富士压电陶瓷材料介绍.docx

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PIEZOCERAMICS

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A-7

Thematerialcharacteristicsofpiezoceramics

♎䟸椹䞺䥇㨓㡜㋪快

12.7

39.7

5.3

288

0.7

930

550

2240

550

%

11

33

55

ı

35

49

37

●PZT－Pb（Zr･Ti）O3侾䬯㨓㡜／Theleadzirconatetitanatematerials（hardceramics）.

㨓㡜

C-2

C-21

C-201

C-202

C-203

C-204

⃾屄䟫拗

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×10í2

kp

63

59

60

56

59

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k31

37

34

34

32

k33

76

71

71

69

7

74

kt

52

48

46

47

52

k15

77

74

74

69

70

71

歔䙊・㠳

m・HZ

Np

2100

2210

2170

2130

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N31

1550

1630

1570

1620

1530

1530

N33

1410

1510

1500

1 0

1470

1450

Nt

2020

2090

2100

2120

2020

2070

N15

880

910

990

920

930

䦻⺼↎䟸・㠳

İ11T/İ0

1970

1900

2010

1700

1470

2240

İ33T/İ0

1460

1400

15

1600

1450

2200

丌↺♎䟸・㠳

×10í12

m/V（C/N）

d31

-158

-131

-145

-130

-145

-190

d33

367

2

330

315

325

435

d15

692

634

640

540

520

650

䟸♎扖Ⓗ侾㠳

×10í3

V・m/N（m2/C

g31

-

-1

-10.3

-9.4

-11.2

-9.7

） g33

29.2

27.2

24.3

22.3

25.6

22.0

g15

39.7

37.7

36.0

33.6

39.6

32.7

ㇼ㋪・㠳

×1010

N/m2

Y11E＝1/sE

7.3

8.3

7.9

8.2

7.2

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Y33E＝1/sE

5.

6.4

6.4

6.8

6.0

5.7

Y55E＝1/s5

E

2.2

2.3

2.4

2.8

2.3

2.4

㾍㩁㺗

0.30

0.29

0.30

0.31

0.29

0.29

㧽㭳➄快侾㠳

Qm

1200

1400

900

1200

2000

520

↎䟸㘢⯴

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0.25

0.30

0.29

0.20

0.30

0.25

⼈撏䍼

℃

Tc

300

307

290

290

350

250

⺉ㅩ

×103kg/m3

ȡ

7.60

7.80

7.8

7.85

7.7

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䃬ㅩ侾㠳

frTCppm/℃

-40～＋20℃

200

110

400

400

240

140

＋20～＋80℃

90

110

30

150

240

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CTC

ppm/℃

-40～＋20℃

1820

1810

500

300

1900

1900

＋20～＋80℃

4120

3630

4100

3000

3200

3600

㨓㡜䔼䍼

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%

11

33

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49

2460

23

㨓㡜

C-205

C-213

C-213P

C-3

C-4

⃾屄䟫拗

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×10í2

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kt

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k15

68

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69

64

53

歔䙊・㠳

m・HZ

Np

2270

2230

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24

2520

N31

1660

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1630

1810

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N33

1560

1540

540

1710

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Nt

2110

2090

2070

2140

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N15

990

960

1060

1100

䦻⺼↎䟸・㠳

İ11T/İ0

1650

1590

1750

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İ33T/İ0

1580

1470

510

330

丌↺♎䟸・㠳

×10í12

m/V（C/N）

d31

-136

-135

-139

-55

-39

d33

322

0

306

154

110

d15

492

510

542

381

201

䟸♎扖Ⓗ侾㠳

×10í3

V・m/N（m2/C

g31

-

-10.2

-10.7

-12.0

-12.8

） g33

22.7

23.4

23.5

32.4

33.7

g15

3.

