硅微条探测器Silicon strip detector 二.pptx
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,第五章半导体探测器,7/1/2019,1,粒子探测,5-1,半导体的基本知识和探测器的,工作原理,5-25-35-45-5,能量测量半导体探测器半导体探测器的主要参量位置测量半导体探测器半导体探测器的应用,7/1/2019,2,粒子探测,SemiconductorDetector,优点：
1）很高的能量分辨率，比气体探测器大约高一个数量级，比闪烁计数器高的更多。
因为在半导体中电离产生一对电子空穴对只需要3eV左右的能量；带电粒子在半导体中的能量损失很多，在硅晶体中大约为3.9MeV/cm，所以能量相同的带电粒子在半导体中产生的电子空穴对数比在气体中产生的离子对数高一个数量级以上。
这样电离对数的统计误差比在气体中小很多。
很宽的能量响应线性范围很快的响应时间，ns量级，高计数率108/cm2s体积小很好的位置分辨率，好于1.4mm。
缺点：
对辐射损伤灵敏,5-1,7/1/2019,3,粒子探测,半导体的基本知识和探测器的工作原理,一、半导体的基本知识固体的导电性：
物体导电是物体内电子在外电场作用下定向运动的结果。
导体、半导体、绝缘体的能带由于电场力对电子的作用，使电子的运动速度和能量发生变化。
从能带论来看，电子能量变化就是电子从一个能级跃迁到另一个能级上。
满带：
被电子占满的能级，一般外电场作用时，其电子不形成电流，对导电没有贡献，亦称价带。
导带：
被电子部分占满的高能态能级，在外电场作用下，电子从外电场吸收能量跃迁到未被电子占据的能级上去，形成电流，起导电作用。
禁带：
满带和导带之间的禁区称为禁带，其宽度也称为能隙，记做Eg。
导体、半导体和绝缘体之间的差别在于禁带宽度不同：
导体不存在禁带，满带和导电交织在一起；半导体禁带较窄，Eg=0.1-2.2eV绝缘体禁带较宽，Eg=2-10eV由于能带取决于原子间距，所以Eg与温度和压力有关。
一般禁带宽度大的材料，耐高温性能和耐辐照性能好。
7/1/2019,4,粒子探测,几种半导体材料的性能参数,7/1/2019,5,粒子探测,7/1/2019,6,粒子探测,3.本征半导体,理想的不含杂质的半导体称为本征半导体，导带上的电子数目严格等于满带上的空穴数目，n=p。
一般情况下，半导体的满带完全被电子占满，导带中没有电子。
在热力学温度为零时，即使有外电场作用，它们并不导电。
但是当温度升高或有光照时，半导体满带中少量电子会获得能量而被激发到导带上，这些电子在外电场作用下将参与导电。
同时满带中留下的空穴也参与导电。
N型（电子型）半导体：
导带内电子运动，参与导电。
P型（空穴型）半导体：
满带内空穴运动，参与导电。
载流子：
是电子和空穴的统称。
温度高，禁带宽度小，产生的载流子数目就多；产生得越多，电子与空穴复合的几率也越大。
在一定温度下，产生率和复合率达到相对平衡，半导体中保持一定数目的载流子。
每立方厘米体积中电子与空穴的浓度,玻尔兹曼常数,比例系数,载流子浓度：
固体物理可以证明本征半导体内的载流子平衡浓度禁带宽度（eV）绝对温度（K）,7/1/2019,7,粒子探测,SiliconDetector,7/1/2019,8,粒子探测,SomecharacteristicsofSiliconcrystalsSmallbandgapEg=1.12eVW（e-hpair）=3.6eVHighspecificdensity2.33g/cm3dE/dx（M.I.P.）3.9MeV/cm102e-h/m（average）Highcarriermobilitye=1450cm2/V.s,h=450cm2/V.sfastchargecollection（10ns）Verypure1ppmimpuritiesRigidityofsiliconallowsthinselfsupportingstructuresDetectorproductionbymicroelectronictechniques,能接受满带中电子而产生导电空穴的杂质称为受主杂质，常用的三价元素有：
