镀膜四线搬迁作业指导书1 21 2.docx

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镀膜四线搬迁作业指导书1212

镀膜四线搬迁方案

2013年7月30日

编制：

叶传胜审核:

批准:

目录

一、设备拆卸作业安全指导、安全要点

二、设备拆卸、吊装、包装、运输、安装详细方案（含车间转运路线）

三、设备拆迁前的清洁

四、设备电气拆接线表

五、设备资料登记表

六、设备运行程序、软件参数备份记录表

七、设备翻新改造（设备清洁）内容及方案

八、设备拆装专用测量仪器、工具表

九、设备吊装、运输专用工装表

十、设备搬迁易损件及耗材表

十一、设备原平面布置图

十二、所有设备宜昌工厂平面布置图

十三、设备备安装前后性能检测对比表

十四、设备验收表

一、设备拆卸作业安全指导、安全要点

一、拆卸作业目的：

为了保证镀膜四线安全搬迁到宜昌，特制订相关的拆卸作业安全指导书。

二、拆卸安全指导

1.拆卸前应做以下工作：

１、相关的安全防护装备，安全培训。

２、拆卸前安全会议与搬迁会议。

３、现场安全搬迁环境与搬迁顺序。

４、拆迁人员工作分工与安排。

2.拆卸前要确定拆卸人员、现场指挥员、联络员、后勤员和现场安全员。

3.作业人员应按规定穿戴、使用防护用品、用具。

工作前检查劳保着装，不准赤膊穿凉鞋，必须穿长袖、长裤、公司发的劳保鞋。

4.拆卸、安装连接管道法兰等，要戴防护用具并侧身避开法兰冲击面，螺栓拆卸、安装先难（里）后易（外）。

5.所有受力杆件、吊带等应校核其受力强度，安全系数不小于3.0。

6.在使用撬棍施工时，所选择的撬棍，大小要便于操作，一般采用φ25以上的圆钢。

撬拨重物时，支点要选用坚固构件，不易滑动，且坚硬、规则的物件，以免打滑，破碎伤人。

7.高处使用撬棍作业时，其临边危险处禁止操作，防止撬棍滑脱，人体重心失控，造成人员坠落；同时在使用时不可随意加长或松手，防止滑倒，掉落伤人，多人同时作业须有统一指挥。

8.使用手拉葫芦作业时，必须按其额定起重范围使用，严禁超载。

操作时拉动环链不得过快，拉力要均衡，拉链方向始终应与链轮的切线方向一致。

9.手拉葫芦垂直吊物时，拉动环链的操作人员应站在葫芦的侧下方。

拉链人员可依据吊物的轻重设置，最多不超过四人，但在正常吊物中，若突然拉力增大，应先查明原因，不可盲目增加人力。

10.起重前要认真检查吊钩、链条、齿轮是否完好，制动力矩是否有效。

11.就位或经过移位后的起重设备，在开始吊重之前应慎重地进行试吊，即将重物吊起距地面20～30cm时停车察看钢丝绳、支撑杆件、基础、地锚等设施有无变异和危险症状，如出现变异或危险，应立即将重物放下，并采取加固和其它措施。