36.4

34.9

43.5

40.8

ㇼ㋪・㠳

×1010

N/m2

Y11E＝1/sE

8.6

8.2

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10.0

10.3

Y33E＝1/sE

6.8

6.6

6.7

8.2

8.7

Y55E＝1/s5E

2.7

2.6

3.3

2.5

3.5

㾍㩁㺗

0.29

0.29

0.28

0.28

0.29

㧽㭳➄快侾㠳

Qm

2140

2500

1520

1900

1700

↎䟸㘢⯴

tanį

0.40

0.30

0.10

0.20

0.35

⼈撏䍼

℃

Tc

280

315

318

270

330

⺉ㅩ

×103kg/m3

ȡ

7.8

7.8

7.9

7.60

7.60

䃬ㅩ侾㠳

frTCppm/℃

-40～＋20℃

30

200

150

10

20

＋20～＋80℃

200

100

20

-180

-170

CTC

ppm/℃

-40～＋20℃

2490

2100

1900

2670

2250

＋20～＋80℃

3230

3400

3900

5370

4360

㨓㡜䔼䍼

涛Qm&d33.

∑tanį

∑İ33T

ɕ㨓㡜䔼㋪䀎庘㡼㾘֑椧ⅉ䔼唵䥇⃃掫Ⓣ֑䷩⛋㢨㧯䟸⸓⊤㌲㕃㧲Ⅺ⃝☒⇝-（,7$（0$䥇㫊⒉Ϗ

Thematerialcharacteristicsofpiezoceramics

♎䟸椹䞺䥇㨓㡜㋪快

40.3

5.3

1.5

37.7

490

850

2600

1500

950

1970

360

50

2060

34

53

%

11

33

55

ı

●PZT－Pb（Zr･Ti）O3侾䬯㨓㡜／Theleadzirconatetitanatematerials（hardceramics）.

㨓㡜

C-5

C-6

C-6H

C-62

C-63

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C-601

C-7

C-8

⃾屄䟫拗

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䟸㻗㧽㭳勩⛋侾㠳

×10í2

kp

64

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70

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59

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k31

38

39

41

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33

35

37

3

k33

73

76

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77

68

73

76

72

77

kt

53

52

50

52

48

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3

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k15

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66

71

73

64

70

歔䙊・㠳

m・HZ

Np

2060

1960

1960

1960

2130

2080

1980

N31

1530

1420

1420

1440

1480

1380

1460

1440

1410

N33

1400

1350

1380

1350

500

136

1380

1410

1350

Nt

2050

2010

2110

2040

260

1970

2070

2070

2050

N15

850

850

860

850

890

950

910

䦻⺼↎䟸・㠳

İ11T/İ0

2140

2270

2550

2730

1850

1960

2400

3670

3100

İ33T/İ0

1170

2130

2400

00

2000

1850

2300

4660

3480

丌↺♎䟸・㠳

×10í12

m/V（C/N）

d31

-140

-210

-240

-234

-165

-185

-210

-271

-274

d33

333

472

500

320

435

500

665

627

d15

764

758

800

860

530

670

730

737

779

䟸♎扖Ⓗ侾㠳

×10í3

V・m/N（m2/C

g31

-14.5

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-11.2

-10.6

-9.5

-11.4

-10.0

-6.8

-8.8

） g33

32.1

25.0

2.2

24.4

23.0

24.4

23.0

15.0

19.7

g15

0.

