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x射线知识
第一章X射线基础（续）
1.5物质对X射线的吸收，实验波长及滤波片的选择
X射线穿过物质之后，强度会衰减。
前面已经指出，这是因为X射线同物质相互作用时经历各种复杂的物理、化学过程，从而引起各种效应转化了入射线的部分能量。
如下图所示：
图1.7X射线的衰减
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1.5.1线吸收系数
实验证明，X射线穿透物质后的强度衰减与射线在物质中经过的距离成正比。
假设入射线的强度为I0，进入一块密度均匀的吸收体，在x处时其强度为Ix，当通过厚度dx时强度的衰减为dI，定义μ为X射线通过单位厚度时被吸收的比率，则有：
-dI=μIxdx
（1.8）
考虑边界条件并进行积分，则得：
Ix=I0e-μx
（1.9）
式中μ称为线衰减系数，x为试样厚度。
我们知道，衰减至少应被视为物质对入射线的散射和吸收的结果，系数μ应该是这两部分作用之和。
但由于因散射而引起的衰减远小于因吸收而引起的衰减，故通常直接称μ为线吸收系数，而忽略散射的部分。
1.5.2质量吸收系数
式（1.9）常常写成如下形式：
Ix = I0e–（μ/ρ）ρx
（1.10）
式中ρ为吸收体的密度，（μ/ρ）称为质量吸收系数，它是物质固有的特性，对于一定波长的入射X射线，每种物质都具有一定的值。
质量吸收系数常用μ*或μm来表示。
X射线被物质吸收的性质与物质的化学组成有关。
在理想情况下，作为一级近似，元素的质量吸收系数可以认为与元素的物理化学状态无关，由两种元素以上组成的化合物、混合物、溶液等物质的质量吸收系数μm可以由各组成元素的μ/ρ进行线性加和得到。
假定物质的各组成元素的μ/ρ分别为（μ1/ρ1）、（μ2/ρ2）、（μ3/ρ3）…其质量百分数分别为x1、x2、x3…则物质的μm可按下式计算：
μm=x1（μ1/ρ1）＋x2（μ2/ρ2）＋x3（μ3/ρ3）＋… （1.11）
1.5.3吸收系数与波长及元素的关系
元素的吸收系数是入射线的波长和吸收元素原子序数的函数。
如图1.8a所示，对于一种元素其质量吸收系数μm随着波长的变化有若干突变，发生突变的波长称为吸收限（或称吸收边）。
在各个吸收限之间质量吸收系数随波长增加而增大。
所以短波长的X射线（所谓硬X射线）穿透能力大，而长波长的X射线（所谓软X射线）则容易被物质吸收。
对于X射线的实验技术来说，最有用的是第一吸收限，即K吸收限。
质量吸收系数随着波长的变化有突变的原因，也就是元素特征光谱产生的原因。
当入射X射线的能量足够把内层电子轰出时（即光电效应），能量便被吸收，并会部分转化为元素二次辐射的能量。
各个吸收限之间的区域内质量吸收系数符合下面的近似关系：
μ/ρ=Kλ3Z3
（1.12）
式中K为常数。
对于给定的波长λ，μm随Z的增大也有类似的规律，如图1.8b所示。
图1.8物质的质量吸收系数（μ*）
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1.5.4实验波长的选择
在X射线衍射实验中：
如果所用X射线波长较短，正好小于样品组成元素的吸收限，则X射线将大量地被吸收，产生荧光现象，造成衍射图上不希望有的深背景；如果所用X射线波长正好等于或稍大于吸收限，则吸收最小。
因此进行衍射实验时应该依据样品的组成来合理地选择工作靶的种类：
应保证样品中最轻元素（钙和原子序数比钙小的元素除外）的原子序数比靶材元素的原子序数稍大或相等。
如果靶材元素的原子序数比样品中的元素原子序数大2～4，则X射线将被大量吸收因而产生严重的荧光现象，不利于衍射分析。
1.5.5滤波片
使X射线管产生的X射线单色化，常采用滤波片法。
利用滤波片的吸收限进行滤波，除去不需要的Kβ线，使用滤波片是最简单的单色化方法，但只能获得近似单色的X射线。
