工业强基重点支持方向.docx

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工业强基重点支持方向

附件1

2014年工业强基专项重点方向

一、高端装备基础能力提升

（一）关键基础材料

1.海洋工程及能源装备用特殊钢材

关键指标：

镍含量8.5%～10%，磷含量≤0.005%，硫含量

≤0.002%；屈服强度≥585MPa，抗拉强度达到680～820MPa，

延伸率≥18%；-196℃低温下冲击功均值≥100J。

实施目标：

实现产品工程化稳定生产，精确控制钢材成分和钢质纯净度、加强热处理工艺板型控制、稳定焊接性能，全面提高产品的质量和稳定性，满足我国海洋工程和能源装备发展需要的液化天然气（简称“LNG”）船及岸线LNG接收站储罐的建造要求。

2.工业零部件表面强化用高性能稀有金属涂层材料

关键指标：

（1）高温合金稀有金属防护涂层材料：

氧含量≤300ppm，涂层在900℃完全抗氧化，并具备良好的抗热疲劳性能。

（2）复式碳化钨基稀有金属陶瓷涂层材料：

硬度HRC45～65，使用温度-140～800℃。

（3）高耐蚀耐磨涂层材料：

结合强度≥200MPa，硬度HRC30～65，孔隙率≤0.5%，抗中性盐雾腐蚀≥500小时。

（4）多组元MCrAlY涂层材料：

O、N、C、S总和≤500ppm，结合强度≥50MPa，1050℃水淬≥50次，1050℃（200h）完全抗氧化级。

（5）高隔热涂层材料YSZ复相陶瓷材料：

熔点>2000K，1200℃（100h）无相变，热导率<1.2W/m•K。

（6）可磨耗封严涂层材料：

使用温度350～1050℃，硬度HR15Y40～85，结合强度≥5MPa，工况温度下350m/s可磨耗试验涂层无剥落掉块。

（7）冷喷涂超细合金粉末涂层材料：

粉末粒度D90≤16μm，振实密度≥4.0g/cm，近球形粉末形貌。

实施目标：

进一步突破工业零部件用高性能稀有金属涂层材料制备技术，形成工程化、产业化能力，满足国防军工、高端装备制造业需要。

3.低残余应力航空铝合金材料

关键指标：

机翼壁板制造用7055-T7751铝合金预拉伸板L

向抗拉强度≥615MPa，屈服强度≥590MPa，伸长率≥7%，L-T

向断裂韧度KIC≥24MPa•m1/2，L向压缩屈服强度≥590MPa；剥落腐蚀性能不低于EB级；产品进行后续结构件机加工的合格

率达到90%以上。

实施目标：

突破航空铝合金预拉伸厚板、锻件低残余应力制造关键技术，解决当前航空铝合金材料在后续结构件机加工过程中出现变形量大、合格率低等关键问题，实现产业化，满足航空工业发展需要。

4.高端电器装备用电工钢

关键指标：

（1）超超临界火电和水电、核电机组用极低铁损高牌号无取向电工钢：

厚度要求≤0.50mm，铁损P15/50≤2.50W/kg，磁感强度B50≥1.65T，铁损各向异性≤10%。

（2）双百万变压器及S13型节能变压器等用HiB取向电工钢：

厚度0.20～0.30mm，铁损P17/50≤0.98W/kg，磁感应强度B8≥1.91T。

实施目标：

高牌号无取向电工钢满足超临界及超超临界火电、水电和核电机组发电机产业化需求。

高磁感取向电工钢满足500kV及以上大型交、直流输电变压器、S13型及以上节能变压器、核电领域变压器等特高压输变电领域的高可靠性取向电工钢用料要求。

5.高强镁合金材料

关键指标：

（1）航空航天用结构件：

（室温）σb≥430MPa，σ0.2≥370MPa，δ5≥5%，E≥45GPa，HB≥120；（200℃力学性能）σb≥370MPa，σ0.2≥300MPa，δ5≥7%。

