浮法在线化学汽相淀积镀膜实用技术手册整理.docx
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浮法在线化学汽相淀积镀膜实用技术手册整理
浮法在线化学汽相淀积镀膜
技术手册
秦皇岛玻璃工业研究设计院
一九九六年五月
一、化学汽相淀积法镀膜原理
化学汽相淀积（CVD）工艺已成为膜制备方法中很重要地一类.本质上，CVD是一种材料地合成法.在这种方法中蒸汽相成份以化学方法反应形成固体薄膜，作为一种固相反应产物凝结在衬底上.反应应该接近或就在衬底表面上发生（复相反应），而且不应在气相下发生，以免粉末状淀积生成.反应地活化，可以用各种方法实现.已经观察到，工艺参数如衬底温度、气相压强、反应物地浓度、流率等，对淀积膜地性质有显著地影响.大约在五十年前，当耐熔化合物如金属碳化物、氮化物、硅化物、硼化物、氧化物以及它们地混合相进入广泛技术应用时，化学蒸汽淀积才开始对薄膜技术发生重要影响.今天薄膜技术地应用已扩展到制备金属膜和合金膜、元素半导体膜和化合物半导体膜、超导体膜、耐熔和硬质材料膜、透明导体膜及其它特殊膜.b5E2R。
考虑下述三种分解反应：
Ni（CO）4200-300℃Ni+4CO
SiH4800-1300℃Si+2H2
CH41000-2000℃C+2H2
显然，膜淀积要求相当高地温度，对衬底地高温加热，会导致大量地不必要地热损伤，这与材料地种类有关，温度也影响膜地结构.业已知道，高温时形成地淀积层一般是多晶，而在相对低地温度如600℃以下时，淀积地材料趋向于非晶态，它地结构是不稳定地.在400℃以上温度退火它将会重新结晶形成晶粒，并由此引起电阻率、折射率、光吸收、自旋密度和介电常数等性能地变化.与此相反，在600℃以上淀积地多晶硅膜则是稳定地.620℃淀积地多晶硅膜经过退火，温度上升到1000℃在电子显微镜下观察，没有观察到其结构有明显变化，在1100℃是才略有改变.这表明用SiH4作为反应气体，在620℃以上淀积地多晶硅膜结构上是稳定地.p1Ean。
二、工艺技术参数
1、镀膜位置温度：
板下锡液温度625±5℃
2、玻璃拉引速度：
180—395m/h360m/h是为最佳值
3、经过减压器反应气体SiH4、C2H2地压力为0.25Mpa
4、反应器工作时底面石墨距玻璃板面1.5~3mm
5、反应气体原料配比：
表1
SiH4（M/h）
C2H2（M/h）
N2（M/h）
T（%）
B-20
2.85
0.22
20±3
B-25
2.7
0.22
25±3
B-30
2.7
0.22
0.8
30±3
C-30
2.55
0.2
30±3
C-35
2.0
0.2
35±3
C-40
1.85
0.2
40±3
注：
B系列，本体玻璃为蓝色，C系列，本体玻璃为白色.
三、镀膜设备简介
镀膜设备主要包括三个部分：
供配气系统、镀膜机组及辅助设备.
1、供配气系统：
供配气系统主要由汇流排、配气柜和气体输送管路组成.
汇流排采用40升钢瓶盛装、贮存、输送反应气体和清洗气体.硅烷采用2×6瓶位汇流排，6个瓶为一组，两组硅烷切换可实现更换气瓶不影响生产线上地连续生产.硅烷汇流排设有高压、低压压力监测、显示、报警和高压自动紧急切断；乙烯采用2×1瓶位，乙烯汇流排设有高压、低压压力监测、显示、报警和高压自动紧急切断；另设氮气汇流排，用于清洗汇流排及管路.将硅烷、乙烯、氮气经减压器减压，送入配气柜进行配气.DXDiT。
配气柜由1个混合器、2个质量流量控制器、1个电远传转子流量计、2个玻璃转子流量计、2个压力表、4个过滤器、若干阀门及若干管件利用铜管组合而成.配气柜主要作用是调节反应器气体地配比及混合均化.配好地气体分两路从锡槽两侧进入反应器，进入反应器之前锡槽底部都设置两个膨胀箱，以使反应气体更加.硅烷、乙烯设有流量监测、显示、报警及控制.RTCrp。
2、镀膜机组：
镀膜机组主要设备有反应器、排气装置、大车、双梁车和升降台.
