ESD防护办法.docx
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ESD防护办法
ESD防护作业办法
管理体系---三阶文件
文件编号：
PR-RD-0004
版次：
00
制定日期：
2015-7-8
制定部门：
工程部
核准
审核
作成
文件制/修订记录
序号
日期
修订章节及内容
版次
提出人/部门
1
2015.7.8
初版发行
00
刘素芸
1.目的
1.1明确ESD敏感电子元件静电防护的重要性及各相关部门对产品静电防护的职责权限.
1.2规范EOS/ESD相关设施之操作、维护、控制及测试方法与点检频率,以保护静电敏感元件,从而保证
产品出货品质,满足客户需求.
2.适用范围
适用于ESD敏感电子元件相关制造,测试,存储及相关设施操作,控制与维护之领域。
3.定义
3.1静电释放（ELECTROSTATIC，DISCHARGE）即静电电荷在不同电势的物品或表面之间转移的过程
3.1静电损伤（ELECTROSTATIC，OVERSTRESS）即器件接受静电释放时,其特性产生变化,通常性能变差，
但未完全失效。
4.职责权限
4.1人力资源
4.1.1电工
①设备干/支接地装置架设与安装.
②静电防护干/支接地装置架设与安装
③接地装置干线检测与维护.
4.2生产部
①新人上岗ESD静电防护培训与考核.
②静电手环日常点检/记录.
③工作区域之EOS/ESD设施的日常维护.
④车间静电区域的设施检测、标识与维护.
4.3品保部
4.3.1IQC
①进料检验区静电防护需求提出.
②对ESD敏感电子元件进料检验.
③新人上岗ESD静电防护培训与考核.
④IQC静电进料检验区域的设施检测、标识与维护.
4.3.2IPQC
①开线前相关设备,烙铁及特殊制程（静电防护）静电防护点检.
②现场稽核,确保所有静电防护设施之EOS/ESD状态均在规范之中.
③新人上岗ESD静电防护培训与考核.
④车间静电区域所有设施检测与异常提报.
4.3.3FQC
①出货检验区静电防护需求提出.
②对ESD敏感电子产品出货检验.
③FQC静电检验区域的设施检测、标识与维护.
4.4PMC
4.4.1仓库
①静电防护需求提出.
②负责静电敏感零件的储存与防护.
③新人上岗ESD静电防护培训与考核.
④仓库静电区域的设施检测、标识与维护.
4.5工程部
4.5.1样品制作
①静电防护需求提出.
②负责样品制作时静电敏感零件的防护.
③新人上岗ESD静电防护培训与考核.
4.5.2生技课
①仓库、进料检验区、车间所有静电设施的安装与维护.
②车间所有设备接地支线安装与维护.
③工作台及附属静电防护装置支线安装与维护.
5.程序内容
5.1设备接地及静电防护需求评估与提出
5.1.1设备包括各类生产及测试设备等必须要有专用导线与接地线相连；
5.1.2烙铁或特殊制程（静电防护）工治具等必须要有专用导线与接地线相连；
5.1.3接触静电敏感元器件的工作台,检验桌,修理桌等,表面必须覆盖导电性桌垫（静电胶皮）,且必须有专用导线与接地线相连;
5.1.4单独架设静电防护接地线,用来构成连接带有静电电荷的人或物体与大地之间通路.
5.1.5凡对ESD防护敏感元件，样品/半成品/成品或设备进行操作的工作区域要建成ESD防护区域，储存及运输必须采用防静电作业（如：
防静电袋/防静电手套/防静电服/防静电鞋），且静电防护工作区域需做标识。
标识如附件。
5.1.6各单位需根据客户或产品静电防护要求,参照制程需求,以联络单形式向人力资源部提出架设静电防护装置.
5.2设备接地及静电防护安装
5.2.1根据设备接地及静电防护需求,各类接地干/支线由人力资源部电工负责安装完成.
5.2.2根据设备接地及静电防护需求,参照需求联络单,各单位制程中增加静电防护装置,人力资源部电工负责安装完成.
5.2.3ESD防护工作台（工作区）应具备的特点：
①由静电耗散材料（防静电胶皮）制成的工作台面（表面阻抗：
正面106Ω～109Ω，反面≦104Ω）且接地状况良好防静电胶皮需设有接地线,装接地扣且每两者之间最大距离为2M-2.5M，同时接地扣背面需用绝缘胶布粘贴以作保护）.
