国内外超净高纯氢氟酸需求分析概要.docx
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国内外超净高纯氢氟酸需求分析概要
国内外超净高纯氢氟酸需求分析
1超净高纯氢氟酸用途
电子级氢氟酸主要是作为清洗剂和蚀刻剂用于光伏产业（光伏电池制造）、集成电路（集成电路（IC）和超大规模集成电路（VLSI）芯片制造）和玻璃减薄（液晶显示器件制造）等行业，是关键辅助材料之一。
在光伏产业中，用于硅片表面清洗、蚀刻；在集成电路和超大规模集成电路制造中，用于晶圆表面清洗、芯片加工过程的清洗和腐蚀等；在玻璃减薄行业中，用于液晶显示器玻璃基板的清洗、氮化硅及二氧化硅蚀刻等。
超净高纯氢氟酸为强酸性清洗、腐蚀剂，可与硝酸、冰醋酸、双氧水、氢氧化铵、氟化铵等配置使用，还可作为分析试剂和制备高纯含氟化学品。
2国内外超净高纯氢氟酸分类
由于世界超净高纯试剂市场的不断扩大，从事超净高纯试剂研究与生产的厂家及机构也在增多，生产规模不断扩大，但各生产厂家所生产的超净高纯试剂的标准各不相同。
为了能够规范世界超净高纯试剂的标准，国际半导体设备与材料组织（SEMI，即SemiconductorEquipmentandMaterialsIntemational）于1975年成立了SEMI化学试剂标准委员会，专门制定超净高纯试剂的国际标准。
目前国际SEMI标准化组织将超净高纯试剂按应用范围分为4个等级：
（1）SEMI-C1标准（适用于>1.2LmIC工艺技术的制作）；
（2）SEMI-C7标准（适用0.8~1.2LmIC工艺技术的制作）；（3）SEMI-C8标准（适用于0.2~0.6LmIC工艺技术的制作）；（4）SEMI-C12标准（适用于0.09~0.2LmIC工艺技术的制作）。
SEMI国际标准等级见表1。
表1SEMI国际标准等级
SEMI标准
C1（Grade1）
C7（Grade2）
C8（Grade3）
C12（Grade4）
（Grade5）
C11（VLSIGrade）
金属杂质
≤1ppm
≤10ppb
≤1ppb
≤0.1ppb
≤0.01ppb
≤50ppb
控制粒径/μm
≥1.0
≥0.5
≥0.5
≤0.2
/
≥0.5
颗粒，个/mL
≤25
≤25
≤5
/
/
≤250
适应范围
适用于＞1.2μmIC技术的制作
适用于0.8-1.2μmIC技术的制作
适用于0.2-0.6μmIC技术的制作
适用于0.09-0.2μmIC技术的制作
适用于＜0.09μmIC技术的制作
适用于0.8-1.2μmIC技术的制作
我国超净高纯试剂的研制起步于20世纪70年代中期，1980年由北京化学试剂研究所（以下简称试剂所）在国内率先研制成功适合中小规模集成电路5Lm技术用的22种MOS级试剂。
随着集成电路集成度的不断提高，对超净高纯试剂中的可溶性杂质和固体颗粒的控制越来越严，同时对生产环境、包装方式及包装材质等提出了更高的要求。
为了满足我国集成电路发展的需求，国家自“六五”开始至“八五”，将超净高纯试剂的研究开发列入了重点科技攻关计划，并由试剂所承担攻关任务。
试剂所已相继推出了BV-Ⅰ级、BV-Ⅱ级和BV-Ⅲ级超净高纯试剂，其中BV-Ⅲ级超净高纯试剂达到国际SEMI-C7标准的水平，适用于0.8~1.2Lm工艺技术（1~4M）的加工制作，并在“九五”末期形成了500t年的中试规模。
20世纪初试剂所又进行了用于0.2~0.6Lm工艺技术的BV-Ⅳ级超净高纯试剂的研究开发。
国内目前尚未有统一的行业制造标准，查阅到的国外标准有国际半导体协会标准：
SEMIC1.8－1990《氢氟酸标准》，SEMIC7.3－1990《二级氢氟酸标准》，SEMIC7.4－1990《49％二级氢氟酸标准》，往往根据这些标准进行修改采用。
因此，各企业产品质量存在很大差别，目前国内企业正在积极推动制定高纯工业品氢氟酸国家标准，根据电子行业用户的实际要求确定适宜的质量要求，推动企业技术创新，规范产品质量，指导企业生产和促进出口。
