制程品管检验作业规范.docx
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制程品管检验作业规范
宜兴硅谷电子科技有限公司
□程序书规范
文件名称
制程品管检验作业规范
发行日期
年月日
编号
F
P
Q
C
0
1
3
0
0
2
-
A
1
有效日期
年月日
沿
革
版序
A1
发行日期
版序
发行日期
新增
变更
沿用
废止
总页数
23页
内
容
摘
要
说
明
项次
页次
项次
页次
1.目的
3
2.适用范围
3
3.权责单位
3
4.参考文件
3
5.内容说明
3
6.附件
4-5
会签单位
系统部
制造一部
制造二部
制造三部
制造工程部
产品工程部
工务部
生产计划部
会签
会签单位
品检部
技术中心
资材部
品质管理部
会签
分发单位
系统部
制造一部
制造二部
制造三部
制造工程部
产品工程部
工务部
生产计划部
签收
分发单位
品检部
技术中心
资材部
品质管理部
签收
制定部门
品检部
撰写及修定者
陈波
制定日期
2012.11.28
主管审核
审核日期
标准化检查
检查日期
核准
核准日期
传阅
SD032002-02A1
背景沿革及修订一览表
日期
版序
新增或修订背景及修订内容叙述
修订者
2012.11.28
A1
新建
订定制程品质检验规范为依据，藉以预防品质异常之发生，确保各工序品质水平之稳定，满足品质要求。
陈波
SD032002-03A1
制程品管检验作业规范
1.目的
1.1.检验与监控各制造单位品质异常之发生,确保各制程品质水平之稳定。
2.适用范围
2.1.厂内各制造单位如：
内层、钻孔、压合、电镀、外层、防焊、成型及各表面处理流程。
3.职责
3.1.品检部品管课负责各制造单位生产之首板及出货时抽检；
3.2.各制造单位负责生产中自主检验。
4.参考文件
4.1.《产品标识与追溯作业程序书》（FPQC012001）
4.2.《品质管制运作管理程序书》（FPQC012002）
4.3.《不合格品管制程序书》（FPQC012003）
4.4.《矫正和预防措施管制程序书》（FPQC012004）
4.5.《Excursion运作管理程序书》（FPQC012007）
4.6.《切片与背光检验规范》（FPQC013004）
5.定义
5.1.IPQC（Inprocessqualitycontrol）:
对生产过程中各项品质以AQL抽样准则对其进行检验并监控.以确保各站品质达到客户品质需求.
6.操作系统流程图
6.1.IPQC作业系统流程图
6.2.IPQC检验流程图
7.内容说明
7.1.外观检查:
7.1.1.IPQC制中监控方式:
具体见附件一:
In-lineMonitor&StationMonitor之检验项目及频率.另:
附件一之检验项目及频率依据MIL-STD-105E抽样水平（具体见附件二）.
7.1.2.如客户有特殊要求依客户规定.
7.2.切片检查:
7.2.1.各站切片确认依照《切片与背光检验规范》（FPQC013004）（如客户有特殊要求依客户规定）.
7.3.In-lineMonitor&StationMonitor之检验项目及频率依附件一执行.
7.4.使用设备,仪器,工具：
光桌、三次元测量仪、金相显微镜、冲床、X-RAY测厚仪、穿孔目镜、研磨机、离子污染测试机、可携带式表面粗度仪、量尺、卡尺、孔径规、分厘卡、15X/50X目镜,线宽量测仪,TDR阻抗测试仪,锡炉等.
7.5.缺点分类：
品质特性不合乎所规定的规格、图样、客户规格等相关要求者,称之为缺点.
7.5.1.严重缺点（CRITICALDEFECT,简称C.R）.影响产品的使用功能且无法挽救之报废性缺点.
7.5.2.主要缺点（MAJORDEFECT,简称M.A）.不影响产品的信赖度功能,但会对下制程品质造成修补或重工之缺点.
7.5.3.次要缺点（MINORDEFECT,简称M.I）.不对下制程造成品质影响,且可修补挽救之缺点.
7.6.不良品分析所用设备依检测用工具,具体参照7.9.3.
7.7.实际运作后如所发现之缺点未入上述内容均为次要缺点并视实际需要增修本规范.
7.8.针对厂内ECO变更资料纳入IPQC重点检验项目并回签确认单PASS制前审核.
7.9.抽样及处置办法与停线时机：
7.9.1.停线时机:
7.9.1.1.设备故障立即停机/停线处理.
7.9.1.2.当药水异常并且无法立即调整,且药水复验仍异常时立即停线.
7.9.1.3.当单一批单一缺点超过20%并且未找到真因时,则立即停线查检.
7.9.1.4.当单一批单一报废缺点超过10%并且未找到真因时,则立即停线查检.