12.起吊设备时,吊物下面区域严禁有人。

13.装车后，应将大件捆扎固定，零配件装箱摆稳，并做到不超载。

14.需夜间作业的作业场所，应有足够的照明装置。

15.禁止垂直面上的上下交差作业,防止重物落下伤人。

16.高处作业时,需专人扶住人字梯,防止滑落。

17.两米含以上作业时需戴安全带。

三、拆卸安全要点

1.拆卸镀膜机前要先把周围的环境清理完成。

（质检室，包装室，框架房，彩钢板墙面等）

2.切断电源前，把相关的PLC,变频器等数据COPY出来。

3.关闭设备的水电气，排空管道的水，切断总电源。

4.拆卸时，先拆电线与控制线，并做好记号。

5.拆卸顺序先上部，再下部。

6.在移动设备时，必须要3人以上，同时要有一名安全人员现场确认。

7.拆卸设备前，要做好标记

8.电气柜里的电源必须独立包装，做好防潮防水防震

9.镀膜机的门，必须用锁紧。

10.镀膜机拆卸时要保证不搞坏相关密封面，做好防护措施。

二、设备拆卸、吊装、包装、运输、安装详细方案

一）、时间安排

拆运10日、安装调试10日、工艺调试10日，总共1个月。

2014年1月1日开始搬迁，2014年1月31日完成调试。

二）、拆卸前的准备工作

1.镀膜四线设备搬迁人员安排

按照镀膜四线设备功能把人员分成3个组：

总指挥：

一人

1组：

机械组

机械工程师：

一名

钳工：

8人

普工安排：

12人

2组：

电气组

电气工程师：

一人

电工：

5人

普工：

8人

3组：

辅机组

电气工程师：

一人

另外配备木工三名

机械组主要负责设备机械部分的标记、拆卸、包装、吊装上车等工作，电气组主要负责设备电气方面的接线、电器柜的标记、各接线端子的标记、PLC的包装运输等工作，并配合机械组拆卸设备上的电气部分。

