JSM6700F扫描式电子显微镜使用指导书docWord文档格式.docx

1、6 操作程序 7 注意事項 81目的本文旨於介紹JSM-6700F掃描式電子顯微鏡Z工作原理及操作方法等基本資料，以維顯微鏡之工作品質及人員與設備之安全。2範圍HR-FESEM室JSM-6700F掃描式電子顯微鏡之操作。3權責3.1本工作指導書由技術人員會同儀器負責教授訂定。修訂方式亦同。3.2本工作指導書供相關操作人員參考。4參考資料捷東JSM-6700F掃描式電子顯微鏡操作說明書。5.儀器介紹5.1External view of JSM-6700F5.2General view of column6 操作程序6.1 開啟 SEM OPE switch6.2打開SEM電腦主機&螢幕

2、6.3點選操作軟體視窗-JEOL PC-SEM 6700（桌面）6.4確認SEM操作前步驟0K,檢視以下數值： a氮氣鋼瓶內壓1小格以上，操作壓力上5Kgb確認EDS及BEI detector已伸出chamber夕卜d確認STAGE WD在8mm及螢幕上WD在8mme確認 STAGE 歸至原位 X=35.00 Y二25.00、R=0.00（Soft:stage/exchange一選擇 holder -exchange）f確認放大倍率縮至最小（250倍）g確認加速電壓是否在10KVh確認ROTATION與BEAM SHIFT是否已歸位 i確認Probe Current是否在7j確認EXCHANG

3、E CHAMBER抽真空k確認I.close （橘色燈亮）6.5將樣品置入試片載台a.試片大小需符合JEOL specimen holders,將試片處理完後放置於樣品 holder ,試片高度不可超過樣品holder 方0.5公分，並確認試片己固定好。b.洩真空，按 SPECIMEN EXCHANGE CHAMBER（約一秒鐘聽到“喀”一聲）前室真空腔的扣型開關打開。c依holder 標示箭號將試片座放置於試片彈簧夾中固定，並用手將 試片座前端輕輕下壓，同時檢查艙門之Oring及電線，再關閉前室真空腔 門。d抽真空,按CHAMBER （約一秒鐘，爍）（此時前室真空腔和真空腔之間的閥門會打開）

4、，將試片傳送桿拉下至水平，緩緩將試片座推入真空腔（）。e.將試片傳送桿緩緩拉出到底卡住簧片後，再將其往上推使之歸位。6.6設定加速電壓及WD （依試片及實驗需求而定）。6.7檢視真空腔中的壓力（）,等候PVG值達到9.63X10-5 Pao6.8由藍色轉變成綠色），待電流值達到設定值（一般設定值為10uA）o6.9（）Gun和真空腔中的閥門即會打開。6.10調整影像a.25倍利用移b.用搖桿控制x、y位置或使用滑鼠右鍵點選位置到螢幕中心。c.調整聚焦及像差至影像清楚（先切換到較高倍率，反覆調整焦距及像 差x、y,直至影像清晰後再切回所需之倍率，可使用自動調整亮度及形的情況發生，應先調整FOCU

5、S再調幣像差x、y直到影像完全清楚）。6.11傾斜觀察：根據試片使用的holder size及STAGE上的WD查詢對照表調整tilt角 度，不可超過上限規定。6.12 BEI 觀察：a.確認tilt=O WD不得低於8mm。b.c.視窗右上方），約37秒BEI detector會自動進入chamber,此時1d.影像調整至清楚狀態（在SEI或LEI模式下），再點選Image Selectore調整亮度及對比,若訊號太弱，則增加Probe Current（ I般設定值為10）o6.13儲存影像a有二段包括快掃及慢掃，可依需求自行選擇），若經FINE VIEW使影像凍結。b此模式可將SEM之操作

6、參數一併存入）儲存影像，檔案可存成bmp.tif、jpgo6.14實驗結束步驟 a.（此時燈會亮起；Gun和真空腔中的閥門關閉）。b由綠色轉變成藍色）。d.復原相關設定（ex. Freeze Fine view放大倍率、Probe Current等）e確認tilt=O、STAGE上WD=8mm及螢幕WD設定8mm0f.確認 STAGE 歸位 X二35.00、Y二25.00、R =0.00 （Soft:stage/exchange選擇 holder -exchange） g-h以試片傳送桿緩緩抽出試片座（） i（約一秒鐘聽到“喀” 一聲）等到該燈不再閃爍後，將前室真空腔的扣型開關打開。j取出試片

7、座，並檢查艙門之Oring及電線。k.（閃爍），使 Specimen-exchange chamber 維持真空。1填寫儀器使用記錄表及儀器使用檢查表。7.注意事項7.1準備黏貼試片時請戴手套，並請丨次戴好，以免手上的汗水和油脂污染了手套，間接污染了試片座。（請儘量保持手套的乾淨、勤更換之）7.2試片的前處哩，包含使用Pt coater或將試片黏貼於銅基座及固定 等步驟，請各持有License的操作者自己親自動手，勿假手於他人，並多 留意試片的清潔度。7.3 holder及90銅座請勿直接放入coater中鍍Pt。如試片欲直接固定 於 holder。上或欲作90觀察時，鍍Pt請將試片以銅膠帶貼

8、於載玻片上，再放 入 coater中濺鍍，完成後在將英固定或貼於銅座上。7.4若試片不導電，需作鍍Pt處理時，請注意導電通路的製作。7.5試片就定位後，以空氣噴球或鎳子輕推試片確定其是否貼牢。O7.6試片黏在試片載台上時最好對齊，試片座上的四顆固定試片載台 的小螺絲不可旋太出來（約伸出0.5mm即可），以免螺絲遺失，放入試片座 進入試片室前，請在外面先確認各個試片的相對位置，以免放入chamber 後，找不到試片。7.7試片容易有Outgasing的現象或基板是多孔性的物質，請將試片預 先以hotplate於適當溫度預烤20分鐘以上，再置於coater中抽真空。7.8PVG的真空度未達9.63x10-5 Pa7.9的情形之下）如要短暫的離開，請務必將倍率放到最7.10觀測完畢，請留意試片數量是否與loading前相同，如試片不滲 遺留在chamber中，請通知技術員處理。7.11觀測完畢，請將試片取回自己保存，銅或碳膠帶請撕下，並以酒 精小心仔細地將銅座擦拭清潔乾淨。7.12所有工具使用完畢請放回原位、並請保持桌面及地板的清潔乾淨。