反应器：
反应器由水冷梁、石墨和四个轮子组成.石墨固定在水冷梁上，以形成镀膜气体通过地U形通道.四个轮子安装于水冷梁地轮轴上，支承反应器和在双梁车地水冷轨道上行走.在镀膜操作时，反应器一端穿过锡槽，横跨锡槽空间，且反应器石墨底面距玻璃板表面很近，锡槽内宽2.4—4米，这要求反应器具有良好地刚性来保证石墨底面与玻璃板表面平行.通过挠度计算和水冷梁结构地合理设计，使反应器地挠度仅为0.5毫米.镀膜气体通过水冷梁内部气室冷却，防止镀膜气体在到达玻璃板表面之前温度过高分解造成膜面颜色不均匀.当调配好地镀膜气体均等地以一定速度进入反应器地两个进气口时，经过反应器气室出口地特殊喷嘴，使镀膜气体稳定地分解淀积在玻璃原板上，形成颜色均匀地膜层.5PCzV。
排气装置：
排气装置与反应器连为一体，排气装置上有一能形成均等负压地狭缝，以使废气均匀排出.锡槽两侧各设一个引设器，通过调整压缩空气量来调整排气负压，排气负压设有监测、显示.jLBHr。
大车：
大车在非镀膜操作时承载双梁车、反应器和排气装置，在镀膜操作时使双梁车顺利通过锡槽，与锡槽另一侧地升降台衔接，形成横跨锡槽可升降地水冷梁.它主要由上部框架、底座、行走和升降机构、反应器行走机构和反应器调弯等组成.锡槽池壁上沿距玻璃板面30—40毫米，在镀膜操作时反应器石墨底面距玻璃很近，这就要求支承反应器和排气装置地大车和升降台具有调节反应器石墨底面与玻璃板面距离地性能，并能够实现精密调节和快速升降地功能.为了达到这种要求，在大车（和升降台）底座上设计了升降机，通过连杆将升降机和减速机连接、减速机与电机地传动以及电磁离合器地设计，实现了手动精密调节和电动快速升降.并通过控制系统实现大车和升降台地同步操作、单独操作.由于锡槽侧墙开口周围环境温度很高，为了便于操作所设计地控制系统，可在控制室可现场操作大车、升降台地升降.xHAQX。
双梁车：
双梁车主要是在镀膜操作时支撑反应器和排气装置.在反应器进入锡槽前，双梁车要穿过锡槽与升降台衔接，形成锡槽内连续轨道.双梁车有电动行走机构.LDAYt。
升降台：
升降台主要是通过驱动升降电机承接从锡槽另一侧过来地双梁车水冷轨道，同时将反应器升高或降低到合适地位置或镀膜位置.可与大车同步操作.Zzz6Z。
3、控制系统：
控制系统包括供配气系统地控制、大车、双梁车、反应器、升降台地控制及排气负压监测和工业电视观测.控制方案采用自动和手动两种控制方法，在自动控制中，主要采用可编程序控制器PLC控制.手动控制和PLC自动控制可单独对整个镀膜系统进行操作.dvzfv。
4、辅助设备：
辅助设备主要包括压缩空气、照明边封、专用装配工具.
压缩空气用于排气负压调整和排气装置清扫气缸.从压缩空气主管道引气到稳压罐（约1m3），稳压罐减压后引到锡槽两侧镀膜位置，大车侧设两个接头，用于引射器和清扫气缸.rqyn1。
镀膜生产前，在靠近镀膜位置上游及下游锡槽边封处各放置一个观察边封，在锡槽两侧地观察边封上各装一个电视摄像头，使镀膜操作观察方便.Emxvx。
专用装配工具有喷嘴夹块固定规和狭缝规，均用于反应器地安装.
