ESD控制技术规范.docx

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ESD控制技术规范

1.目的

本文件旨在规定ESD防静电控制技术规范，为产品在元器件进料、制造、贮存、包装等各个环节提供明确可靠的ESD技术支持，从整体上提高公司静电防护和控制水平，提高客户的满意度。

2.适用范围

本规范适用于公司、供应商和合作方的供应链体系内部静电防护工程的设计、使用、管理、维护和检测。

同时，此标准也适用于公司的电子设备的最终用户的静电放电控制。

3.职责

3.1公司ESD组织结构和职责

3.1.1公司ESD管理小组负责公司的防静电控制规范、标准的制定，建立健全ESD管理规章制度。

定期组织ESD抽查和评审，确保公司ESD控制体系有效运行。

3.1.2各部门负责人负责本部门工作区域的静电防护措施的执行。

a）设备组工程师负责ESD总线接地有效并定期进行点检；

b）技术员定期对各工位进行静电电压测试并记录，发现异常及时通知相关工程师处理；

c）生产主管、拉长督促生产员工穿好防静电工衣、工帽、工鞋并戴好防静电手腕带，并对手腕带进行定期测量，确保工作有效，发现异常及时通知相关人员处理；

d）人事行政部门负责督导外来人员进入制造中心车间前穿戴防静电工衣及鞋套。

e）由品质部牵头各部门（工艺、生产、设备）分派组建ESD管理小组,负责公司各部门ESD日常执行状况的监督，包括ESD实施情况的定期检查﹑抽测和测试。

4.概要

本文主要从静电控制的五个方面（即人员、设备、物料、方法和环境）来论述ESD规范，贯穿了公司产品设计、制造、贮存、包装等各个环节防静电控制，详细介绍了防静电设施的技术要求、检测方法和作业指导等内容。

5.静电防护区域（EPA）的界定和标识

6.1EPA的划分

EPA必须具有如下的基本环境要求：

⑴明确的区域界限和防静电警示标志。

⑵对区域内的所有导体包括人员可靠接地。

⑶消除一切不必要的静电产生源。

⑷静电敏感器件必须远离静电源至少100厘米处。

根据本公司产品器件的静电敏感度等级，将本公司EPA静电敏感度等级防范要求为200V。

防护要求为：

1、静电敏感度等级防范要求为200V，应尽量避免产生200V以上的静电电荷源，如不能避免，应通过有效方式消除。

2、采用防静电标识与其它区域分隔开，未采取有效防静电措施的人员、设备、物料、工具等皆不得入内。

3、进入本区域应作好人员防静电要求，包括防静电工衣、工帽、工鞋（鞋套）、腕带或手套并作人体综合电阻测试合格后才能进入。

6.2EPA标识

防静电工作区、防静电包装材料和转运工具、设备仪器的接地等都应该具有防静电标识。

防静电标识的作用是警示任何靠近防静电工作区的人员，区域内存在静电敏感器件的操作；警示任何接触静电敏感器件的人员，对该器件的操作必须进行静电防护。

1）任何防静电工作区都必须有区域标识，除非此工作区位于静电安全工作区内。

标识上应注意说明，如“注意：

静电安全工作区“或其同意语。

“放电”，“注意”，“危险”等标示对静电控制是不合适的。

EPA标识所在的位置及其大小应该至少保证在距离工作区1米时清晰可见。

2）应该使用黄底黑字的地板胶带将每一个防静电工作区围起，EPA的边界线,它由黄黑双色的平行四边形图案相间构成，其宽度为4～5cm。

是专门用来标志静电敏感区的区域界限的。

3）需要在静电安全工作区的每一个入口和出口放置防静电标识牌和控制说明。

4）防静电器材、工具和静电敏感物料都必须具有明显的防静电标识，防静电接地系统应有明显的接地标识说明。

5）防静电容器（防静电周转箱，防静电元件盒等），元件架和运输车等器材上应有防静电标志，其标志应置于明显且不易受到磨损的地方。

如图A，

6.静电敏感区域的工程环境防静电规范

7.1防静电工程环境的要求：

7.1.1环境的温度和湿度要求

温度应在20℃至30℃之间，湿度应在45%--80%，环境内应配备温度计和湿度计，并按要求做好点检记录。

如果环境内的空气过于干燥，应使用加湿器或其它办法来满足湿度要求，但应以不对产品造成有害影响为前提。

如果湿度高了应该开空调或抽湿机来使其满足要求。

温度计和湿度计使用要求:

a）所有需要防范的环境内应配备温度计和湿度计，温度计和湿度计必须放置在水平稳定的平面上。

b）每日开工前必须由专人如实查看并记录，发现不符合要求时，应报告相关责任人立即处理，使其满足温度和湿度要求。

c）每月的温度和湿度仪记录应归类保存，保存期为两年以上。

7.2地面的技术要求

7.2.1地板的防静电要求:

为有效地使人体静电能通过地板尽快泄漏到大地，除操作人员穿用防静电服、防静电鞋外，其先决条件是地板必须具有一定的导电性能，即是防静电的。

这种防静电地板能泄漏设备、工装上的静电，也能泄漏移动操作时不易使用腕带的人体静电。

普通地板材料的电阻率都较高，难以泄放人体、工装、设备上的静电。

表三为各种地板的泄漏电阻:

（单位:

Ω）。

表三

地坪材料名称

泄漏电阻

地坪材料名称

泄漏电阻

石

104~109

沥青

1011~1013

混凝土

105~1010

聚氯乙烯（贴面）

1012~1015

一般涂刷地面

109~1012

导电性水磨石

105~107

橡胶

109~1013

导电性橡胶

104~108

木、木胶合板

1010~1013

导电性聚氯乙烯

107~1011

7.2.2防静电地板的静电特性定期检查与维护保养:

7.2.2.1检查对象：

防静电地板。

7.2.2.2检查频率：

每半年一次，其中一次应在干燥季节测量。

7.2.2.3检查指标：

静电压，泄漏电阻和表面电阻率。

7.2.2.4检查标准：

200V，1×104Ω~109Ω。

7.2.2.5检查仪器：

静电压表，万用表和兆欧表。

7.2.2.6相对湿度低于30%时，应增加测量泄漏电阻的次数，当电阻比较大时可撒少量的水。

7.2.2.7当地板上附着有绝缘性的油膜、树脂、橡胶和脏污时，应根据情况定期清除。

7.2.2.8清扫防静电地板时不得使用绝缘性的地板腊。

7.2.2.9采用抛光防静电地板蜡的地面，至少3个月检查测量一次地面的表面电阻，并记录保存测量结果。

7.3静电敏感区域的防静电保护接地技术要求:

防静电系统必须有可靠的接地装置，主要技术要求如下:

7.3.1接地线：

也称为地线母线。

接地主干线的截面积应不小于100mm2，支干线的截面积应不小于6mm2，设备和工作台的接地线采用截面积应不小于1.25mm2的敷塑导线，并以黄绿色为宜。

7.3.2防静电设备的连接端子应确保接触可靠，易装拆，必须使用插头座等。

7.3.3接地电阻：

指接地体与大地之间的接触电阻，静电保护接地电阻应小于4Ω。

7.3.4地线的埋设：

埋设地线的原则是埋设地点的土壤电阻系数愈小愈好接地体与土壤的接触面积要大，接触密度要高，接触要紧。

7.3.4.1埋设地线的注意事项：

7.3.4.2接地线与接地线接头必须焊接牢固，要有足够的机械强度，引线不要过长。

7.3.4.3要采用耐腐蚀的接地体金属。

7.3.4.4要保持接地体附近土质的质量，并不断采取措施防止接地电阻变大。

7.3.4.5防静电地线必须是永久性的。

7.3.5接地线的定期检查：

7.3.5.1检查对象：

所有的接地线及接地端口。

7.3.5.2检查仪器：

万用表和接地电阻测试仪。

7.3.5.3检查参数：

泄漏电阻（接地电阻）。

7.3.5.4检查频率：

a）每条生产线的主接地线对通用接地点的接地性能和设备，工装及工作台等设施对生产线主接地线的接地性能应每周检查一次。

b）ESD桌垫、ESD地垫、周转车、周转架和防静电环等设施的防静电连接线应每月检查一次。

c）每个通用接地点对地的接地性能每6个月检查一次。

7.3.6接地线的定期维护：

7.3.6.1对于检查不过关的接地线必须采取措施及时解决。

7.3.6.2确保接地线有效接地。

7.3.6.3对于生锈的或接触不好的接地线要及时更换。

7.3.6.4对于松动的接地线要重新连接。

7.3.6.5按接地线相关规定进行维护。

7.静电敏感区域的人员防静电规范

8.1各类人员的防静电知识培训要求及职责：

有可能进入静电敏感区域的人员或有可能接触静电敏感器件的人员都应接受防静电知识培训，这既是对每位员工的基本要求，也是减少静电危害的根本方法和途径之一。

8.1.1所有新员工在接受入厂培训时，必须接受ESD知识的培训。

课程包括至少2小时的理论知识培训和简要讲解本规范内容。

培训结束后，由人力资源部组织ESD的考试，合格者才能上岗。

8.1.2所有在职人员必须每年接受不少于2小时的ESD知识再培训。

培训内容包括介绍ESD的新技术，新规范等。

8.1.3在静电敏感区域内工作的生产人员及与静电敏感器件有直接或间接接触（包括静电感应）的作业人员，必须接受ESD基本知识和防静电工艺规程操作要求的培训，作为上岗考核的必考内容之一。

考核不合格者不得安排在有防静电要求的岗位工作。

上岗考核的有效期为一年，一年后必须进行重新培训考核。

8.1.4工艺人员必须接受并通过ESD较为专业知识培训，掌握电子工业产品的防静电工艺技术，在生产过程中指导生产作业人员落实防静电措施，并对他们进行静电防护日常教育。

8.1.5品质控制管理人员必须接受并通过ESD较为专业知识培训，熟悉各类ESSD的静电敏感性能及其防护知识，监督防静电工艺规程的贯彻执行，评估防静电工程实施效果。

8.1.6采购部人员必须接受ESD基本知识培训，熟悉ESSD的品种、型号、标志方法和静电防护常识，严格遵守物料或产品在采购和运输过程中静电防护的规范。

8.1.7仓储，转运人员必须接受ESD基本知识培训，懂得在储存和转运过程中防护ESSD静电器件及相关的存放操作要求。

8.1.8检验和试验人员（包括外购件入厂检验试验和产品检验人员）必须接受较为ESD专业知识培训，熟练掌握ESSD的检测知识和防静电器件的检测方法，严格按设计技术文件要求和工艺规程进行检验和试验。

8.1.9负责防静电接地和布生产线的人员，应接受较为专业的ESD知识培训，熟悉防静电接地系统要求，掌握地桩、地线、及其它防静电设施的敷设或安装。

8.1.10生产管理人员应了解ESD基本知识，严格按静电敏感器件的设计文件要求和工艺规程组织生产，并开展对生产员工的静电防护日常教育。

8.1.11计量检定人员也应了解ESD基本知识，尤其是关于防静电仪器的校验知识，要定期调校防静电检测器材，保证其安全、有效。

8.1.12由于工种变化或者转到新的部门，如从非EPA转移到EPA，从行政部门转到产品开发部门等，需要进行适应新环境ESD控制要求的再培训。

8.1.13提高培训是针对ESD工作骨干人员组织的静电防护技术的高级培训，适用于ESD小组成员、区域ESD责任人（接口人）、各部门ESD工作优秀人员和ESD责任人的预备人选等。

提高培训由公司ESD负责人根据需要不定期举行。

提高培训的内容主要是ESD标准的学习讨论、ESD新技术的学习，ESD案例学习和疑难问题讨论等。

8.2人体静电防护系统：

8.2.1防静电工作服：

8.2.1.1防静电工作服是指为防止静电荷积累，用防静电织物作为面料而制成的工作服，样式有连体式、分体式等。

防静电工作服主要用来泄放人体高绝缘性能的服装所产生的静电或减少人体静电产生。

8.2.1.2防静电工作服的主要技术指标如下表所示:

技术指标

A级

实验方法

带电量

＜0.6μC/件

按GB12014-89附录A

耐洗涤时间

≥33.0h

按GB12014-89附录B

推荐的防静电工作服选择使用A级，要求洗涤时间：

≥33小时（或洗涤次数大于70次）；

8.2.1.3防静电服使用要求:

a）应根据所制造或操作的ESSD的静电敏感度的不同，选用不同等级的防静电布料和防静电工作服。

b）进入防静电区域的人员必须按规定穿防静电大褂衣，夹克衣或防静电连体服，严禁穿一般合成纤维工作服。

C）大褂衣和夹克衣可在普通防静电工作区域使用。

对于防静电要求特别高的场所，如无尘室高精密电子产品装联车间或实验室，作业人员必须穿连体衣，同时还需戴上口罩、手套。

d）防静电衣必须在更衣室更换，不允许在ESD区域穿或脱防静电衣。

e）禁止在防静电衣上附加或佩带与工作无关的金属物品或装饰品。

f）不能把非防静电衣的衣领翻出盖住防静电衣的衣领，防静电衣如是夹克衣须将拉链拉好，两颗扣子扣好，如是大褂衣须将扣子扣满扣好，非防静电衣的长度不能长过静电衣，不准将防静电衣的袖子挽起，不准将手表、手饰等与工作无关的装饰物品露出防静电衣外。

g）防静电大褂衣和夹克衣，应保持清洁，工作服的洗涤应尽量采用简易方法进行，采用中性洗涤剂，要避免受到较强的机械和化学操作的洗涤。

h）防静电工作服应在首次穿用前作防静电性能检测，只有测试合格方可投入使用，穿用一定时期后应对其防静电性能进行复测，防静电大褂衣和夹克衣每半年应做一次防静电特性复测，对于检测不过关的防静电大褂衣和夹克衣应停止使用，更换新的。

i）设备组在收到新的防静电衣时，通知ESD工程师对防静电服的静电电压进行检测。

检测数量为抽样来料的5％若抽样数低于2件，则抽取2件。

检测方法如后面所示，如果该批防静电衣有一件测试不合格，则拒收。

除上述方法外，被抽测的静电衣还应被洗33小时后再做以上测试。

如果静电衣的表面电阻仍在106-109ohm之间且经磨擦后的静电电压仍小于等于0.2Kv，则为合格，否则为不合格。

8.2.1.4防静电服的检测：

a）目前使用的防静电防静电大褂衣，主要是测试它的摩擦电压和表面电阻这两个指标。

b）检测指标：

表面电阻和摩擦静电压。

C）检测标准：

表面电阻（点与点、片与片、袖与袖之间）1*106至1*109Ω/摩擦静电压小于0.2Kv。

d）检测仪器：

兆欧表和静电电压表。

e）防静电性能检测条件：

温度20~30℃，相对湿度45±5%。

8.2.2防静电帽：

防静电帽的相关规定请参照防静电服。

防静电帽应正确佩戴，帽沿朝前头发不能露出防静电帽外后脑部分的短细的头发不能超过防静电衣领外。

8.2.3防静电工作鞋：

8.2.3.1作业人员必须穿防静电鞋，经过人体综合电阻测试合格后，方可进入静电敏感区域工作。

8.2.3.2防静电工作鞋每半年应做一次防静电特性检测，对于检测不过关的防静电工作鞋应停止使用，更换新的。

8.2.3.3检测指标：

体积电阻和摩擦静电压。

8.2.3.4检测标准：

5*105—5*107Ω和200v。

8.2.3.5检测仪器：

体积电阻—兆欧表，摩擦静电压—静电电压表。

8.2.3.6防静电鞋的使用要求：

a）为使人体有效接地、防止人体和鞋本身带电，并保证操作者因意外接触高电压时不致受到伤害，除应将车间地面做成防静电地面以外，操作者还应穿用防静电鞋，而且防静电鞋必须与防静电衣配套使用，同时防静电鞋底应具有使人体与大地构成回路的材料和结构。

b）EPA区域内的工作人员必须穿防静电工鞋，人体通过工鞋到EPA地面的电阻（人体综合电阻）应该满足0.75×106～100×106。

c）穿防静电鞋时可以穿棉质的袜子或不穿袜子，不得另加鞋垫，特别是绝缘性鞋垫。

不得在鞋底粘贴绝缘胶片或其它涂料，保持鞋底的清洁。

d）坐式操作的员工应保证工鞋接触地面，不得把脚抬离地面放置。

8.2.4防静电手套或指套：

8.2.4.1在EPA内，操作员工应戴上防静电手套或指套，防静电手套或指套兼具防腐蚀的功能。

8.2.4.2在不便使用有绳防静电腕带的岗位，如流动操作岗位，须使用防静电手套。

坐式操作，必须佩戴腕带。

8.2.4.3防静电手套和指套较脏时应及时清洗干净，手套使用期限为一月

8.2.4.4防静电手套或指套的防静电特性检查请参照防静电服的部分检查方法。

8.2.5防静电腕带：

8.2.5.1防静电腕带是通过腕带与皮肤的直接接触和静电线接地的方式，将人体皮肤表面静电泄放掉装置，由松紧圈和接地组件构成。

松紧圈的要求是体积电阻率≤100Ωcm接地组件必须串接一定数值的电阻，以确保操作者意外触及高电压时不致发生人身伤害。

该电阻的选择原则是，一方面应保证操作者在触及线电压时流过人体的电流不大于5mA，另一方面又要保证人体所带的静电能通过该电阻很快泄放，使皮肤上的静电压小于200V，一般该电阻阻值取为106Ω。