辅机组主要配合机械、电气组做好搬迁工作，辅料的准备、木箱的制作。

三）、设备的标记、标示（设备拆前一个月完成）

1.对设备的安装尺寸进行详细的记录，对特殊部位要画安装图，标示尺寸及相对位置。

（详情见设备平面布置图）

2.各电源线、控制线做记号，对复杂部位要有文字记录，并要拍照。

（详情见设备电气拆接线表）

3.对各种关联部件进行标记，作到便于组装，对复杂部位要有文字记

录，并要拍照。

4.每组的组长要把每天的工作进度进行详细记录，并及时汇报，每个组员的工作任务要明确。

四）、拆卸、包装

在拆卸每一个零、部件前，均要记录其安装位置关系，对于还未做记

录和标示不清的一定不要拆卸，要做好记录了才能拆卸。

包装时要按照搬迁清单上的包装方式进行包装，需要防水的要做好防水措施。

木箱包装的要垫填充物，避免设备在运输过程中在木箱里晃动。

2.维修班物品搬运。

（由胡文龙带4名普工一日完成，需两部叉车）

2.1拆除维修班大门两块彩钢板，拆除维修间与万级间大门两块彩钢板（由外协单位完成）。

2.2搬运维修班的文件柜

2.3将框架存放车清洁后运至一楼。

2.4将各框架烤箱清洁后运至一楼。

2.5将各已喷砂铜板、屏蔽罩用包装带捆绑好，表面用薄膜包装好运至一楼。

2.6将各靶材表面包裹塑料薄膜，用木箱包装好运至一楼。

（木箱需提前5天制作完成）

2.7将氩弧焊机除尘后用薄膜包裹运至一楼。

2.8将各靶材车，腹膜机，微波炉等运至一楼。

2.9将防绕射框架放入卡盘上固定好用拉伸薄膜包装运至一楼。

3.包装室及质检室物品搬运。

（此项工作由质检班长带4名质检员一日完成）

3.1拆除电脑和打印机，将电脑和打印机用纸箱包装，里面塞上泡沫。

外面用塑料薄膜做好防水。

3.2拆除包装机，将包装机表面用薄膜包裹，放在木箱里固定。

3.3拆除各办公桌椅。

3.4拆除静压仪，光学测量仪并用木箱包装，做好防震防水。

3.5搬运马沸炉，烤纸箱，包装备品架等至一楼。

5.百级室物品搬运。

（由胡文龙带4名普工一日完成，需两部叉车）

5.1将包装房的玻璃及旁边的彩钢板拆除，并拆除包装房的门及门边的彩钢板（由外协单位完成）。

5.2搬运装卸排车。

5.3搬运质检灯箱。

5.4搬运OGS小框，腹膜机存放架，小灯箱等至一楼。

6．清洗机拆卸（由雷刚，廖幸福，李维带1名普工1日完成）

6.1由李维提前一月按设备电器拆接线表作好标识。

6.2由雷刚提前10天对清洗机各段及各连接处做好标识,记录传送面的离地高度。

对整个前清洗机进行拍照。

对各段的标记要清晰明了，方便装配。

6.3由廖幸福提前10天对各管道排气过滤器做好标识。

6.4将清洗机用薄膜全部盖住，防止灰尘进入（由普工负责）。

6.5将清洗机各水箱的水全部排干净（由普工负责）。

6.6拆除清洗机隔板墙（拆除四线电梯出口对面三块彩钢板，由外协单位完成）。

6.7关闭清洗机，关闭各电源（由李维负责）.

