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zemax手把手教程

zemax手把手教程

这一章将要教你如何使用ZEMAX,这一章的每一节将会让你接触一个不同的设计问题。

一个设计例子是非常简单的,如果你是一个有经验的镜片设计师,你也许觉得它并不值得你去费

心,但是,如果你花费一点点时间去接触它,你可以学到如何运行ZEMAX,然后你可以继续你自己特别感兴趣的设计。

前几个例子中,提供了一些关于镜片设计理论的教程内容,用来帮助那些对专用术语不是很

了解的人。

但在总体上来说,这本手册,以及其中的这些特例,目的都不是要将一个新手培养成

为一个专家。

如果你跟不上这些例子,或者你不能理解程序演示时与计算有关的数学知识,可以

参考任何一本“简介”这一章中所列出的好书。

在开始课程之前,你必须先通过正当手段安装

ZEMAX。

1asinglet

ZEMAX

rayfanOPDSpot

diagram

假设你需要设计一个F/4的镜片,焦距为100mm,在轴上可见光谱范围内,用BK7玻璃,你该怎样开始呢?

首先,运行ZEMAX。

ZEMAX主屏幕会显示镜片数据编辑(LDE)。

你可以对LDE窗口进行移动或重新调整尺寸,以适合你自己的喜好。

LDE由多行和多列组成,类似于电子表格。

径、厚度、玻璃和半口径等列是使用得最多的,其他的则只在某些特定类型的光学系统中才会用

到。

LDE中的一小格会以“反白”方式高亮显示,即它会以与其他格子不同的背景颜色将字母

显示在屏幕上。

如果没有一个格子是高亮的,则在任何一格上用鼠标点击,使之高亮。

这个反白

条在本教程中指的就是光标。

你可以用鼠标在格子上点击来操纵LDE,使光标移动到你想要停留的地方,或者你也可以只使用光标键。

LDE的操作是简单的,只要稍加练习,你就可以掌握。

开始,我们先为我们的系统输入波长。

这不一定要先完成,我们只不过现在选中了这一步。

在主屏幕菜单条上,选择“系统(System)”菜单下的“波长(Wavelengths)”。

屏幕中间会弹出一个“波长数据(WavelengthData)”对话框。

ZEMAX中有许多这样的对话框,用来输入数据和提供你选择。

用鼠标在第二和第三行的“使用(Use)”上单击一下,将会增加两个波长使总数成为三。

现在,在第一个“波长”行中输入486,这是氢(Hydrogen)F谱线的波长,单位为微米。

ZEMAX全部使用微米作为波长的单位。

现在,在第二行的波长列中输入587,最后在第三行输入656。

这就是ZEMAX中所有有关输入数据的操作,转到适当的区域,然后键入数据。

屏幕的最右边,你可以看到一列主波长指示器。

这个指示器指出了主要的波长,当前为486微米。

20

在主波长指示器的第二行上单击,指示器下移到587的位置。

主波长用来计算近轴参数,如焦距,

放大率等等。

ZEMAX一般使用微米作为波长的单位

“权重(Weight)”这一列用在优化上,以及计算波长权重数据如RMS点尺寸和STREHL

率。

现在让所有的权为1.0,单击OK保存所做的改变,然后退出波长数据对话框。

现在我们需要为镜片定义一个孔径。

这可以使ZEMAX在处理其他的事情上,知道每一个镜片该被定为多大。

由于我们需要一个F/4镜头,我们需要一个25mm的孔径(100mm的焦距

除F/4)。

设置这个孔径值,选择“系统”中的“通常(General)”菜单项,出现“通常数据(General

Data)”对话框,单击“孔径值(AperValue)”一格,输入一个值:

25。

注意孔径类型缺省时为“入瞳直径(EntrancePupilDiameter)”,也可选择其他类型的孔径设置。

除此之外,还要加入

一些重要的表面数据。

ZEMAX模型光学系统使用一系列的表面,每一个面有一个曲率半径,厚

度(到下一个面的轴上距离),和玻璃。

一些表面也可有其他的数据,我们以后将会讨论到。

意在LDE中显示的有三个面。

物平面,在左边以OBJ表示;光阑面,以STO表示;还有像平面,以IMA表示。

对于我们的单透镜来说,我们共需要四个面:

物平面,前镜面(同时也是光

阑面),后镜面,和像平面。

要插入第四个面,只需移动光标到像平面(最后一个面)的“无穷

(Infinity)”之上,按INSERT键。

这将会在那一行插入一个新的面,并将像平面往下移。

新的

面被标为第2面。

注意物体所在面为第0面,然后才是第1(标上STO是因为它是光阑面),第2和第3面(标作IMA)。

现在我们将要输入所要使用的玻璃。

移动光标到第一面的“玻璃(Glass)”列,即在左边被标作STO的面。

输入“BK7”并敲回车键。

ZEMAX有一个非常广泛的玻璃目录可用。

所有我

们需要做的仅仅是决定使用“BK7”,ZEMAX会去查找我们所定的玻璃并计算每一个波长的系

数。

由于我们需要的孔径是25mm,合理的镜片厚度是4mm。

移动光标到第1面(我们刚才输入了BK7的地方)的厚度列并输入“4”。

注意缺省的单位是毫米。

其他的单位(分米,英寸,

和米)也可以。

现在,我们需要为镜

片输入每一面的曲率半

径值。

让我们设想一下,

前面和后面的半径分别

是100和-100,在第1

(STO)和2面中分别输

入这些值。

符号约定为:

如果曲率中心在镜片的

右边为正,在左边为负。

这些符号(+100,-100)

会产生一个等凸的镜片。

我们还需要在镜片焦点

处设置像平面的位置,所

以要输入一个100的值,

作为第2面的厚度。

我们怎样才能知道图E1-1这个镜片是否好呢?

许在镜片设计中,最有用的判断工具是光线特性曲线图。

要产生一幅光线特性曲线图,先选择“分

21

析(Analysis)”菜单,然后选择“图(Fan)”菜单,再选择“光线像差(RayAberration)”。

你将会看到光线特性曲线图在一个小窗口显示出来(如果看到任何出错信息,退回并确认是否所有

你所输入的数据与所描述的是一致的)。

光线特性曲线图如图E1-1所示。

图形以光瞳坐标的函数

形式表示了横向的光线像差(指的是以主光线为基准)。

左边的图形中以“EY”代替εY。

这是Y方向的像差,有时也叫做子午的,或YZ面的。

右图以“EX”代替εX,有时也叫做弧矢的,或XZ面的。

此光学特性曲线表示出了一个明显的设计错误,光线特性曲线通过原点的倾斜表示

有离焦现象存在。

为了纠正离焦,我们用在镜

片的后面的Solve来进行。

SOLVES(参考“SOLVES”这一章)动态地调整特定的镜片数据。

为了将像平面设置在近轴焦点上,在第2面的厚度上双击,弹出SOLVE对话框,它只简单地显示“固定(Fixed)”。

在下拉框上单击,将SOLVE类型改变为“边缘光高(MarginalRayHeight)”,然后单击OK。

用这样的求解办法将会调整厚度使像面上的边缘光线高度为0,即是近轴焦点。

注意第2面的厚度会自动地调整到约96mm。

现在,我们需要更新光线特性曲线图E1-2图看其变化。

从光线特性曲线窗口菜单,单击“更新(Update)”(在窗口任何地方双击也可更新),

其光线特性曲线图如图E1-2所示。

现在,离焦已消失,主要的像差是球差。

注意图中比例的改

变。

这是不是所能得到的最佳的设计呢?