（2）高端装备制造用锻件：

（室温）σb≥380MPa，σ0.2≥280MPa，δ10≥12%；短时高温强度σb≥200MPa；腐蚀速率＜0.13mg/cm2/day。

（3）高端装备制造用锻件板材：

σb≥280MPa、δ为15～18%。

实施目标：

突破高强镁合金材料制备关键技术，形成工程化、产业化能力，满足我国航空航天、轨道交通、电子等领域对高性能镁合金材料的需求。

6.超超临界火电机组P92大口径厚壁无缝钢管（招标）

关键指标：

δ-铁素体含量不超过1%；冲击韧性AKV≥80J；非金属夹杂物：

A、B、C、D的单项级别不超过1.5级，各类夹杂物总和不超过3.0级；钢中痕量元素Pb、Sb、Bi≤100ppm，As、Sn≤150ppm，且Pb＋Sb＋Bi＋As＋Sn≤300ppm；全氧To≤40ppm，氢[H]≤3ppm；满足ASMESA335、EN10216-2和GB5310-2008等标准要求。

实施目标：

可使我国提高超超临界火电机组P92大口径厚壁无缝钢管制造水平。

在目前小批量生产的基础上，实现P92钢管的产业化生产。

扭转超超临界P92大口径厚壁无缝钢管依赖进口的局面。

（二）核心基础零部件

7.高响应高精度高速系列伺服电机

关键指标：

齿槽效应<0.5%，单位体积功率>0.6MW/m3，响

应频率≥400Hz，最高转速≥5000r/min。

实施目标：

掌握高响应高精度高速伺服电机的研发、工艺及质量控制等方面的关键技术，进一步提升伺服电机生产线数控化、智能化能力，形成高响应高精度高速伺服电机的产业化能力。

8.加氢反应用关键阀门铸件

关键指标：

（1）材料机械性能：

屈服强度≥205MPa，抗拉强度≥485MPa，延伸率≥30%。

（2）材料成分要求：

有害元素S≤0.015%、P≤0.030%。

非金属夹杂物要求：

硫化物≤0.5级，硅酸盐≤1.0级，氧化铝≤1.0级，球状氧化物≤2级，总级别数≤4.5级。

（3）坡口要求1级以上合格，其余部位要求2级以上合格。

（4）任何线性缺陷显示程度不大于2mm，单个圆形缺陷尺寸不大于4mm，密集缺陷累积长度在任何100×100mm的面积中不大于2mm。

实施目标：

掌握高温高压加氢阀门特种材质铸件的生产工艺和质量控制能力等产业化关键技术，提高产品的组织致密性、机械性能、材料纯净度，降低非金属夹杂物。

形成高温高压加氢阀门铸件工程化能力，满足高温高压加氢装置阀门要求。

9.挖掘机用高压柱塞泵和多路控制阀

关键指标：

（1）高压柱塞泵：

额定压力≥32MPa，尖峰压力≥40MPa，总效率≥85%，平均无故障间隔时间≥5000h。

（2）液压多路阀：

额定压力≥32MPa，控制方式为开闭回路混合控制，平均无故障间隔时间≥5000h。

实施目标：

实现挖掘机用多路控制阀及高压柱塞泵工程化、产业化能力，突破我国工程机械关键部件的长期制约瓶颈，增强我国挖掘机行业发展水平。

10.航空抽芯铆钉

关键指标：

（1）铝合金、铜镍合金鼓包抽芯铆钉：

铆接平整度、抗拉强度、抗剪强度、薄板拉脱、心杆顶出、杆部膨胀、疲劳强度等关键指标满足NAS9301/9303、NAS9307/9308标准和NAS1686、NAS1687性能规范要求。

（2）不锈钢、钛合金膨胀型抽芯铆钉：

氢含量、裂纹＆不连续性、安装合格率、抗剪＆抗拉强度、疲劳强度、预紧力、振动耐久性、锁紧力矩和保持力矩等关键指标满足MS21140/21141标准和MIL-F-8975性能规范。

