性，且因各廠建置參考規範不一，致使系統存有各國各式規格，為能有效發揮與落實安全管理制度，保障其作業人員、經營財產、社會大眾及整體環境安全，特委託工研院工安衛中心進行「半導體廠及光電廠化學品供應系統安全基準」之研擬，協助建立半導體廠及光電廠液體化學品之儲存、供應、使用相關安全基準，使各廠能有一致之本土化安全基準，為系統建置及管理之參考依據，讓業者能透過一致地安全基準規範，有效發揮及落實安全管理，避免意外事故之發生。
故新竹科学园区管理局因鉴于半导体及光电工厂制程使用之化学品种类及特性之复杂性及高潜在危害性，且因各厂建置参考规范不一，致使系统存有各国各式规格，为能有效发挥与落实安全管理制度，保障其作业人员、经营财产、社会大众及整体环境安全，特委托工研院工安卫中心进行「半导体厂及光电厂化学品供应系统安全基准」之研拟，协助建立半导体厂及光电厂液体化学品之储存、供应、使用相关安全基准，使各厂能有一致之本土化安全基准，为系统建置及管理之参考依据，让业者能透过一致地安全基准规范，有效发挥及落实安全管理，避免意外事故之发生。
安全基準之建立過程除彙整國內外相關資料，並配合專家與具實務經驗的業者公開共同探討研擬出一致的準則，透過多次正式審核過程，建立適宜台灣科技產業應用之安全基準。
安全基准之建立过程除汇整国内外相关资料，并配合专家与具实务经验的业者公开共同探讨研拟出一致的准则，透过多次正式审核过程，建立适宜台湾科技产业应用之安全基准。
建立之安全基準不僅可做為現有化學品供應系統之安全改善準則，後續對於系統之新建、修改及變更使用，對作業期間之自動檢查與稽核，對維護保養管理之安全規範，均可為重要基本安全需求的參考。
建立之安全基准不仅可做为现有化学品供应系统之安全改善准则，后续对于系统之新建、修改及变更使用，对作业期间之自动检查与稽核，对维护保养管理之安全规范，均可为重要基本安全需求的参考。
本基準以可燃性液體、酸性液體及鹼性液體三類為基準建立之標的，防範其外洩引火、腐蝕、洩漏、不相容性及毒性之潛在危害為要項。
本基准以可燃性液体、酸性液体及碱性液体三类为基准建立之标的，防范其外泄引火、腐蚀、泄漏、不相容性及毒性之潜在危害为要项。
基準之制定將化學品供應系統，依化學品入廠至出廠所有過程區域劃分來考量各使用範圍內之安全設施，含概收貨區、儲存區、儲槽、分配輸送房、清淨室、輸送系統管線及廢棄液體處理等項目，期能整體性建立安全衛生管理準則，進而預防半導體廠及光電廠於使用化學品時造成災害、保障勞工安全與健康、提昇新竹科學園區整體生產效率並創造整體產業經營利潤。
基准之制定将化学品供应系统，依化学品入厂至出厂所有过程区域划分来考量各使用范围内之安全设施，含概收货区、储存区、储槽、分配输送房、清净室、输送系统管线及废弃液体处理等项目，期能整体性建立安全卫生管理准则，进而预防半导体厂及光电厂于使用化学品时造成灾害、保障劳工安全与健康、提升新竹科学园区整体生产效率并创造整体产业经营利润。
表一日本半導體製程災害事故分析表表一日本半导体制程灾害事故分析表
資料來源：
日本勞工部調查災害事例（1991）资料来源：
日本劳工部调查灾害事例（1991）
二、化學品潛在危害考量與作業區分類二、化学品潜在危害考量与作业区分类
此基準彙整各廠廠務化學供應系統安全技術與SEMI安全基準，參考內容包括NFPA318、NFPA30、FMDataSheet7-7、FMDataSheet7-29、SEMIS2-93、CodeComplianceforAdvancedTechnologyFacilities、有機溶劑中毒預防規則、特定化學物質危害預防標準、危險物及有害物通識規則、鍋爐及壓力容器安全規則...等等。