6.8拆除清洗机所有电源线。

水泵电源线、水箱加热器线、电机电源线、控制线拆除作好标识捆绑固定在电源控制箱内。

较粗的动力电缆做好标记单独装在木箱里面（由李维负责）。

6.9移出电源柜，将电源柜由货梯运至一楼，表面用薄膜防水，然后固定在木箱里面（由李维负责普工协助）。

6.10拆各变频器。

并做好标识。

表面用薄膜包装，装在木箱里，木箱周围填充珍珠棉做好防震（由李维负责）。

6.11拆除风机管道。

做好标记，不能拆卸的根据现场情况锯断。

锯断前在要锯断的地方做好标记。

用包装带将管道捆绑牢固，两端用珍珠棉包裹（由廖幸福负责）。

6.12水箱、水泵的进排水管按每段为单位分别拆开，并用珍珠棉包裹好。

水箱和泵是固定在清洗机底板上的，故水箱和清洗机整体吊运。

吊运时将清洗机水箱盖板固定（由雷刚负责）。

6.13将影响转运的水管切除并做好标记,把管口用珍珠棉封好，用包装带捆绑牢固。

集中整体运输（由雷刚负责）。

6.14拆除发片处、清洗机入口处、清洗机中段1、清洗机中段2、清洗机中段3、接片处各段连接螺丝（由雷刚负责）。

1.14分离清洗机各段。

依次从发片处开始拆除，将清洗机各段的螺钉、密封圈等单独装在一个箱子里做好标记。

用电动叉车将各段运送至一楼包装上车，用叉车转运清洗机时，可根据实际情况在叉车架上垫上面积较宽的铁板增加受力面积。

包装清洗机时用薄膜做好防水，底部垫木方防滑。

各段四直角处包上珍珠棉（由雷刚，廖幸福负责）。

2．主设备拆卸（由朗泽臣，杨永，毛志雄，邓铁华，张有武，杨云云，孙朋辉，郑元元，郑生华，刘伟，李奕及6名普工）

注：

主设备包装时要对其表面、内腔清洁。

2.1对设备进行各项数据的记录，包括真空度、抽气时间等。

对设备结构比较复杂的地方进行拍照保存。

（由郭长江在拆卸前一星期完成）

2.2清理换靶用工具、工装、吊具，准备拆装的专用工具等（由毛志雄负责）。

2.3设备安全停机（由李维负责）。

2.3.1停机保压放气。

2.3.2关闭冷却水的进水阀和回水阀。

2.3.3关闭电源的冷却水。

2.3.4对电源和靶进行吹水。

2.3.5关闭前极柜电源。

2.4拆除彩钢板（由外协单位负责）。

2.4.1拆除维修班大门两块彩钢板。

2.4.2拆除主设备至维修班大门两块彩钢板。

2.4.3拆除维修班大门对面靠天井边五块彩钢板及玻璃。

2.5拆除出口转台，拆除转台电源线和控制线（由杨云云按电缆拆卸清单拆卸）。

2.5.1拆除转台顶上10个层流罩，表面用塑料薄膜包装（由两名普工完成）。

2.5.2拆除转台铝合金框架并做好标识，各框架的螺钉、配件等装在一个小木箱里面，并注明使用地方。

各框架用包装带捆绑后贴上标识装车。

（由郑元元拆卸，其中标识需提前2天完成）

2.5.3拆除8个光电开关，并将其放入转台底座固定做好标识（由郑元元拆卸，其中标识需提前2天完成）。

2.5.4用两块100x350槽钢对角固定转台（由郑元元固定，其中槽钢需提前2天完成）

2.5.5拆除转台上的磁导向架和两根立柱，并做好标记。

将其与后面拆除的磁导向一起运至一楼（由郑元元拆卸）。

2.5.6将转台运至一楼，表面用塑料薄膜包装，底部垫木方防滑（由郑元元带一名普工搬运）。

2.6拆除水管、气管（由邓铁华带一名普工拆卸）。

2.6.1做好水管气管对应标识并拆除与真空室连接管（标识由邓铁华提前7天完成）。

2.6.2拆除所有水管气管的活接。

将活接等配件装在木箱里做好标识，注明用处。

2.6.3将气管水管用包装带捆绑牢固，两端用珍珠棉包裹运至一楼。

2.7拆除维修台（由2名普工完成）。

2.7.1各维修台按从出口室到进口室顺序做好标识（标识由邓铁华提前7天完成）。

2.7.2将维修台转运至一楼。

2.8拆除真空管道及波纹管、分离阀（由杨永，毛志雄带1名普工完成）。

2.8.1拆除各分子泵分离阀，并做好标识装入木箱（标识由毛志雄提前7天完成）。

2.8.2拆除各角阀，做好标识装入木箱（标识由毛志雄提前7天完成）。