实施目标：

产品满足用户和国际推行的航空标准要求，技术水平达到或超过国际先进水平，相应产品应用到国内重点型号机型上，实现产业化能力，满足国内飞机配套要求。

11.超（超）临界火电机组安全阀用弹簧

关键指标：

满足超（超）临界火电机组用安全阀的工作要求：

温度≤610℃，整定压力≤35.9MPa，启跳精度≤±1%，启跳压差4％～7％；外形尺寸：

垂直度≤0.5°，端圈间隙≤0.5mm，直径偏差≤1%，端尖厚度为0.15d；热松弛蠕变：

温度250℃，压缩12小时，相同负荷，指定高度变化量≤0.5%。

实施目标：

掌握超（超）临界安全阀弹簧设计、制造、工艺、检测和材料选用等关键技术，产品性能达到世界先进水平，具备产业化能力。

12.汽车用自动化精密多工位高效级进模

关键指标：

产品精度：

零件精度公差±0.3mm；模具生产零件节拍：

23件/分钟冲次；集约化：

6m×3m，20个工序的大型多工位级进模；大型多工位级进模具50%的设计过程智能化。

实施目标：

掌握汽车高强度钢板和新型铝板掌握成形仿真分析系统、模具设计和多工位级进度的智能化设计等关键技术，实现国内汽车零部件自动化冲压模具自主发展能力。

13.高精密电子多工位级进模

关键指标：

精度：

累积步距精度≤0.002mm，凹凸模配合加工精度≤0.001mm；稳定冲压速度：

达到3500次/分钟；模具寿命：

消除模具的非正常损坏，达到4亿次以上；窄间距连接器最小间距0.3mm，最小厚度0.6mm，最大接触pin数200pin；实现金属端子卷对卷自动化一体注塑成型，实现最多200个金属端子在注塑模内一体成型；实现连接器成形全自动智能控制。

实施目标：

建立超高速精密冲压计算机辅助分析理论和模型，可预测破裂、起皱和回弹缺陷的板料成形过程的仿真系统；掌握超高速精密级进冲模成形工艺仿真分析技术，建立高速精密多工位级进模的先进制造技术设计及管理系统，形成共性技术并在行业内推广应用；实现窄间距连接器和精密组件的产业化。

14.高精度多参数污染因子监测传感器

关键指标：

温度测量范围-30～70℃，精度±0.3℃；湿度测量范围0%～100%RH，精度±2%RH；光照度测量范围0～2000LX，精度±4%；紫外线测量范围0～230μW/cm2，精度±8%；CO2测量范围0～2000ppm，精度±（4%+30）ppm；VOC测量范围0～20ppm，精度±0.005ppm（异丁烯）；有机酸污染物测量范围0～100mg/m3，准确度±（5%+0.2），测量评价分为5级；无机污染物测量范围0～100mg/m3，准确度±（5%+0.2），测量评价分为5级；含硫污染物测量范围0～100mg/m3，准确度±（5%+0.2），测量评价分为5级。

实施目标：

围绕文物保护重大需求，实现馆藏文物温度、湿度、光照度、紫外辐射、二氧化碳和VOC六种环境参数任意组合，实现多参数复合的无线传感器产业化，完成有机污染物、无机污染物和含硫污染物三种在线监测传感器的开发和工程化。

掌握传感器多参数测量信息融合、低功耗和小型化设计、以及可靠性设计制造技术，具备独立研发制造多参数环境监测无线传感变送器的能力。

（三）产业技术基础

15.高端橡塑密封元件研发检测技术基础公共服务平台

关键指标：

往复式高压油缸密封元件研发检测服务平台：

高压油缸密封可靠性设计技术，高压油缸密封材料分析测试技术，高压油缸密封台架模拟检测及水平评价技术，高压油缸密封典型产品的研发技术。

旋转式高速密封元件研发检测服务平台：

高速旋转密封可靠性设计技术，高速旋转密封材料分析测试技术，高速旋转密封台架模拟检测及水平评价技术，高速旋转密封典型产品的研发技术。

实施目标：

具备提供重大装备密封系统、密封材料、密封系统的技术评价、可靠性设计等方面的服务能力，为重大装备研发关键密封、制定技术标准、提供寿命评估方法，建立相关行业标准或规范，并通过试验评价过程指导行业企业的研发与制造，为产品研发提供强有力的支撑，推动行业技术进步。

16.高端仪表与系统检测认证技术基础公共服务平台

关键指标：

（1）完善/建立高端控制阀系列试验装置。

（2）建立高精度非接触式物位仪表试验装置：

测量范围0～10m，精度0.01%。

（3）建立仪表控制系统用嵌入式软件及信息安全评测服务平台。

实施目标：

具备高端仪表与控制系统专业检测能力，可开展控制阀、物位仪表在常温、低温、高压环境下的基本性能测试，建立高端仪表与控制系统功能安全认证能力。

制定工业嵌入式软件的测试规范，对工业重点行业应用的高端仪表与控制系统的嵌入式软件进行安全生命周期全过程测试测评，具备工业控制系统信息安全测评能力。

17.文物保护装备产业化和应用公共服务平台

关键指标：

提出博物馆文物预防保护装备标准体系框架，研制馆藏文物预防性保护准则等30项关键技术标准。

建设文物预防保护装备试验检测技术服务平台，完成研制文物保护装备可靠性试验系统等5台（套）专用试验装置研制，开展文物多用参数传感器、文物智能展柜等20种典型产品的试验验证，并完成100个文物保护装备示范产品的认证。