原子序数低于靶元素原子序数1或2的元素，其K吸收限波长正好在靶元素的Kα和Kβ波长之间，因此对于每种元素作为靶的X射线管，理论上都能找到一种物质制成它的Kβ滤波片。
使用Kβ滤波片还可以吸收掉大部分的“白色”射线（图1.8）。
滤波片的厚度通常按Kβ的剩余强度为透过滤波片前的0.01计算，此时Kα通常被衰减掉一半。
图1.9Cu的X射线光谱在通过Ni滤片之前（a）
和通过滤片之后（b）的比较（虚线为Ni的质量吸收系数曲线）
1.6晶体对X射线的衍射
X射线照射到晶体上发生散射，其中衍射现象是X射线被晶体散射的一种特殊表现。
晶体的基本特征是其微观结构（原子、分子或离子的排列）具有周期性，当X射线被散射时，散射波中与入射波波长相同的相干散射波，会互相干涉，在一些特定的方向上互相加强，产生衍射线。
晶体可能产生衍射的方向决定于晶体微观结构的类型（晶胞类型）及其基本尺寸（晶面间距，晶胞参数等）；而衍射强度决定于晶体中各组成原子的元素种类及其分布排列的坐标。
晶体衍射方法是目前研究晶体结构最有力的方法
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1.6.1衍射几何方程
联系X射线衍射方向与晶体结构之间关系的方程有两个：
劳埃（Laue）方程和布拉格（Bragg）方程。
前者基于直线点阵，而后者基于平面点阵，这两个方程实际上是等效的。
.1劳埃（Laue）方程
首先考虑一行周期为a0的原子列对入射X射线的衍射。
如图1.10所示（忽略原子的大小），当入射角为α0时，在αh角处观测散射线的叠加强度。
相距为a0的两个原子散射的X射线光程差为a0（cosαh-cosα0），当光程差为零或等于波长的整数倍时，散射波的波峰和波谷分别互相叠加而强度达到极大值。
光程差为零时，干涉最强，此时入射角a0等于出射角，衍射称为零级衍射。
图1.10一行原子列对X射线的衍射
晶体结构是一种三维的周期结构，设有三行不共面的原子列，其周期大小分别为a0、b0、c0，入射X射线同它们的交角分别为α0、β0、γ0，当衍射角分别为αh、βk、γl，则必定满足下列的条件：
a0（cosαh-cosα0）＝hλ
b0（cosβk-cosβ0）＝kλ（1.13）
c0（cosγl-cosγ0）＝lλ
式中h，k，l为整数（可为零和正或负的数），称为衍射指标,λ为入射线的波长。
式（1.13）是晶体产生X射线衍射的条件，称劳埃方程。
衍射指标hkl的整数性决定了晶体衍射方向的分立性，每一套衍射指标规定了一个衍射方向。
.2布拉格方程
晶体的空间点阵可划分为一族平行且等间距的平面点阵（hkl），或者称晶面。
同一晶体不同指标的晶面在空间的取向不同，晶面间距d（hkl）也不同。
设有一组晶面，间距为d（hkl），一束平行X射线射到该晶面族上，入射角为θ。
对于每一个晶面散射波的最大干涉强度的条件应该是：
入射角和散射角的大小相等，且入射线、散射线和平面法线三者在同一平面内（类似镜面对可见光的反射条件），如图1.11a所示，因为在此条件下光程都是一样的，图中入射线s0在P，Q，R处的相位相同，而散射线s在P’，Q’，R’处仍是同相，这是产生衍射的必要条件。
图1.11布拉格方程的推引
现在考虑相邻晶面产生衍射的条件。
如图1.11b所示的晶面1，2，3，……间距为d（hkl），相邻两个晶面上的入射线和散射线的光程差为：
MB＋BN，而MB＝BN＝d（hkl）sinθn,即光程差为2d（hkl）sinθn，当光程差为波长λ的整数倍时，相干散射波就能互相加强从而产生衍射。
由此得晶面族产生衍射的条件为：
2d（hkl）sinθn＝nλ （1.14）
式中n为1，2，3，……等整数，θn为相应某一n值的衍射角，n则称衍射级数。
式（1.14）称为布拉格方程，是晶体学中最基本的方程之一。