B（硼）、Al（铝）、Ga（镓）、In（铟）。
三价元素原子有从附近吸收一个电子的趋势，在满带上面形成一个新的局部能级，叫受主能级。
满带中的电子很容易跳入该能级。
在室温下三价元素原子几乎都形成负离子，是不能移动的负电中心，而在满带中产生空穴。
这种半导体的导电主要是空穴的贡献，称作空穴型或P型半导体。
7/1/2019,9,粒子探测,掺杂：
在本征半导体内掺入杂质，来改变半导体材料的性能。
把电子贡献给导带的杂质称为施主杂质，杂质能级叫施主能级，位于导带底部。
常用的五价元素有：
P（磷）、As（砷）、Sb（锑）、Li（锂）等。
五价元素原子的第5个价电子都激发到导带中参与导电，五价元素原子成为正离子，是不能移动的正电中心。
这种半导体的导电主要是电子贡献，称作电子型或N型半导体。
结构缺陷点缺陷：
晶格上出现空位或应该空位处出现了原子。
线缺陷：
晶体受应力作用发生错位（沿平面滑移）。
晶格缺陷也能俘获或放出电子，相当于在晶体禁带中附加受主或施主能级，也起受主或施主作用。
N型半导体的本征空穴和P型半导体的本征电子也参与导电，称为少数载流子。
对于掺杂半导体，除了本征激发产生的电子空穴对以外，还有施主杂质提供的电子和受主杂质提供的空穴，所以电子和空穴的浓度不相等。
7/1/2019,10,粒子探测,二、PN结（pnjunction）,结合前，N区的电子比P区多，P区的空穴比N区多。
结合后，电子由N区向P区扩散与空穴复合；空穴由P区向N区扩散与电子复合。
扩散的结果形成PN结。
在PN结区，电子空穴很少，剩下的杂质正负离子形成空间电荷区，其内建电场方向由N区指向P区，阻止电子、空穴继续扩散，并造成少数载流子的反向漂移运动。
当扩散运动和反向漂移运动达到平衡时，P区或N区的电子空穴浓度就不再变化。
这个由杂质离子组成的空间电荷，即PN结区，亦称耗尽区，阻挡层，势垒区。
7/1/201911,粒内子建探测电势差：
VD；势垒高度：
eVD,半导体探测器的灵敏区,内建电势差VD，加在PN结两边的电位差，势垒高度为eVD。
为什么半导体PN结可作为灵敏区？
在PN结区可移动的载流子基本被耗尽，只留下电离了的正负电中心，对电导率无贡献，其具有很高的电阻率。
PN结加上一定负偏压，耗尽区扩展，可达全耗尽，死层极薄，外加电压几乎全部加到PN结上，形成很高电场。
漏电流很小，有很好的信噪比。
7/1/2019,12,粒子探测,PN结的偏压特性,加反向电压，N区接正，P区接负，外加电场方向与内建电场方向相同，使耗尽层增厚，漂移运动增强。
当带电粒子穿过时产生电子空穴对，在高电场下分别向正负电极漂移，产生信号。
信号幅度正比于电子空穴对数目，正比于入射粒子损失能量。
所以加反向偏压的PN结就是结型半导体探测器的灵敏区。
7/1/2019,13,粒子探测,三、载流子的产生,和复合,非平衡载流子：
入射粒子产生的载流子。
类似气体电离，产生一对电子空穴对所需消耗的能量称作平均电离能W，W与Eg一样与半导体材料和温度有关。
复合和俘获：
导带上的电子直接被满带中空穴俘获；通过晶体中杂质和晶格缺陷在禁带内的中间能级复合中心和俘获中心进行,7/1/2019,14,粒子探测,t：
非平衡载流子从产生到复合或俘获前平均存在的时间,载流子寿命：
非平衡载流子数目N0随时间按指数规律,7/1/2019,15,粒子探测,衰减。
载流子漂移速度：
扩散长度或俘获长度：
表示非平衡载流子从产生到消失前平均移动的距离。
扩散长度必须大于探测器灵敏区厚度。
