ESD控制技术规范.docx
《ESD控制技术规范.docx》由会员分享，可在线阅读，更多相关《ESD控制技术规范.docx（38页珍藏版）》请在冰点文库上搜索。
ESD控制技术规范
ESD控制技术规范
目录
1.目的...................................................................................................................................3
2.适用范围...........................................................................................................................3
3.职责...................................................................................................................................3
3.1公司ESD组织结构和职责.................................................................................................3
3.2外部供应商和合作方.....................................................................................................3
4.概要...................................................................................................................................4
5.本公司的静电敏感器件列表（自己建立）.....................................................................4
6.静电防护区域（EPA）的界定和标识.............................................................................4
6.1EPA的划分.........................................................................................................................4
6.2EPA的ESD控制措施...........................................................................................................5
6.3EPA标识.............................................................................................................................6
7.静电敏感区域的工程环境防静电规范...........................................................................7
7.1防静电工程环境的要求：
...............................................................................................8
7.2地面的技术要求...............................................................................................................8
7.3静电敏感区域的防静电保护接地技术要求:
..................................................................9
8.静电敏感区域的人员防静电规范.................................................................................10
8.1各类人员的防静电知识培训要求及职责：
..................................................................10
8.2人体静电防护系统：
......................................................................................................11
8.3临时或外来人员的防静电管理：
..................................................................................15
9.静电敏感区域的防静电操作规范.................................................................................15