根据布拉格方程，我们可以把晶体对X射线的衍射看作为“反射”，并乐于借用普通光学中“反射”这个术语，因为晶面产生衍射时，入射线、衍射线和晶面法线的关系符合镜面对可见光的反射定律。
但是，这种“反射”并不是任意入射角都能产生的，只有符合布拉格方程的条件才能发生，故又常称为“选择反射”。
据此，每当我们观测到一束衍射线，就能立即想象出产生这个衍射的晶面族的取向，并且由衍射角θn便可依据布拉格方程计算出这组平行晶面的间距（当实验波长也是已知时）。
由布拉格方程，我们可以知道如果要进行晶体衍射实验，其必要条件是：
所用X射线的波长λ<2d。
但是λ不能太小，否则衍射角也会很小，衍射线将集中在出射光路附近的很小的角度范围内，观测就无法进行。
晶面间距一般在10埃以内，此外考虑到在空气中波长大于2埃的X射线衰减很严重，所以在晶体衍射工作中常用的X射线波长范围是0.5至2埃。
对于一组晶面hkl，它可能产生的衍射数目n决定于晶面间距d，因为必须满足nλ<2d。
如果我们把第n级衍射视为和晶面族hkl平行但间距为d／n的晶面的第一级衍射（依照晶面指数的定义，这些假想晶面的指数为nh，nk，nl，在n个这样的假想晶面中只有一个是实际晶体结构的一个点阵平面），于是布拉格方程可以简化表达为：
2dsinθ=λ （d=d／n）（1.15）
因为在一般情况下，一个三维晶体对一束平行而单色的入射X射线是不会使之发生衍射的，如果要产生衍射，则至少要求有一组晶面的取向恰好能满足布拉格方程，所以对于单晶的衍射实验，一般采用以下两种方法：
1.用一束平行的“白色”X射线照射一颗静止的单晶，这样，对于任何一组晶面总有一个可能的波长能够满足布拉格方程；2.用一束平行的单色X射线照射一颗不断旋转的晶体，在晶体旋转的过程中各个取向的晶面都有机会通过满足布拉格方程的位置，此时晶面与入射X射线所成的角度就是衍射角。
对于无织构的多晶样品（如微晶的聚晶体，很细的粉末等），当使用单色的X射线作入射光时，总是能够产生衍射的。
因为在样品中，晶粒的取向是机遇的，所以任意一种取向的晶面总是有可能在某几颗取向恰当的晶粒中处于能产生衍射的位置，这就是目前大多数多晶衍射实验所采用的方法，称为“角度色散”型方法。
对于多晶样品采用“白色”X射线照射，在固定的角度位置上观测，则只有某些波长的X射线能产生衍射极大，依据此时的角度大小和产生衍射的X射线波长就能计算得出相应的晶面间距大小，这就是所谓“能量色散”型的多晶X射线衍射方法。
1.6.2多晶X射线的衍射强度
劳埃（Laue）方程和布拉格（Bragg）方程只是确定了衍射方向与晶体结构基本周期的关系，通过对衍射方向的测量，理论上我们可以确定晶体结构的对称类型和晶胞参数。
而X射线对于晶体的衍射强度则决定于晶体中原子的元素种类及其排列分布的位置，此外，还与诸多其它的因素有关。
所谓衍射强度是指“积分强度”，积分强度是一个能量的概念，一个在理论上能够计算并且实验上也能测量的量。
在晶体衍射的记录图中（照片、照片的光度计扫描图或衍射仪记录图等），照片的黑度或衍射仪记录图的强度曲线下面的面积，应该与检测点处的衍射线功率成正比，比例系数是仪器条件的函数。
在理论上以检测点处通过单位截面积上衍射线的功率定义为某衍射线的强度（绝对积分强度）。
纯物质衍射线强度的表达式很复杂，但是可以简明地写成下面的形式：
I=I0·K·|F|2（1.16）
式中：
I0为单位截面积上入射的单色X射线功率；|F|称为结构因子，取决于晶体的结构以及晶体所含原子的性质。
结构因子可由下式求算：
Fhkl=∑fn·exp[2πi（hxn+kyn+lzn）]（1.17）
式中fn是晶体单胞中第n个原子的散射因子，（xn、yn、zn）是第n个原子的坐标，h、k、l是所观测的衍射线的衍射指标，公式求和计算时需包括晶体单胞内所有原子；K是一个综合因子，它与实验时的衍射几何条件，试样的形状、吸收性质，温度以及一些物理常数有关。