材料要求物理要求,7/1/2019,16,粒子探测,L,n,p大或tn,p大,电荷收集效率高能量分辨好,Eg大,使用温度高抗辐照性能好,杂质浓度低,灵敏区厚度大,原子序数大,g射线探测效率高,材料和加工工艺合适,可生产有用的探测器,对半导体探测器材料的基本要求,5-2能量测量半导体探测器,7/1/2019,17,粒子探测,一、PN结型探测器扩散型将一种类型的杂质扩散到另一种类型的半导体内形成PN结。
通常是把五价磷在高温下（8001000oC）扩散到P型硅中，扩散深度由调节温度和时间来控制。
从而在P型硅表面形成高浓度的N层，在P型硅和N型硅交界处就得到了PN结。
结区厚12mm，电极和信号引出的欧姆接触利用真空沉积或化学镀等方法实现。
优点：
漏电流小，对辐射损伤不灵敏。
缺点：
死层较厚，不易获得大面积PN结，生产过程中高温处理，导致载流子寿命减小，影响能量分辨率。
2.面垒型,金硅面垒探测器优点：
窗薄，噪声低，不经高温处理，能量分辨率高，能量线性响应好。
工艺简单，成品率高，易于制得大面积探测器。
主要用于测量质子、a粒子和重离子等带电粒子。
7/1/2019,18,粒子探测,7/1/2019,19,粒子探测,3.离子注入型,制备：
利用加速器产生一定能量（5100KeV）的杂质正离子束，直接穿透半导体表面形成PN结。
常用硼离子束轰击N型硅，或用磷离子束轰击P型硅，调节离子束能量和强度，得到所需的掺杂深度和浓度。
优点：
入射窗薄，薄至30-40nm。
缺点：
能量分辨率不如面垒型，但比扩散型好。
入射离子束产生强的辐射损伤，形成大量复合和俘获中心。
使用较低能量的离子束和在一定温度下退火，可以消除这一效应。
二、锂漂移型探测器,由于锂在Si和Ge中的电离能较低，在室温下锂全部电离，电子进入导带内起施主作用。
Li半径小于Si和Ge的晶格距离很多，在电场作用下很容易进入半导体内部，向深处扩散。
Li和P型受主杂质B-由于静电作用形成稳定的（LiB-）对，达到补偿的目的。
形成电阻率很高的本征层（I型，亦称I区），本征层电场很强，是探测器的灵敏区。
7/1/2019,20,粒子探测,二、锂漂移型探测器,锂漂移型探测器是准本征材料和PN结的组合，常称作NIP探测器。
本征层厚度：
最大优点是灵敏层厚，可达0.56mm，适于用作g和,x射线测量。
硅锂探测器Si（Li），可在室温下工作，在液氮温度下性能改善。
主要探测b射线和低能g射线，Eg100KeV。
锗锂探测器Ge（Li），必须在液氮温度下工作。
锂漂移型探测器必须在低温下加反偏压存储，否则锂离子在室温下有相当的迁移率，而使性能变坏。
V漂移电压，t漂移时间，m锂离子迁移率,7/1/2019,21,粒子探测,可以增大灵敏体积。
7/1/2019,22,粒子探测,同轴型Ge（Li）探测器大多数是圆柱形。
平面型只要延长单晶长度就,单开端双开端,三、高纯锗探测器,，,利用纯度很高的锗制成PN结耗尽层随反向偏压的增加而增厚。
当偏压很高时，整块晶体都成了耗尽层。
有平面型，或具有环状深沟的槽型结构，也可是同轴型。
优点：
易制备成大灵敏体积的探测器，可在室温下储存，在高低温下（170K）工作，性能仍很好。
它的能量分辨率和对g射线的探测效率与Ge（Li）探测器相同。
7/1/2019,23,粒子探测,高纯锗半导体探测器,高纯锗耗尽层剖面图,高纯锗槽型探测器,7/1/2019,24,粒子探测,高纯锗半导体探测器,7/1/2019,25,粒子探测,7/1/2019,26,粒子探测,四、化合物半导体探测器,CdTe、CdZnTe探测器优点：
原子序数高，禁带宽度大，电阻率高，非常适合探测10500KeV的光子，可以在室温下工作。
体积为12cm3的晶体可探测能量1MeV以上的光子，用于x射线、g射线能谱测量。
对57Co的122KeVg射线的半宽度室温时为5.9KeV。
缺点：
载流子寿命不够大，俘获长度较小，造成电荷收集不完全，能谱性能受限制。
7/1/2019,27,粒子探测,1.CdTe、CdZnTe探测器,CdZnTe（CZT）晶体是近年发展起未的一种性能优异的室温半导体核辐射探测器新材料。
