plasma 机台维护保养Word下载.docx

plasma 机台维护保养Word下载.docx

《plasma 机台维护保养Word下载.docx》由会员分享，可在线阅读，更多相关《plasma 机台维护保养Word下载.docx（5页珍藏版）》请在冰点文库上搜索。

Ø

週保養

季保養

年度保養

Plasma機台週保養

1、將掉落於電極的鋁粉及Chamber壁的污染物用酒精擦拭（操作員手可觸及的範圍）

2、添加Oilpump真空油至8份滿（注意用油型號）

3、檢查pump是否漏油

4、檢查RF的反射功率是否太高

當反射功率大於8W時請通知鈦昇服務人員

當反射功率大於15W時請關機

5、機台的散熱風扇是否運轉

Plasma機台季保養

1、機台外觀擦拭

2、chamber內壁及o-ring溝槽用酒精擦拭

3、察看電極的濾網是否破裂

4、電極外觀用酒精擦拭

5、更換Oilpump真空油

Plasma機台年度保養

Chamber清洗

Oilpumpoverhaul

Rootspumpoverhaul

電極清洗

玻璃shield清洗

MFC校正　

Chamber清洗

基本上兩年overhaul一次，視使用狀況而定

玻璃shield清洗

MFC校正

送回原廠校正