中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室2.docx
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中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室2
中国工程物理研究院超精密加工技术
重点实验室
2021年XX基金课题指南
超精密加工技术重点实验室管理办公室 XX
二〇一二年十一月
中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室
2021年XX基金课题指南
超精密加工技术重点实验室（以下简称“实验室”）隶属中国工程物理研究院（以下简称“中物院"），是中物院超精密加工科技方向基础性、创新性研究的责任主体.实验室成员单位为电子工程研究所、机械制造工艺研究所、激光聚变研究中心，挂靠单位为机械制造工艺研究所，主要从事超精密加工机理、工艺、装备与检测等基础研究工作。
为进一步推动XX、合作与交流，实验室面向全国超精密加工技术领域的研究与工程技术人员设立XX基金,支持国内优势单位与院内单位共同组建联合研究团队开展相关领域的基础、前沿性研究工作。
创立本基金的目的在于，引导和调动全国高等院校、科研机构的科技人员积极参与超精密加工技术领域的基础性研究，发现新现象、新规律，拓展新方向,建立高水平学术交流与合作渠道，培养超精密加工领域科技人才。
XX基金课题分为XX基金重点课题及XX基金面上课题两类。
1、2021年XX基金重点课题指南
课题1：
紧凑型射频波导传输线研究
科学意义和需求背景:
移相器是相控阵雷达和卫星通讯系统的关键部件,在电扫描相控阵雷达天线系统中有广泛应用,传统类型移相器（如铁氧体或二极管型），其体积相对较大、工作频带窄、损耗大、不易集成、成本高等，这些因素限制了这类移相器的进一步应用。
移相器的出现开辟了移相器技术研究的新途径,移相器具有频带宽、损耗小、成本低、超小型化、易于与、电路集成等特点,对现代雷达和通信系统的具有重要的意义。
移相器一般由开关、传输线、馈电单园等基本单位构成.开关是移相器的切换功能单园,而共面波导传输线则是为了让移相器实现高集成的低损连接,在现代单片微波集成电路中应用广泛。
对于射频器件，除了性能上的要求，对于它的小型化也提出了要求,作为射频器件的基本组成部分的传输线也要适应这个趋势。
传统共面波导在结构上有很多优点,但是在实际应用中也存在着局限性，比如在较高或较低阻抗时传输线导体损耗较大,传输线整体损耗随着频率的升高增加很快等,这些不足都极大地限制着共面波导的应用。
如何改进设计，减小传输线的尺寸以适应电子设备小型化的趋势，是目前研究的一个热点问题。
随着微机械（）技术的不断，出现了一些共面波导的改进结构,典型的有重叠式共面波导（）、提升式共面波导（）、桥式结构共面波导等，这些设计从不同角度出发，一定程度上改进了共面波导的性能,比如降低导体损耗和拓宽可用阻抗范同。
但是上述改进的共面波导结构并不能很好地满足小型化的要求，因此,如何通过波导结构的创新设计进一步减小其它体积，并通过有针对性的匹配设计满足特定波段的信号传输要求,也是 研究中亟待解决的问题.
综上所述,本项目拟提出一种紧凑型传输线结构设计，在工艺基础上，对传统共面波导结构进行改进,设计新型共面波导结构，采用高频电磁场仿真软件对其性能进行模拟和分析，在仿真优化的基础上结合技术进行加工制作，并与传统共面波导结构进行比较，研制体积小且高效的共面波导传输线。
拟解决的主要问题：
1）研究新型叉指共面波导的结构、材料、工艺对波导传输可靠性的影响;
2）掌握基于工艺的、与 移相器整体工艺兼容的紧凑型射频波导传输线的工艺流程;
3）研制新型叉指共面波导结构的紧凑型射频波导传输线原理实验样品;
4）测试样品的传输性能,与仿真结果对照,进一步分析影响其性能和小型化的关键因素。
主要研究内容:
1）新型叉指共面波导结构参数（信号线和地线宽度、地线厚度、形状比等）对波导特性（特征阻抗、有效介电常数等）的影响规律和优化设计方法；
2）金属传输线的材料特性、厚度对波导特性的影响规律；
3）衬底材料、种子层材料及厚度、种子层和衬底间结合力对波导传输可靠性的影响规律；
4）基于工艺的、与移相器整体工艺兼容的紧凑型射频波导传输线的微细加工工艺；
5）紧凑型射频波导传输线原理实验样品传输性能的测试方法。
预期目标和主要技术指标:
掌握新型叉指共面波导的结构、材料、工艺对波导传输可靠性的影响规律和优化设计方法；突破基于工艺的、与移相器整体工艺兼容的紧凑型射频波导传输线的微细加工工艺，研制出新型叉指共面波导结构的紧凑型射频波导传输线原理实验样品,样品体积比传统结构共面波导缩小一倍,回波损耗不超过30，插入损耗低于1。
0。
成果形式:
紧凑型射频波导传输线样品、研究报告
课题2：
晶体磁流变抛光过程超洁净清洗方法与装置研究
科学意义及需求背景:
晶体是唯一可用于激光核聚变光学系统倍频器件和盒的材料，但其软、脆、易潮以及对温度变化敏感等特点使其成为公认难加工光学材料。
磁流变抛光柔性缎带切向力去除是实现超精密加工的一种有效途径,但抛光轨迹处会残留有抛光液，如何完全清除残留的抛光液且不对加工表面质量造成再破坏是一个难点.