CZT晶体是由于CdTe晶体的电阻率较低，所制成的探测器漏电流较大，能量分辨率较低，就在CdTe中掺入Zn使其禁带宽度增加，而发展成了的一种新材料。
随Zn含量的不同，禁带宽度从1.4eV（近红外）至2.26eV（绿光）连续变化，所制成的探测器漏电流小，在室温下对X射线，射线能量分辨率好，能量探测范围在10KeV6MeV，且无极化现象。
7/1/2019,28,粒子探测,7/1/2019,29,粒子探测,2.GaAs探测器,性能：
原子序数为31和33，与锗相近，Eg=1.45eV。
主要用作室温b谱仪和g谱仪。
室温时，对57Co的122KeVg射线的半宽度为3.8KeV。
制备：
GaAs微条探测器用肖特基技术形成PN结,要二次光刻（硅微条探测器用扩散技术需要四次）.采用金属-半导体-金属（M-S-M）结构,将Cr-Au金属与GaAs晶片的正反两面形成双肖特基结。
结构：
微条粒子探测器的结构是M-S-M结构，衬底是半绝缘的GaAs晶片，探测器表面覆盖SiO2钝化层,在每一微条中，相隔1000mm距离开压块孔，其面积为120mm120mm。
设计压块的目的是为了可随意提取探测器在某一个位置的电信号。
2.GaAs探测器,7/1/2019,30,粒子探测,7/1/2019,31,粒子探测,3.HgI2探测器,原子序数为80和53，比锗大，Eg=2.13eV。
主要用作室温或高温g谱仪。
电离效率高（52）,少数载流子的迁移率和寿命的乘积大,可制备出噪声水平低、漏电流低、探测效率高、计数率高、能量分辨率较好、能在常温下运行的半导体探测器。
对57Co的122KeVg射线的半宽度室温时为4.3KeV。
可以工作在200400oC下。
发展方向集中在对碘化汞基础原料的研究及其残留缺陷和杂质特性的认识。
提高碘化汞晶体的均匀性是研制大面积晶片成像装置的关键。
由于碘化汞探测器的问题主要集中在较差空穴收集率，所以如何提高其空穴收集率仍是目前研究的热点。
7/1/2019,32,粒子探测,五、特殊类型半导体探测器,1.全耗尽探测器是一种特殊的PN结型探测器，其P和N层减至最薄，使硅材料中不存在未耗尽部分，选用电阻率大的材料和适当高的工作电压，可以使耗尽层扩展到探测器整个厚度。
主要用于粒子鉴别。
粒子穿过它时损失能量，与粒子入射能量和种类有关，测量E即可确定粒子种类。
故又叫E探测器。
探测器厚度与所要探测的粒子能量和种类有关。
探测1MeV的电子，厚度为100200mm；探测质子和重粒子，厚度很薄十几mm；面垒型4mm。
因非耗尽层可忽略，结电容是常数，所以其输出幅度稳定，上升时间快，一般为十几ns，好的可小到2ns。
可以用于飞行时间测量和其他要求快的地方。
7/1/2019,33,粒子探测,2.电流型探测器,类似电流脉冲电离室情况，电流型半导体探测器用于探测脉冲射线源（即快瞬时、高强度的g、n、X）的强度和时间行为。
所以具有线性响应好、输出脉冲电流与辐照剂量率成正比，输出电流大、时间响应快等特点，上升时间小于10ns。
三种制造工艺第一种是用化学镀铜工艺和面垒工艺第二种是双扩散NIP电流型探测器第三种是离子注入NIP电流型探测器,类似晶体三极管的放大型和工作在雪,3.内放大探测器崩状态的PN结型，类似气体正比计数器的雪崩二极管发展很快并已获得应用。
主要是利用工艺和结构上的办法来达到既使电子倍增，又使噪声增加并不严重的目的。
三种制作技术：
扩散，离子注入（带有扩散）以及外延。
面积约25mm2，厚度对双扩散法可达150mm，双外延法为30mm，放大倍数为1080。
对55Fe的5.9KeVX射线得到600eV的能量分辨。
7/1/2019,34,粒子探测,5-3,半导体探测器的主要参量,一、窗厚定义：
粒子进入探测器灵敏区之前通过的非灵敏区叫窗或死层。
窗厚会导致能量损失并使能量分辨变坏。
金硅面垒型的窗：
金层厚度硅的死层一般金层厚20100mg/cm2，硅死层厚正比于扩散型的窗：
通常为0.5-2mm，较厚。
离子注入型的窗：
与离子束能量有关，可以很薄。