7.9.1.5.当在线品质异常达到7.9.1.3或7.9.1.4时,由当站IPQC立即开出《品质异常停线通知单》（QC013002-01）并通知品管领班或当站品管工程师（PQE）进行审核,由品管部课级（含以上）主管核准后将《品质异常停线通知单》（QC013002-01）送至责任单位领班级以上人员确认,责任单位领班接收到《品质异常停线通知单》（QC013002-01）后立即对该设备进行停线动作并追踪品质及通知四功能人员协助查找原因.品质异常恢复后（经品管工程师级以上人员确认OK后）方可开机作业.在设备正常生产一个工作日（24小时）以内由责任单位及品管工程师共同将《品质异常停线通知单》（QC013002-01）填写完整后送至品管部课级（含以上）主管核准.由品管及责任单位各一份进行存档以便进行追溯.
7.9.2.制程品管在品质抽样检验过程中若发现品质异常,则立即通知当站主管及当站品管工程师实时进行处置.依《品质管制运作管理程序》（FPQC012002）之规定发出《品质异常处理通知单》（QC012002-01）,并依异常的等级判定异常是否为重大异常还是一般异常，以及异常板的管制方式.IPQC需将所发现之缺点记录于各站检验日报表上以便进行追踪及作为生产品质之指针.
7.9.3.相关制程站别、缺点分类、等级、规格及使用工具如下:
站别
项次
缺点名称
缺点等级
判定标准
检测工具
各站使用表单说明
CR
MA
MI
钻孔
1
多钻
V
不可有
标准板
《机械钻孔检验日报表》（QC013002-08）
《槽孔尺寸记录表》
（QC013002-09）
《钻孔切片量测报表》（QC013004-05）
2
漏钻
V
不可有
标准板
3
孔大
V
依工单
标准板
4
孔小
V
依工单
标准板
5
孔变形
V
不可有
标准板
6
孔未钻透
V
不可有
标准板
7
孔偏
V
±3MIL,依试钻板或内层PAD不可破出
HOLECHECK,标准板,X-ray
8
毛头
V
可刷磨清除,刷磨后无见底材
目视
9
孔塞
V
可高压水洗清除
目视
10
刮伤见底材
V
不可见底板
目视
11
断针
V
不可有
目视/标准板
12
爆孔
V
不可有
目视
13
孔壁粗糙度
V
<1.0mil
切片/金相显微镜
14
钉头
V
铜箔为HOZ规格为<150%,铜箔为1OZ和2OZ以上规格为<120%
切片/金相显微镜
15
槽孔尺寸
V
依工单
三次元
压合
1
棕化露铜
V
不可有
目视
《压合检验日报表》
（QC013002-06）
《压合棕化线重工IPQC监控报表》（QC013002-07）
《铜厚量测记录报表》
（QC013002-12）
2
刮伤露铜
V
不可有
目视
3
棕化色差
V
不可有
目视
4
刮伤见底材
V
不可有
目视
5
皱折
V
不可有
目视
6
凹陷
V
不可有
目视
7
板面汽泡
V
不可有
目视及切片观察
8
板面异物
V
不可有
蚀刻后目视
9
分层
V
不可有
目视及切片观察
10
层偏
V
偏移量≦4mil
切片观察/照X-RAY
11
压合空洞
V
不可有
目视
12
靶孔孔内毛刺
V
不可有
目视
13
靶孔孔偏
V
不可有
X-RAY
减铜
1
铜厚偏厚/薄
V
依工单
面铜量测仪
《铜厚量测记录报表》（QC013002-12）
LDD棕化
1
棕化色差
V
不可有
目视
《铜厚量测记录报表》（QC013002-12）
《压合检验日报表》（QC013002-06）
2
铜厚偏厚/薄
V
依工单
面铜量测仪
3
棕化刮伤
V
不可有
目视
LDD钻孔
1
盲孔漏打
V
不可有
目视/AOI测试/电测
《雷射钻孔检验日报表》
（QC013002-10）
《激光钻孔切片记录报表》
（QC013004-04）
2
盲孔残胶
V
不可有
孔深量测仪/目视/AOI测试
3
介层厚度
V
依工单规格
切片/金相显微镜
4
上下孔径比
V
70%-100%
切片/金相显微镜
5
内层铜打伤
V
不可打至下一层
目视/切片/金相显微镜
8
刮伤见底材
V
不可有
目视
9
盲孔漏接
V
不可有
目视
10
真圆度
V
>85%
切片/金相显微镜
11
孔变形
V
不可有
目视
12
Overhead
V
<0.6MIL
切片/金相显微镜
13
盲孔粗糙度
V
<0.8MIL
切片/金相显微镜
电镀
1
孔内结瘤
V
满足孔铜要求且不可影响孔径
切片/金相显微镜/AOI测试
《电镀研磨检验日报表》（QC013002-11）
《层间对准度量测数据统计》（QC013004-09）