国内有的高纯试剂生产企业拥有自己的企业标准，其中，BV系列标准比较常见，该标准共分为七个等级。
如北京化学试剂用的就是BV系列标准，具体见表2。
表2国内高纯试剂常用规格
品级
尘埃粒径
尘埃粒子数
各金属杂质含量（非金属杂质含量）
适用于半导体IC
低尘埃
5～10μm
＞2700个/100ml
-
≥5C
MOS级
≥5μm
≤2700个/100ml
≤500ppb（<1ppb）
≥3μm（适合中小规模集成电路5μm技术用）
BV—Ⅰ级
≥2μm
≤300个/100ml
1～ｎ×10ppb
＞2μm（属于标准电子级）（相当于ELSS级）
BV—Ⅱ级
≥2μm
≤200个/100ml
1～ｎ×10ppb
≥1.2μm（属于标准电子级EL级）（相当于ELSSs级）
BV—Ⅲ级
≥0.5μm
≤25个/ml
≤10ppb
0.8～1.2μm（相当于SEMI-C7）（属于超大规模集成电路级VLSI或ULSI级）
BV—Ⅳ级
≥0.5μm
≤5个/ml
≤1ppb
0.2～0.6μm
BV—Ⅴ级
≥0.2μm
TBD
≤0.1ppb
0.09～0.2μm
有的电子化学试剂按照纯度分为EL级、UP级、UP-S级三个等级。
EL级：
金属杂质含量小于100ppb，控制1微米粒径粒子，达到SEMIC1C2标准，适合中小规模集成电路及电子元件加工工艺
UP级：
适用1微米集成电路及TFT-LCD制造工艺，金属杂质含量小于10ppb，经过0.2微米孔径过滤器过滤，控制0.5微米粒子，在100级净化环境中灌装，达到SEMIC7标准。
UP-S级：
适用0.35-0.8微米集成电路加工工艺，金属杂质含量小于1ppb，经过0.05微米孔径过滤器过滤，控制0.2微米粒子，在100级净化环境中灌装达到SEMIC8标准.
各微电子生产企业对高纯氢氟酸要求的标准不同，将其划分为四个档次：
①低档产品，用于>1.2μmIC工艺技术的制作；②中低档产品，适用于0.8～1.2μmIC工艺技术的制作；③中高档产品，适用于0.2～0.6μmIC工艺技术的制作；④高档产品，适用于0.09～0.2μm和＜0.09μmIC工艺技术的制作。
目前国内能够生产SEMIC1~7级（包括MOS级及BV-Ⅰ~Ⅲ级）高纯氟化氢的企业约10家，而能生产SEMIC8~12级（大致相当于高于BV-Ⅲ级的产品）的极少。
在2010年7月举行的IntersolarNorthAmerica上，SEMI光伏标准委员会通过了八项光伏新标准，其中有PV11-1110——氢氟酸规范/光伏应用。
2012年度全国半导体设备和材料标准化技术委员会（TC203）会议，国家光伏质检中心将参与《光伏电池用电子级氢氟酸》等国家标准的制修订。
3超净氢氟酸下游行业形势分析
3.1光伏产业（光伏电池制造）
3.1.1全球光伏装机状况分析
据最新统计数据显示，2011年27.7GW的全球光伏发电装机，较2010年新增光伏装机量增长了约67%，也远高于2011年初市场一致预期的22GW，光伏市场再度成为2011年可再生能源中的”亮点”。
截至2011年底，全球累计光伏装机量达到67.4GW，是仅次于生物质能和风电的第三大可再生能源。
传统欧洲市场仍然是2011年全球光伏发电装机市场增长的主要动力：
2011年欧洲地区21GW的光伏发电装机量占到了全球总装机的约75%，其中德国和意大利光伏装机为16.5GW，占全球光伏装机量的近60%。
值得注意的是，在经历了前三季度的低迷后，第四季度成为2011年全球光伏装机强劲增长的动力来源，包括德国在内的数个市场在四季度出现了抢装潮。
与此同时，2011年非欧洲市场也出现了较大幅度的增长，例如中国、美国以及日本光伏装机均超过了1GW。
OFweek行业研究中心认为，目前光伏产业链的利润已经被严重压缩，光伏产品价格继续大幅下降空间有限，2012年全球光伏行业产能过剩问题将继续存在。