7.7

35.6

35.6

32.5

38.5

34.0

22.7

28.4

ㇼ㋪・㠳

×1010

N/m2

Y11E＝1/sE

7.2

6.2

6.3

6.3

6.7

5.9

6.7

6.1

6.0

Y33E＝1/sE

3

4.9

5.2

4.9

6.2

5.1

5.0

5.2

4.8

Y55E＝1/s5E

1.9

1.9

2.0

1.9

2.5

2.0

2.2

2.4

2.2

㾍㩁㺗

0.29

0.32

0.31

0.30

0.37

0.34

0.33

0.39

0.32

㧽㭳➄快侾㠳

Qm

90

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75

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45

65

↎䟸㘢⯴

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⼈撏䍼

℃

Tc

305

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345

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162

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⺉ㅩ

×103kg/m3

ȡ

7.65

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7.8

7.60

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7.7

7.8

7.40

7.45

䃬ㅩ侾㠳

frTCppm/℃

-40～＋20℃

-550

-330

-250

-380

-20

-180

-260

-540

-340

＋20～＋80℃

-680

-130

-5

170

80

180

-120

180

-20

CTC

ppm/℃

-40～＋20℃

4230

3590

3400

3860

1850

3500

3300

4330

3940

＋20～＋80℃

7960

4850

4000

5610

2550

3600

4000

8030

6050

㨓㡜䔼䍼

⃰İ33T

⃃哯䟫拗

涛k33&d33

∑

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涛Tc

涛k33

&d33

涛İ33E

∑Qm

⃰İ33E

28.6

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670

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4760

774

950

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1960

380

50

1950

44

51

%

11

33

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ı

㨓㡜

C-82

C-83H

C-84

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C-91H

C-92H

C-93

⃾屄䟫拗

◾䟫恈⮳㙥⯷֍䟫⅑庍㡰㓓⎒֎担䟫⅑⛇䲐㔪嬏⤫

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×10í2

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60

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k31

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43

37

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k33

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kt

51

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k15

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76

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65

68

69

71

歔䙊・㠳

m・HZ

Np

2030

1930

1900

2040

95

1910

1890

N31

1430

1410

1400

1440

1380

1410

1430

1410

N33

1390

1380

1290

1390

1

1390

1320

1300

Nt

2090

2150

2000

1950

1960

2080

2070

1970

N15

900

880

840

920

900

930

870

䦻⺼↎䟸・㠳

İ11T/İ0

3090

3900

4870

6050

4400

4900

4400

5600

İ33T/İ0

3650

4200

6

5500

5800

5300

6050

丌↺♎䟸・㠳

×10í12

m/V（C/N）

d31

-266

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-354

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d33

600

0

4

718

640

710

770

826

d15

781

980

1140

827

820

920

848

1080

䟸♎扖Ⓗ侾㠳

×10í3

V・m/N（m2/C

g31

-8.3

-0

-8.4

-6.0

-7.0

-7.3

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-6.9

） g33

18.5

17.9

18.4

12.2

13.5

13.9

16.4

15.4

g15

8

28.3

26.6

15.5

21.0

21.2

21.8

21.8

ㇼ㋪・㠳

×1010

N/m2

Y11E＝1/sE

6.2

6.1

6.0

6.5

5.9

6.4

6.6

6.3

Y33E＝1/sE

1

5.1

4.4

5.4

5.4

5.5

4.9

4.6

Y55E＝1/s5E

2.2

2.1

1.9

2.6

2.4

2.4

2.6

2.5

㾍㩁㺗

0.34

0.29

0.30

0.36

0.38

0.32

0.28

0.27

㧽㭳➄快侾㠳

Qm

65

65

46

25

30

24

28

67

↎䟸㘢⯴

tanį

1.90

2.2

2.0

4.5

3.0

3.7

3.6

1.7

⼈撏䍼

℃

Tc

195

220

186

130

165

170

183

150

⺉ㅩ

×103kg/m3

ȡ

7.50

7.7

7.67

7.75

7.75

8.1

8.1

7.91

䃬ㅩ侾㠳

frTCppm/℃

-40～＋20℃

-260

-290

-704

-970

-1000

-1370

-1580

-690

＋20～＋80℃

30

100

-185

540

550

330

660

1360

CTC

ppm/℃

-40～＋20℃

3650

3500

4360

7610

6000

8400

8450

7190

＋20～＋80℃

5440

5300

7590

9630

4500

8800

6780

5360

㨓㡜䔼䍼

涛İ33E・d33、∑Qm

ɕ㨓㡜䔼㋪䀎庘㡼㾘֑椧ⅉ䔼唵䥇⃃掫Ⓣ֑䷩⛋㢨㧯䟸⸓⊤㌲㕃㧲Ⅺ⃝☒⇝-（,7$（0$䥇㫊⒉Ϗɕ&㨓㡜䔼㋪䥇1L&U❏$X䟸㩄䅈⻇㨤↹Ϗ

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ɕ㖯⚺⑈䥇⋿㣲⚅勆⋿Ϗ

A-7

Thematerialcharacteristicsofpiezoceramics

♎䟸椹䞺䥇㨓㡜㋪快

2.7

2240

1450

220

58.2

39

（2015

2.9

%

11

33

55

ı

●PT－PbTiO3●PN－PbNb2O6●BiT－Bi4Ti3O12侾䬯㨓㡜／Theleadtitanate,metaniobate&bismuthtitanatematerials.