②静电安全工作台上没有不必要的静电产生器（如：
塑料，玻璃，橡皮等），电子组装设备要用合适的三相插头接地,且不小于2个ESD接插口，ESD地线要求≧1.25mm².
③装ESD零件之容器要用ESD防护材料制作。
（如:
防静电盒,静电棉等）
④操作现场必须使用的不具静电功能的工具、夹具，应放在防静电桌垫上.
5.3设备接地及静电防护检测与确认
5.3.1静电干线、静电支线、设备以及其它静电设施（如：
防静电服/防静电鞋）等，检测频率、检测方法与检测单位如下表所示，各责任单位必须严格执行，并准确记录，记录表单由各单位保存。
5.3.2烙铁接地电阻及漏电电压每天均测试一次，如果当天有更换烙铁，在新烙铁上线前，由IPQC进行烙铁接地电阻及漏电电压测试，并记录。
附:
防静电工作安全操作规格及要求：
测试项目
测试内容
测试规格
测试仪器
测试频率
检测/责任单位
记录表单
设备接地电阻
对地电阻
<4Ω
万用表
1次/1个月
技术员
设备接地电阻检测记录表
静电干线接地
对地电阻
<10Ω
接地电阻测试仪
1次/6个月
电工
静电防护接地电阻/阻抗检测记录表
静电支线接地
对地电阻
<10Ω
万用表
1次/1个月
技术员
静电防护接地电阻/阻抗检测记录表
烙铁接地电阻
对地电阻
<10Ω
万用表
1次/1天
IPQC/技术员
设备接地电阻检测记录表
烙铁漏电电压
烙铁漏电
<1V
测电器
1次/1月
技术员
烙铁漏电电压测试记录表
静电胶皮接地
表面阻抗
正面10^6Ω～10^9Ω
反面≦10^4Ω
表面阻抗测试仪（两电极间距：
300±5mm）
1次/1个月
技术员/使用单位
静电防护接地电阻/阻抗检测记录表
静电扣
对地电阻
1MΩ±5%
万用表
1次/1月
IPQC/技术员
设备接地电阻检测记录表
静电环接地
对地电阻
/
静电环测试仪
1次/2H
IPQC/使用单位
静电环点检记录表
静电胶框阻抗
表面阻抗
10^6Ω～10^9Ω
表面阻抗测试仪
1次/1个月
使用单位
静电防护接地电阻/阻抗检测记录表
静电服阻抗
表面阻抗
1.0X10^6Ω～1.0X10^11Ω
表面阻抗测试仪
1次/3个月
IPQC/使用单位
静电防护接地电阻/阻抗检测记录表
静电鞋阻抗
鞋底电阻
0.5X10^5Ω～1.0X10^8Ω
人体综合测试仪
1次/1天
使用单位
静电防护接地电阻/阻抗检测记录表
附测试方法：
1.设备接地电阻：
两表笔一端接设备外壳另一端接三极插座中的地线连接PIN，读取万用表上的数值
2.静电干线接地：
使用接地电阻测试仪，将两探针插入接地体幅射方向20M和40M处，插入深度400mm，进行测试。
3.静电支线接地：
两表笔一端接静电支线另一端接地线接连点读取万用表上的数值
4.烙铁接地电阻：
两表笔一端接烙铁头另一端接地线上，读取值
5.烙铁漏电电压测试：
取测电器，拇指按住测电器上“直接测试”金属，将测电器上金属头置于烙铁头上，测电器上显示器无数值显示侧OK，若测电器显示器上显示数值大于1V停止使用.
6.静电胶皮接地：
两电极平整放于静电皮表皮表面，再分别将测试仪两连接线连接于电极上，打开测试仪开关，读取测试仪上的数值，注意两电极间距为300±5mm.
7.静电扣接地：
将万用表两端连接于静电扣两端，打开万用表开关，读取显示值，更换新静电扣须测试。
8.静电环：
将静电环戴在手上，另一端与测试仪对接，手指按下测试仪上的金属开关，测试仪亮绿灯OK，绿红灯NG，并停止使用
9.静电胶框阻抗：
两电极平整放于静电皮表框表面，再分别将测试仪两连接线连接于电极上，打开测试仪开关，读取测试仪上的记录.