此基准汇整各厂厂务化学供应系统安全技术与SEMI安全基准，参考内容包括NFPA318、NFPA30、FMDataSheet7-7、FMDataSheet7-29、SEMIS2-93、CodeComplianceforAdvancedTechnologyFacilities、有机溶剂中毒预防规则、特定化学物质危害预防标准、危险物及有害物通识规则、锅炉及压力容器安全规则...等等。
以可燃性液體、酸性液體及鹼性液體三類為基準建立標的。
以可燃性液体、酸性液体及碱性液体三类为基准建立标的。
可燃性液體主要考量以外洩引火為危害防範重點，酸性液體及鹼性液體以材料腐蝕或碰撞洩漏、不相容性、人員接觸為主要危害防制重點，並包括毒性物質造成人員健康危害及儲存化學品燃載量之限制。
可燃性液体主要考量以外泄引火为危害防范重点，酸性液体及碱性液体以材料腐蚀或碰撞泄漏、不相容性、人员接触为主要危害防制重点，并包括毒性物质造成人员健康危害及储存化学品燃载量之限制。
液體化學品供應系統包含範圍從進料作業區起，若油槽車送入工廠，可藉由輸送至儲槽後，經由管線送至化學供應房及清淨室。
液体化学品供应系统包含范围从进料作业区起，若油槽车送入工厂，可藉由输送至储槽后，经由管线送至化学供应房及清净室。
若是桶裝或瓶裝則可藉由貨車在碼頭區卸貨，再由堆高機或手推車送至化學儲存房或分送至化學供應房及清淨室使用，使用後之廢棄物轉存至廢液收集桶，再輸送至廢液槽或廢液儲存房儲存。
若是桶装或瓶装则可藉由货车在码头区卸货，再由堆高机或手推车送至化学储存房或分送至化学供应房及清净室使用，使用后之废弃物转存至废液收集桶，再输送至废液槽或废液储存房储存。
此安全基準內容將化學品供應系統以區域安全設施分別考量其區域範圍內相關之危害及使用設置之安全基本需求。
此安全基准内容将化学品供应系统以区域安全设施分别考量其区域范围内相关之危害及使用设置之安全基本需求。
依液體化學品供應系統流程架構（圖一），劃分成概述、收貨區、儲存區、儲槽、分配輸送房、清淨室、輸送系統管線及廢液處理等項目，再依各作業區各別考量對人員、設備、物料、環境需求等訂定安全基準的內容。
依液体化学品供应系统流程架构（图一），划分成概述、收货区、储存区、储槽、分配输送房、清净室、输送系统管线及废液处理等项目，再依各作业区各别考量对人员、设备、物料、环境需求等订定安全基准的内容。
圖一半導體廠及光電廠液體化學品供應系統流程圖图一半导体厂及光电厂液体化学品供应系统流程图
三、化學品供應系統安全基準架構及內容三、化学品供应系统安全基准架构及内容
化學品供應系統安全基準之基本架構，分成三章節，分別為：
化学品供应系统安全基准之基本架构，分成三章节，分别为：
第一章基準總則：
為化學品供應系統安全基準之目的、適用範圍及名詞解釋。
第一章基准总则：
为化学品供应系统安全基准之目的、适用范围及名词解释。
第二章區域安全設施：
為本安全基準之主要內容，整個供應系統以區域性來劃分，對各區域安全制定相關安全基準條文，區域分成：
概述、收貨區、儲存區、儲槽、分配輸送房、清淨室、輸送系統管線及廢液處理等。
第二章区域安全设施：
为本安全基准之主要内容，整个供应系统以区域性来划分，对各区域安全制定相关安全基准条文，区域分成：
概述、收货区、储存区、储槽、分配输送房、清净室、输送系统管线及废液处理等。
第三章管理及檢查：
列示國內相關之管理及檢查事項。
第三章管理及检查：
列示国内相关之管理及检查事项。
其內容分述如下：
其内容分述如下：
第一章基準總則第一章基准总则
第一條本基準目的在建立化學品供應系統之安全基準之依據及準則，提供系統之新建、修改、變更使用、保養、管理、檢查及稽核之安全規範，以預防半導體廠及光電廠所使用之化學品供應發生危害。
