数控单多晶硅专用平面磨床技术规格书.docx

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数控单多晶硅专用平面磨床技术规格书

技术规格书

无锡上机磨床有限公司

技术规格书目录

一、设备名称和型号

二、设备概述

三、工艺流程

四、设备技术参数

五、设备使用条件

六、设备主要零部件及元器件品牌

七、系统清单

八、吸雾装置

九、本机床平面布置图

十、机床的验收

十一、质量保证、培训及售后服务

一、设备名称：

数控单/多晶硅专用平面磨床

型号：

WSK011A

本机型在同行业累计已销售350多台，市场占有率为95%以上

（业绩用户附后）

二设备概述：

本机床参照国外多晶硅及单晶硅平面磨床的结构基础上进行技术上优化设计、改进而成的新一代硅棒平面磨床，具有效率高，精度好。

适用于太阳能行业，多晶硅，单晶硅长方体四平面的加工，对原来线剖方后的长方体的四边垂直度起到修正功能。

经金刚石毛刷表面抛光（镜面）磨削后，起到减少硅片内应力、边缘缺角、崩边功能。

2-1、本机床为多工位组合形式：

分为上料工件，机械手自动装夹→对中气缸精密定位→自动压紧→毛坯检测（合格毛坯进行下一步加工，不合格毛坯退出加工区）→粗磨平面工位→精磨平面工位（可根据用户表面质量要求可更换金刚石毛刷型抛轮进行超精镜面抛光）→退出工件→进入检测区（检验磨削后的工件最终尺寸）→自动松开工件。

2-2、①本机床共有四个端磨砂轮架。

②粗磨平面工位及精磨平面工位均采用双端面磨削方式。

③配置两只精磨砂轮和两只抛光砂轮。

2-3、砂轮架进给系统采用德国西门子伺服电机控制，具有很高的定位精度。

保证两对面平面间尺寸误差。

2-4、工作台移动采用伺服电机控制。

本机床采用德国西门子控制系统。

2-5、机床配备进口机械手进行自动装夹，以使工件处于机床中心位置，

保证两端面的磨削量均匀一致，材料损耗最少。

进口机械手

自动压紧装置

自动对中装置

2-6、机床配备自动压紧装置，其在工件完成自动对中功能后，自动压紧工件，

从而提高了工作效率，压紧的质量也得到了保证。

2-7、机床配备日本基恩士自动激光测量系统，可以准确的测量出工件在磨削前

后的尺寸大小，并在显示屏上反馈，自动均匀或不等量分配左右平面磨削余量。

WSK011更换砂轮的状态，打开磨床左右护板的状态。

精磨、抛光砂轮架上、下拖板上均装有四根进口淬火直线导轨，使其在磨削中刚性更强、表面光洁度高，减少左右让刀。

一般用户的磨架上、下拖板上只装有二根直线导轨，其刚性差。

采用德国西门子802DSL数控系统

2-8、冷却液自动控制，实现大流量充分冷却磨削。

三、工艺流程：

一次装夹，自动对中，激光测量，自动压紧，粗精磨二个平面自动加工完成。

四、设备技术参数:

4-1、精度等级：

尺寸，误差≤0.2mm

粗糙度≤0.1μm

生产节拍：

约20分/块

连续工作时间：

24小时

4-2、主要规格参数：

4-2-1、适用磨削最大长度500mm

4-2-2、两砂轮架，磨头砂轮之间最大距离200mm

4-2-3、加工工件横截面尺寸125×125—156×156mm

4-2-4、床身底面至工件的距离距地面1072mm

4-2-5、工作台移动速度0.1～4000mm/min

4-2-6、工作台最小脉冲当量0.001mm

4-2-7、精磨端磨砂轮架最大移动量50mm

4-2-8、精磨端磨砂轮架进给速度0.1～4000m/min

4-2-9、精磨端磨砂轮架最小进给脉冲当量0.0005mm

4-2-10、端磨砂轮线速度35m/s

4-2-11、端磨砂轮电机功率4×3KW

4-2-12、金刚石砂轮尺寸Φ200×62×80mm

4-2-13、金刚石毛刷尺寸Φ200×62×80mm

4-2-14、数控轴：

德国西门子数控X轴：

砂轮架进给

U轴：

砂轮架进给

Z轴：

工作台进给

4-2-15、进给速度（X轴、Z轴、U轴）0.1～4000mm/min

4-2-16、进给行程X轴：

80mm

Z轴：

2200mm

4-2-17、平面磨头回转精度径向跳动≤0.004mm

轴向窜动≤0.005mm

U轴：

6N.m

Z轴：

11N.m

4-3、CNC装置基本规格及功能：

（SIEMENS—802DSL系统）

4-3-1、绝对值编码器：

有

4-3-2、最小设定单位：

0.001mm

4-3-3、显示器：

10.4″LED显示器

4-3-4、指示语言：

中文/英文

4-3-5、功能：

MDI运行方式

各种参数设定显示功能

程序保护功能

具有坐标选择和伺服手轮进给率调整功能

位置记忆功能

自诊断错误报警显示功能异常经历显示

反向间隙及螺距补偿

零件坐标转换、坐标值公英制转换功能

绝对/相对增量的控制功能

五、设备使用条件：

5-1、电源：

交流380V50HZ

5-2、相对湿度：

小于75%

5-3、环境温度：

0～35℃

5-4、振源：

周围无振源

5-5、总功率：

约30KW

5-6、最大耗水量：

10L/min

5-7、最大耗气量：

60L/min

5-8、机床重量：

约7000KG

5-9、吸雾量（指机床在单位时间内需排除水雾的量）≥1200m³/h

5-10、水压：

0.25~0.3mpa

5-11、气压：

≥0.6mpa

5-12、基础要求：

水泥地坪≥300mm

5-13、气源：

有（见示意图）

六、设备主要零部件及元器件品牌：

厂家

元件

无锡上机磨床有限公司

规格型号

生产厂家

气动三大件

LFR-1/4-D-MINI

德国费斯托（FESTO）

消声器

U-1/8

德国费斯托（FESTO）

电磁阀

JMEBH-5/2-5.0-P-B

德国费斯托（FESTO）

单向节流阀

GR-QS-8

德国费斯托（FESTO）

双作用气缸

DSBA-F-40-700-CA

德国费斯托（FESTO）

压力表开关

PEV-1/4-B

德国费斯托（FESTO）

传感器

SME-8M-ZS-24V-K2.5-OE

德国费斯托（FESTO）

滚珠丝杠

SFE3232-4DFC7-L2650P1

日本THK或ABB、上银

直线导轨润滑系统

18101-23

流遍公司或南京贝奇尔

头架轴承

7212ACP4;DBB/QBC

洛研所

电柜

/

康贝（威图）

电气管拖链

MS25×57R55+KA25×57

日本（椿本）

伺服电机

SINAMICSS120

德国西门子

控制系统

SINUMERIK802DSolutionline

德国西门子

对中气缸

PGN300/1

进口机械手

气缸（一套）

ADVU-63-140-A-P-A

德国费斯托（FESTO）

压紧气缸（一套）

DNC-80-40-PPV-A

德国费斯托（FESTO）

CCD激光位移传感器

LK-G155/G3001PV

日本Keyence

厂家

元件

无锡上机磨床有限公司

规格型号

生产厂家

数控系统

SINUMERIK802DSolutionline

德国SIEMENS

伺服驱动器

SINAMICSS120

德国SIEMENS

电源电抗器

6SL3000-0CE21-0AA0

德国SIEMENS

继电器模块

FX-802D-16G/21

德国SIEMENS

稳压电源

6EP1436-3BA00；DC24V，20A

德国SIEMENS

伺服电机

1FK7060-5AF71-1KG5；6Nm

德国SIEMENS

伺服电机

1FK7060-5AF71-1KG5；6Nm

德国SIEMENS

伺服电机

1FK7063-5AF71-1KH5；11Nm

德国SIEMENS

接近开关

Ni4-M12-AD4X

德国TURCK

接近开关

Ni4-M12-RD4X

德国TURCK

激光位移传感器

LK-G5001V

日本KEYENCE

LK-G155

日本KEYENCE

电动机

Y100L-2-B3；3kW

德国SIEMENS

电动机

Y100L-2-B3；3kW

德国SIEMENS

电动机

Y100L-2-B3；3kW