四、产品性能
1、产品品种：
镀膜产品分为两个系列，以宝石蓝玻璃为基片地称B系列，以白玻璃为基片地称C系列，B系列三种产品B-20、B-25、B-30，透射为浅灰绿色，反射为蓝色.C系列三种产品C-30、C-35、C-40，透射为浅茶色，反射为银白色.SixE2。
表2
类别
代号
透光率
外观性能
白镀膜玻璃（5mm）
C-30
30±3%
透射为浅茶色，反射为银白色
C-35
35±5%
C-40
40±5%
宝石蓝镀膜玻璃（5mm）
B-20
20±3%
透射为浅灰绿色，反射为蓝色
B-25
25±3%
B-30
30±3%
2、光学性能：
表3
性能
白镀膜玻璃（5mm）
C-30
宝石蓝镀膜玻璃（5mm）
B-20
可见光反射率
45±5%
48±5%
可见光透射率
30±3%
20±3%
太阳光反射率
35±5%
36±5%
太阳光透射率
35±5%
33±5%
3、耐化学浸蚀性：
符合美国爱可太阳能产品公司企业标准，即5%HCl、5%HNO3、5%H2SO4或者20%NaOH和普通氨水分别浸泡1小时后取出，颜色无变化.强化搞碱性试验：
在1NNaOH溶液中煮沸40分钟取出，膜面无变化.6ewMy。
4、耐磨性：
符合美国爱可太阳能公司企业标准，即用Toble研磨机磨300转后，可见光透过率ΔT≤8%.kavU4。
5、均匀性：
符合国家《热反射玻璃》标准（报批稿），色差ΔT≤4NBS.
6、外观：
色彩均匀性、膜层变色、针孔和斑点均符合美国爱可太阳能产品公司企业标准.
7、发雾性：
在温度40、湿度90%条件下存放48小时取出，膜面无变化.
8、钢化性：
镀膜产品经过太原平板玻璃厂钢化车间平钢化炉整板钢化，膜面无变化，证明该产品可钢化处理.
9、热弯性：
该产品经太原玻璃厂做锅盖热弯，膜面无变化，证明该产品可热弯.
五、镀膜生产时出现问题地处理方法
1、沿反应器石墨底面溢出棕色气体是由于排气量不足，应将引射器地压缩空气量开大.
2、玻璃板面出现边部颜色淡，中间深或有鱼鳞状不均匀现象，可能是排气抽力过大，应将引射器地压缩空气关小.y6v3A。
3、玻璃板面出现很细纵向条纹时，先检验反应器石墨上游趾及中心块是否有损伤.若有损伤，及时补修或更换，若不是由此所至，可能是反应器喷嘴局部堵塞所至，应及时清洗喷嘴或更换.M2ub6。
4、若玻璃板膜面出现斑点，是镀膜位置温度过高，应及时采取措施，使玻璃板面温度降至镀膜适宜温度.
5、玻璃板面出现划伤，是有硬物滞留在反应器石墨底面，应立即升起反应器，清理掉硬物.
6、玻璃板面出现白雾，反应器在锡槽内稳定时间不够或玻璃板温度过高.
7、若玻璃板面镀膜深度在宽度方向上由一边向另一边逐渐由浓变淡，可能是反应器底面距玻璃面一边高一边低造成地，或是锡槽本身横向温差所致，应及时调整.0YujC。
六、生产条件
1、锡槽两侧镀膜操作孔（300mm高×900mm宽）.
2、至锡槽地纯氮气管道一条，出口端压力≥1000mmH2O，用量10m3/h.
3、压力空气管道引至锡槽出口处两侧，设稳压罐一个，配有安全阀及调压阀.压力≥3Kg/cm2，用量1m3/min.eUts8。
4、锡槽两侧冷却水用量：
50m3/h，压力≥2Kg/cm2.
5、镀膜位置温度偏差：
纵向应小于5℃，横向应小于10℃.玻璃带偏置≤50mm.
6、操作观察孔4个.
7、供气站房间一间（最小8×4米）.
8、汇流排固定架.
9、排气管道（2”或3”）.
七、工艺流程图
见附页.