2.8.3拆除各真空管道，做好标识，用包装带捆绑牢固，真空管两端用珍珠棉包裹好。

各螺钉等配件用木箱包装（标识由毛志雄提前7天完成）。

2.9拆除分子泵电源，AE电源灭弧装置，压电阀电源（由孙朋辉按设备电器拆卸表拆卸）。

2.9.1拆除各分子泵电源按要求装箱（由孙朋辉负责）。

2.9.2拆除AE灭弧装置、压电阀电源并按要求装箱（由孙朋辉负责）。

2.10拆除真空室上面的水管、气管、真空阀、加热器电源线、热电偶线并做好标记。

所有气管、水管、真空阀、电源线分别装木箱子里面，并贴好标签。

将较细的控制线捆绑在电源箱里面，较粗的单独装箱。

（机械邓铁华，电器孙朋辉，其中标识由两人提前7天完成）

2.11拆除主设备电源箱。

DC电源用螺钉将其固定在电柜中，各电柜要用塑料薄膜做好防水措施装入木箱，木箱周围要用珍珠棉压紧，做好防震措施（由张有武，李维负责）。

2.12拆卸电缆桥架。

将所有的电缆桥架用包装带捆绑牢固后装车。

将螺钉等配件装在一个木箱里标识装车（由张有武，李维,杨云云负责）。

2.13拆除四台旋片泵组。

拆除各连接管道，波纹管，并做好标记，两端用珍珠棉包上。

泵组由叉车运至货梯至一楼。

包装时底部垫木方防滑，外部用塑料薄膜包裹。

各泵组的密封面用PVC板保护。

各泵组管道，波纹管等其余管道全部拆除完毕后一起整理包装（由毛志雄，郑生华负责，其中标识由两人提前7天完成）。

2.14拆除回框线（由邓铁华，孙朋辉带2名普工负责）。

2.14.1拆除层流罩（2名普工负责）。

2.14.2每个回框线前后做好位置标识（由邓铁华提前7天完成）。

2.14.3各传动电机做好标识拆除，各电源线和控制线贴好标签拆除（孙朋辉提前7天完成）。

2.14.4拆除回框线线槽（由孙朋辉完成）。

2.14.5每隔一个回框线架拆一个铝合金架及磁导向，并做好标识，捆绑牢固后运输（由邓铁华带2名普工负责，其中标识要提前7天做好）。

2.14.6拆除回框线底部支撑架。

将其编号运至一楼装车（由邓铁华带2名普工负责）。

2.15拆除分子泵（由毛志雄，张有武负责）。

2.15.1拆除各分子泵，将密封面用PVC板做好防护，用薄膜做好防水，装在木箱里面做好防震，各连接器做好防护。

2.15.2各密封圈用塑料袋包装贴好标识，各螺钉统一装在一个木箱里面，注明使用部位。

2.16拆除靶材（由雷刚带1名普工负责）。

2.16.1拆除各旋转硅靶，将进出水口用塑料袋封口，将靶材表面用塑料膜防水，然后固定在木箱里面。

2.16.2拆除所有ITO靶材，将进出水口用塑料袋封口，将靶材表面用塑料膜防水，然后固定在木箱里面。

2.16.3将各靶材螺钉、密封圈等配件装在木箱里做好标识。

2.17拆除铜挡板，活动挡板，屏蔽罩，气罩（由雷刚带1名普工负责）。

2.17.1将拆除的配件喷砂后包装，表面用拉伸薄膜包裹。

2.18拆除进出口放气装置（由邓铁华带1名普工负责其中标识需提前7天完成）。

2.18.1拆除放气过滤器，放入托板用拉伸薄膜包装。

2.18.2将放气管道做好标记，拆除放气管道，各配件装在木箱里面。

2.19拆除真空腔室（由杨永，毛志雄，邓铁华带2名普工拆除）。

2.19.1拆除前标记各腔室的相互位置（标识由毛志雄提前7天完成）。

2.19.2从C15腔室开始拆除，拆除前确认腔室顶上各电源线、水管、气管等均已拆除。

2.19.3拆除真空室连接螺钉，各螺钉装在一个木箱里面。

2.19.4请吊装公司协助分离真空室。

2.19.5拆除后将连接的密封圈装在塑料袋标记。

2.19.6将密封面用PVC板做好保护。

2.19.7用叉车将腔室运至一楼

2.19.8将腔室与底部支撑架分离，用塑料薄膜包装真空室，将腔室装入木箱装车。

2.19.9依次从C15拆至C01腔室。

2.20清洁真空腔室。

将拆下来的真空腔室做整体清洁（由2名普工完成）。

2.21进口转台的拆卸

2.21.1拆除转台电源线和控制线（由杨云云按电缆拆卸清单拆卸）。

2.21.2用两块100x350槽钢对角固定转台（由郑元元固定，其中槽钢需提前2天完成）.