10.静电敏感区域的工作台、工装、设备以及防静电器材的防静电规范.....................17
10.1基本防静电要求:
..........................................................................................................17
10.2防静电工作台的技术要求：
........................................................................................17
10.3工作台的电气要求:
......................................................................................................18
10.4工作台的安装（配置）要求:
..........................................................................................18
10.5防静电工作台接地要求:
..............................................................................................18
10.6防静电工作台使用与维护要求:
..................................................................................19
10.7落地设备的防静电技术要求:
......................................................................................20
10.8台式设备的防静电技术要求:
......................................................................................20
10.9工具的防静电技术要求:
..............................................................................................20
10.10工装的防静电技术要求：
..........................................................................................21
10.11防静液喷涂作业要求：
..............................................................................................21
10.12静电敏感区域的防静电器材规范：
..........................................................................22
10.13EPA区内特殊情况处理.................................................................................................25
1.目的
本文件旨在规定ESD防静电控制技术规范，为产品在元器件进料、制造、贮存、包装等各个环节提供明确可靠的ESD技术支持，从整体上提高公司静电防护和控制水平，提高客户的满意度。
2.适用范围本规范适用于公司、供应商和合作方的供应链体系内部静电防护工程的设计、使用、
管理、维护和检测。
同时，此标准也适用于公司的电子设备的最终用户的静电放电控制。
3.职责
3.1公司ESD组织结构和职责公司ESD控制组织结构框图：
3.1.1公司ESD管理小组负责公司的防静电控制规范、标准的制定，建立健全ESD管理规章制度。
定期组织ESD抽查和评审，确保公司ESD控制体系有效运行。
3.1.2各部门负责人负责本部门工作区域的静电防护措施的执行。
3.1.3质量部负责公司各部门ESD日常执行状况的监督，包括ESD实施情况的定期检查﹑抽测和测试。
3.2外部供应商和合作方
公司外部的供应商或合作方必须达到ESD控制最基本要求：
3.2.1建立ESD培训制度，包括每年的周期性培训
3.2.2ESD敏感等级分类定义
3.2.3建立EPA区域
3.2.4操作与包装的防静电要求
3.2.5执行月度、季度、年度ESD稽查
4.概要
本文主要从静电控制的五个方面（即人员、设备、物料、方法和环境）来论述ESD规范，
贯穿了公司产品设计、制造、贮存、包装等各个环节防静电控制，详细介绍了防静电设施的技术要求、检测方法和作业指导等内容。
5.本公司的静电敏感器件列表（自己建立）
请自己建立静电敏感器件列表。
6.静电防护区域（EPA）的界定和标识
6.1EPA的划分
EPA必须具有如下的基本环境要求：
⑴明确的区域界限和防静电警示标志。
⑵对区域内的所有导体包括人员可靠接地。
⑶消除一切不必要的静电产生源。
⑷静电敏感器件必须远离静电源至少30厘米处。
根据本公司产品器件的静电敏感度等级，将本公司EPA静电敏感度等级防范要求为100V
（暂定，具体定位多少伏，要根据自己的实际情况确定生产线和公司的控制水平）。