拟解决的主要问题：
１）晶体表面抛光残留物特征辨识;
2）晶体表面残留物无损去除方法。
主要研究内容:
１）晶体磁流变抛光过程表面残留物特征辨识方法研究；
2）晶体磁流变抛光后表面残留物吸附机理；
３）晶体表面残留物无损去除方法研究;
4）清洗原理装置技术研究；
５）表面清洗质量评价技术研究.
研究目标和主要技术指标：
探索出晶体磁流变抛光过程表面残留物无损去除方法，研制原理清洗装置,晶体表面质量优于抛光加工以前.
成果形式：
研究报告、原理装置
课题3：
金属薄膜热复合行为研究
科学意义及需求背景：
高精度、高品质的平面或台阶金属薄膜是材料XX状态方程、辐射烧蚀研究的常用样品,其制备过程中经常涉及同种或异种材料薄膜的精密复合连接问题。
采用的复合连接工艺或技术、对复合过程中薄膜关键性能或行为变化的掌控，将直接影响样品的质量、间接影响物理实验结果的精密性和在物理设计等方面的使用价值。
以扩散焊接等为代表的一些先进复合技术还存在一系列基础问题及工艺难题有待研究解决。
例如,热复合过程中金属薄膜的几何参数、结构、成分（物相）、扩散层相关特性的演变规律尚缺乏研究和认识。
开展同种金属及异种金属薄膜热复合连接行为研究，有助于掌握某些金属在复合过程中关键特性变化规律，有助于实现样品精密工艺调控,对物理实验精密化有重要意义.
拟解决的主要问题:
1）常用金属（，）平面膜热复合关键性能演变机理;
２）中、高阻抗参比材料金属（、）台阶热复合过程XX性变化规律.
主要研究内容：
１）异种金属（,）薄膜热复合行为；
2）中、高阻抗参比材料金属（、）薄膜热复合行为。
研究目标和主要技术指标：
1）掌握2～3种金属薄膜热复合初步规律，实现表面质量在纳米量级受控、靶件厚度变化及扩散层厚度在百纳米量级受控,做到结晶性能、成分（物相）、几何缺陷表征清晰;
2）掌握中等阻抗金属薄膜热复合初步规律、提交台阶样品，基底厚度25~3０μｍ、台阶高度１０~15μm、表面粗糙度〈1０0、具有结晶学密度。
成果形式：
研究报告、科技XX
2、2021年XX基金面上课题指南
课题1：
基于石墨烯的探测器研究
科学意义及需求背景：
太赫兹（）在军用雷达、物体成像、宽带通信、医学诊断等领域有应用.现有太赫兹辐射源的低功率输出以及高热辐射噪声等因素对太赫兹探测器的探测灵敏度提出了很高的要求，开展高灵敏、高效率的探测器研究具有重要的科学意义和实用价值。
本课题拟重点探索基于石墨烯的探测器的工艺可行性。
研究均匀、少层、大面积石墨烯薄膜材料的制备技术;研究栅控石墨烯探测器的新结构，提出解决石墨烯能隙调控难题的思路,探索实现石墨烯带内跃迁的高效探测的方法；研究具备匹配天线功能的非对称栅极阵列结构，以提高探测器的灵敏度;给出石墨烯探测器初步的微加工工艺流程。
拟解决的主要问题：
1）基于栅控石墨烯器件的探测新机理；
2）均匀、少层石墨烯成膜及图形化方法；
3）具备匹配天线功能的非对称栅极阵列结构的设计和工艺实现；
4）石墨烯探测器的微加工工艺流程。
主要研究内容：
1）提出可实现石墨烯能隙调控的栅控石墨烯探测器的新结构；提出石墨烯带内跃迁的高效探测方法；分析匹配天线功能的非对称栅极阵列结构提高探测器灵敏度的可行性;
2）研究均匀、少层、大面积石墨烯薄膜材料的制备方法；研究石墨烯探测器的微加工工艺流程。
预期目标和主要技术指标：
