JSM6700F扫描式电子显微镜使用指导书docWord文档格式.docx
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6•操作程
序
7•注意事
項
8
■
1•目的
本文旨於介紹JSM-6700F掃描式電子顯微鏡Z工作原理及操作方法等
基本資料，以維顯微鏡之工作品質及人員與設備之安全。
2•範圍
HR-FESEM室JSM-6700F掃描式電子顯微鏡之操作。
3•權責
3.1本工作指導書由技術人員會同儀器負責教授訂定。
修訂方式亦同。
3.2本工作指導書供相關操作人員參考。
4•參考資料
捷東JSM-6700F掃描式電子顯微鏡操作說明書。
5.儀器介紹
5.1ExternalviewofJSM-6700F
5.2Generalviewofcolumn
6•操作程序
6.1開啟SEMOPEswitch
6.2打開SEM電腦主機&
amp;
螢幕
6.3點選操作軟體視窗-JEOLPC-SEM6700（桌面）
6.4確認SEM操作前步驟0K,檢視以下數值：
a・氮氣鋼瓶內壓1小格以上，操作壓力上5Kg
b・確認EDS及BEIdetector已伸出chamber夕卜
d・確認STAGE±
WD在8mm及螢幕上WD在8mm
e・確認STAGE歸至原位X=35.00>
Y二25.00、R=0.00
（Soft:
stage/exchange一選擇holder・-exchange）
f・確認放大倍率縮至最小（250倍）
g・確認加速電壓是否在10KV
h・確認ROTATION與BEAMSHIFT是否已歸位i・確認ProbeCurrent是否在7
j・確認EXCHANGECHAMBER抽真空
k・確認
I.
close（橘色燈亮）
6.5將樣品置入試片載台
a.試片大小需符合JEOLspecimenholders,將試片處理完後放置於樣品holder±
試片高度不可超過樣品holder±
方0.5公分，並確認試片己固
定好。
b.洩真空，按SPECIMENEXCHANGECHAMBER
（約一秒鐘聽到“喀”
一聲）
前室真空腔的扣型開關打開。
c・依holder±
標示箭號將試片座放置於試片彈簧夾中固定，並用手將試片座前端輕輕下壓，同時檢查艙門之O・ring及電線，再關閉前室真空腔門。
d・抽真空,按CHAMBER（
約一秒鐘，爍）
（
此
時前室真空腔和真空腔之間的
閥門會打開），將試片傳送桿拉
下至水平，緩緩將試片座推入真空腔（
）。
e.將試片傳送桿緩緩拉出到底卡住簧片後，再將其往上推使之歸位。
6.6設定加速電壓及WD（依試片及實驗需求而定）。
6.7檢視真空腔中的壓力（）,等候PVG值達到9.63X10-5Pao
6.8
由藍色轉變成綠色），待電流值達到設定值（一般設定值為10uA）o
6.9（
）
Gun和真空腔中的閥門即會打開。
6.10調整影像
a.25
倍利用移
b.用搖桿控制x
、y位置或使用滑鼠右鍵點選位置到螢幕中心。
c.調整聚焦及像差至影像清楚（先切換到較高倍率，反覆調整焦距及像差x、y,直至影像清晰後再切回所需之倍率，可使用自動調整亮度及
形的情況發生，應先調整FOCUS再調幣像差x、y直到影像完全清楚）。
6.11傾斜觀察：
根據試片使用的holdersize及STAGE上的WD查詢對照表調整tilt角度，不可超過上限規定。
6.12BEI觀察：
a.確認tilt=O>
WD不得低於8mm。
b.
c.
視窗右上方），約3~7秒BEIdetector會自動進入chamber
此時1
d.
影像調整至清楚狀態（在SEI或LEI模式下），再點選ImageSelector
e・調整亮度及對比
若訊號太弱，則增加ProbeCurrent（I般設定值為10）o
6.13儲存影像
a・有二段包括快掃及慢掃，可依需求自行選擇），若經
FINEVIEW使影像凍結。
b・此模式可將SEM之操作參數一併存入）儲存影像，檔案可存成bmp.
tif、jpgo
6.14實驗結束步驟a.（此時燈會亮起；
Gun和真空腔中的閥門關閉）。
b・由綠色轉變成藍
色）。
d.復原相關設定（ex.Freeze>
Fineview>
放大倍率、ProbeCurrent…等）
e・確認tilt=O、STAGE上WD=8mm及螢幕WD設定8mm0
f.確認STAGE歸位X二35.00、Y二25.00、R=0.00（Soft:
stage/exchange—選擇holder・-exchange）g-
h・以試片傳送桿緩緩抽出試片座（（）i・（約一秒鐘聽到“喀”一聲）
等到該燈不再閃爍後，將前室真空腔的扣型開關打開。
j・取出試片座，並檢查艙門之O・ring及電線。
k.（閃爍），使Specimen-exchangechamber維持真空。
1・填寫儀器使用記錄表及儀器使用檢查表。
7.注意事項
7.1準備黏貼試片時請戴手套，並請丨次戴好，以免手上的汗水和油
脂污染
了手套，間接污染了試片座。
（請儘量保持手套的乾淨、勤更換之）
7.2試片的前處哩，包含使用Ptcoater或將試片黏貼於銅基座及固定等步
驟，請各持有License的操作者自己親自動手，勿假手於他人，並多留意試片的清潔度。
7.3holder及90銅座請勿直接放入coater中鍍Pt。
如試片欲直接固定於holder
。
上或欲作90觀察時，鍍Pt請將試片以銅膠帶貼於載玻片上，再放入coater
中濺鍍，完成後在將英固定或貼於銅座上。
7.4若試片不導電，需作鍍Pt處理時，請注意導電通路的製作。
7.5試片就定位後，以空氣噴球或鎳子輕推試片確定其是否貼牢。
O
7.6試片黏在試片載台上時最好對齊，試片座上的四顆固定試片載台的小螺
絲不可旋太出來（約伸出0.5mm即可），以免螺絲遺失，放入試片座進入試片室前，請在外面先確認各個試片的相對位置，以免放入chamber後，找不到試片。
7.7試片容易有Outgasing的現象或基板是多孔性的物質，請將試片預先以hot
plate於適當溫度預烤20分鐘以上，再置於coater中抽真空。
7.8PVG的真空度未達9.63x10-5Pa
7.9
的情形之下）如要短暫的離開，請務必將倍率放到最
7.10觀測完畢，請留意試片數量是否與loading前相同，如試片不滲遺留在
chamber中，請通知技術員處理。
7.11觀測完畢，請將試片取回自己保存，銅或碳膠帶請撕下，並以酒精小
心仔細地將銅座擦拭清潔乾淨。
7.12所有工具使用完畢請放回原位、並請保持桌面及地板的清潔乾淨。
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