防护要
求为：
1、静电敏感度等级防范要求为100V，应尽量避免产生100V以上的静电电荷源，如不
能避免，应通过有效方式消除。
2、采用防静电标识与其它区域分隔开，未采取有效防静电措施的人员、设备、物料、工具等皆不得入内。
3、进入本区域应作好人员防静电要求，包括防静电工衣、工帽、工鞋（鞋套）、腕带或手套并作人体综合电阻测试合格后才能进入。
6.2EPA的ESD控制措施
控制措施要求按照下表实施：
ESD控制措施
要求
静电电压控制标准
小于100V
防静电标识
要求
防静电地板或地垫
要求
防静电桌垫
要求
防静电腕带
要求
防静电工作手套、指套
要求
防静电工作服
要求
防静电工作鞋
要求
防静电工作椅
要求
防静电周转工具
要求
防静电包装材料
要求
防静电烙铁
要求
防静电吸锡器
要求
装配、调试及辅助工具防静电
要求
静电产生材料禁止带入EPA
要求
区域封闭性
可选
出入口控制
可选
静电电压表
可选
表面电阻测试仪
可选
人体电阻测试仪（带腕带测试仪）
要求
接地系统监控仪
可选
离子风静电消除器
可选
离子风机静电消除器测试仪
可选
防静电文件夹
可选
非防静电包装的拆包
区域外操作或独立工位操作
防静电液
可选
办公区
区域外或独立工区
6.3EPA标识
防静电工作区、防静电包装材料和转运工具、设备仪器的接地等都应该具有防静电标识。
防静电标识的作用是警示任何靠近防静电工作区的人员，区域内存在静电敏感器件的操作；
警示任何接触静电敏感器件的人员，对该器件的操作必须进行静电防护。
1）任何防静电工作区都必须有区域标识，除非此工作区位于静电安全工作区内。
标识上应注意说明，如“注意：
静电安全工作区“或其同意语。
“放电”，“注意”，“危
险”等标示对静电控制是不合适的。
EPA标识所在的位置及其大小应该至少保证在
距离工作区1米时清晰可见。
2）应该使用黄底黑字的地板胶带将每一个防静电工作区围起，EPA的边界线如（图A）
中所示，它由黄黑双色的平行四边形图案相间构成，其宽度为4～5cm。
是专门用
来标志静电敏感区的区域界限的。
3）需要在静电安全工作区的每一个入口和出口放置防静电标识牌和控制说明。
4）防静电器材、工具和静电敏感物料都必须具有明显的防静电标识，防静电接地系统
应有明显的接地标识说明。
5）防静电容器（防静电周转箱，防静电元件盒等），元件架和运输车等器材上应有防静电标志，其标志应置于明显且不易受到磨损的地方。
如图B，
6）经过防静电液处理的物品和场所也应有防静电标志。
如图C:
图A
静电敏感区域警示标志
黄黑相间的斜条
图B防静电标志
图C
7.静电敏感区域的工程环境防静电规范
7.1防静电工程环境的要求：
7.1.1环境的温度和湿度要求
温度应在20℃至30℃之间，湿度应在45%至60%之间，环境内应配备温度计和湿度计，并按要求做好点检记录。
如果环境内的空气过于干燥，应使用加湿器或其它办法来满足湿度要求，但应以不对产品造成有害影响为前提。
如果湿度高了应该开空调或抽湿机来使其满足要求。
温度计和湿度计使用要求:
a）所有需要防范的环境内应配备温度计和湿度计，温度计和湿度计必须放置在水平稳定的平面上。
b）每日开工前必须由专人如实查看并记录，发现不符合要求时，应报告相关责任人立即处理，使其满足温度和湿度要求。
c）每月的温度和湿度仪记录应归类保存，保存期为两年以上。
7.2地面的技术要求
7.2.1地板的防静电要求:
为有效地使人体静电能通过地板尽快泄漏到大地，除操作人员穿用防静电服、防静电鞋
外，其先决条件是地板必须具有一定的导电性能，即是防静电的。
这种防静电地板能泄漏设
备、工装上的静电，也能泄漏移动操作时不易使用腕带的人体静电。
普通地板材料的电阻率
都较高，难以泄放人体、工装、设备上的静电。
表三为各种地板的泄漏电阻:
（单位:
Ω）。
表三
地坪材料名称
泄漏电阻
地坪材料名称
泄漏电阻
石
104~109
沥青
1011~1013
混凝土
105~1010
聚氯乙烯（贴面）
1012~1015
一般涂刷地面
109~1012
导电性水磨石
105~107
橡胶
109~1013
导电性橡胶
104~108
木、木胶合板
1010~1013
导电性聚氯乙烯
107~1011
7.2.2防静电地板的静电特性定期检查与维护保养:
7.2.2.1检查对象：
防静电地板。
7.2.2.2检查频率：
每半年一次，其中一次应在干燥季节测量。
7.2.2.3检查指标：
静电压，泄漏电阻和表面电阻率。
7.2.2.4检查标准：
100V，1X104Ω~109Ω。
7.2.2.5检查仪器：
静电压表，万用表和兆欧表。
7.2.2.6相对湿度低于30%时，应增加测量泄漏电阻的次数，当电阻比较大时可撒少量的水。
7.2.2.7当地板上附着有绝缘性的油膜、树脂、橡胶和脏污时，应根据情况定期清除。
7.2.2.8清扫防静电地板时不得使用绝缘性的地板腊。
7.2.2.9采用抛光防静电地板蜡的地面，至少3个月检查测量一次地面的表面电阻，并记录保存测量结果。
7.3静电敏感区域的防静电保护接地技术要求:
防静电系统必须有可靠的接地装置，主要技术要求如下:
7.3.1接地线：
也称为地线母线。
接地主干线的截面积应不小于100mm2，支干线的截面积应
不小于6mm2，设备和工作台的接地线采用截面积应不小于1.25mm2的敷塑导线，并以黄绿
色为宜。
7.3.2防静电设备的连接端子应确保接触可靠，易装拆，必须使用插头座等。
7.3.3接地电阻：
指接地体与大地之间的接触电阻，静电保护接地电阻应小于4Ω。