针对目前系统应用中对高灵敏探测器的迫切需求,初步掌握基于石墨烯的探测机理，给出初步的石墨烯探测器的制作工艺流程,获得探测器工艺样品。
成果形式:
研究报告，探测器样品
课题2：
亚微米级氧化铈抛光粉制备技术研究
科学意义及需求背景：
超精密光学园件制造在大型光学工程及高技术产品等方面有广阔的应用前景。
但是，超精密抛光用亚微米、纳米级氧化铈等抛光粉的制备技术目前仅为美、法等极少数XX掌握和垄断，严重制约了相关技术的。
开展超精密抛光用亚微米氧化铈抛光粉工程化制备技术研究，有望解决关键性和基础性材料问题，打破国外技术垄断，有力推进超精密抛光技术的。
拟解决的主要问题：
1）亚微米氧化铈颗粒形态和粒度分布控制技术；
２）亚微米氧化铈抛光粉级批量化制备技术.
主要研究内容：
1）亚微米氧化铈抛光粉颗粒形态控制技术研究;
２）亚微米氧化铈抛光粉颗粒分级控制技术研究
3）亚微米氧化铈抛光粉颗粒后处理技术研究；
４）亚微米氧化铈抛光粉抛光工艺特性试验验证与优化技术研究；
5）亚微米氧化铈抛光粉级批量化稳定化制备技术研究。
研究目标和主要技术指标:
突破并掌握超精密抛光用亚微米氧化铈抛光粉批量化和稳定化制备关键技术,为实现该类抛光粉材料的进口替代提供技术支持。
制备的亚微米氧化铈颗粒d５0＝50~2０0、d９9≤5０0，颗粒尺寸比≤2。
０,用于Ｋ9园件抛光可稳定获得优于1。
0的粗糙度。
成果形式:
研究报告、抛光粉样品、抛光样件
课题3：
低Ｇ值加速度计关键技术研究
科学意义及需求背景：
针对低G值加速度计应用面临的稳定性差、精度低等问题,重点开展其稳定性、可靠性、漂移等关键性能的影响因素及其解决方法研究，研制出满足技术指标的原理样机，具有重要科学意义和相关重要需求背景。
拟解决的主要问题:
1）低Ｇ值加速度计的可靠性设计方法;
2）纳米蜂窝结构在加速度计可靠性中的作用及其加工技术。
主要研究内容：
重点研究材料匹配、残余应力、工艺误差等因素对加速度计温度漂移和零位漂移的作用机制，XX相应的解决方案和可靠性设计方法；重点研究纳米蜂窝结构的热学、力学特性及其对抑制加速度计温度漂移、结构应力积累与释放的作用机制，研究相应纳米结构的分布与制作工艺。
研究目标和主要技术指标：
研制出满足下列要求的原理样机，精度：
0。
1％ ;灵敏度≥2;线性度〈1%；量程±1G；零位漂移XX0．4；抗冲击:
1０00G（根据需求待定）。
成果形式：
研究报告、原理样机、公开XX2～３篇
课题4：
二硫化铁薄膜化加工技术及其电化学性能研究
科学意义及需求背景:
热电池具有高功率大电XX电、自放电少、贮存时间长等特点，广泛应用于军事、航空航天领域。
随着微电子技术的，一些特殊装备（例如：
智能炮弹、地雷等）提出了耐储存、大功率脉冲输出微型电池的要求。
电极薄型化、微型化研究是热电池的一个重要的方向。
2比容量大，放电平台较高,性能稳定是广泛使用的热电池正极材料.因此,研究面向微型热电池的2薄膜电极显得尤为必要。
拟解决的主要问题：
１）2薄膜精密加工技术（等离子喷涂、磁控溅射或激光脉冲沉积等）的开发；
2）精密加工技术对2薄膜晶相和粒径的有效控制；
3）精密加工技术制造的晶相、粒径可控２薄膜在熔融盐（）中的电化学性能研究.
研究目标和主要技术指标：
1）优化2薄膜电极的加工沉积技术,明确工艺参数对薄膜晶相、微观形貌的影响机制.