第一条本基准目的在建立化学品供应系统之安全基准之依据及准则，提供系统之新建、修改、变更使用、保养、管理、检查及稽核之安全规范，以预防半导体厂及光电厂所使用之化学品供应发生危害。
第二條本規則適用於半導體廠及光電廠之化學品，僅涵蓋液體類化學品。
第二条本规则适用于半导体厂及光电厂之化学品，仅涵盖液体类化学品。
若有相關法令規章要求時，應依從該規定辨理。
若有相关法令规章要求时，应依从该规定辨理。
第三條本基準內名詞之意義如下：
第三条本基准内名词之意义如下：
一、危險物及有害物：
依中央主管機關指定應標示之危險物及有害物。
一、危险物及有害物：
依中央主管机关指定应标示之危险物及有害物。
二、危害性化學品：
Hazardouschemical，任何固體、液體或氣體對健康、燃燒性或反應性有加重危害性者。
二、危害性化学品：
Hazardouschemical，任何固体、液体或气体对健康、燃烧性或反应性有加重危害性者。
三、腐蝕性物質：
任何物質若與活組織接觸時會經由化學作用，造成嚴重的損壞，或在運載時會對其他的貨品或設備造成實質上的損壞稱之。
三、腐蚀性物质：
任何物质若与活组织接触时会经由化学作用，造成严重的损坏，或在运载时会对其他的货品或设备造成实质上的损坏称之。
四、穿牆：
Pass-through，牆周圍有通路可使化學品、產品、裝備或元件由牆的一邊傳送到牆的另一邊。
四、穿墙：
Pass-through，墙周围有通路可使化学品、产品、装备或元件由墙的一边传送到墙的另一边。
五、易燃性液體：
Flammableliquids，常壓下，液體閉杯閃火點小於38℃/100℉，且在38℃/100℉時，其蒸氣壓小於40psi/2.76bar。
五、易燃性液体：
Flammableliquids，常压下，液体闭杯闪火点小于38℃/100℉，且在38℃/100℉时，其蒸气压小于40psi/2.76bar。
六、可燃性液體：
Combustibleliquids，常壓下，閉杯閃火點大於38℃/100℉之液體。
六、可燃性液体：
Combustibleliquids，常压下，闭杯闪火点大于38℃/100℉之液体。
七、工作區：
Workstation定義於清淨室內的一個空間或一個單獨的設備單元有使用危害性化學品。
七、工作区：
Workstation定义于清净室内的一个空间或一个单独的设备单元有使用危害性化学品。
工作區可能包括連接儲櫃、排氣設備、消防設備、氣體或其他危害之偵測器、電器設備及其他科學元件。
工作区可能包括连接储柜、排气设备、消防设备、气体或其他危害之侦测器、电器设备及其他科学元件。
第四條本基準以區域劃分成概述、收貨區、儲存區、儲槽、分配輸送房、清淨室、輸送系統管線及廢液處理。
第四条本基准以区域划分成概述、收货区、储存区、储槽、分配输送房、清净室、输送系统管线及废液处理。
第二章區域安全設施第二章区域安全设施
概述概述
第五條生產流程與正常保養中人員若可能存在化學品暴露，其暴露之化合物種類及暴露量，不可對人員造成危害。
第五条生产流程与正常保养中人员若可能存在化学品暴露，其暴露之化合物种类及暴露量，不可对人员造成危害。
第六條設備中化學物質之使用開口應有警告標示。
第六条设备中化学物质之使用开口应有警告标示。
第七條雇主僱用勞工從事特別危害健康之作業時，應依“勞工健康管理規則”之規定，實施勞工健康管理。
第七条雇主雇用劳工从事特别危害健康之作业时，应依“劳工健康管理规则”之规定，实施劳工健康管理。
第八條處置特定化學物質，應備置足夠之必要防護具（呼吸防護具、不浸透性防護衣、手套、鞋及眼鏡），並保持性能及清潔。
第八条处置特定化学物质，应备置足够之必要防护具（呼吸防护具、不浸透性防护衣、手套、鞋及眼镜），并保持性能及清洁。