对10KW的高阻硅，窗厚可做到0.04mm。
锂漂移型：
从锂扩散面入射，窗是厚的，达0.1-0.3mm。
但做成全耗尽型，从背面金层入射，窗较薄，达0.1mm。
高纯锗：
可以像面垒型和离子注入型一样做得较薄。
7/1/2019,35,粒子探测,二、灵敏区厚度,灵敏区：
是PN结的势垒区、耗尽层或者锂漂移型的补偿区。
灵敏区的厚度定义：
粒子垂直入射的灵敏区的厚度，记作d。
其确定了能探测的粒子的最大能量。
对PN结型：
普通的PN结型灵敏区厚度可以从几mm-1mm。
高纯锗探测器因有很高的电阻率，可以加很高的偏压，所以灵敏区厚度可以做到几cm。
对锂漂移型：
灵敏区厚度包括本征补偿层和向两边的外延，由漂移过程决定。
一旦做好以后基本为常数。
对平面型为0.5-10mm对同轴型为50-100mm,7/1/2019,36,粒子探测,三、结电容,近似情况下，半导体探测器相当于一个填充绝缘介质的平板电容器。
锂漂移探测器d与工作电压无关，Cd接近于常数，一般为十几到几十pF。
PN结型Cd与工作电压有关，一般为几十到几百pF。
7/1/2019,37,粒子探测,同轴型探测器的结电容：
十几至几十pF介电常数本征区高度本征区外径本征区内径探测器输出脉冲幅度与电容有关，为了得到结电容较小的探测器，应选用电阻率高的材料，使用高的工作偏压和减小探测器面积。
结电容随工作电压变化，造成能量相同的的入射粒子在灵敏区产生相同的电子空穴对，但输出脉冲幅度却可能不同，所以PN结型半导体探测器必须使用电荷灵敏放大器。
7/1/2019,38,粒子探测,四、正反向电流特性,要求：
二极管伏安特性。
正向电流上升很陡；反向电流越小越好。
反向电流三个来源：
1）扩散电流：
由灵敏区外少数载流子扩散到灵敏区内产生，一般很小。
但若两电极不是欧姆接触，而是形成另外的PN结，将使反向电流大为增加。
7/1/2019,39,粒子探测,2）体电流：
由灵敏区内复合和俘获中心因本征热激发产生的载流子在外电场作用下向两极运动，形成反向体电流。
它与灵敏区内本征载流子数目成正比，即与本征载流子浓度与灵敏区体积以及温度成正比。
7/1/2019,40,粒子探测,t：
少数载流子寿命。
体电流是反向电流的主要部分，在低温下工作可以大大减小。
3）表面漏电流：
沿探测器表面的漏电流，与制造工艺、表面处理、沾污程度、环境条件等因素有关。
会直接影响击穿电压。
制造时可采用增加表面沟槽或保护环技术，使用时保证干燥和表面清洁，以减少漏电流。
五,、能,量分辨,率和,线性,影响能量分辨率的主要因素：
1）由电离效应产生的电子空穴对的,统计涨,落：
7/1/2019,41,粒子探测,7/1/2019,42,粒子探测,2）入射粒子与原子核的散射和核反应的统计涨落造成收集电荷的统计涨落迭加在电离起伏上。
朗道效应和沟道效应薄的dE/dx探测器或高能粒子的电离损失朗道效应。
晶格的特殊方向上单位距离上原子数较少，重带电粒子沿该方向入射时电离损失减少沟道效应。
电子空穴在探测器内的俘获和复合；由于俘获和复合造成载流子收集不完全影响能量分辨。
由于俘获和复合中心分布不均匀造成输出脉冲起伏，与俘获中心的类型、数量和空间分布有关，也与入射粒子种类和能量有关。
要求材料的俘获长度远大于灵敏区厚度。
探测器和放大器的噪声；探测器的噪声主要来源于反向漏电流的起伏。
降低工作温度可以减小噪声。
探测器窗厚、放射源厚度影响等等。
窗厚的影响对低能重粒子明显，使用薄窗探测器。
能量线性很好半导体的平均电离功与入射粒子的能量和种类以及探测器的类型无关，只要所产生的电子空穴对全部被收集，探测器输出脉冲与入射粒子能量成正比。
半导体探测器对各种粒子都有良好的能量线性。
e：
收集效率但对低能重粒子，特别是重离子和核裂片，呈现能量非线性。
输出脉冲高度U与入射粒子能量E关系：
a：
常数，d：
脉冲高度亏损,7/1/2019,43,粒子探测,六、脉冲波形和上升时间,类似平板固体电离室。