我们下面就要用优化来完成本设计的工作。

首先,我们

将告诉ZEMAX,哪个参量在设计中是自由的(这些被称为变量),然后我们将告诉它设计的要

求(这些被称为目标(Targets)或操作数(Operands))。

有三个变量可以供我们利用,它门是:

镜片的前、后曲率,和第二面的厚度,这些变量可以用离焦来补偿球差。

将光标移到第1面的半径这一列,然后按Ctrl-Z(如果你喜欢用菜单界面,单击“半径”,然后选择SOLVES,再从LDE菜单中选变量“Variabletoggle”;你也可以在“半径”上双击,得到一个下拉的选择列,其中包

括了变量状态)。

注意,出现“V”表示一个可变的参量。

按Ctrl-Z与菜单的功能相同。

再在第2面半径以及第2面的厚度上设置变化的标志,。

第2面的厚度变化时,它的值会复盖(

overrides)

先前用求解定出的值。

现在我们需要为镜片定义一个“评价函数(MeritFunction)”。

评价函数从数学理念上指出

什么样的镜片是好的。

评价函数就象是高尔夫球赛的得分,分数越低越好。

一个理想的镜头(对

于一个指定的应用)它的评价函数的值应为0。

为了定义评价函数,从主菜单中选择“编辑(Editors)”菜单下的“评价函数”。

出现一个

与LDE类似的电子表格。

从这个新的窗口的菜单条上,选择“工具(Tools)”菜单下的“缺省评价函数”。

再在出现的对话框中,点击Reset,然后OK。

你最终将会明白这些操作的功能,但现

在你只需接受缺省值。

ZEMAX很擅长于决定一个和合理的缺省评价函数。

ZEMAX已经为你构建了一个缺省的评价函数,它由一系列的可以使得RMS波前差最小的追迹光线组成。

但这并不够,因为除了使弥散斑尺寸最小外,我们还需要使镜头的焦距为100mm。

如不限定镜头的焦距,ZEMAX会很快地发现,设定焦距无穷大(镜片相当于一个窗玻璃)会得

22

到很好的波前像差。

在第一行中的任何一处单击鼠标,使光标移动到评价函数编辑的第一行,按下INSERT键插入新的一行。

现在,在“TYPE”列下,输入“EFFL”然后按回车。

此操作数控制有效焦距。

动光标到“Target”列,输入“100”然后按回车。

其“权重(Weight)”输入一个值:

1。

这样我们就完成了评价函数的定义,你可以在窗口的左上角双击,将评价函数编辑器从屏幕中移走,

评价函数不会丢失,ZEMAX会自动将它保存。

现在从主菜单条中选择“工具”菜单下的“最佳化(Optimization)”,会显示最佳化工具对话框。

注意“自动更新(AutoUpdate)”复选框。

如果这个选项被选中,屏幕上当前所显示的窗口(如光学特性曲线图)会按最佳化过程中镜头的改变而被自动更新。

在该复选框中单击选择自动更新,然后单击“自动(Automatic)”,ZEMAX会很快地减少评价函数。

单击“退出(Exit)”关闭最佳化对话框。

最佳化的结果是使镜片弯

曲。

结果所得出的镜片曲率使得图E1-3焦距大致为100mm,并且使这个简单的系统具有了一个尽可能小的RMS波前差。

ZEMAX也许不会很确切地将焦距优化到100mm,因为EFFL限制是一个被看作与其他的像差一样的“权重”目

标。

我们现在可以用光线特性

曲线图来研究计算结果。

最佳

化的设计结果的最大的像差约

为200微米,如图E1-3所示。

衡量光学性能的另一个方

法的是产生一个点列图。

为了

得到点列图,选择“分析”菜

单下的“点列图”选项,然后

选其中的“标准(Standard)”。

点列图将会显示在另一个窗口

中。

此点列图的弥散大小是400

微米。

作为比较,艾利(Airy)

衍射斑的大小粗略地约为6微

米。

另一个有用的判断工具是

OPD图。

这是以光瞳坐标为函

图E1-4数的光程差(以主光线为基准)