建成产需对接信息平台，有效信息数据累计达到25万条，容量20GB，注册会员数超过4000家。

实施目标：

完成博物馆文物预防保护装备标准体系及关键技术标准研制，基本建成文物预防保护装备产品质量控制检验体系和检测联合实验室、文物保护装备产业化及应用信息平台。

满足馆藏文物保存环境监测评估系统、馆藏文物保存环境调控系统、博物馆文物展陈防震装置、多功能文物保护移动实验平台等文物保护装备产业及应用示范项目实施的需要，为文物保护装备产业健康持续发展提供支撑。

18.高温袋式除尘技术开发与应用技术基础公共服务平台

关键指标：

（1）滤袋检测：

具备滤袋力学性能、化学性能、过滤性能及组成定量分析等全面检测条件。

（2）工况模拟：

具备不同化学环境的滤袋服役性能和可靠性评估能力，评估周期＜30天。

（3）新型滤料技术开发：

建成新型滤料技术开发示范线。

（4）废旧滤袋回收再利用：

千吨级废旧滤袋回收利用示范线。

（5）技术咨询及现场服务：

具备烟气成份、烟气酸露点、荧光粉检漏等现场检测与诊断服务能力。

实施目标：

建立袋式除尘使用及维护技术规范，将现有滤袋平均使用寿命在工况模拟条件下提高30%以上，推动袋式除尘技术在高温除尘领域的广泛应用；开发具有复合功能和更高阻隔过滤性能的新型滤袋材料，形成袋式除尘技术开发和应用综合服务能力，为进一步提高除尘减排水平提供技术支撑。

19.齿轮强度与可靠性试验检测技术基础公共服务平台

关键指标：

完成齿轮材料及性能测试、齿轮稳健性检测、齿轮副耐久性评价、齿轮传动系统的性能测试与评价等可靠性试验方法、规范及标准的制定，形成完整的齿轮可靠性试验检测标准体系。

实施目标：

掌握齿轮及其传动装置可靠性试验评价技术，建立齿轮材料标准金相组织图谱、齿轮极限应力等基础数据库。

完善的齿轮可靠性试验检测服务体系，建成达到国际先进水平的齿轮强度与可靠性试验检测服务平台，具备对齿轮材料性能、几何精度与稳健性、啮合质量与耐久性以及齿轮传动装置综合性能与可靠性等进行试验评价的能力，解决齿轮行业公共研究和试验检测服务缺失问题。

二、节能环保汽车基础能力提升

（一）关键基础材料

20.汽车用高端模具钢

关键指标：

磷含量≤0.010%，硫含量≤0.003%，A、C类夹杂物≤0.5级，B、D类夹杂物细系≤1.5级，粗系≤1.0级；

钢材无缺口横向冲击功≥270J，横向和纵向比≥9；组织均匀性按北美压铸协会标准，球化组织实现AS1-AS4，带状组织级别达到SB级。

实施目标：

重点支持国内模具钢生产技术优势企业，形成模具钢专业化产业化能力，提高热作模具钢产品质量和稳定性，满足我国汽车、轻工、家电、铝型材加工等行业发展需要。

21.柴油车尾气处理用纳米介孔ZSM-5分子筛

关键指标：

结晶度≥98%，产率＞70%，比表面积≥500m2/g，粒径100nm以内，硅铝比10～300可调；高温处理后，颗粒均匀，仍然保持纳米尺寸，无团聚现象；具有介孔结构。

实施目标：

满足柴油车SCR尾气处理系统要求、质量达到国际先进水平，提高产品自主知识产权水平和自主保障能力，促进车辆尾气减排治理，推进大气污染防治行动。

（二）核心基础零部件

22.涡轮增压缸内直喷汽油机管理系统及喷油器总成

关键指标：

（1）涡轮增压缸内直喷汽油机管理系统：

具备直喷燃油喷射系统的实时控制、诊断保护和后处理系统的控制、再生功能；ECU技术指标：

采用32位单片机，工作温度范围-40～125℃；空燃比控制：

分层稀薄燃烧（23.5～40.0），均质稀薄燃烧（15.0～23）；最大涡轮增压压力：

200kPa。

（2）喷油器总成：

燃油喷射压力≥200bar，电磁阀开关时间≤300μs，动态流量在1.5ms时流量误差≤3%，喷油器总成无渗漏，平均无故障间隔时间（MTBF）≥4500小时。

实施目标：

掌握具有自主知识产权的涡轮增压缸内直喷汽油机管理系统及喷油器总成技术，实现燃油消耗比同排量汽油机（气道喷射、自然吸气）降低15%，满足国五及以上排放标准，实现小批量生产及装车。