《电镀站切片检验日报表》（QC013004-01）
《热应力试验切片检验报表》（QC013004-03）
《电镀课背光检验日报表》
（QC013004-07）
2
孔塞
V
不可有
目视
3
研磨不净
V
不可有
目视/AOI测试
4
铜厚不均
V
依工单
切片、面铜量测仪
5
孔破
V
不可有
目视/切片/金相显微镜/电测
6
对准度
V
≦3mil
切片、金相显微镜
7
孔璧分离
V
不可有
切片、金相显微镜
8
填孔饱满度
V
>85%
切片、金相显微镜
9
镀层分离
V
不可有
切片、金相显微镜
10
孔壁粗糙度
V
<1.2mil
切片、金相显微镜
11
裂痕
V
依客户要求
切片、金相显微镜
12
背光不良
V
垂直线≧8级,水平线≧7级
切片、金相显微镜
13
灯芯
V
≦3mil且不可短路
切片、金相显微镜
14
孔铜不足
V
依工单要求
切片、金相显微镜
15
凹陷
V
不可有
目视
16
胶渣
V
不可有
切片、金相显微镜
17
研磨见底材
V
不可有
目视
内/外层
1
线细
V
剩下线路≧80%原稿
AOI测试/线宽量测仪
《内/外层线宽间距监控日报表》
（QC013002-02）
《特性/差动线宽量测记录表》
（QC013002-03）
《特性/差动阻抗值量测记录表》
（QC013002-04）
2
间距不足
V
依工单
AOI测试/线宽量测仪
3
曝反
V
不可有
AOI测试/目视
4
同心圆偏
V
<2mil
AOI测试/目视
吸气不良
V
不可有
AOI测试/目视
渗透
V
不可有
AOI测试/目视
显影不洁
V
不可有
AOI测试/目视
蚀刻过度
V
不可有
AOI测试/目视
显影过度
V
不可有
AOI测试/目视
防焊
1
漏塞孔
V
依工单
目视
《防焊检验日报表》（QC013002-13）
《生产线监控日报表》（QC013002-15）
《拉力测试记录表》
（QC013002-14）
《防焊塞孔深度切片报表》（QC013004-13）
2
多塞
V
依工单
目视
3
积墨
V
不可凸出板面
目视
4
孔塞
V
不可有
目视
5
粘板露铜
V
不可有
目视
6
防焊不均
V
不可为整面性问题
目视
7
假性露铜
V
不可为全面性/不可露铜
目视/25X或50X高脚镜
8
防焊曝偏
V
不可ONPAD/原稿+/-2MIL
目视/25X或50X高脚镜
9
吸气不良
V
不可ONPAD/原稿+/-2MIL
目视/25X或50X高脚镜
10
显影不洁
V
不可有
目视
11
孔内绿漆
V
不可有
目视
12
PAD沾漆
V
不可有
目视
13
刮伤露铜
V
不可有
目视
14
板面氧化
V
不可于成型内
目视
15
刮伤发白
V
不可Peeling
3MTapeTest
16
板黄
V
不可有
目视
17
SMT间距发白脱落
V
不可有
目视/3M拉力
18
文字印反
V
不可有
目视
19
文字漏印
V
不可有
目视
20
文字印偏
V
不可ONSMDPAD
目视/10X或15X目镜
21
固定文字脏点
V
不可有
目视
22
文字不清
V
可辨识,不可双影
目视
23
文字ONPAD
V
不可有
目视
24
文字剥落
V
以3M胶带试剥不可剥落
目视
25
埋塞深度
V
依工单
切片/金相显微镜/目视
26
防焊undercut
V
≦1.5mil
切片/25X或50X高脚镜
二次干膜
1
干膜破损
V
不可有
目视
《二次干膜检验日报表》
（QC013002-26）
2
干膜刮伤
V
不可有
目视
3
干膜气泡
V
不可有
目视
4
干膜显影不洁
V
不可有
目视
5
干膜曝偏
V
不可上pad
目视/50X目镜
6
去膜不洁
V
不可有
目视
7
曝偏
V
<3mil
目视
8
漏曝
V
不可有
目视
9
干膜显影过度
V
不可有
目视
化金
1
漏镀/渗镀
V
不可有
目视
《化金检验日报表》
（QC013002-16）
《金镍厚度记录表》
（QC013002-17）
《拉力测试记录表》
（QC013002-14）
2
金面凹陷
V
依客户要求或<5mil
50X目镜/切片/金相显微镜
3
渗镀
V
不可有
目视
4
刮伤
V
不可有
目视
5
铜面氧化
V
不可有
目视
6
掉金
V
不可有
目视/3M拉力
7
金面露铜
V
不可有
目视
8
金面污染
V
不可有
目视
9
金镍厚度不足
V
依工单
x-ray
10
金面粗糙
V
不可有
目视
11
金面刮伤
V
不可有
目视
12
金面色差
V
不可有
目视
镀金
1
金手指发白
V
不可有
目视