分布图,它的光瞳坐标与光学特性曲线图中相同。

为了看OPD图,选择“分析”菜单下的“图”,

再选择“光程(OpticalPath)”。

你可以参考图E1-4中的OPD图。

这个系统中有大约20个波长的波像差,大部分为焦面上的,球差,色球差和轴上色差。

23

你大概会意识

到,当波像差约等

于或小于四分之一

波长时,镜片要考

虑“衍射极限”(可

参考有关此概念的

更为详细的讨论)。

显然,我们的单透

镜并没有达到衍射

极限。

为了提高此

光学系统(或任何

光学系统)的性能,

设计者必须判断哪

一种像差限制了其

性能,以及什么操

图E1-5作可以用来改正。

从光线图(图

E1-3)中,可较明显地看出,色差(Chromaticaberration)是其主要像差。

(另一方面,它可能不明显,可再看其他的一些能够提供有关光线图的建议的好书。

ZEMAX为一阶色差的大小提供了另外一种简便的工具:

多色光焦点漂移图。

这种图形把焦

距作为一种波长的函数,它指出了近轴焦点的变化。

为了得到多色光焦点漂移图,选择“分析”

菜单中的“多方面(Miscella-neous)”,然后再选“多色光焦点漂移(ChromaticFocalShift)。

可以参考图E1-5。

注意纵坐标表示波长范围,覆盖了所定义的波长段,焦距的最大变化范

围约为1540微米。

对于单透镜镜片来说,其曲线的单调变化类型是很典型的。

为了修正一阶多色差,要求有另外一种玻璃材料。

这导出了我们的下一个例子,即双透镜的

设计。

如果你想保存此镜片以用来作为以后的评估,选择“文件(File)”菜单下的“另存为(Save

as)”选项,ZEMAX会提醒你输入一个文件名。

任何一个以这种方式保存的镜头都可以通过选择

“文件”菜单下的“打开(Open)”选项来调用。

要退出ZEMAX,请选择“文件”菜单下的“退出(Exit)”。

2adoublet

一个双透镜包括两片玻璃,通常(但不一定)是胶合的,因此它们有一个共同的曲率。

过使用两片具有不同色散特性的玻璃,一阶色差可以被矫正。

也就是说,我们需要得到抛物线形

的多色光焦点漂移图,而不是直线的。

这反过来会产生较好的像质。

现在,我们保持先前100mm

焦距和在轴上的设计要求,我们下面将会加入视场角。

24

如何选择这两片玻璃需要一些技巧,参考Smith的《现代光学工程学(ModernOpticalEngineering)》里有关的例子。

由于此例的目的是教你如何使用ZEMAX,而不是如何设计镜片,我们这里只建议选择BK7和SF1这两种玻璃。

如果你已完成了刚才的例子,且单透镜镜片仍然被

装载着,你不需要重新输入设计的波长。

否则,请按照前面例子所述的方法输入波长和孔径。

在必须插入新的面,直到你的LDE窗口看上去象下面的表格。

不是所有的列都会被显示出来。

果你需要移动光阑的位置以使第一面成为光阑面,可以通过双击你所要使之成为光阑面的那一行

的表面类型列,然后选择“MakeSurfaceStop”按钮。

因为在BK7和SF1这两种介质中没有空隙,这是一个胶合透镜。

ZEMAX自己不会模拟胶合镜片,它只能简单地模拟使两片玻璃相接触。

如果你在先前的例子中,仍然保留了评价函数,那么,你就不需要重新创建评价函数。

则,请重新创建一个评价函数,包括EFFL操作数,如前一个例子所描述的。

现在,从主菜单下选择“工

具”-“最佳化”,单击“自动”。

评价函数会开始减小,等它停止

后单击“退出”。

显示多色光焦

点漂移图,看看我们是否已有了

一些提高(如果你的屏幕上还没

有准备好,选择“Analysis”,

“Miscellaneous(各种的)”,

“ChromaticFocal”)。

它应该

与图E2-1类似。

我们现在已经减小了色差

的线性项,,二阶色差占了优势,

因此如抛物线形状所示。

请注意

多色光焦点漂移量减少为74微

米(单透镜为1540微米)。

图E2-1还有另外的玻璃选择可以

产生较好的设计。

要看ZEMAX玻璃目录中的其他玻璃类型,选择“Tools”,“GlassCatalogs”。

浏览完目录后单击“Exit”。

25

现在,通过在光学特性

曲线窗口中选择“Update”