2.21.3拆卸8个光电开关并放入转台底部固定好（由毛志雄负责）。

2.21.4拆除转台上的磁导向架和两根立柱，并做好标记。

将其与后面拆除的磁导向一起运至一楼（由毛志雄负责）。

3、纯水设备拆卸

3.1将纯水房隔板墙上的开关等移位（由李维负责）。

3.2拆除纯水房的隔板墙（由外协单位负责）。

3.2.1拆除纯水房大门左右两块彩钢板。

3.3打掉地面门槛（由外协单位负责）。

3.3.1打掉地面门槛，保证叉车平稳路过。

3.4排掉各水箱里的水，排掉砂罐内的砂、碳罐里的活性炭（由李维负责）。

3.5关闭电源。

拆掉各电机电源线、控制线并做好标记（由李维负责）。

3.6拆除各泵，并标明使用位置，用木箱包装（由李维负责）。

3.7拆除各反渗透的连接水管，并做好标记，用珍珠棉将水管两端包裹，用包装带捆绑牢固装车（由雷刚，李维负责）。

3.8依次拆除5根返渗透，做好标记，两端包裹珍珠棉，将其包装在木箱里面，表面包裹所料薄膜（由雷刚，李维负责）。

由外协单位做好返渗透膜保护。

3.9拆除各流量计。

并用珍珠棉包裹好用一小木箱包装（由雷刚，李维负责）。

3.10拆除砂罐、碳罐的连接水管并做好标记，两端用珍珠棉包裹，用包装带将其捆绑牢固装车（由雷刚，李维负责）。

3.11将砂罐、碳罐各密封面保护好，将砂罐、碳罐移动至天井边，用吊车吊运至一楼，底部垫上木方防滑，用绳索固定在车上（由雷刚，李维负责由吊装公司协助）。

3.12拆除原水箱、纯水箱。

用珍珠棉将水箱口封死，将水箱移动至天井边，用吊车吊运至一楼，吊运时要捆绑可靠，以免水箱破裂。

运输时水箱底部用木方防滑，用绳索固定在车上（由雷刚，李维负责由吊装公司协助）。

3.13整体拆除EDI。

将连接EDI的水管、电源线等拆除做好标记，用叉车将EDI运至货梯至一楼，表面用塑料薄膜包裹，用木箱包装（由雷刚，李维负责由吊装公司协助）。

3.14拆除精混。

将水管标记摘除，用珍珠棉包裹两端，用包装带捆绑好装车，用叉车将精混运至货梯至一楼装车（由雷刚，李维负责）。

4、冷冻水设备拆卸（由邓铁华，刘伟，杨云云负责）

4.1关机停掉电源，排水（由杨云云负责）。

4.2将冷冻水房内各水泵、水箱、接头按功能进行标记分类，将未标

记水泵进行标记（由杨云云提前一周标识）。

4.3拆除各电源线、控制报警线、连锁线、水管、地脚（由杨云云负责）。

4.4拆除各水泵。

拆除各水泵水管，将水泵连同地脚一起拆卸，包装时底部用木方防滑，外部包裹塑料薄膜由邓铁华负责。

4.5由于搬迁后各泵要重新排布，各水管不用专门标号，可以从中选择可用的加以利用。

各水管整体包扎在一起运输。

各压力表拆下来单独用木箱包装，做好防震（由邓铁华负责）。

4.6拆除冷冻机组。

将冷冻机组整体拆除，运输时底部垫木方防滑，外部包裹塑料薄膜（由邓铁华，刘伟，杨云云负责）。

4.7拆除热交换器。

将热交换器整体拆除运输，运输时底部垫木方防滑，外部包裹塑料薄膜（由邓铁华，刘伟，杨云云负责）。

4.8拆除水箱。

将水箱运至一楼装车（由邓铁华，刘伟，杨云云负责）。

五）、吊装、转运

1．吊装、转运均由专业搬运公司完成，其间需要我们积极配合。

2．对易损件、易碎件要做好防护措施。

3．由于设备大、重，有些超高、超宽，一定要做好标示。

4．视情况，设备应边拆边包边运，防止大量占用场地。

5.腔体用吊车吊装，用矮身平板车转运。

6.吊车从公司大门进入，腔体在镀膜拆卸现场装车。

六）、安装就位

1．进口转台的安装

1.1以转台传动轮为基准，用自准自仪按镀膜基准线安装，安装时要保证转台的水平度（由毛志雄负责）。

1.2安装转台两根立柱，安装两边磁导向，磁导向中心线要与传动轮中心线垂直（由毛志雄负责）。

1.3恢复8个光电开关（由毛志雄负责）。

1.4恢复所有电源接线（由杨云云负责）。

2．真空室腔体的安装（由杨永，毛志雄，邓铁华负责）。

2．1将转台吊装到位，吊机将C01室吊至镀膜室基础上，并按照〈〈腔体安装方法〉〉将C01室安装就位。