8.2.5.2因无绳防静电腕带的性能对环境湿度依赖性太强，禁止使用无绳腕带。

建议使用在线报警防静电腕带，因为它可以实时监控防静电腕带与人体皮肤是否实时导通，从而保证人体皮肤静电能及时释放掉。

8.2.5.3进入静电敏感区域应将防静电环连接好，与皮肤完全接触，保证防静电环正常有效的工作。

腕带佩带方法：

将腕带扎于手腕处，不能松动，手腕感觉四周握紧。

保证手腕带内表面与皮肤良好接触，接地线与EBP连接。

8.2.5.4腕带接地应采用香蕉插头、插孔的连接方式，应避免使用鳄鱼夹的接地方式。

8.2.5.5每班开工前，每位员工都应自检防静电环是否正常，并作好记录，只有测试合格，才可以进入静电敏感区域工作。

8.2.5.6防静电线的有效长度是2.5米，在使用防静电环的过程中，不可过度拉扯而超过它的有效长度，不可折断防静电线，不可冲洗防静电环，拔插时不可通过拉防静电线来完成，不可在防静电环金属片上加水等，要注意正确使用和妥善保护好防静电环。

8.2.5.7先戴好防静电环，再拿静电敏感器件ESSD，先放下静电敏感器件ESSD，再拔防静电环。

在实际工作中要注意此顺序，要养成这种习惯。

8.3临时或外来人员的防静电管理：

8.3.1临时（外来）人员，包括参观人员、非本车间联系工作人员、临时施工人员（包括电工、修理工、装饰工等），进入防静电区域时，必须遵守防静电区域和生产过程的各项防静电要求。

8.3.2临时（外来）人员在参观或作业过程中，不得靠近操作静电敏感器件的工作人员，也不得靠近或徒手接触含有静电敏感器件的在制品或成品。

8.3.3临时施工作业在正常生产时间内要避免瞬时高压、瞬时放电的操作（如电焊、启动电机、开关高压电源等）或事前采取防范措施，或安排在非生产时间内施工作业。

8.3.4防静电区域内需要进行某种维护、修理作业时，维护人员应携带并使用防静电维修包，并遵守防静电区域的有关规定。

8.静电敏感区域的防静电操作规范

9.1所有的ESSD（静电敏感器件）及其部件的操作必须在静电安全工作台上进行。

9.2进入静电敏感区域的所有电子元器件都应视为ESSD来对待。

9.3贮存和运输ESSD及其部件时，应妥善进行防静电包装。

9.4拒绝接受未包装在防静电容器里的ESSD。

9.5所有用非ESD材料包装的电子元器件都应在指定的静电泄放区域，经过拆包和静电泄放处理后，方可用防静电中转工具将其转到静电敏感区域。

9.6不允许在静电敏感区域内存放和处理非ESD的材料，不允许在非静电敏感区域内存放和处理未包装的ESSD，不允许非ESD的材料与ESSD混放。

9.7进入静电敏感区域的人员，都要必须穿好防静电工作服，必须戴上防静电环，腕带必须与皮肤有良好接触并将腕带接入可靠的防静电接地系统中，防静电鞋和脚必须与防静电地板或ESD地垫保持良好接触，防静电帽也必须按规定戴好。