2）加工可用于热电池的2薄膜，并研究其电化学性能,明确薄膜晶相、微观形貌等物性对电化学性能的作用关系。
3）单体2薄膜热电池（电解质、锂硅合金）放电电流密度〉8002,放电容量〉1６０２·.
成果形式：
2薄膜样品、研究报告
课题5：
微细金刚石刀具刃口精密成形关键技术研究
科学意义及需求背景:
微光学园件具有体积小、质量轻、造价低等优点,并且能实现普通光学园件难以实现的微小、阵列、集成、像和波面转换等新功能，近年来在军事及民用方面得到了长足和广泛应用。
在微光学园件的超精密加工领域，相对技术、能量辅助加工技术和激光直接写入技术而言,微细金刚石刀具超精密加工技术具有适用范围广、加工确定性且成型精度高的特点（其成型精度达亚微米级、表面粗糙度达到纳米量级）,可用于样机实验所用的微结构直接加工和大批量需求时微光学园件负版的加工，已引起XX国研究机构的极大重视。
针对我院而言,精密物理实验所需的XX类微细结构不断出现、大型光学工程中所需的微调制靶的制备及晶体表面局部区域损伤后的修复对高精度微细金刚石刀具都有着迫切的现实需求;同时,我院超精密加工领域的技术也对高精度的微细金刚石刀具也有着巨大的潜在需求;而目前国内相关研究机构在微结构及微光学园件的超精密加工及微细金刚石刀具制备等领域的研究还处于起步阶段，尚不具备高精度微细金刚石刀具的制备能力（所制备的金刚石刀具刀尖圆半径在数百微米,其刀尖圆弧轮廓自然XX，圆轮廓波纹度未受控。
）,所需高精度刀具基本依赖于进口。
因此，开展微细金刚石刀具刃口精密成形技术研究在我院的工程应用和学科上均具有十分重要的意义。
拟解决的主要问题：
微细金刚石刀具刃口精密成形。
主要研究内容:
１）主轴-研磨盘系统及刀具装夹系统对刀尖半径及圆轮廓波纹度的影响规律研究；
２）研磨工艺参数对刀尖半径及圆轮廓波纹度的影响规律研究；
3）针对聚焦离子束溅射工艺方法的刀尖圆轮廓精密成形技术研究。
研究目标和主要技术指标:
针对微结构和微光学园件超精密加工所需的高精度微细金刚石刀具（刀尖角≤15°）,重点探索微米量级的刀具刃口精密成形技术,最终获得的微细金刚石刀具刀尖半径≤5μｍ,刀尖圆轮廓波纹度≤１０0。
成果形式:
研究报告、刀具样品、切削样件
课题6：
K９材料表面与抛光液间微观相互作用机制研究
科学意义及需求背景：
K９材料园件为某光学工程中的关键园件之一。
但是,目前对其在抛光过程中与抛光液间的微观作用以及微观作用与抛光性能间的响应关系，均缺乏清晰的认识，在较大程度上制约了抛光的效果。
开展抛光过程中材料间微观相互作用、机理及其对抛光材料去除率和表面质量的影响规律的研究，探寻有效的调控利用技术,将有力推进Ｋ9及其它光学材料高效、超超光滑抛光。
拟解决的主要问题：
1）K9材料在基液及抛光粉颗粒作用下的水解软化行为;
2）Ｋ9材料与抛光粉颗粒间的微观作用力及其调控方法。
主要研究内容：
1）K9材料表面水解软化规律研究;
2）K9材料表面水解产物的定量化分析研究；
3）Ｋ9材料表面与抛光颗粒间微观作用力及其影响规律研究;
4）K9材料表面微观作用材料去除与表面成型机理研究；
研究目标和主要技术指标：
探明K９材料在水基抛光液作用下表面水解软化规律及其对表面力学和化学性质的影响，掌握氧化铈抛光粉颗粒与Ｋ９材料表面之间微观作用机理及其优化控制方法,为实现K9材料超光滑表面（优于0．5的粗糙度）与高效抛光（不低于12λ的峰值去除率）提供基础技术支持.