首先，在政策制约下，2012年包括德国、意大利等传统市场很难再现大幅增长。
其次，包括中国、印度在内的新兴市场尚未建立起可持续发展机制。
此外，虽然存在大量的其它有潜力新市场，但市场开发还尚需要一个过程。
预计2012年全球光伏装机容量小幅增长至28GW，欧洲装机容量则降至12GW左右，占全球市场的比例会降至43%左右。
对于未来光伏产业的发展方向着重以下三点：
其一，大规模光伏制造国需要激活其国内市场，在本地消化更多的产能；其二，由于大部分大陆光伏发展的无穷潜力还未得到开发，在未来十年需要开发新的市场来推动光伏产业发展；其三，在未来需要更加注重开放市场和公平竞争原则。
2011年中国的上网电价补贴政策开启了国内光伏市场的新局面，仅仅是青海省就安装了将近1GW的地面型项目。
据最新统计数据显示，中国2011年新增太阳能发电装机容量约2000MW，新增量位居世界第三，占全球太阳能发电新增装机的7%。
3.1.2全球光伏装机分布情况
据最新统计显示，意大利，德国，中国，美国，法国和日本在2011年安装量超过1GW，占比达到82.10%。
2011年全球累计安装量达67GW，较2010年底的40GW增长70%。
目前中国市场成长显著，中国光伏组件生产商，大力发展国内市场业务，以支持自身的产能增长。
2011年中国新增安装量至少2GW，美国1.6GW，日本1GW，澳大利亚700MW，印度300MW。
此外，非洲、中东、东南亚和南美洲地区也积极开展光伏市场。
3.1.3光伏产品价格走势分析
光伏产品价格持续下降，从2011年以来，太阳能硅片的下滑程度已达70%。
而随着硅片价格以比多晶硅还快的速度持续走低，光伏组件商开始以采购代替制造，最终结果是低成本的硅片制造商从中获利。
据最新的统计显示，光伏产品价格在2011年大幅下降，预计2012年将延续这一趋势。
其中，太阳能硅片的价格在过去12个月中大幅下滑70%，从2011年一季度的1美元/瓦，下降到2012年一季度的0.3美元/瓦。
另外，多晶硅、电池和组件的价格较2011年同期分别下降48%、57%和44%。
巨大的价格压力和光伏产业的市场竞争迫使供应商努力降低成本。
中国大的组件供应商在2010年到2011年时曾谋求100%的产业链垂直整合，并快速扩大内部硅片产能。
然而随着硅片价格以比多晶硅还快的速度持续走低，组件商开始发现硅片的市场采购价已经低于其内部制造成本，于是这些厂商纷纷降低内部硅片生产量。
据悉，全球太阳能硅片的产能在2011年提高50%，达到50GW。
然而去年市场需求仅增长35%，为26.9GW。
由此造成近一半产能过剩。
调查报告还指出，通过对2012年市场走势的宏观把握，硅片产能仍将继续扩大，但增速会较最近几年明显放缓。
与此同时，由于产能持续过剩，硅片价格也将继续走低。
3.1.4中国光伏形势补充
2011年随着国家光伏上网电价的落实和太阳能光伏产业发展“十二五”规划相继颁布实施，中国光伏产业规模逐步增大，国际化程度愈加增强，但产业发展也面临着供需失衡严重、企业利润空间不断受到挤压、行业竞争愈加激烈、外加美国“双反”贸易调查、行业整合不可避免等不利局面。
2011年是“十二五”开局之年，也是中国光伏产业发展中极不平凡的一年，在经历了“十一五”末期的高速发展之后，产业发展开始步入调整期。
大起大落的发展景象也引起了各级政府的高度关注，诸如国家1.15元/度的上网政策出台、《可再生能源发展“十二五”规划》、《太阳能光伏产业发展“十二五”规划》和《太阳能发电“十二五”规划》等的颁布实施，为产业后续发展奠定了坚实的基础。
2012年光伏产业将面临复杂多变的国内外形势，既有光伏发电成本快速下降，新兴光伏市场快速崛起等有利发展趋势，又有供需严重失衡，欧美国家“反倾销反补贴”大棒威胁等不利因素。
2012年中国产业规模将不断扩大，国际化程度将稳步提高。
预计中国2012年太阳能电池产能将超过40GW，产量将超过24GW，仍将占据全球半壁江山。