更新光学特性曲线图(如果

光学特性曲线窗口没有显示

出来,则在主菜单中选择

“Analysis”,“Fans”,

“RayAberration”)。

图如

E2-2所示。

最大的横向光学

像差已经被减小到约20微

米。

这对于单透镜在200微米

处来说是一个质的提高。

意光学特性曲线图原点处的

斜率对于每一个波长是大致

相同的,这表示每一个波长

相对离焦也是很小的,但是

图E2-2斜率不为0。

这隐含了离焦被

用来平衡球差的意思。

有S形弯曲的光学特性曲线是典型的用离焦平衡球面镜片的例子。

现在我们已经设计了一个具有

较好的性能特征的镜片,镜片看上去

怎么样呢?

选择“Analysis”,

“Layout”,“2DLayout”,让我们来

看看一个简单的镜片的二维剖面图。

图形显示如图E2-3所示。

图中显示

了从第一面到像平面(缺省值,也可

设成其他值)的镜片,同时还有三条

(缺省情况下)主波长光线从每个视

场到像平面。

这三条光线分别为入瞳

——本例中也就是第1面——的上边

缘、中心和底部的光线。

很明显,第图E2-3

1个镜片有较尖的边缘。

根据图形很

难说出边缘厚度是正的或负的。

而且,如果镜片尺寸稍微大一点会更好。

这样可使镜片的实用清

晰孔径会比口径要小,会给诸如抛光和装配等提供边缘空间。

我们可以通过考虑这些因数来提高设计。

为了决定实际的边缘厚度,可将光标移动到第一

面的任意一列(例如,在LDE中有“BK7”字样处单击)。

现在选择“Reports”,“SurfaceData”,将会出现一个窗口,告诉你该面的边缘厚度。

所给出的值是0.17,稍偏小。

在我们修整偏小的边缘厚度之前,我们将先将镜片放大。

移动光标到第一面的半口径“Semi-Diameter”列,键入“14”替代所显示的12.5,ZEMAX会消去12.5并显示“14.000000U”。

“U”标志着这个孔径是用户自定义的。

如果“U”没有显示,表示ZEMAX允许此孔径可随要求定义。

你可以键入Ctrl-Z来取消“U”标志,或在半口径上双击,并为求解类型选择“Automatic”。

作了这些改变后,选择“System”,“Update”更新孔径值。

14这个值为半口径,表示全口径为

28mm。

同样,在第二面和第三面中也输入14。

更新图层。

现在孔径已经被放大了,但第一个边缘厚度是负的!

更新表面数据窗口查看新

的边缘厚度,它会变成一个负数。

为了得到一个更为合理的边缘厚度,我们可以增加中心厚度。

但是还有一个更有用的保持边缘厚度为一个特定值的方法。

26

图E2-4

假设我们需要保持边缘厚度在3mm,在第一面的厚度列中双击,会出现“SolveControl”屏幕,从所显示的求解列表中选择“Edgethickness”,两个值会被显示,一个是“厚度

(Thickness)”,一个是“半径高(RadialHeight)”。

设厚度为3,半径高为0(如果半径高是0,ZEMAX使用所定义的半口径),然后单击“OK”。

在LDE中,第一面的厚度已被调整过,字母“E”显示在框中,表示此参量为一个活动的边缘厚度解。

再次更新表面数据窗口,边缘厚度3会被列出。

你也可以选择“System”,“UpdateAll”一次性更新所有的窗口。

这将会刷新图层和光学特性曲线图。

通过调整厚度,我们已对镜片的焦距作了一点改变。

如果你喜欢,现在可以看一下光学特性曲线图。

然后,再进行最佳化(选择“Tools”,“Optimization”,然后选“Automatic”)。

最佳化后,单击“Exit”,然后选择“System”,“UpdateAll”,再一次刷新图形。

图E2-5现在我们来测试双透镜的离轴

特性。

从主菜单选择“System”,“Field”得到“FieldData”对话框,单击第2和第3行的“Use”选择3个视场。

在下面的y视场列的第2行,输入7(即7度),在第3行输入10。

使对于轴上的第1行保持为0,使x视场的值也为0,因为一个旋转对称系统,其x视场的值很小。

单击OK关闭对话框。

现在选择“System”,“UpdateAll”(系统,更新),光学特性曲线(rayfan)图显示在图E2-4中,你所得的也许会有一点不同,还要看你在设置了求解(SOLVE)后是如何重新优化的。

就如你从这些图中所看到的,镜头的轴外特性是很差的,原因是我们只对轴上特性进行了

优化。

现在是什么像差限制了我们呢?