㨓㡜

PT

PN

BiT

M-1

M-5

M-6

F-100

B-600

⃾屄䟫拗

恈⮳㾥䀄撒幤

恈⮳㾥㙥⇧↭恈⮳㾥䁵∐幤

/&'岩㜻⇣㏢⤫涛ㇽㅩ匝䏩恈⮳

恈⮳㾥㙥⇧↭恈⮳㾥♝ㅩ幤

恈⮳㾥䀄撒幤

֍涛䃬⩎֎

䟸㻗㧽㭳勩⛋侾㠳

×10í2

kp

6.0

6.0

4.0

（30）

47

k31

6.5

6.0

2.6

（24）

2

k33

37

47

53

（31）

－

kt

38

43

51

20.1

k15

－

－

37

（39）

－

歔䙊・㠳

m・HZ

Np

2630

2800

2860

20 ）

2710

N31

2050

2150

2200

（1570）

2080

N33

2060

2150

240

（1580）

－

Nt

2130

2250

230

1630

2180

N15

－

－

（1030）

－

䦻⺼↎䟸・㠳

İ11T/İ0

－

－

250

（370）

－

İ33T/İ0

185

215

300

150

丌↺♎䟸・㠳

×10í12

m/V（C/N）

d31

-4.3

-4.7

-3.7

（-55）

-2.9

d33

43.9

2

71.0

80

（19.0）

d15

－

－

41.0

（145）

－

䟸♎扖Ⓗ侾㠳

×10í3

V・m/N（m2/C

g31

-

-2.4

-1.6

（-19）

-2.2

） g33

25.1

30.3

37.3

（22）

（14.3）

g15

－

－

21.3

（45）

－

ㇼ㋪・㠳

×1010

N/m2

Y11E＝1/sE

11.9

13.9

13.2

（5.4）

12.4

Y33E＝1/sE

13.5

14.4

11.6

（5.5）

－

Y55E＝1/s5E

－

－

8.7

（2.3）

－

㾍㩁㺗

0.26

0.20

0.21

ー

0.22

㧽㭳➄快侾㠳

Qm

1200

1450

850

20

5980

↎䟸㘢⯴

tanį

1.5

1.5

2.0

（1.0）

0.30

⼈撏䍼

℃

Tc

385

310

250

530

670

⺉ㅩ

×103kg/m3

ȡ

7.6

7.4

6.92

5.7

7.2

䃬ㅩ侾㠳

frTCppm/℃

-40～＋20℃

-70

-60

-50

（-1400）

-66

＋20～＋80℃

-70

-40

-100

（-800）

-66

CTC

ppm/℃

-40～＋20℃

2350

2550

3000

（950）

450

＋20～＋80℃

3600

4000

4500

（1100）

820

㨓㡜䔼䍼

⛇⛔㇅㋪֑kt>kp

∑Qm・涛Tc・∑ȡ

⛇⛔㇅㋪֑kt>kp涛Qm

涛Tc

涛Qm

涛kt

␻⩎䥇䃬ㅩ䔼㋪丌

␻⩎䥇䃬ㅩ䔼㋪丌

庨㨓㡜䥇㋪快

Ⓣ伾䟴⅑㨓㡜䥇䔼㋪

涛

C-93

∑

C-91H

C-9 C-84

戲㨓㡜

C-91

C-8C-82



C-83H



C-601



㧽㭳➄快侾㠳Q֍Qm֎

C-62

丌↺♎䟸・㠳֍d33֎

C-7 C-93 C-6

C-63 C-5

C-201

C-64

C-202

䬯㨓㡜

∑

∑ ⼈撏䍼֍Tc֎

C2