第九條為防止火災迅速蔓延波及清淨室，危害性化學品儲存及分配輸送房與清淨室應分離，且需有火災阻隔設計。
第九条为防止火灾迅速蔓延波及清净室，危害性化学品储存及分配输送房与清净室应分离，且需有火灾阻隔设计。
一、對易燃性化學品，需有耐火2小時之火災阻隔設計。
一、对易燃性化学品，需有耐火2小时之火灾阻隔设计。
二、對一般危害性化學品，需有耐火1小時之火災阻隔設計。
二、对一般危害性化学品，需有耐火1小时之火灾阻隔设计。
第十條危害性化學品之儲存及分配輸送房，需有排水及防溢措施，並需設計有可供應20分鐘以上之合適消防系統。
第十条危害性化学品之储存及分配输送房，需有排水及防溢措施，并需设计有可供应20分钟以上之合适消防系统。
第十一條為預防化學物質之腐蝕及洩漏，對設置具有腐蝕性物質之化學設備，其相接觸部分：
第十一条为预防化学物质之腐蚀及泄漏，对设置具有腐蚀性物质之化学设备，其相接触部分：
一、採用不易腐蝕之材質構築或施以內襯。
一、采用不易腐蚀之材质构筑或施以内衬。
二、接合部分施以防漏。
二、接合部分施以防漏。
三、閥、旋塞或操作此等之開關、按鈕等，應使用耐久材製造。
三、阀、旋塞或操作此等之开关、按钮等，应使用耐久材制造。
四、頻繁開啟或拆卸之設備應為二重構造。
四、频繁开启或拆卸之设备应为二重构造。
第十二條為保護不慎接觸危害化學物質之勞工，有處置危害物質，應設置洗眼、沐浴、漱口等設備。
第十二条为保护不慎接触危害化学物质之劳工，有处置危害物质，应设置洗眼、沐浴、漱口等设备。
第十三條為預防易燃性液體溢流，必須有防止易燃性液體由零件或機台設備溢流之保護措施。
第十三条为预防易燃性液体溢流，必须有防止易燃性液体由零件或机台设备溢流之保护措施。
如使用第二保護容器及溢流偵測。
如使用第二保护容器及溢流侦测。
第十四條廠房內，不允許危害性化學品存在於逃生走道。
第十四条厂房内，不允许危害性化学品存在于逃生走道。
第十五條危害化學物質洩漏，致有危及勞工之虞時：
第十五条危害化学物质泄漏，致有危及劳工之虞时：
一、應立即使勞工避難。
一、应立即使劳工避难。
二、未確認無危害勞工前，應於明顯易見處揭示「非從事人員禁止進入」之標示。
二、未确认无危害劳工前，应于明显易见处揭示「非从事人员禁止进入」之标示。
三、應訂定工作守則。
三、应订定工作守则。
四、應設搶救組織，並訓練有關人員急救、避難知識。
四、应设抢救组织，并训练有关人员急救、避难知识。
第十六條為防止勞工供輸原料、材料及其他物料於設備過程中，因誤操作致使危害性化學物質洩漏，應於勞工易見之處，標示該原料、材料及其他物料之種類、輸送對象設備及其他必要事項。
第十六条为防止劳工供输原料、材料及其他物料于设备过程中，因误操作致使危害性化学物质泄漏，应于劳工易见之处，标示该原料、材料及其他物料之种类、输送对象设备及其他必要事项。
第十七條對危險物及有害物應予標示，並註明必要之安全衛生注意事項。
第十七条对危险物及有害物应予标示，并注明必要之安全卫生注意事项。
依「危險物及有害物通識規則」施行。
依「危险物及有害物通识规则」施行。
第十八條內有危害物質之管系，應分類並標示，或得掛牌或漆有規定識別顏色及記號替代。
第十八条内有危害物质之管系，应分类并标示，或得挂牌或漆有规定识别颜色及记号替代。
其管系之掛牌、識別顏色及記號，應依「中國國家標準-9329管系識別」規定辦理。
其管系之挂牌、识别颜色及记号，应依「中国国家标准-9329管系识别」规定办理。
收貨區/碼頭收货区/码头
第十九條操作堆高機必須具有操作執照。
第十九条操作堆高机必须具有操作执照。
第二十條槽車灌裝時，不相容性化學品應採用不同之灌裝接頭。
第二十条槽车灌装时，不相容性化学品应采用不同之灌装接头。
第二十一條從事危害性化學物質之搬運或儲存時，安全處置如下：