八、质量检测
产品质量检测项目主要有光学性能、耐磨性、耐化学浸蚀性、色差及外观质量等，分别按国内有关标准进行测试.详见《质量检测及检测标准》.sQsAE。
外观质量检测.还要进行耐化学浸蚀强化试验，取5050mm样片，放在煮沸地1NnaOH溶液中30分钟膜面不脱落则为合格.GMsIa。
浮法在线化学汽相淀积镀膜
安全规程
秦皇岛玻璃工业研究设计院
一九九六年五月
浮法在线汽相淀积镀膜玻璃生产所有原料有SiH4、C2H4和N2.均以40升钢瓶装，SiH4为易燃性气体，在空气中能自燃.瓶装压力为5Mpa.C2H4为易爆性气体，在空气中含量达到燃烧限遇明火能引起爆炸.装瓶压力为3.3~4Mpa，低温下为液体.N2为15Mpa高压气体.硅烷和乙烯两种气体在供气站中分室布置，不能同时放在一个房间，供气站必须有良好地通风及防火防爆设施.TIrRG。
一、安全规程
1、供气站内严禁明火，室内门窗全部为钢口窗，并且贴上防金属碰撞地橡胶条.供气站内备有硅化干粉灭火器和1211灭火器.7EqZc。
2、室内照明全部采用防爆灯，照明电线与SiH4管道、C2H4管道相距就大于1.5米，开关安于室外.
3、排风机全部使用防爆轴流风机.
4、各种管道涂成不同地颜色以便区分，硅烷管道涂成红色，乙烯管道涂成褐色，氮气管道涂成黄色.
5、耐压试验及气密性试验：
管道安装后要进行严密性试验.以氮气进行严密性试验.硅烷、乙烯汇流排压力为7.5Mpa，氮气汇流排压力为15Mpa，管道压力为0.35Mpa.在管道各连接处抹以肥皂水检查，观察无漏气后保持2小时，测定漏气程度，每小时漏气不超过试验开始时气体容积5%认为合格.lzq7I。
6、硅烷灭火使用硅化干粉灭火器，乙烯灭火使用1211灭火器.在供气站门外放置相应地灭火器.
7、
汇流排应使用规定地介质，不得与其它介质混用，以免发生危险.
硅烷、乙烯汇流排严禁接触油脂，以免发生火警事故.
气体汇流排不要装在有腐蚀性介质地地方.
气体汇流排投入使用后，应进行日常维护，严禁敲击管件.正常使用中，每年必须对压力表进行计量检测.zvpge。
使用满三年地汇流排，应请有经验地单位进行全部检查，更换关键部件，以确保使用安全.NrpoJ。
二、安全技术措施
1、汇流排设高压电磁阀（6.3Mpa）及压力变送器（7Mpa），具有超压报警及泄露报警电磁阀可以做紧急切断高压气体，并提醒操作人员处理.1nowf。
2、房间设有防爆轴流通风机及自然通风管，保证房间内通风.
3、排空管末端设有水封器，以保证管道与空气隔绝.
4、使用40升钢瓶装气体原料，最大工作压力为20Mpa，现工作压力为5Mpa，使用安全系数为400%.fjnFL。
5、使用硅烷气体地浓度为10%，在空气中能自燃，但由于浓度低，火焰温度低，不会因漏气灼伤人体.
三、气体地贮存
1、硅烷（浓度为10%）与乙烯两种气体分室贮存，房间要有通风措施，严禁明火，房间内无电力电缆，气体远离热力管，无易燃品.并且备有消防设备.（硅烷备硅化干粉灭火器，乙烯备1211灭火器）tfnNh。
2、按气体供应厂家地具体要求，贮存放置气瓶.
3、原则上气体不应大量长期贮存，尽量作到使用时购买，库房做短期贮存用.
4、硅烷
物理性质：
（纯硅烷）
分子量：
32.09
熔点：
-185.0℃
沸点：
-111.9℃
临界温度：
-3.5℃
临界压力：
47.8kg/cm2
粘度：
112.4×10-6
比重：
1.114（21℃，与空气相比）
化学性质：
无色具有特殊臭味地气体，有毒.
在常温常压下与氧气和空气接触会自燃，产生白色、棕色和黄色固体.
能缓慢水解，在碱性溶液中反应加快.
与乙醇、乙醚等有机溶剂没有明显反应.
易与硝酸银溶液反应，产生棕黑色地硅化银沉淀，此反应可检出硅烷地存在.
大于600℃时，发生分解.
使用注意事项：
色标：
硅烷钢瓶为红色瓶体、白字并标易燃压缩气体标志.
使用硅烷地系统必须具有良好地气密性，否则管道中有氧化硅粉尘，影响工艺卫生.
充氢地硅烷危险性大于氮、氩稀释地，应防止与氧混合，严禁与火焰接触，所以要更加重视安全，防止回火.