23.汽油发动机涡轮增压器涡轮、涡轮壳

关键指标：

（1）涡轮：

最高耐温≥1050℃，材料利用率（铸造）≥50%，平均无故障间隔时间（MTBF）≥4000小时。

（2）涡轮壳：

最高耐温≥1050℃，常温抗拉强度≥420MPa，980℃抗拉强度≥56MPa，延伸率≥15%，耐腐蚀性能显著提高。

实施目标：

掌握汽油机涡轮增压器涡轮、涡轮壳设计、加工技术和工艺，满足涡轮增压发动机耐高温要求，保证产品一致性和合格率，形成产业化能力。

24.内燃机排气颗粒物捕集器（DPF/GPF）载体

关键指标：

PM处理效果＞95%，PN处理效果＞90%，最大压差＜8.5kPa，热冲击试验耐受次数＞1000，使用温度高于1100℃，载体强度＞20MPa。

实施目标：

掌握颗粒物捕集器载体的设计和制造工艺技术，满足国五排放标准对颗粒物的质量（PM）和数量（PN）净化的要求，形成产业化能力。

25.高性能铅炭启停电池

关键指标：

高倍率部分荷电态下循环寿命达到18万次（国际主流8万次左右，国际实验室成果已达16万次），65℃下17.5%放电深度的循环达到1600次，12V70Ah电池冷启动电流760A。

实施目标：

掌握启停电池用负极活性炭材料、电池配方、电池管理系统等关键技术，产品性能达到国际领先水平，达到工程化水平，形成产业化能力，产品应用于2～3款节能汽车，节能率达到5%～15%。

26.混合动力汽车镍氢电池

关键指标：

循环寿命≥3000次，功率密度≥1200W/kg；极板材料镍含量≥99.98%，延伸率≥25%，折弯性≥10次，铜含量≤20ppm。

实施目标：

有效提升车用镍氢动力电池极板和材料的品质及性能，降低成本，产品技术达国际先进水平，形成批量配套能力。

27.高强钢、铝合金、复合材料等汽车轻量化关键零部件

关键指标：

（1）冷成型高强钢零件抗拉强度≥980MPa，热成型高强钢零件抗拉强度≥1500MPa，减重15%以上。

（2）形变铝合金结构安全件和覆盖件抗拉强度、屈服强度、延伸率满足整车碰撞安全及产品技术要求，减重30%以上。

（3）复合材料零部件刚度、塑性变形、强度、抗冲击性能等满足标准法规和整车应用要求，减重25%以上。

（4）高强度铝合金螺栓：

静态强度性能要求：

屈服强度＞350MPa，抗拉强度＞400MPa，延伸率＞7%；疲劳强度性能：

>1000万次；平均晶粒度：

轴向方向最大不超过150μm，径向方向最大不超过90μm。

实施目标：

掌握轻质材料轻量化关键零部件产品的设计和制造技术，整车轻量化接近国外同类产品水平，形成工程化能力，实现整车应用。

（三）产业技术基础

28.汽车开发集成数据库技术基础公共服务平台

关键指标：

数据库具有较为完整的汽车测试评价体系；能够面向传统汽车和新能源汽车提供整套基于知识工程的测试评价、专家系统和工程数据服务的综合解决方案；涉及整车共性技术开发和测试评价数据车型≥100款，覆盖乘用车各类细分车型。

实施目标：

形成较强的汽车开发能力、测试评价流程和标准体系，接轨国际领先水平。

形成支撑整车和零部件开发的在线数据库，积累完善的几何、材料、性能、工艺、质量控制、测试评价等基础数据。

三、轨道交通装备基础能力提升

（一）核心基础零部件

29.轴箱轴承（招标）

关键指标：

精度达到P5级，极限转速3000r/min，径向载

荷86kN，温升<50℃。

实施目标：

掌握轴承拟动力学设计和分析技术、高可靠性高安全性轴承的制造和试验技术等关键技术。

实现CRH1型、CRH2型、CRH3型、CRH5型高速动车组轴箱轴承的工程化，具备产业化能力。

满足高速动车组速度350km/h，使用寿命200万km，100万km可靠度99%的使用要求。

30.制动系统

关键指标：

（1）大功率交流传动电力机车制动系统：

紧急制动列车管从定压降至0的时间＜3s；基础制动能满足机车在35‰的坡度上安全停放；在列车管定压500kPa或600kPa时均能正常工作；基础制动静态传动效率≥85%。