10.静电服阻抗：
点对点电阻测试方法：
将待测样板平放在绝缘板上，然后将其中一个电极放在待测样板的一边，另一个电极放在另一边。
使用100V档进行测试。
待读数稳定或最长15秒后记录读数.使用同样步骤在待测样板上取多个不同位置进行测试后记录读数。
11.静电鞋阻抗：
两脚穿好静电鞋，将双脚分别踏在人体综合测试仪对应金属踏板上，手指轻轻按在金属测试按钮上，测试仪LO红灯亮时表示低于设定值NG，PASS灯亮时表示在设定测试范围内OK，HI灯亮时表示高于设定值NG。
测试完后记录测量结果。
5.4人体ESD防护
5.4.1接触到静电敏感元件的所有人员必须将防静电手环套在手腕上，用扣件将腕带扣紧，使其金属部件直接和皮肤接触并且必须将防静电手环之接地夹接至ESD地线来防护.
5.4.2每天开线前需对静电环进行点检，并将结果记录于《静电环点检记录表》中，配带人员点检都记录于此表中，点检完后由IPQC进行确认并签名.
5.4.3防静电手环需依据其点检作业指导书规定进行点检，若测试结果为不良，需要更换测试合格的静电环方可上线作业，不良静电环送生技人员处理，产线人员领用新的静电环须记录在《静电环不良更换记录表》内.
5.4.4员工每次上班前、中休、或中途离岗、每次佩带手环之前，都需要到静电释放区释放人体静电后，方可进入静电工作区域作业。
5.4.5防静电工作区域，在工作中途，需要增加员工，在员工进入防静电区域前，需要先到静电释放区释放人体静电，同时由IPQC检测其静电手环阻值。
5.5ESD防护装置维护及异常处理
5.5.1ESD防护装置维护：
5.5.1.1相关部门负责对各工站的ESD防护装置进行确认，确保其功能之可靠性.
①各单位参见5.3条规定对各ESD防护装置进行检测确认,并记录量测值或确认结果.
②品保人员定期对各工站进行确认，以确保没有不必要的静电产生器（如塑料、玻璃、橡皮等）.
③各操作区域时刻确保清洁及无杂物,针对装ESD零件之容器，使用单位需随机确认其外观有无严重破损、脏污及灰尘等
5.5.2.异常处理：
5.5.2.1各单位在自检维护过程上发现ESD区域不符合ESD要求之缺失立即知会相关责任单位改善.
5.5.2.2品保人员稽核发现任何ESD状况不良应立即知会相单位并发出品质异常联络单，跟催改善结果，针对不良多发生的工站重点管控.
5.5.2.3在加工前及加工过程中所有发现ESD防护之缺失均需停线处理（加固/修缮或作更换）,待问题解善后方可开线作业.
5.6ESD等级区域规划
5.6.1ESD防护等级按区域产品类型，分一级防护区域和二级防护区域。
一级防护区域指A栋4楼，无尘车间的ESD防护，进入此区域需更换防静电服和防静电鞋。
二级护护区域指车间、仓库、品保部等贴有ESD防静电胶带的区域，进入此区域不需更换防静电服和防静电鞋，其它防护等级相同。
5.6.2所有一级、二级防静电区域的斑马线上，需张贴警示标签A，提醒你即将进入或已进入防静电工作区域，警示标签的间隔不能超过5米。
5.6.3所有一级、二级防静电区域的地面上，需张贴防静电工作区的警示检签B，间隔不能超过10米。
5.6.4所有一级、二级防静电区域，所需的货架、胶框、机器设备等，需要在显眼处张贴防静电警示标签C。
5.6.5防静电区域的标示等设施由各区域负责人维护。
6.支持文件
无
7.记录
7.1《设备接地电阻检测记录表》QR-630-27
7.2《静电防护接地电阻/阻抗检测记录表》QR-630-26
7.3《静电环点检记录表》QR-630-29
7.4《静电环不良更换记录表》QR-630-28
7.5《烙铁漏电电压测试记录表》QR-630-30
8.附件
防静电标签A：
防静电标签B
防静电标签C
防静电服点对点测试方法
防静电鞋测试方法
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