成果形式：
研究报告、仿真系统、抛光液样品、试件
课题7：
磁流变抛光液绿色再制造关键技术研究
科学意义及需求背景:
磁流变抛光液性能退化后通常作为废弃物处理，这对环境有一定负面影响,更为重要的是其中的主要组分羰基铁粉及抛光粉等仍有较高的利用价值。
研究磁流变抛光液再制造技术，探明关键技术途径和工艺方法，将有效利用废旧磁流变抛光液中主要组成材料的潜力,提升废弃物XX化的技术水XX能力,有效减小磁流变抛光液的污染问题。
拟解决的主要问题：
1）羰基铁粉复合颗粒的分离与修复；
2）抛光粉颗粒的分离方法。
主要研究内容：
1）磁流变抛光液报废的特征辨识方法研究
２）抛光废液中羰基铁粉复合颗粒的特征辨识、分离与再修饰方法研究
3）抛光废液中抛光粉的特征辨识、分离与再利用方法研究
４）抛光废液中其他可再利用物质特征辨识、分离与研究
5）抛光废液绿色排放处理方法研究
研究目标和主要技术指标:
实现磁流变抛光液主要组分的XX化利用和再制造,掌握其中的核心和关键工艺技术，实现磁流变抛光液主要组分的XX化再制造。
再制造的羰基铁粉颗粒直径1～１0μｍ，形态为近球形，饱和磁化强度不低于20６；抛光粉颗粒具有良好的分散性和悬浮性。
成果形式：
研究报告、抛光液样品、抛光试件
课题8：
低速高频响直线电机驱动精密定位平台关键技术研究
科学意义及需求背景：
直线电机驱动精密定位平台相对于传统的“旋转电机XX滚珠丝杠”定位平台,在精密传动定位方面具有明显的优势.传统的数控定位平台主要是通过“旋转电机XX滚珠丝杠”的方式,将旋转运动转化为直线运动。
这种定位平台涉及的中间环节多，如联轴节、丝杠、螺母、轴承等,不仅加大了平台的转动惯量，影响平台动态特性，而且会产生摩擦、弹性变形、滞后和许多非线性误差，因此其线性速度、加速度及定位精度均有限,不能很好地满足高频响精密加工的需要.直线电机驱动精密定位平台采用直线电机直接驱动技术实现进给的方式，取消了动力源和工作台之间所有的中间传动环节，即把进给传动链的长度缩短为零，即所谓的“直接驱动”或“零传动",也不存在电动机及相连件的转动惯量,行程大、频响高、免维护。
正是由于这种“零传动”方式，实现了原旋转电机驱动方式无法达到的众多性能指标和优点，整个系统的动态特性及伺服特性得到极大改善。
国外,直线电机驱动精密定位平台在高精度机床上已有应用，如德国XX、XXXX、XXXX等均有多个系列的加工中心采用了直线电机驱动精密定位平台,且主要面向高速定位的应用场合。
国内研究机构也正在尝试直线电机驱动精密定位平台在高精度机床上的应用，但关键的直线电机驱动精密定位平台仍然是国外产品，而国内研制的直线电机驱动定位平台技术指标还不能满足高精度应用的需要,尤其是在速度相对较低、动态响应要求相对较高的应用场合下，其精度、响应均不能满足使用要求。
因此，面向关键装备核心技术的国产化和对于直线电机低速高频响的应用需求，国产直线电机驱动精密定位平台综合性能的提高与优化技术有待于突破和掌握若干关键技术。
拟解决的主要问题:
1）精密直线电机驱动平台的精度与关键部件精度之间的匹配技术；
2）精密直线电机设计技术及其驱动测控技术优化。
主要研究内容：
1）精密直线电机驱动平台的精度与关键部件精度之间的匹配技术研究
精密直线电机驱动平台主要由导向、测量、驱动、承载、基座等若干关键部件集成,平台的精度（定位精度、重复定位精度、直线度等）是这些关键部件精度及其装配精度的最终体现。
因此，为了获得精密直线电机驱动平台最优、最经济的精度指标,需要研究如何将平台的精度合理地分解给XX关键部件、实现关键部件精度的最优设计和分配的内容，包括：
✧平台定位精度与关键部件几何精度之间的匹配技术研究;
✧平台重复定位精度与关键部件几何精度之间的匹配技术研究;
✧平台直线度与关键部件几何精度之间的匹配技术研究。
2）精密直线电机驱动平台力学建模技术研究
精密直线电机驱动平台的安装姿态不同（尤其是水平安装和垂直安装时）将导致平台精度存在明显差异，这主要是XX部件在不同安装姿态时，其受力状态不一致,导致XX部件的受力关系出现变化。
因此，为了减小甚至消除安装姿态对平台精度的影响，需要研究平台内部的力学模型。
３）精密直线电机设计技术及其驱动测控技术优化研究
精密直线电机驱动方式与传统的“滚珠丝杠XX旋转电机”的驱动方式相比,虽然减少了中间环节,提高了响应速度，但也同时减小了XX阻尼，使平台精度更容易受到XX种扰动因素的影响，则位置测量反馈信号、平台机电阻尼特性及驱动响应能力等需要更精确地匹配与控制,这要求其的数学模型精度更高、速度更快、鲁棒性更好。
因此,为了保持精密直线电机驱动平台的低速、高频响特性，需要研究优化精密直线电机的设计技术及其驱动测控技术，包括:
✧面向低速高频响应用的精密直线电机优化设计技术；
✧直线伺服进给系统的动力学模型研究；
✧直线伺服系统控制优化及补偿技术研究.