生产成本将进一步降低，多晶硅生产技术持续进步，产业自给能力迅速提高，规模也进一步扩大，有望彻底摆脱进口局面。
预计2012年中国投产多晶硅企业达60家以上，产能超过16万吨，产量达到13万吨，可满足国内80%以上市场需求，形成约占世界市场40%的良好态势。
2012年市场供需失衡压力持续增大，产业整合不可避免。
2011年中国电池组件企业约156家（产能超过35GW），相对光伏需求量远远供过于求，需求增速远不及产能扩张。
并且国内光伏企业可能遭受国外资本的入侵。
2012年产品价格仍将下跌，企业经营压力增大。
2012年美舞“双反”大棒，产业面临严峻贸易保护挑战。
2012年各路资本竞逐光伏产业，行业竞争愈加残酷。
在不到10年的时间里，中国光伏从“天方夜谭”般的概念发展成为全球化程度极高、产业规模位列世界前三的新兴产业。
2007年中国光伏产品出口额达到28.38亿美元，增速达到惊人的1161.97%，可以说2006-2009年是中国光伏产业发展最迅猛的时期。
截至2011年年底，中国光伏产品出口额已经达到358亿美元，同比增长17.38%。
然而，这个基本依靠搭乘德、意等欧洲国家发展新能源的大潮而一夜崛起的行业，由于有近90%的市场在外，始终无法摆脱看别人脸色度日的命运。
尤其是近两年，全球金融危机导致的欧美市场疲软，已经对整个中国光伏造成重创，美国于2011年年底发动的反倾销、反补贴的“双反”调查，更是把这种困境推到极致。
2011年中国光伏产品出口市场主要是欧洲、亚洲和北美洲，其中以欧洲为首，占56.94%，亚洲占21.15%，北美洲占16.54%，其出口额分别为204.00亿美元、75.77亿美元及59.26亿美元。
中国光伏产品出口前三位的国家分别是德国、荷兰和美国。
另外欧洲主要以德国、荷兰和意大利为主，亚洲主要是澳大利亚和日本，北美洲主要以美国为主。
3.1.5世界光伏发展预测
3.1.5.1欧洲光伏行业发展预测
未来欧洲光伏行业的发展将会呈现以下特征：
首先，政策的“摇摆”依然会贯穿始终，成为决定欧洲乃至整个全球光伏产业走势的关键因素。
自2008年金融危机过后，削减光伏领域的补贴，似乎已经成为欧洲各国政府的一大要务。
以曾经的欧洲也是全球第一大光伏应用国--西班牙为开端，德国、意大利、捷克、法国、英国、比利时等国家的削减补贴行为接踵而至。
据OFweek行业研究中心统计，2008年-2011年底，欧洲各国政府累计削减光伏补贴的次数高达近百次。
其次，企业倒闭潮将愈演愈烈。
纵观2011年全球光伏产业的发展历程，除了政策摇摆不定、需求持续低迷、价格一路下跌等关键词之外，破产倒闭潮起也是其中的重要组成部分，而欧洲老牌光伏企业则成为倒下去的“主力军”。
未来随着终端市场需求的不断扩大，欧洲老牌光伏企业能否重现昔日的辉煌呢？
OFweek行业研究中心认为，全球光伏产业发展到今天，制造环节的格局正经历着前所未有的调整，欧洲老牌光伏企业所遭遇的困境，并非只是暂时的“谢幕”，而是产业链重新调整区域分工之后的必然选择。
因此未来一两年之内，欧洲老牌光伏企业不仅难现昔日的辉煌，相反倒闭潮将会愈演愈烈。
再次，装机容量占全球的比例将愈来愈低。
未来欧洲光伏市场依然会不断“向前”，但这种向前的幅度很大程度上取决于“不断降低的电价补贴”与“安装者所能接受的补贴额度”取得平衡的时间。
而虽然向前的幅度不容乐观。
但不可否认，单就绝对安装量来讲，至少在未来两年，欧洲还会是全球光伏终端应用的核心区域。
而在欧洲区域内部，德国，意大利的绝对安装量依然会领先其他欧洲国家，但增速将大大放缓，甚至会出现负增长。
而奥地利、保加利亚、捷克共和国和罗马尼亚、英国、比利时、法国、西班牙和希腊等，将扮演2010年捷克（当年安装量超1.5GW）的角色。
而综合数据分析，不难得出欧洲光伏装机容量占全球的比例将愈来愈低的结论。
2010年全球太阳能光伏安装量达到超18GW，当年欧洲国家的装机容量为1470万千瓦，欧洲占全球市场的比例达到80%。