在电场作用下，入射粒子产生的电子空穴分别向正负电极运动。
设半导体探测器内电场均匀分布其输出电，压脉冲和电流脉冲可以用气体电离室的公式表示由于电子和空穴的漂移速度不同，它们对输出脉冲的贡献不同，输出脉冲形状与产生电离的位置X0有关。
7/1/2019,44,粒子探测,三种情况的电压脉冲幅度都是实际上入射粒子并不是只在X0处产生电子空穴对，而是沿入射路径电离，因而电压脉冲上升时间最大值T由空穴最大漂移时间T2决定。
灵敏区厚度工作偏压上式对全耗尽的锂漂移型适用，T为几十到几百ns。
对PN结型，由于结区电场不均匀，上述推导不成立。
金硅面垒探测器的T为几到十几ns。
7/1/2019,45,粒子探测,7/1/2019,46,粒子探测,七、辐照效应,半导体探测器的辐照损伤很严重。
因为辐照在半导体中会造成晶格缺陷，这些缺陷会成为俘获中心，从而降低载流子的寿命，使电阻率发生变化，材料性能发生变化，导致探测器性能变差。
辐射损伤与辐射种类、剂量率以及辐照时间和条件有关。
面垒型和扩散型：
裂变产物108/cm2粒子1091011/cm2快中子10111014/cm2慢中子1015/cm2性能没有明显变化g射线10151016/cm2锂漂移型和高纯锗耐辐照性能更差，快中子和高能质子通量大于1091010个/cm2时，分辨率明显变坏。
八、不同粒子在Si材料中的射程,7/1/2019,47,粒子探测,九、电荷灵敏放大器,RL负载电阻，Ri、Ci为前放输入电阻与电容。
7/1/2019,48,粒子探测,I（t）电子空穴漂移产生的感应电流脉冲信号，Rd探测器加反向偏压时灵敏区的电阻，Cd结电容，C分布电容，Rs、Cs为探测器非灵敏区的电阻和电容。
7/1/2019,49,粒子探测,输出脉冲与结电容有关。
电荷灵敏放大器：
开环增益很大的电容负反馈放大器，其输入电容极大且稳定。
Cf：
反馈电容，C：
Cf断开时放大器CiC,7/1/2019,50,粒子探测,选择输出回路的时间常数R0（Cd+Ca）比探测器载流子的收集时间大得多，则I（t）对（Cd+Ca）充电时，从R0上漏掉的电荷可忽略。
输出电压脉冲幅度峰值Vp为：
与结电容无关,7/1/2019,51,粒子探测,反馈电容两端的电压幅度：
反馈电容两端的电荷量：
反馈电容对放大器输入的影响相当于在输入端接了一个容量为（1K）Cf的大电容。
输出回路的总电容为：
当R0很大时，只要K足够大，,5-4,7/1/2019,52,粒子探测,位置测量半导体探测器,随着高能物理实验的不断发展，半导体探测器也有很大发展。
其中硅微条探测器SMD（SiliconMicro-stripDetector）、像素探测器（Pixel）和CCD（Charge-CoupledDevice）的发展是半导体探测器新发展的突出代表。
近十几年来,世界各大高能物理实验室几乎都采用SMD作为顶点探测器：
ATLAS和CMS作为探测粒子径迹的径迹室（tracker）。
新型的半导体探测器的飞速发展和应用不仅促进了高能物理的发展,而且还推动了天体物理、宇宙线物理、核医学数字影像技术等领域的发展。
在核医学领域的CT和其它数字化图像方面的应用研究,也有了很多新的进展。
MonolithicActivePixelSensors,IPHC-DRS（formerIRES/LEPSI）proposedusingMAPSforhighenergyphysicsin1999StandardcommercialCMOStechnologySensorandsignalprocessingareintegratedinthesamesiliconwaferProventhinningto50micronSignaliscreatedinthelow-dopedepitaxiallayer（typically10-15m）
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