7.3.4地线的埋设：
埋设地线的原则是埋设地点的土壤电阻系数愈小愈好接地体与土壤的接触面积要大，接
触密度要高，接触要紧。
7.3.4.1埋设地线的注意事项：
7.3.4.2接地线与接地线接头必须焊接牢固，要有足够的机械强度，引线不要过长。
7.3.4.3要采用耐腐蚀的接地体金属。
7.3.4.4要保持接地体附近土质的质量，并不断采取措施防止接地电阻变大。
7.3.4.5防静电地线必须是永久性的。
7.3.5接地线的定期检查：
7.3.5.1检查对象：
所有的接地线及接地端口。
7.3.5.2检查仪器：
万用表和接地电阻测试仪。
7.3.5.3检查参数：
泄漏电阻（接地电阻）。
7.3.5.4检查频率：
a）每条生产线的主接地线对通用接地点的接地性能和设备，工装及工作台等设施对生产
线主接地线的接地性能应每周检查一次。
b）ESD桌垫、ESD地垫、周转车、周转架和防静电环等设施的防静电连接线应每月检查
一次。
c）每个通用接地点对地的接地性能每6个月检查一次。
7.3.6接地线的定期维护：
7.3.6.1对于检查不过关的接地线必须采取措施及时解决。
7.3.6.2确保接地线有效接地。
7.3.6.3对于生锈的或接触不好的接地线要及时更换。
7.3.6.4对于松动的接地线要重新连接。
7.3.6.5按接地线相关规定进行维护。
8.静电敏感区域的人员防静电规范
8.1各类人员的防静电知识培训要求及职责：
有可能进入静电敏感区域的人员或有可能接触静电敏感器件的人员都应接受防静电知
识培训，这既是对每位员工的基本要求，也是减少静电危害的根本方法和途径之一。
8.1.1所有新员工在接受入厂培训时，必须接受ESD知识的培训。
课程包括至少2小时的理
论知识培训和简要讲解本规范内容。
培训结束后，由人力资源部组织ESD的考试，合格者才
能上岗。
8.1.2所有在职人员必须每年接受不少于2小时的ESD知识再培训。
培训内容包括介绍ESD
的新技术，新规范等。
8.1.3
在静电敏感区域内工作的生产人员及与静电敏感器件有直接或间接接触（包括静电感
应）的作业人员，必须接受ESD基本知识和防静电工艺规程操作要求的培训，作为上岗考核
的必考内容之一。
考核不合格者不得安排在有防静电要求的岗位工作。
上岗考核的有效期为
一年，一年后必须进行重新培训考核。
8.1.4工艺人员必须接受并通过ESD较为专业知识培训，掌握电子工业产品的防静电工艺技
术，在生产过程中指导生产作业人员落实防静电措施，并对他们进行静电防护日常教育。
8.1.5品质控制管理人员必须接受并通过ESD较为专业知识培训，熟悉各类ESSD的静电敏
感性能及其防护知识，监督防静电工艺规程的贯彻执行，评估防静电工程实施效果。
8.1.6采购部人员必须接受ESD基本知识培训，熟悉ESSD的品种、型号、标志方法和静电
防护常识，严格遵守物料或产品在采购和运输过程中静电防护的规范。
8.1.7仓储，转运人员必须接受ESD基本知识培训，懂得在储存和转运过程中防护ESSD静
电器件及相关的存放操作要求。
8.1.8检验和试验人员（包括外购件入厂检验试验和产品检验人员）必须接受较为ESD专业知识培训，熟练掌握ESSD的检测知识和防静电器件的检测方法，严格按设计技术文件要求和
工艺规程进行检验和试验。
8.1.9负责防静电接地和布生产线的人员，应接受较为专业的ESD知识培训，熟悉防静电接
地系统要求，掌握地桩、地线、及其它防静电设施的敷设或安装。
8.1.10生产管理人员应了解ESD基本知识，严格按静电敏感器件的设计文件要求和工艺规程组织生产，并开展对生产员工的静电防护日常教育。
8.1.11计量检定人员也应了解ESD基本知识，尤其是关于防静电仪器的校验知识，要定期
调校防静电检测器材，保证其安全、有效。
8.1.12由于工种变化或者转到新的部门，如从非EPA转移到EPA，从行政部门转到产品开发部门等，需要进行适应新环境ESD控制要求的再培训。
8.1.13提高培训是针对ESD工作骨干人员组织的静电防护技术的高级培训，适用于ESD小
组成员、区域ESD责任人（接口人）、各部门ESD工作优秀人员和ESD责任人的预备人选等。
提高培训由公司ESD负责人根据需要不定期举行。
提高培训的内容主要是ESD标准的学习
讨论、ESD新技术的学习，ESD案例学习和疑难问题讨论等。
8.2人体静电防护系统：
8.2.1防静电工作服：
8.2.1.1防静电工作服是指为防止静电荷积累，用防静电织物作为面料而制成的工作服，样
式有连体式、分体式等。
防静电工作服主要用来泄放人体高绝缘性能的服装所产生的静电或
减少人体静电产生。
8.2.1.2防静电工作服的主要技术指标如下表所示:
技术指标
A级
实验方法
带电量
＜0.6μC/件
按GB12014-89附录A
耐洗涤时间≥33.0h按GB12014-89附录B
推荐的防静电工作服选择使用A级，要求洗涤时间：
≥33小时（或洗涤次数大于70次）；
8.2.1.3防静电服使用要求:
a）应根据所制造或操作的ESSD的静电敏感度的不同，选用不同等级的防静电布料和防静电工作服。
b）进入防静电区域的人员必须按规定穿防静电大褂衣，夹克衣或防静电连体服，严禁
穿一般合成纤维工作服。
C）大褂衣和夹克衣可在普通防静电工作区域使用。
对于防静电要求特别高的场所，如
无尘室高精密电子产品装联车间或实验室，作业人员必须穿连体衣，同时还需戴上口罩、手
套。
d）防静电衣必须在更衣室更换，不允许在ESD区域穿或脱防静电衣。
e）禁止在防静电衣上附加或佩带与工作无关的金属物品或装饰品。
升级会员 