2011年全球光伏发电安装量突破27.7GW，同比2010年增长70%，创历史新高。
意大利和德国成为全球安装量最高的国家，占全球市场60%。
而欧年洲继续统领全球光伏市场，占全球市场的75%。
2012年全球光伏装机容量小幅增长至28GW，欧洲装机容量则降至12GW左右，占全球市场的比例会降至42%左右。
3.1.5.2北美光伏行业未来发展预测
在目前所看到的几乎所有分析中，北美市场无一例外都被看做未来全球光伏产业的主导市场。
这一方面得益于这一区域良好的产业基础和传统；另一方面则是近年来美国、加拿大联邦政府及各州省政府给予产业的强有力的支持政策。
特别是美国联邦政府，作为在金融危机中就职的美国总统，奥巴马选择把发展新能源作为化“危”为“机”、重振美国经济的主要政策手段，以期摆脱美国对外国石油的依赖，在新能源领域占领制高点，继续使美国充当世界经济“领头羊”。
而在美国的经济刺激计划中，新能源为主攻领域之一，太阳能则是重中之重。
奥巴马政府计划到2012年，使美国发电量的10%来自可再生能源等，2025年这一比例达到25%。
为此，美国政府将在未来投入1500亿美元资助包括太阳能在内的替代能源研究，并为相关公司提供税收优惠。
而正是在这些政策的扶持下，美国光伏产业在2008-2011年这一周期获得了前所未有的发展，光伏产业增长率及所创造的就业岗位、终端市场安装量等指标都出现了大幅度的增长。
比如：
2010年美国光伏产业的增长率达到69%，成为美国经济当中增速最快的产业之一。
另外，截止2011年底，美国光伏产业创造了超过10万个就业岗位，这一数字是2009年的两倍。
而美国光伏市场的新增安装量2010年倍增至878MW，2011年更是一举达到1600MW的最新纪录。
展望未来几年，OFweek行业研究中心认为，虽然同样会遭遇到一系列困境，但总体来讲，北美光伏行业的发展依然会保持在高位增长的状态。
首先在终端安装方面，北美市场的安装量逐年上升之后，占全球市场的比例也会提升（2010年6%、2011年7%、2012年10%）。
而在这其中，美国市场的增长情况尤为值得关注。
其次，北美域未来几年有望成为中国（包括台湾地区）之外的又一光伏制造基地。
OFweek行业研究中心高级分析师Siro认为，与欧洲类似，在2011年持续至今的倒闭潮中，北美区域的光伏企业也在经受着前所未有的考验，但这并不意味着北美区域在全球光伏制造环节所占的比重会逐年降低。
相反，由于终端市场活力无限，除了产业洗牌过程中存活下来的企业会不断扩张之外，中国等海外企业迫于贸易纠纷等因素向北美区域逆向布局，也会巩固，乃至加强北美区域在光伏制造环节的地位。
另外，北美区域不少企业在第三代光伏技术的提前布局，也是其未来夺取市场占有率的关键。
3.1.5.3中国光伏行业未来发展预测
全球光伏产业的发展正在经历着前所未有的变局，作为其中的最重要一极，中国光伏产业眼下的变局也是剧烈而深刻。
从最初的仅在制造环节布局，到现如今在终端安装领域的强势崛起，中国光伏产业用了十年的时间，逐渐摆脱了贴上标签的“两头在外”的尴尬产业特征。
虽然过去十年中国光伏产业所经历的“大事”不计其数，但基本围绕“制造与应用双重博弈”这条主线。
对中国的未来OFweek行业研究中心观点认为，与中国其他制造型行业的发展路径略有不同，在经历了前期的布局之后，光伏这一制造型行业将由基本完全出口（95%以上），向出口与内销并重的方向发展。
而这一点完全得益于国内光伏市场的开启速度。
2010年中国光伏市场占全球的比例仅为3%，2011年已经上升到7%，而2012年这一比例将上升至18%。
除了终端安装市场的强势崛起，绝对安装量以及占全球市场的比例都将大幅提升之外，未来中国光伏制造环节的变局依旧会引人关注。
首先，产业内部的洗牌会不断加剧。