（2）动车组制动系统：

常用制动响应时间≤3s，紧急制动响应时间≤2.3s；制动初速度为350km/h时在平直线路上的紧急制动距离≤6500m；在定员载荷下，能满足在20‰的坡度上安全停放，并具有不小于1.2倍的冗余。

实施目标：

掌握具有自主知识产权的制动系统设计和制造技术，技术达国际领先水平，具备产业化能力，实现装车应用。

31.动车组齿轮传动系统

关键指标：

传动比：

2.4～2.6，传递启动扭矩1800～3000Nm，噪声＜95dB，轴承寿命≥240万km，牵引齿轮寿命≥900万km。

实施目标：

掌握具有自主知识产权的高速动车组齿轮单元全套设计制造技术，产品设计水平、使用寿命和可靠性达到国际先进水平，满足时速≥250km/h的列车运行要求，形成产业化能力。

32.城市轨道交通用大规模网络化高可靠智能PLC控制系统

关键指标：

支持多重化冗余控制器，热备运行方式，无扰切换；最小控制运算周期1ms；支持千兆工业实时网络，最小

网络循环周期125μs；最小控制指令周期25ns。

实施目标：

掌握大规模PLC关键技术，开发拥有核心技术，达到国际主流同类产品技术水平的大规模PLC控制系统产品，并通过第三方检测，并在轨道交通领域实现工程示范应用。

四、高端电子基础产业能力提升

（一）关键基础材料

33.元器件用电子浆料

关键指标：

（1）片式元器件用导电银浆：

方阻≤10mΩ/□，烧结膜厚7～9μm，初始附着力≥35N；抗焊料侵蚀：

260℃，30s，侵3次，阻值≤20Ω；耐酸性：

5%的硫酸中浸泡30分钟，用胶带拉不脱落。

（2）钌系电阻浆料：

方阻10Ω～1MΩ/□，温度系数±100ppm/℃，短时间过负荷阻值变化率±1%，静电放电阻值变化率±1%。

（3）光伏用正面银浆：

方块电阻≤10mΩ/□，附着力≥3N；背面银浆：

方块电阻≤20mΩ/□，附着力≥5N。

（4）铝浆：

方块电阻≤10mΩ/□，翘曲度≤1.3mm（单晶）和1.8mm（多晶）。

耐湿热、使用寿命达到国际领先水平。

实施目标：

掌握高端电子浆料及电子浆料生产用主要原材料（如银粉、钌粉、玻璃粉等）的核心配方技术及工艺制备流程；提高产品及主要原材料生产过程中的批次稳定性，实现产业化能力，产品质量达到国际先进水平，满足国内电子元器件及太阳能光伏等行业电子浆料产品配套需求。

34.静电图像显影剂用磁性载体

关键指标：

（1）比饱和磁化强度40～70emu/g。

（2）体积电阻率1×1012～1×1017Ω•cm。

（3）粒度（D50）30～50μm。

（4）流动性15～60s。

实施目标：

开发有我国自主知识产权的系列磁性载体产品制备技术，实现工程化、产业化，并形成相应的技术标准和产品标准体系，产品质量达到国际先进水平。

（二）核心基础零部件（元器件）

35.单芯片MEMS声传感器

关键指标：

封装尺寸2.5×1.75×0.9mm，信噪比>67dB（f=1kHz，94dBSPL，A-weighted），灵敏度-38dB±1dB（f=1kHz，94dBSPL），电源电压抑制比＞60dB（f=217Hz）。

实施目标：

突破MEMS传声器芯片设计及批量化封装技术，实现单芯片系统集成MEMS传声器产品产业化，满足智能移动终端、穿戴式设备等新型产品对传声器超小型、高性能的需求。

36.碲镉汞红外探测材料与器件

关键指标：

（1）碲锌镉晶锭直径大于75mm，碲镉汞外延

薄膜材料位错密度小于1×105。

（2）探测器件光谱响应范围（3.5～4.9）±0.2μm，对于320×256（像元中心距30μm）、光学数为2时，噪声等效温差NEDT小于14mK。

实现目标：

掌握大直径的碲锌镉单晶生长、低位错密度的碲镉汞薄膜材料外延生长、像素中心距为30μm和15μm的列阵制备等关