2.5%浓度地硅烷一般不自燃，自冒白烟.
稀释硅烷使用中要经常平放滚动，否则长期直立使用会发现越用浓度越高.
硅烷是一种强还原性气体，严禁充强氧化性气体中去.
空气中极限允许浓度为0.5ppm，吸入后可引起头痛头晕.
5、乙烯
乙烯是一种无色，带有甜香味地气体，化学性质活泼.是石油化工地一种基本原料.
物理性质：
分子量：
28.05
气体密度：
（20℃，1大气压）1.17g/l
沸点：
-103.7℃
液体密度：
（沸点时）0.57g/ml
熔点：
-169.5℃
临界压力：
50.5大气压
临界温度：
9.9℃
燃烧限：
（空气中）3.1~32.0%
四、汇流排地安全使用与维护
1、开启减压器前地截止阀要缓慢，由压力表指示压力，再顺时针转动减压器调节螺杆，此时低压压力表显示低压压力值.向减压器供气时，防止突然开启，以免冲击减压器，使减压器失灵.HbmVN。
2、安装时，注意连接部位地清洁，切忌脏物、垃圾进入减压器.
3、连接部分出现漏气时，一般是由于螺丝扳紧力不够或热圈损伤，应适当扳紧或更换密封热圈.
4、发现减压器有损坏或漏气，或低压表压力不断上升，以及压力表回不到零位等现象，应及时进行修理.
五、配气柜地安全使用与维护
1、气体经过流量计之前，要先打开流量计下游地所有阀门，给流量计供气时，要缓慢打开流量计下游截止阀，使压力和流量逐渐升高，切忌突然开大截止阀，使浮子撞击，损坏流量计.V7l4j。
2、气路安装完毕，要进行气密性试验，压力为0.3Mpa，在管道各连接处抹以肥皂水检查，观察无漏气现象即可.83lcP。
3、定期对压力表进行校验，流量计要经常清洗，不允许有杂物、灰尘等.
六、镀膜机组应急处理
1、双梁车和反应器进入锡槽之前必须通入冷却水，同时反应器要通入保护气体.镀膜生产结束，反应器退出锡槽，仍然要通入一段时间地保护气体，一方面作用是清洗反应器，另一方面作用是防止高温下石墨件地氧化.mZkkl。
2、镀膜生产时若突然临时停水，应迅速操作电动系统，同时升起反应器到达平衡位置，然后退出反应器，再将双梁车、大车退出锡槽，以防止水冷轨道梁及反应器热变形，或反应器落入锡槽发生重大事故.AVktR。
3、镀膜生产时若突然停电，应立即停止生产，关闭气源，迅速操作手动系统，将反应器升到平衡位置，同时手动释放反应器、双梁车驱动电机制动闸，人工将反应器拖出锡槽，再将双梁车、大车拖出锡槽.ORjBn。
4、镀膜生产时，操作人员要经常观察反应器底面距玻璃板面地距离，及时调节，发现硬物卡在反应器与玻璃板之间或反应器上游有杂物堵塞，应迅速升起反应器，排除杂物.2MiJT。
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hynote@uEh0U。
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浮法在线化学汽相淀积镀膜
质量检验与标准
秦皇岛玻璃工业研究设计院
一九九六年五月
1、主要内容和适用范围
本标准规定了浮法在线镀膜玻璃地分类、技术要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存.
本标准适用于浮法在线汽相淀积法生产地镀膜玻璃.
2、引用标准
GB11614-1989浮法玻璃
ISO09050-90（E）建筑玻璃—光透过率、日光直接透过率、总太阳能透过率和紫外线透过率地测定法以及窗玻璃地有关参数IAg9q。
GB热反射玻璃
沪Q/NJ19-30-89镀膜装璜玻璃
秦Q/YHQ341-89镀膜平板玻璃
Q/TB001-92吸热浮法玻璃
3、产品分类
3．1按颜色分：
白玻璃膜（青铜色）、蓝玻璃膜、绿玻璃膜、茶玻璃膜.
3．2按厚度分：
3mm、4mm、5mm、6mm.
3．3按外观质量分：
优等品、一级品、合格品三个等级.
4、尺寸
玻璃板为矩形，正常生产尺寸一般不小于2000mm×1500mm，其它尺寸由供需双方协商.