9.8重要工位上应配备腕带监控器，以随时监控腕带是否处于正常状态。

9.9不得随意拆除和改变ESSD的封装，运送全过程应在防静电容器中进行，清点也尽可能在原包装内完成。

9.10测试ESSD时必须遵守加电和去电顺序，严禁带电插拔ESSD。

9.11持拿ESSD，应持其外壳两端，严禁人手触及其引脚或接线片，特别是空悬的输入端。

9.12ESSD器件的引脚或接线片，特别是空悬的输入端不可放在金属桌面上，容易引起导通，短路等ESD事件，从损坏ESSD器件。

9.13装配ESSD时，尤其是MOS管等静电敏感器件，应戴上防静电手套或指套。

9.14清洗ESSD及其部件时，不得使用塑料刷。

9.15不具备防静电功能的必备工具和用具，应放在防静电桌垫上，并应置于离子风机的作用范围内。

9.16操作时应尽量减少对ESSD及其部件的接触次数。

9.17组装电子产品和设备时，如果需要使用电动批，应使用有接地线的低压直流电动批。

9.18在手工焊接时，应采用防静电低压恒温烙铁。

对GJB1649规定的I类ESSD焊接，还应在拔掉烙铁电源插头后进行。

9.19禁止重复使用ESSD器件包装管来包装ESSD器件。

9.20原包装标识为静电敏感的元件其散料必须使用防静电材料盛放和包装。

9.21ESSD器件初始包装应在静电敏感区域内完成，并要用防静电材料包装。

完成了初始包装的ESSD器件进行二次包装时可以在非ESD区域内完成，也需要防静电材料。

9.22禁止使用超过有效期的防静电材料来接触或包装ESSD器件。

9.23在任何场合均不允许未采取防静电措施的人员接触ESSD及其部件。

9.24生产过程中使用的设备必须采取接地等防静电措施。

9.25运输ESSD及其部件时，应将其放入防静电包装内进行，必要时，应用离子风机来消除在运输过程中产生的静电。

9.26新布置的生产线或工位等都应进行ESD认可，只有认可合格后，方可给生产线使用。

9.27新投入防静电敏感区域的防静电材料，包括主料，辅料和包装材料都应进行ESD认可，只有认可合格后，方可给生产线使用。

9.28新投入防静电敏感区域的防静电工具等都应进行ESD认可，只有认可合格后，方可给生产线使用。

9.静电敏感区域的工作台、工装、设备以及防静电器材的防静电规范

10.1基本防静电要求:

防静电工作区内的各种设备、工具、工装仪器都应实施静电防护措施，如接触元器件的部分应使用防静电材料（体积电阻<109Ω），对非防静电材料（表面电阻>1012Ω）应采用静电中和或涂抹防静电涂液、涂层等其他防护措施进行有效的接地（硬接地软接地）。

10.2防静电工作台的技术要求：

其中各组成部分的主要技术要求如下:

10.2.1工作台垫和地垫均应采用防静电材料。

静电台垫和地垫上任意一点的系统电阻和表面电阻均为：

1×105Ω~1×109Ω静电泄放至100V以下的时间小于1S。

10.2.2防静电腕带的泄漏电阻为1×106Ω±10％，静电泄放至100V以下的时间小于0.1S。

10.2.3防静电工作椅:

防静电工作椅上任意一点和人体接触的地方（椅垫，靠背或扶手）到工作椅的任意一个导体脚轮的电阻应该满足≤1×109Ω（不依赖于相对湿度），工作椅系统接地电阻应满足≤1×109Ω；工作椅表面的摩擦电压必须小于100V或高静电电压泻放到100V以下的时间小于2秒。

10.2.4电离器：

在不能有效泄放静电的场合，可采用电离器通过电离空气产生的正负离子，来防止和中和在元器件上及其它物体上的电荷积累。

要求电离器对静电电压的消除能力大于100V/S。

电离器的平衡度要求小于±15V，静电消散时间要求从1000伏下降到100伏的时间要求小于2秒（中档风量、作用距离1Fit）。

10.2.5增湿器：

当相对湿度较低时，可恰当的使用增湿器，通过恒定的潮湿气流，防止静电荷积。

但此方法不适于非密封电子元器件。

操作时要注意因湿度增加而导致的有害影响。

10.2.6接地系统：

包括限流电阻和连接端子，应连接可靠，并具有一定的载流能力。

限流电阻阻值的选择应保证漏泄电流不超过5mA，下限阻值应为1MΩ。

防静电工作区必须有安全可靠的防静电接地装置，接地电阻小于4Ω。

防静电地线不得与电源零线相接，不得与防雷地线共用。

另外，工作台面、地垫、其它ESD保护设施均应通过限流电阻接至公共地线，腕带应通过工作台顶面接地点与地线连接。

工作台不能相互串联接地，而应