可以来分析光学特性曲线图,判别出场曲是主要像差。

27

像差可以通过场曲曲线图来估计。

选择“Analysis”,“Miscellaneous”,“FieldCurv/Dist”,场曲曲线如图E2-5所示。

注意左图表示出了近轴焦点的漂移为一个关于视场角的函数,而右图则

表示了有以近轴光线为基准的实际光线的畸变。

场曲曲线图上的所有信息都可从光学特性曲线图

中得到,场曲曲线与光学特性曲线图中的斜率成比例。

在校正视场弯曲时是有技巧的,实际上,球差和彗差也同样如此。

这些技巧在Smith的《ModernOpticalEngineering》中也有提及。

3aNewtoniantelescope

如果你已经通过了前面两个例子,你可以继续一个比较复杂的设计了。

牛顿望远镜是最简单的用来矫正轴上像差的望远镜,而且它对于阐明ZEMAX的一些基本操作非常有用。

首先,牛顿望远镜是由一个简单的抛物线形镜面组成的,而且除此之外别无它物。

抛物线很好地矫正了所有阶的球差,由于我们只将望远镜使用在轴上系统,所以根本就没有其他

的像差。

为了重新开始,先关闭除了LDE外的所有窗口,选择“File”,“New”。

假设我们需要一个1000mmF/5的望远镜,这暗指需要一个曲率半径为2000mm的镜面,和一个200mm的孔径。

移动光标到第一面,即光阑面的曲率半径列,输入-2000.0,负号表示为凹面。

现在在同一个面上输入厚度值-1000,这个负号表示通过镜面折射后,光线将往“后方”传

递。

现在在同一面的“Glass”列输入“MIRROR”,选择“System”,“General”,然后在“通用数据对话框(GeneralDataDialogBox)”中输入一个200的孔径值,并单击“OK”。

ZEMAX使用的缺省值是波长550,视场角0,这对于我们的目标来说是可接受的。

现在打

开一个图层窗口,光线显示了从第一面到象平面的轨迹,此时象平面在镜面的左边。

如果你现在

演示一个标准的点列图(拉下“Analysis”菜单,选择“SpotDiagrams”,再选“Standard”或键入“Ctrl-S”),你将会看到一幅RMS为77.6微米的点列图。

评定像质的一种较为简便的方法

是将艾利(Airy)衍射斑加到点列图的顶部。

进行此操作,可从点列图的菜单条选择“Setting”,在“ShowScale”选项中选择“AiryDisk”,然后单击“OK”,所得的点列图如图E3-1所示。

所列的RMS点的尺寸是77.6微米,光线并没有达到衍射极限的原因是我们还没有输入圆锥

常量。

我们原先所输入的2000这个曲率半径只是定义了一个球形,我们需要一个锥形常量-1来定义抛物线。

在第一面的“Conic”列输入-1,敲回车,现在选“System”,“Update”菜单项刷新所有的窗口,在更新后的点列图上,你可以看到有一小簇的光线在六角环带的中心,RMS点尺寸是0。

很不幸,这个高像质的图象所处的位置并不好。

由于像处在入射光路的光程中,图象无法

接收。

这通常在主镜面后安放一个转折光线用的反射面来调整,反射镜面以45度的角度倾斜,将像从光轴上往外转出来。

为了使用转折面,我们首先必须定下它该安放在哪儿。

由于入射的光

束为200mm宽,我们所需要的像平面至少要离开光轴100mm。

我们选择200mm,因此折叠镜面必须距主反射面有800mm。

28

图E3-1

先从改变第一面的厚度着手,将

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