对于粉末衍射仪而言（粉末衍射仪使用时将样品压成平板状，入射线和衍射线对样品平面的交角总是相等的），K由下式求算：
（1.18）
① ②③④ ⑤⑥⑦
式中:
因子①与实验条件有关：
A为样品受照射的面积，R为衍射仪圆的扫描半径；
因子②是一些物理常数：
e为电子的电荷，m为电子的质量，C为光速，λ为实验时X射线的波长；
因子③称作多重性因子，在粉末衍射中，晶面间距相等的晶面其衍射角相等，由于对称性的联系，这些晶面可能有j种晶面指标；
因子④中V是单位晶胞的体积；
因子⑤是衍射仪条件下的洛伦茨偏振因子；
因子⑥为温度因子，原子的热振动将使衍射减弱,故衍射强度与温度有关；
因子⑦是衍射仪条件下的吸收因子，它只和样品的吸收性质有关。
1.7X射线的检测
利用X射线和物质相互作用的一些效应，我们可以有很多有效的检测X射线的方法。
常用的检测手段如下：
1.7.1荧光板
荧光板是将ZnS、CdS等荧光材料涂布在纸板上制成，常用来确认光源产生的原射线束的存在。
1.7.2照相方法
照相法是最早使用的检测并记录X射线的方法，直到现在仍是一种常用的基本方法。
X射线与可见光一样，能够使感光乳剂感光。
当感光乳剂受到X射线照射后，AgBr颗粒离解形成显影核，经过显影而游离出来的单质银微粒使感光处变黑。
在一定的曝光条件下，黑度是与曝光量成比例的。
黑度也和波长有关。
测量黑度的简单方法是目估，较为准确的测量方法则需要事先制作好黑度标准，或者用光电黑度计来扫描测量。
1.7.3正比计数管（PC）
正比计数管（PC）和电离室、盖革计数管都是气体器件，但后两者在X射线分析仪器中已经不常使用。
PC一般以一个内径约25mm的金属圆筒作为阴极，圆筒中心有一根拉成直线的钨丝作为阳极，筒内充满0.5至1个大气压的氩气或氙气，并加有10%左右的淬灭气体（一般为CH4、乙醇或Cl2）。
圆筒的侧壁或一端设有入射X射线的“窗”，由于衍射实验使用的X射线的多为软X射线，因此要求窗壁极薄，所用窗口材料通常为云母片或者铍片。
图1.12正比计数管的结构
在使用正比计数管时，两电极间需要加上1000至2000伏的直流高压。
计数管在被X射线照射时，管内气体被电离，初始产生的离子对数目与X射线的量子能量成比例，在极间电压的作用下，离子定向运动并在运动过程中不断碰撞其它的中性气体分子，由此产生二次以至多次的电离并伴随着光电效应，此时电离的数目大量增殖从而形成放电（称为电子雪崩或气体放电），直到所有电荷都聚集到相应的电极上，放电才停止，每次放电的时间历程极短,约0.2～0.5微秒。
因此，每当有一个X射线量子进入计数管时，两极间将有一脉冲电流通过。
正比计数管工作在气体放电的正比区，脉冲电流在负载电阻上产生的平均电压降（即脉冲电压幅度）与入射X射线的量子能量成正比，故称正比计数管。
正比计数管在接收单一波长的射线时，每个X射线量子产生的电脉冲幅度实际上不是严格相同的，而是分布在以平均幅度为中心的比较狭窄的一个范围内的，根据PC的放电特性，平均幅度的大小由入射X射线的量子能量决定，若脉冲分布的宽度越窄，其能量分辨能力就越好。
能量分辨能力可用能量分辨率η来表示，作为计数管的一个重要特性：
能量分辨率η＝分布的半高宽W÷平均脉冲幅度h×100％
图1.13不同能量的X射线的脉冲幅度分布
1.7.4NaI（Tl）闪烁计数管（SC）
X射线衍射分析中使用的闪烁计数管，其闪烁体大多使用掺有Tl的NaI晶体。
下图示出闪烁计数管的基本结构，它由三部分组成：
闪烁体、光电倍增管和前置放大器。
图1.14闪烁计数管的基本结构及工作原理
闪烁体是掺有0.5％左右的Tl作为激活剂的NaI透明单晶体的切片，厚约1～2mm。
晶体被密封在一个特制的盒子里，以防止NaI晶体受潮损坏。
密封盒的一面是薄的铍片（不透光），用来作为接收X射线的窗；另一面是对蓝紫光透明的光学玻璃片。
密封盒的透光面紧贴在端窗式的光电倍增管的光电阴极窗面上，界面上涂有一薄层光学硅脂以增加界面的光导率。