整个2011年伴随着欧美不少老牌光伏企业的相继倒下，市场上有一种观点就是，这中间有很大一部分因素是中国光伏企业不断蚕食其市场份额所导致的结果。
欧美光伏企业的倒下，可以从另一个层面理解为中国光伏企业的胜利。
但事实果真如此吗？
中国光伏产业整体的强大，并不代表个体光伏企业的风光无限。
我们认为，未来一到两年中国光伏企业内部的洗牌程度，将丝毫不亚于2011年欧美光伏企业倒下的频率。
其次，民企主导中国光伏制造业的格局将被打破。
过往十年是中国光伏产业奠定国际地位的十年，但与其他产业的成长路径不同，这中间国有企业的“不作为”足以称得上另类。
但以2012年为节点，国有企业的“不作为”即将画上句号。
这一方面是国有企业进军光伏制造环节的“欲望”驱使；另一方面，现有光伏制造企业（包括一线龙头企业）的经营普遍困难，也给了国有企业入主这一环节的机遇。
最后，我们看到中国光伏制造业日益增强的国际影响力的同时，也不能忽视随时可能爆发的贸易纠纷。
301调查、双反调查只是一个开端，未来类似的争端会一直伴随产业的发展进程。
另外，我们讲中国光伏制造业现阶段以及未来的发展都被看好，但并不意味着其他区域无法完成“弯道”超车，比如前面所谈到，北美光伏企业在第三代光伏技术领域的提前布局，应当可以看做是对中国光伏企业的一个“潜在威胁”。
3.1.5.4日本光伏行业未来发展预测
从未来发展来看，日本政府再度大力推广光伏应用的决心已经显露，这当然与目前全人类所面临的共同难题息息相关。
首先，不断增长的能源需求对全球每个国家提出了两个严峻挑战：
气候变化和能源安全，世界各国政府正在采取行动应对这些挑战。
IEA（国际能源署）已经给出这样的预测：
全球能源需求将持续增长，但增长步伐将比近几十年放缓，化石燃料的份额将从2008年的81%降至2035年的74%。
而以太阳能光伏等为代表的新型清洁能源，必将会在未来的全球能源供应体系中占据相当重要的位置。
这些恐怕是目前包括日本在内的全球各国大力推广太阳能光伏应用的最大原因所在。
其次，从更深层次来看，未来太阳能光伏的推广和应用或许将远远超出能源供应本身这一层级。
由于产业本身所代表的“先进生产力”，以至于包括美国在内的不少国家已经把光伏产业推升到未来影响全球经济整体发展的高度，并加以大力扶持。
对于曾经以技术“独步天下”的日本来讲，自然不愿在此方面落后世界诸强。
而金融危机后日本不断加大在光伏研发领域的投入就是最好的例证。
日本经济产业省的数据显示，2009年度日本在太阳能光伏研究开发方面的投入达到20亿日元，未来几年还会有更大笔的财政预算，力求将太阳能发电成本降至和火力、核力等同等水平。
提高发电效率、缩减制造成本是重点支持方向。
2012年，日本通过实施与其他光伏领先国家相类似的上网电价补贴政策，并促建其市场打破住宅应用领域的束缚转向多样化发展，来着手准备更快速的市场发展。
除了政策延续带来的终端安装市场持续增长之外，日本光伏市场未来呈现的另一大变化就是海外光伏企业的大举进入。
OFweek行业研究中心数据显示，2008年之前，日本光伏市场完全由本土组件制造商所占据，其中包括夏普、京瓷、松下（即此前的三洋）和三菱等。
中国的尚德电力是在其住宅系统计划重新启动时进入日本市场的，成为了在日本市场内占有一席之地的三十多家非日本本土组件制造商之一。
随着日本国内市场重新开始发展，进口组件所占市场份额大幅上涨，占到了2011年组件总供应链的20%。
而未来几年这一数据将会呈继续攀升态势。
3.2集成电路（集成电路（IC）和超大规模集成电路（VLSI）芯片制造）
1958年美国德克萨斯仪器公司发明全球第一块集成电路后，随着硅平面技术的发展，20世纪60年代先后发明双极型和MOS型两种重要电路，创造了一个前所未有的具有极强渗透力和旺盛生命力的新兴产业——集成电路产业。
集成电路（integratedcircuit，港台称之为积体电路）是一种微型电
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