TCAD+速成手册Word下载.docx
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的目录，在控制窗口键入：
mkdirtutorialcdtutorial
然后键入下列命令开启deckbuild运行环境：
deckbuild
屏幕上将出现类似于图2.1的DeckBuild运行时间环境。
GUI界面包括两部分：
上部窗口显示当前输入文件，而下部显示运行输入文件时创建的输出。
图2.1DeckBuild运行时间界面GUI
2.2:
载入和运行范例
输入文件可以由用户创建或者从范例库中加载。
为了熟悉软件语法，最好载入第一个实例中范例。
要从deckbuild运行时间环境的GUI载入范例，可点击：
MainControl...Examples（范例）...
屏幕将弹出一个窗口显示一列47个类别的范例。
图2.2显示首15个类型范例。
要查看剩余的类别，则使用窗口右侧的滑动条滚动选择。
图2.2首15个类别的DeckBuild范例
只需双击该类别，即可查看每个类别的范例。
如果双击首个类别"
MOS1:
MOSApplicationExamples，"
则得到如图2.3显示的列表。
该类别有15个范例。
图2.3MOS应用范例列表
双击任何期望的范例，即可查看其解释。
双击首个范例"
NMOS:
Id/VgsandThresholdVoltageExtraction"
，可查看该范例的解释。
结果如图2.4显示。
滚动拉下窗口可浏览全部解释。
图2.4范例描述窗口
为了在DeckBuild运行环境中载入特定范例，点击"
DeckBuild:
Examples"
窗口右上部的"
LoadExample"
按钮。
DeckBuild主窗口如图2.5显示。
图2.5DeckBuild已载入输入文件
按下"
run"
按钮即可运行范例。
运行完成后，屏幕出现两个图。
第一个为显示仿真过程中网路掺杂的彩色轮廓图，第二个则是简单的阈值电压Vg相对Id图。
它们分别为如图2.6和图2.7所示。
一旦选中"
按钮，结构文件和线图既加载在当前工作目录中，因此不必运行仿真即可浏览结果。
图2.6显示网路掺杂的工艺仿真结构
图2.7显示Vg相对Id的器件仿真线图
2.3:
查看结果
SILVACO的浏览工具"
TonyPlot"
是一个功能丰富的绘图工具。
该指南中仅介绍它的某些基本性能。
当SILVACO的TCAD软件包中保存一个结构文件或一个线图时，创建结构文件或线图的所有参量将自动包含仅该文件，供绘图之用。
例如在结构文件绘图中，如果想要绘制其他变量如"
DonorConcentration"
则如下点击：
Plot...Display...Define...Contours...
然后向下滚动选择"
Quantity:
方框，得到一组可绘制变量。
如果按照该顺序执行，将出现两个另外的GUI显示，如图所示2.8。
选择新的参量并点击"
Apply"
。
图2.8选中可绘制变量的相关GUI
运行时常需要查看一个图表的"
cutline"
片断。
这时，关闭其它相关绘图相关视窗，点击"
OK,"
然后返回主要视图和选择下列命令：
Tools...Cutline...
现在将使用默认"
verticalcutline"
方框，但在"
GUI中也可以选择水平或交叉的cutline方框。
返回主图，在cutline起点处点击并按住鼠标左键。
竖向直拖动鼠标，到cutline终点处松开鼠标。
松开左键后，cutline图表将自动显示当前现实的参量的cutline。
完成操作后点击cutline方框上的"
OK"
键。
要在新cutline图上覆盖显示其他变量，则左击线图，使之变为当前视图（图表的白色边框表示它为激活现行图表）。
然后点击：
Plot...Display...