NaI晶体被X射线激发能发出4200埃（蓝紫色）的可见光，每个入射X射线量子将使晶体产生一次闪烁，每次闪烁将激发倍增管光电阴极产生光电子，这些一次光电子被第一级打拿极（D1）收集并激发出更多的二次电子，再被下一级打拿极（D2）收集，又倍增出更多的电子，如此，光电阴极发射的光电子经10级打拿极的倍增作用后，最后收集极能获得约为初始电子数目105倍的电子，从而形成可检测的电脉冲信号。
目前，闪烁计数管仍是各种晶体X射线衍射工作中通用性最好的检测器。
它的主要优点是：
对于晶体X射线衍射工作使用的各种X射线波长，均具有很高的接近100％的量子效率（图1.15）；稳定性好；使用寿命长；此外，它和正比计数管一样具有很短的分辨时间（10-7秒），因而实际上不必考虑检测器本身所带来的计数损失；它对晶体衍射用的软Ｘ射线也有一定的能量分辨力。
因此现在的Ｘ射线衍射仪大多配用SC。
图1.15计数管计数效率的比较
1.7.5固体检测器（SSD）
SSD又称半导体检测器，图1.16示出Si（Li）半导体检测器的基本结构。
图1.16Si（Li）检测器的基本结构
SSD的工作原理如下：
当X射线照射半导体时，由于射线量子的电离作用，能产生一些电子-空穴对，以图1.16的结构为例，在本征区产生的电子-空穴对在电极间的电场作用下，电子集中在n区，空穴则聚集在p区，其结果将有一股小脉冲电流向外电路输出，本征区起着“电离箱”的作用。
SSD被电离产生一对电子-空穴对所需的能量约为3.8eV，而PC约为30eV，SC约为500eV，由此可见SSD与PC和SC三者相比，其能量分辨率最佳。
现在，Si（Li）SSD的能量分辨力可达160eV。
图1.17示出三种检测器能量分辨率的对比图。
此外，SSD的脉冲分辨时间约为10-8秒，可见SSD是性能极其优异的检测器。
图1.17三种X射线检测器能量分辨力的比较
Si（Li）半导体检测器缺点是需要在液氮温度（约－170℃）下才能正常工作，且售价很高。
现在已有可适用于X射线衍射工作的半导体电致冷Si检测器，能量分辨力为300eV，是近年X射线检测实用技术的重要突破。
SSD原是为核谱研究而发展的，有极佳的能量分辨本领，不仅作为射线计数器用来测量射线的强度，同时也能测量射线的能量。
60年代中SSD开始应用到X射线发射光谱分析（X射线荧光分析），特别是用到电子探针中；应用到X射线衍射研究中，出现了能量色散型的X射线衍射仪。
高能量分辨率的SSD用作衍射仪的X射线检测器，可以同时作为一种高效的（近乎100％）“单色化”方法。
滤波片、晶体单色器等物理“单色化”方法不可避免地会造成强度的损失，因而是低效率的；借助SSD的高能量分辨率仅对Kα进行测量，避免了强度的损失，从而能成倍地增加X射线的接收强度。
在衍射仪上使用SSD还能实现X射线衍射和X射线能谱同时分析，这对于物相分析非常有价值。
SSD的这些优越性能在衍射分析中已引起人们的重视，现在，高能量分辨率的SSD已列为X射线衍射仪基本配置的一种选择。
1.7.6位敏正比计数管（多丝正比计数管）
测量正比计数管阳极丝两端产生脉冲的时间差，有可能使正比计数管在丝线方向上具有位置分辨力，这就是一维的位敏正比计数管。
从这基本思想出发，正比计数管的阳极采用并排平行的多根丝，便发展成为二维面积型的位敏正比计数管。
这类器件的位置分辨能力可达0.1mm，可以对整个窗口范围内的每个位置同时进行测量，不用扫描。
所以可以在极短的（微秒级）的时间内同时完成Ｘ射线衍射的强度和方向的测量，高速记录X射线衍射图，动态跟踪X射线衍射图的变化。
1.7.7成像屏（Imagingplate）
成像屏技术是1990年前后开始应用于X射线分析的新技术。
一些荧光材料（掺Eu的BaFBr）有光刺激发光性质：
当受X射线照射时，荧光体中的一些“色”中心受激发跃迁至亚稳态的能级上，从而贮存了一部分被吸收的X射线的能量。