研究目标和主要技术指标:
攻克直线电机驱动精密定位平台的核心技术，研制高精度大负载的直线电机驱动定位平台样机，行程２00,定位精度〈2μ10０（带载25）,重复定位精度〈1μm（带载2５），直线度〈2μ１0０（带载２5），最大负载〉1００，最XX续推力XX３０0N，峰值推力XX１０0０N,连续加速度〉１0m2（带载２5），最低速度〈10μ,平台自重≤40，防尘防水等级54，XX指标采用控制实现,且XX指标连续稳定工作时间XX36小时。
成果形式:
研究报告、原理样机
课题9：
强激光光学园件气囊抛光技术研究
科学意义及需求背景：
近年来,国内外均在超精密加工装备与先进光学制造技术方面取得了突出进展，涌现出很多新的加工原理和方式，这些方式均有应用于强激光装置的大口径光学园件加工的潜质。
XXXX了气囊抛光技术,但在国际上该项技术的应用及前景上仍然存在一定的争议。
相比于现在经常使用的小工具沥青抛光技术,气囊抛光技术由于其与加工表面贴合的柔性，使其更适合加工高陡度园件和非球面园件。
虽然磁流变抛光也有同样的特性，但估计气囊抛光相比磁流变抛光会有相当的成本和加工去除效率的优势。
本研究将气囊抛光技术作为一种新近起来的技术，进一步搞清该项技术的理论细节及应用前景.
拟解决的主要问题:
１）研究气囊抛光光学园件的去除函数，通过理论分析和试验搞清影响去除函数形状和效率的主要因素及相互关系;
２）研究气囊抛光光学园件去除函数的稳定性影响因素.
主要研究内容：
1）研究气囊抛光机理，结合材料去除函数、加工压力分布和边缘效应等因素,探索强激光光学园件的高效加工技术理论；
２）设计气囊抛光原理装置,综合考虑结构形式、驱动方式、刚度、振动、热变形等因素，采用数字化设计和工程分析对设计方案进行充分论证，进行整机方案的结构静力学和动力学设计和分析,保证样机的整体性能和稳定性;
３）研究气囊抛光控制技术，使工具压力、变形和运动位置精确可控，确保材料去除函数的稳定性。
研究目标及主要技术指标：
研究目标：
理论分析和试验搞清影响气囊抛光去除函数形状和效率的主要因素及相互关系.明确气囊抛光光学园件去除函数的稳定性影响因素。
主要技术指标：
气囊抛光加工工具头一套，用于平面强激光光学园件高效高精度光整加工,偏摆轴旋转精度：
±0.1 °；光整加工工具半径：
R40８0；工具自转速度：
１0～２0００；工具压力:
0。
01~0．3。
成果形式:
研究报告,学术XX两篇
3、其它资助项目
超精密加工技术领域新原理、新方法探索研究项目。
4、XX基金指南申请与评审
（1）XX基金课题申请人条件
1.申请人必须为XX课题的实际负责人，具有高级专业技术职务或博士学位,并有足够的时间从事所申请课题的研究工作.
2.对仅具有中级专业技术职务或博士学位以下申请人，必须由两名具有高级专业技术职务的同行专家进行书面推荐。
（2）XX基金课题申请程序
1.申请人根据指南要求，结合所在单位的科研基础,根据指南的支持力度，确定研究内容是否可以完成，必要时可通过实验室管理办公室与XX基金指南提出单位进行讨论沟通。
2.认真填写《中物院超精密加工技术重点实验室资助课题申请书》（XX）,经所在单位签署或XX同意后，将纸质材料（一式三份,其中一份为原件）和电子版本文件（一份，与纸质材料一致，或光盘）寄送实验室管理办公室（联系人及联系方式附后）。
3.本指南于2021年11月底对外发布。
自本指南发布两个月后,开
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