来选择要覆盖在线图上的其它参量。
例如，如果在线图上添加Arsenic,Boron和Phosphorus，它应该显示在图2.9上。
Vg相对Id曲线也有相似命令，使它可以在线图上覆盖显示其它电学参量。
图2.9Cutline图
总的来说，在终端或控制窗口键入"
tonyplot"
，可绘制一个文件；
或者在DeckBuild中，通过高亮文件名并按下列顺序操作命令，直接绘制结构。
Tools...Plot...PlotStructure
要自动绘制一个仿真中创建的结构文件，只需简单添加语句：
structureoutfile=
tonyplot
至输入文件，仿真器将保存创建的器件文件直至输入文件中该点。
仿真器在达到该点之后，即自动绘制结构。
用户可在仿真过程中的任意点绘制任意数目的结构文件。
章节2.4:
自动创建和编辑输入文件
现在，您应该已经了解如何加载、运行和查看TCAD范例的结果。
接下来演示如何简便创建自己工艺仿真输入文件或者修改已有文件。
输入文件为简单的ASCII文本格式，因此它可使用任何ASCII编辑器创建。
但是，DeckBuild包含一个简单的GUI，可自动创建工艺仿真输入文件。
为了简化程序，而不必每次从头来创建工艺仿真输入文件，这里将演示如何在现有的输入文件中添加几行代码。
通过在每个工序中重复该步骤，该方法同样用于创建整个输入文件。
一旦使用"
line"
和"
init"
语句（参见载入范例的首几行）定义了仿真空间和初始衬底，工艺仿真则仅包含很多连续的扩散、植入、蚀刻和淀积步骤。
其中每一步均可使用DeckBuild自动编写。
回到输入文件的范例中，假设打算在第一步之后添加一个低能量10keV"
P-WellImplant"
鼠标左击DeckBuild顶部视窗中首个P-well植入之后的一行。
然后如下点击：
Commands...Process...Implant
屏幕将出现"
ATHENAImplant"
视窗。
创建额外的注入语句行只需填充该方框而已，其方法是使用滑动条、或者填充数值后按下回车键。
对于10keV硼注入,剂量1e11/cm2，垂直夹角7度，主平面旋转27度，其注入GUI如图2.10所示。
完成输入信息后，点击"
Write"
，输入文件中则出现一个新行。
图2.10完全填充的注入GUI
同样的方式可创建淀积、注入、扩散、电极、创建网格、晶元初始化，结构文件保存等等.由于输入文件为简单ASCII文本，要在直观的语法输入文件中编辑参数，仅需使用DeckBuild中附带的复制、粘贴和删除功能。
第3章:
简易使用手册和自学方法
该手册很厚，乍看可能使人有点畏缩的。
所以本章节将为新用户演示如何简便使用范例浏览手册，从而找到特定信息。
以章节2.2中列出的输入文件为例，假设我们要理解"
SRH"
参数的用途。
它出现在输入文件中器件仿真部分，位于"
models"
开头的语句行。
在工艺和器件仿真器中，任何语句行的开头词语均为"
语句"
这个范例中，第一个词语是"
如果我们想要了解"
的作用，我们需要先找出"
modelsstatement"
的信息。
所有的SILVACO产品均有PDF格式的用户手册。
要查找器件仿真器的信息，则需要打开ATLAS用户手册。
通过在控制台和端子窗口中键入"
sman"
可启动"
工具，再通过"
工具可获得用户手册。
用户手册如图3.1所示。
图3.1ATLAS的PDF用户手册
此手册最显著的特征是"
章节。
它包含器件仿真器按字母顺序排列的所有语句。
因为我们要找"
语句，点击左边的书签索引上语句章旁边的"
+"
扩展符号。
按字母顺序向下滚动选择"
Models"
语句。
点击Models语句旁边的"
扩展符号，可以查看其内容。
这时，我们需要选择。
如果您已猜到"
等于SchottkyReadHall"
的组合缩写，即可点击RecombinationModelsFlags"
如果不明白"
的含义，则点击"
MODELS"
标题，回到该章节开头。
这个章节的开头是另一个与模型语句有关的参数，也以字母顺序排列。
向下滚动直至"
，表格显示：
参数类型，以及默认数值和单位。
一旦知晓其类型，便可向下滚动在描述章节找到参数。
也可使用"
Edit...Find..."
功能在描述部分搜索"
不论使用何种方法，都可以找到描述SRH参数的部分，其如图3.2所示。
图3.2查找到"
参数
这组信息足够让用户了解参数的含义及其默认值。
但是，如果您想要了解使用参数的规则和方程，语句章节中关于"
的描述指示用户可参照第三章的方程3-290。
参考方程3-290，可找到如图3.3所示的SRH模型的完整描述。
图3.3参照SRH模型的完整描述。
仅需简单点击几次鼠标，即可找到用户控制的方程中参数的含义，以及参数在仿真器中作用的完整描述，还有何种其它用户定义参数。
现在您应该清楚如何使用用户的范例了。
第4章:
其他互联网信息
SILVACO的网站提供丰富的技术信息，它位于信息库部分：
信息分为如下
四个类别
1/仿真标准（SILVACO出版）
2/陈述材料
3/参考引用SILVACO软件的书籍
4/发表论文（同行技术文献评论）
SILVACO仿真标准是一个TCAD季度刊物，它包括详细的应用注释，以及涵盖广泛技术的仿真结果。
它也包括一些常见问题的提示和技巧。
SILVACO网站提供多年来发表的所有仿真标准刊物。
使用搜索功能，可寻找您关心的课题。
“PresentationMaterials”包含各类陈述材料。
某些PowerPoint陈述材料显示应用范例，以及语法解释。
也有一些学术课程材料显示如何将SILVACOTCAD软件编进学生作业中。
其它部分列出SILVACO软件辅助的专利，以及一组参照SILVACO软件的教科书。
TechnicalLibrary（技术库）部分的最后两个部分罗列出教科书和发表的论文，它们分为在所有SILVACO软件开发中使用的多个类别。
如果您觉得信息太多，使用SILVACO提供的简单搜索功能框，您可迅速有效地找到所需信息。
总之，希望我们在这里通过范例，充分为新用户演示了如何简单使用SILVACO软件，查找所需信息，自学达到成功运行TCAD仿真。
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