而后，当受到可见光或红外辐射刺激的时候，将产生光刺激发光（PSL），PSL的强度正比于吸收X射线光子的数目。
当把这些荧光粉涂在胶片上制成荧光屏时就可以把X射线产生的图像暂时贮存起来。
这种荧光屏称为成像屏，是一种新型的Ｘ射线面积型积分检测器。
利用聚焦的He-Ne激光束逐点扫描屏的表面，测量每点的PSL的强度，通过检出系统便能读出成像屏贮存的X射线图像。
成像屏比照像底片的性能优越得多：
成像屏的荧光粉对X射线的吸收效率很高（对CuK射线接近100％）；灵敏度高于X射线胶片60倍而背景约为其1/300；成像屏整个面积的响应十分均匀；成像屏的线性动态范围为1:
105，实际上没有计数速率的限制。
如此高的动态范围使得可以在很短的时间内在一块成像屏上记录一张完整的X射线衍射图。
成像屏的出现使X射线分析的各种照相方法焕发新的生机。
1.7.8X射线电视
X射线电视有两种方法：
1.将X射线用荧光板转换成微弱的可见光图像，通过光耦合由图像增强器倍增，然后用电视系统接收并把图像送到计算机处理；2.直接使用X射线摄像管。
X射线电视的优点是能够进行X射线图像的直接连续观察、录像、远距离观察等。
1.8X射线的防护
X射线对人体组织能造成伤害。
人体受X射线辐射损伤的程度，与受辐射的量（强度和面积）和部位有关，眼睛和头部较易受伤害。
衍射分析用的X射线（属“软”X射线）比医用X射线（属“硬”X射线）的波长长，穿透弱，吸收强，故危害更大。
所以，每个实验人员都必须牢记：
对X射线“要注意防护！
”。
人体受超剂量的X射线照射，轻则烧伤，重则造成放射病乃至死亡。
因此，一定要避免受到直射X射线束的直接照射，对散射线也需加以防护，也就是说，在仪器工作时对其初级X射线（直射线束）和次级X射线（散射X射线）都要警惕。
前者是从X射线焦点发出的直射X射线，强度高，它通常只存在于X射线分析装置中限定的方向中。
散射X射线的强度虽然比直射X射线的强度小几个数量级，但在直射X射线行程附近的空间都会有散射X射线，所以直射X射线束的光路必需用重金属板完全屏蔽起来，即使小于1mm的小缝隙，也会有X射线漏出。
防护X射线可以用各种铅的或含铅的制品（如铅板、铅玻璃、铅橡胶板等）或含重金属元素的制品，如含高量锡的防辐射有机玻璃等。
按照X射线防护的规定，以下的要求是必须遵守的：
1.每一个使用X射线的单位须向卫生防疫主管部申请办理“放射性工作许可证”和“放射性工作人员证”；负责人需经过资格审查。
2.X射线装置防护罩的泄漏必须符合防护标准的限制：
在距机壳表面外5cm处的任何位置，射线的空气吸收剂量率须小于2.5μGy／小时（Gy－戈瑞，吸收剂量单位）。
在使用X射线装置的地方，要有明确的警示标记，禁止无关人员进入。
3.X射线操作者要使用防护用具。
4.X射线操作者要具备射线防护知识，要定期接受射线职业健康检查，特别注意眼、皮肤、指甲和血象的检查，检查记录要建档保存。
5.X射线操作者可允许的被辐照剂量当量定为一年不超过5雷姆或三个月不超过3雷姆（考虑到全身被辐照的最坏情况而作的估算）。
请参照以下标准：
GB4792—84《放射卫生防护基本标准》
GB8703—88《辐射防护规定》
GWF01—88《放射工作人员健康管理规定》
第二章多晶衍射仪
2.1概述
记录、分析物质Ｘ射线衍射图谱的仪器，形式多种多样，用途各异。
但其构成，都可以纳入图2.1所示的框图里，其基本的组成部分如下：
1.X射线源（通常是X射线发生器）——提供测量时所需的X射线（连续波长或单一波长），强度可调节控制。
2.样品及样品位置取向的调整机构系统，样品须是单晶、粉末、多晶或微晶的固体块。
3.衍射线方向和强度的测量系统（收集记录Ｘ射线的方法已在第一章中有所介绍）。
4.衍射图的处理分析系统。
现代的Ｘ射线衍射仪器一
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