第二十一条从事危害性化学物质之搬运或储存时，安全处置如下：
一、為防止物質洩漏、溢出，應使用堅固之容器或確實包裝。
一、为防止物质泄漏、溢出，应使用坚固之容器或确实包装。
二、對危害性化學物質之保管，應規劃固定之場所。
二、对危害性化学物质之保管，应规划固定之场所。
三、用於搬運、儲存之容器或包裝材之處理，應採取不得致使該物質飛散之措施；其廢棄物應堆置於固定場所。
三、用于搬运、储存之容器或包装材之处理，应采取不得致使该物质飞散之措施；其废弃物应堆置于固定场所。
第二十二條為預防槽車碼頭區之化學品洩漏擴散，槽車碼頭應具防溢排液系統。
第二十二条为预防槽车码头区之化学品泄漏扩散，槽车码头应具防溢排液系统。
第二十三條對裝載有危害物質之運送車輛，應予標示危害物質名稱及圖示，並隨車攜帶物質安全資料表。
第二十三条对装载有危害物质之运送车辆，应予标示危害物质名称及图示，并随车携带物质安全资料表。
第二十四條堆高機應實施每日作業前檢點、每月及每年定期檢查，每月及每年定期檢查記錄保存三年。
第二十四条堆高机应实施每日作业前检点、每月及每年定期检查，每月及每年定期检查记录保存三年。
儲存房/化學庫房储存房/化学库房
第二十五條為預防化學品溢流外洩污染環境，對危害性化學品之儲存，應有局部排液系統，或有足量設計的備用容器。
第二十五条为预防化学品溢流外泄污染环境，对危害性化学品之储存，应有局部排液系统，或有足量设计的备用容器。
第二十六條為預防危害性化學品蒸氣的蓄積，對危害性化學品之儲存房，應設機械通風排氣。
第二十六条为预防危害性化学品蒸气的蓄积，对危害性化学品之储存房，应设机械通风排气。
一、機械排氣通風量至少需樓面積×1CFM。
一、机械排气通风量至少需楼面积×1CFM。
樓面積單位ft2，通風量單位CFM=ft3/min。
楼面积单位ft2，通风量单位CFM=ft3/min。
二、排氣口及進氣口之位置設計，應能預防蒸氣的蓄積。
二、排气口及进气口之位置设计，应能预防蒸气的蓄积。
三、機械通風排氣系統應與自動緊急備用電源供應系統連接。
三、机械通风排气系统应与自动紧急备用电源供应系统连接。
第二十七條儲存區應標示化學品種類。
第二十七条储存区应标示化学品种类。
第二十八條可燃性及腐蝕性液體之儲存應採用無穿牆之儲藏櫃或儲存房。
第二十八条可燃性及腐蚀性液体之储存应采用无穿墙之储藏柜或储存房。
3、情况不清错开氮气阀门伤害事故
2000年3月11日，某市景龙机电设备安装公司施工队，在进行一项防腐工程作业中，由于错开氮气阀门，致使1名施工人员急性氮气窒息死亡。
事故经过：
2000年3月初，某公司所属半导体厂进行设备改造，改造工程包括纯水车间软水器防腐维修工程。
经过协商，软水器防腐维修工程交给该市景龙机电设备安装公司承担。
3月11日下午，景龙机电设备安装公司施工队进入施工现场（软化器在防尘棚中），施工队喷砂工赵某某穿上喷砂服进人防尘棚内，并示意同伴打开气源。
4分钟后，辅助工郑某某听到没有动静，马上打开防尘棚，发现赵某某已躺在地上，立即将赵某某抱出，将喷砂服脱掉。
接到报告，工厂厂医赶到现场时，赵某某已深度昏迷，呼吸、血压均无，医生立即对其做心脏按摩，并送往医院抢救，经医院抢救无效死亡。
事故分析：
经调查，半导体厂的压缩空气与氮气共用一条管道，可以根据生产需要进行切换。
景龙机电设备安装公司在施工前对这一情况了解不清，施工时需要使用半导体厂的气源进行喷砂时，辅助操作工误以为管道内气体为压缩空气，打开气源开关后，氮气进人喷砂服内，造成赵某某急性氮气窒息死亡。
事故教训与防范措施：
这起事故的发生令人
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