依此将其余各真空室分别向进出口安装就位。

注意：

腔体吊装就位前需检查并处理密封面及密封圈至合格要求。

密封面用酒精清洗干净。

2.2按《静态密封注意事项》的要求安装各真空室密封圈（真空室的密封由杨永负责）。

2.3《腔体安装方法》

2.3.1以转台传动轮，真空室传动轮中心线为基准，用自准自仪测量，确保各中心线重合，用水平仪测量确保每个腔室的水平，垂直度。

2.3.2由专业吊装公司协助把各真空室吊至基础上保证真空室密封面间距在20mm左右。

2.3.3按《腔体安装方法》的要求安装各真空室（真空室定位由毛志雄负责）。

2.3.3.1用密封面四个角部螺栓将腔体移动均匀靠近密封面，保证密封面间距在10mm左右。

2.3.3.2再次检查并校调中心及水平高度至合格要求，装上底部联结螺栓，均匀带上，不锁死。

2.3.9检查腔体中心及水平高度情况，利用地脚调节螺丝微调整腔体水平高度至合格要求，紧固两侧和底侧密封面联结螺栓，观察到密封圈被压缩后均匀紧固联结螺栓。

2.3.10对腔体结合密封面抽真空检漏，氦检漏真空等级为10-8T,检漏合格后方可吊装下一个腔体。

2.4出口转台的安装

2.4.1以转台传动轮为基准，用自准自仪按镀膜基准线安装，安装时要保证转台的水平度（由郑元元负责）。

1.2安装转台两根立柱，安装两边磁导向，磁导向中心线要与传动轮中心线垂直（由郑元元负责）。

1.3恢复8个光电开关（由郑元元负责）。

1.4恢复所有电源接线（由杨云云负责）。

2.5安装分子泵：

根据所做的标记安装各分子泵。

2.5.1《静态密封注意事项》

静态密封：

针对现有设备的特点，静态密封主要指的是0型圈密封，与0型圈接触的部分及0型圈本身都要用酒精布擦干净，密封面和0型圈不允许有任何的凹陷、突起、裂纹等。

0型圈上要涂抹真空密封脂。

2.6安装分离阀。

按照所做的标记安装个分离阀（由毛志雄负责）。

3.真空管路的安装（由毛志雄负责）

3.1把真空管内部清理干净，按照所做标识进行安装。

3.2首先安装腔体下面的引出管。

从真空室腔体下主管上引出各分管到各前级点。

3.3把空缺的真空管路补齐。

尽量采用主管路上原来位置。

3.4安装进出口室放气装置（由邓铁华负责）。

4．出入口真空泵的安装（由毛志雄负责）

4.1首先安装抽气管，一定把管路内部和管口清理干净。

4.2罗茨泵的连接法兰面一定要光洁，不允许有磕碰伤。

4.3连接罗茨泵。

5.维修台的安装（由两名普工完成）

5．1以入口室为基准,按照所记录的各个维修台相互之间的尺寸进行摆放。

5.2在入口锁室的辊道上放一玻璃,用水平测量仪记录下玻璃上某点的高度,以该高度为基准,用同样的方法通过调整地脚螺钉来调整观察台的高度。

6水管、压缩空气管、机械泵排气管铺设（由邓铁华带1名普工完成）

6.1从真空室腔体下主管上引出各分管到各供水、供气点。

6.2尽量采用主管路上原来的供水、供气口。

6.3连接个腔室顶部的工艺气管。

6．1以入口室为基准,按照所记录的各个维修台相互之间的尺寸进行摆放。

6.2在入口锁室的辊道上放一玻璃,用水平测量仪记录下玻璃上某点的高度,以该高度为基准,用同样的方法通过调整地脚螺钉来调整观察台的高度。

7．电源柜安装（由张有武，孙鹏辉，李维负责）。

7.1安装电源控制箱。

7.2安装DC电源灭弧器。

7.3安装压电阀电源。

7.4安装分子泵电源。

7.5铺设电缆桥架。

将电缆线铺设在桥架上。

7.6按照所做的标记接好个电源线、控制线。

7．清洗机的安装由（雷刚，廖幸福负责）

7.1把清洗机大致吊到安装位置摆放好。

7.2根据记录的位置关系尺寸,按照安装观察台的方式来安装和调整各段清洗机。

7.3连接好各水管。

7.4安装过滤器，各气管连接要牢固可靠。

7.5安装电柜，接好电源线、控制线。

8.冷冻水设备安装（由邓铁华，杨云云负责）。

8.1将冷冻机组、泵吊装到位。

8.2按照图