德国SIEMENS

电动机

Y100L-2-B3；3kW

德国SIEMENS

工作灯

JC37-2220V；18W

上海新华

警示灯

A01

大禾仪表

JD701-L01R024

大禾仪表

JD701-L01G024

大禾仪表

JD701-L01Y024

大禾仪表

B01

大禾仪表

S-1

大禾仪表

电箱热交换器

CDJ-25

康迪

电源插座

AC30

DELIXI

变压器

JBK3-400；380V/110V，200VA；

正泰

220V，200VA

正泰

断路器

CDM1-63LZ/3310；63A

DELIXI

分励脱扣电压：

AC380V；圆形短柄

DELIXI

接触器

CJX1-16；AC110V

正泰

接触器

CJX1-12；AC110V

正泰

接触器

CJX1-9；AC110V

正泰

断路器

M611；10A

正泰

断路器

M611；4.0A

正泰

断路器

M611；2.5A

正泰

断路器

RT18-32；2A

正泰

二极管

1N5404；400V、3A

正泰

断路器

DZ47-63/1P；6A

正泰

断路器

DZ47-63/2P；6A

正泰

正泰

断路器

DZ47-63/1P；1A

正泰

断路器

DZ47-63/1P；3A

正泰

断路器

DZ47-63/1P；10A

正泰

断路器

DZ47-63/3P；25A

正泰

干扰吸收器

3TX1-12B02

无锡明达

干扰吸收器

3TX1-31A03

无锡明达

七、系统清单

激光测量数据采集系统

内容描述

数量量量

备注

DP/DP耦合通讯模块

1

德国SIEMENS

S7-300CPU313C模块

1

德国SIEMENS

模拟量输入模块

1

德国SIEMENS

20针前连接器

1

德国SIEMENS

导轨L=480mm

1

德国SIEMENS

微型存储卡

1

德国SIEMENS

40针前连接器

1

德国SIEMENS

总线连接器

3

德国SIEMENS

SIEMENS802Dsl数控系统

内容描述

数量量

备注

802DSL系统主机

1

德国SIEMENS

机床操作面板及模拟量信号模块MCPA

1

德国SIEMENS

输入/输出模块,PP72/48

1

德国SIEMENS

PROFIBUS总线连接器

2

德国SIEMENS

功率模块PM3403phase5.9A2.2KW

2

德国SIEMENS

功率模块PM3403phase10.2A4KW

1

德国SIEMENS

电抗器3phase5.9A2.2KW

2

德国SIEMENS

电抗器3phase10.2A4KW

1

德国SIEMENS

防护连接支架FSB2.2-4KW

3

德国SIEMENS

抱闸电阻模块FSB（2.2-4Kw）

1

德国SIEMENS

报闸继电器

1

德国SIEMENS

控制单元适配器CUA31

3

德国SIEMENS

伺服电机，6Nm，3000转、光轴、绝对值编码器

2

德国SIEMENS

伺服电机，11Nm，3000转、光轴、抱闸、绝对值编码器

1

德国SIEMENS

驱动信号电缆0.6米

3

德国SIEMENS

ProFIBUS总线电缆1米

10

德国SIEMENS

SINUMERIK802Dsl/SINAMICS安装说明书

1

德国SIEMENS

SINUMERIK802Dsl功能描述

1

德国SIEMENS

SINUMERIK802Dsl操作编程手册

1

德国SIEMENS

Diagnoseinstruction

1

德国SIEMENS

垂直键盘板

1

德国SIEMENS

信号电缆系统至驱动器（10M）

1

德国SIEMENS

伺服电机动力电缆,7M

2

德国SIEMENS

伺服电机动力电缆,7M,报闸

1

德国SIEMENS

信号电缆电机至驱动器,7M,

3

德国SIEMENS

开关电源,20A

1

德国SIEMENS

I/O端子排转换器（含继电器）

3

德国SIEMENS

手持单元

1

日本NEMICON

八、吸雾装置：

见平面布置图

吸雾量（指机床在单位时间内需排除水雾的量）≥1200m³/h

九、本机床平面布置图

十、机床的验收

1、机床验收

验收标准：

按本技术规格书验收。

十一、质量保证、培训及售后服务

1、质量保证

供方设备到达需方并终验收合格后一年内，由于供方设计、制造、安装等原因，造成设备故障及损坏，供方实行免费三包服务。

2、培训

供方对需方操作人员和维修人员进行免费培训（食宿费用自理）。

3、售后服务

在设备发运前1周内设备安装的所有详细资料通知买方，以便现场安装准备。

1、卖方应在用买方现场安装、调试设备。

2、在安装期间，卖方在现场为工厂操作工提供培训，培训包括正常操作、维修保养、操作问题的分析和紧急处理程序。

3、设备交付使用后卖方整机免费质量保质期不小于1年，电气部分免费质量保质期不小于2年，质保期内提供对设备的免费维修保养。

4、在设备质保期满后，以优惠价格向买方提供所需要的全部备件。

5、在设备的使用地区提供长期有效的服务，提供全天候24小时技术支持，在接到需方服务信息后2小时内作出响应，如果需要现场服务，售后服务人员36小时到达现场。