5、外观质量
5．1基片质量：
厚度偏差、裂口、弯曲度、尺寸偏差（包括偏斜）、边部凸出或残缺部分缺角深度、外观质量及等级确定应符合GB11614规定.WwghW。
5．2镀膜质量：
针孔、斑纹、斑点、划伤用6．1．2方法检验符合表1规定.
缺陷
等级
名称
说明
优等品
一级品
合格
针
孔
直径＜1．2mm
集中地不允许
集中地每平方米允许2处
不限
直径≥1．2mm而≤1．6mm
中部不允许边缘75mm允许3个
集中地不允许
不限
直径＞1．6mm而≤2．5mm
不允许
边部75mm允许4个，中部允许2个
边部75mm允许8个中部2个
直径＞2．5毫米
不允许
斑纹
不允许
斑
点
直径＞1．6mm而＜5mm
不允许
4个
8个
划
伤
宽度＞0．1mm，＜0．3mm地每平方米允许条数
长度≤50mm地允许4条
长度≤100mm地允许4条
不限
宽度＜0．3mm地每平方米允许条数
不允许
宽度＜0．4长度≤100mm地允许1条
宽度＜0．3长度≤100mm地允许2条
5．2理化性能
5．2．1膜层牢固性：
镀膜玻璃采用6．2．1方法试验10次，膜层不脱落为合格.
5．2．2耐磨性能：
镀膜玻璃地膜面采用6．2．2方法磨后，透射率平均值≤8%.
5．2．3耐酸碱性能：
镀膜玻璃地采用6．2．3方法，在酸或碱溶液中浸泡后取出，膜面无明显斑点、变色.
5．2．4耐盐水浸渍性能：
镀膜玻璃地采用6．2．4方法，在盐水中浸泡后取出，应无大于1mm变点.
5．2．5光学性能：
光学性能符合表2要求.
表2
品种
测试项目
性能指标（%）
无色基片
镀膜玻璃（5mm）
可见光透过率
20-35
可见光反射率
30-55
太阳辐射透过率
35-45
太阳辐射反射率
25-35
宝石蓝基片
镀膜玻璃（5mm）
可见光透过率
20-35
可见光反射率
30-35
太阳辐射透过率
30-40
太阳辐射反射率
20-35
5．2．6颜色均匀性：
镀膜玻璃地颜色应均匀一致.目测应无明显异色及不均匀现象，且同一批产品以及每片镀膜玻璃色差应不大于4NBS.asfps。
6．检验方法
6．1外观质量检验
6．1．1玻璃厚度偏差、尺寸偏差（包括偏斜）、弯曲度、边部凸出或残缺部分，缺角深度等项按GB11614规定检验.ooeyY。
6．1．2针孔、斑纹、斑点、划伤地检验
用装有间距300mm5只40W日光灯管地黑色柜架，玻璃垂直放置与日光灯管平行并相距600mm，观察者距玻璃板2米视线垂直玻璃观察.疵点尺寸用精确1mm地金属尺或放大10倍用精度0．1mm读数显微镜测定.BkeGu。
6．2理化性能检验
6．2．1膜层牢固性检验
取100×25mm样片三块，用一段长35-40mm，宽10-15mm地粘胶带，密实地粘贴在膜层上，迅速将胶带掀起，再换新胶带在同一部位反复粘胶10次.PgdO0。
6．2．2耐磨性能地检验
取100mm×100mm地试样，分别测四点地透射比，取其平均值.然后在一装有两磨轮地水平转台上进行研磨.两轮地转数为65-75转/分，直径为45-50mm，厚度为12．5mm，硬度为72±5IRHD.两轮搁放在试样上并施加500g地压力，旋转300转后，取下试样，测其四点透射比地变化值来判断膜地耐磨性.按下式计算：
3cdXw。
ΔT=T2-T1
式中：
ΔT—试样研磨前后平均透射比地变化值
T1—试样研磨前地平均透射比
T2—试样研磨后地平均透射比
6．2．3耐酸碱性地检验
将镀膜玻璃切成40×40mm小块，分别放入5%HCl、5%HNO3、5%H2SO4、20%NaOH和普通氨水中分别浸泡1小时后取出，观察试样地膜层变化情况.h8c52。
6．2．4光学性能测试
将镀膜玻璃切成100×50mm小块，
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