《金镍厚度记录表》
（QC013002-17）
《拉力测试记录表》
（QC013002-14）
《镀金检验日报表》
（QC013002-18）
2
金手指粗糙
V
不可有
目视
3
金手指凹陷
V
依客户要求或<5mil
50X目镜/切片/金相显微镜
4
渗镀
V
依客户要求或不可有
10X或15X目镜
5
金面色差
V
不可有
目视
6
掉金镍
V
不可有
3M胶带剥离/10X或15X目镜
7
金手指刮伤
V
不可有
目镜
8
漏镀
V
不可有
目视
9
金手指露铜
V
不可有
目视
10
金镍厚不足
V
依工单
x-ray
喷锡
1
板面沾锡
V
不可有
目视
《喷锡检验日报表》
（QC013002-19）
《喷锡厚度记录表》
（QC013002-20）
《喷锡站切片检验日报表》
（QC013004-08）
《PressFitHoleIPQC监控日报表》
（QC013002-21）
2
锡桥
V
不可有
目视
3
PAD,SMD露铜
V
不可有
目视
4
锡厚不均
V
不可有
目视
5
刮伤/刮伤露铜沾锡
V
不可有
目视
6
锡厚/薄
V
100-1000u
X-RAY
7
PAD脱落
V
不可有
目视
8
孔小/孔大
V
不可有
目视/孔径规
9
跳锡
V
不可有
目视
10
锡面发白
V
不可有
目视
11
锡厚压扁
V
不可有
目视
12
G/F沾锡
V
不可有
目视
13
G/F残胶/氧化
V
不可有
目视
14
G/F刮伤
V
不可有
目视
15
锡凸
V
不可有
目视
16
假性露铜沾锡
V
不可有
目视
17
板面/锡面污染
V
不可有
目视
18
板黄
V
不可有
目视
19
锡面氧化
V
不可有
目视
20
锡粗
V
不可有
目视
21
板面/角撞伤
V
不可有
目视
22
孔塞/卡锡
V
不可有
目视
成型
1
毛边
V
不可有
目视检验/成检目视全检
《成型检验日报表》
（QC013002-22）
《成型尺寸记录表》
（QC013002-23）
《斜边记录报表》
（QC013002-24）
2
PP粉尘
V
不可有
目视检验/成检目视全检
3
成型尺寸不良
V
依工单
卡尺/3D
4
板损
V
不可有
目视检验/成检目视全检
5
PIN孔受损
V
不可有
目视检验/成检目视全检
6
板边露铜
V
不可有
目视检验/成检目视全检
7
斜边不良
V
依工单
目视/啧哩目镜
8
卡铜皮
V
不可有
目视检验/成检目视全检
9
漏捞
V
不可有
目视检验/成检目视全检
10
V-CUT不良
V
残厚依工单
深度计
11
刮伤露铜
V
不可有
目视检验/成检目视全检
12
未捞透
V
不可有
目视检验/成检目视全检
7.10.制程品质监控,具体检验作业流程及检验注意事项均依照IPQC检验作业流程
8.附件
8.1.附件一.In-LineMonitor&StationMonitor之检验项目及频率
8.2.附件二:
抽样水平
8.3.《品质异常停线通知单》（QC013002-01）
8.4.《内/外层线宽间距监控日报表》（QC013002-02）
8.5.《特性/差动线宽量测记录表》（QC013002-03）
8.6.《特性/差动阻抗值量测记录表》（QC013002-04）
8.7.《微影重工板IPQC记录报表》（QC013002-05）
8.8.《压合检验日报表》（QC013002-06）
8.9.《压合棕化线重工IPQC监控报表》（QC013002-07）
8.10.《机械钻孔检验日报表》（QC013002-08）
8.11.《槽孔尺寸记录表》（QC013002-09）
8.12.《雷射钻孔检验日报表》（QC013002-10）
8.13.《电镀研磨检验日报表》（QC013002-11）
8.14.《铜厚量测记录报表》（QC013002-12）
8.15.《防焊检验日报表》（QC013002-13）
8.16.《拉力测试记录表》（QC013002-14）
8.17.《生产线监控日报表》（QC013002-15）
8.18.《化金检验日报表》（QC013002-16）
8.19.《金镍厚度记录表》（QC013002-17）
8.20.《镀金检验日报表》（QC013002-18）
8.21.《喷锡检验日报表》（QC013002-19）
8.22.《喷锡厚度记录表》（QC013002-20）
8.23.《PressFitHoleIPQC监控日报表》（QC013002
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