XPS分析元素的含量的方法Word格式文档下载.doc

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Intensity（cps）

横坐标：

bindingenergy（eV）

除了氢氦元素，其他的元素都可以进行分析；

先进行宽扫，确定样品有何种元素，再对该元素进行窄扫。

该元素的不同键接方式都对应不同的峰，所以对元素窄扫的峰要进行分峰（分峰之前要进行调整基线）。

如何分峰，不同的键接方式会对应不同的结合能。

第一步：

先把元素的窄扫峰用origin画出来；

第二步：

调整基线；

选择CeateBaseline-----next------next-----add/modify添加（双击）或去除（delete）基点，保证基线水平-----Finish

最小化图，会出现调整基线后的坐标。

插入一列，

单机右键选择setcolumnvalues输入col（b）-col（d）：

即开始纵坐标减去调整基线后的纵坐标。

再用横坐标与刚开始得到的纵坐标作图------调整基线后的XPS窄扫图。

第三步：

对峰求积分面积；

选择integratepeaks-----next-------狂点------完成

即area为峰的面积。

第四步：

分峰较难（有专门的分峰软件，origin也能分峰）

第五步：

求组分元素比：

元素比等于：

窄扫峰面积/XPS灵敏度因子（每一个元素的灵敏度因子不一致）

咱们这边的XPS设备选择的是铝板（AlKα）。