VGC403 中文手册文档格式.docx
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4.3工作模式
4.4测量模式
4.4.1选择
4.4.2说明
4.4.3控制按钮功能
4.5参数模式
4.5.1选择
4.5.2参数组
4.5.3基本操作
5参数
5.1转换功能参数（PArASP）
5.1.1基本术语
5.1.2配置转换功能
5.1.3设定值范围
5.2规管参数（PArASEn）
5.2.1测量筛选器（FILt）
5.2.2气体类型（GAS）
5.2.3测量范围（FS）
5.2.4偏离（oFS）
5.2.5除气功能（dEGAS）
5.2.6规管启用（S-on）
5.2.7开关on阈值（t-on）
5.2.8规管停用（S-oFF）
5.2.9开关off阈值（t-off）
5.3一般参数（PArAGEn）
5.3.1测量单位（unit）
5.3.2波特率（bAud）
5.3.3显示方式（diGIt）
5.3.4缺省参数（dEF）
5.3.5记录仪输出（Ao）
5.3.6误差讯号继电器（Err-r）
5.4测试参数（PArAtESt）
5.4.1选择
5.4.2固件版号（Pnr）
5.4.3监测器控制（dt-C）
5.4.4乇锁（tr-L）
5.4.5参数设置（LoC）
5.4.6RAM测试（rA-t）
5.4.7EPROM测试（EP-t）
5.4.8EEPROM测试（EE-t）
5.4.9显示器测试（dI-t）
5.4.10A/D变换器讯号（Ad-S）
5.4.11A/D变换器ID（Ad-I）
5.4.12I/O测试（Io-t）
5.4.13RS232C测试（rS-t）
6计算机接口
6.1基础
6.1.1连接件
6.1.2术语
6.2通讯
6.2.1协议
6.2.2发送（HostUnit）
6.2.3接收（UnitHost）
6.2.4例
6.2.5数格式
6.2.6连续测量传送
6.3助记符
6.3.1一览表
6.3.2AOM
6.3.3BAU
6.3.4COM
6.3.5COR
6.3.6DCD
6.3.7DGS
6.3.8ERA
6.3.9ERR
6.3.10FIL
6.3.11FER
6.3.12GAS
6.3.13HVC
6.3.14ITR
6.3.15LOC
6.3.16OFC
6.3.17OFD
6.3.18PNR
6.3.19PRI
6.3.20PRX
6.3.21RES
6.3.22SAV
6.3.23SC1
6.3.24SP1
6.3.25SPS
6.3.26TAD
6.3.27TDI
6.3.28TEE
6.3.29TEP
6.3.30TID
6.3.31TIO
6.3.32TKB
6.3.33TLC
6.3.34TRA
6.3.35TRS
6.3.36UNI
6.3.37WDT
7维护和服务
7.1维护
7.1.1清洗
7.2程序传送模式
7.2.1准备和选择
7.2.2程序传送
7.2.3重新启动
7.3故障查找
7.3.1故障指示
7.3.2误差信息
7.3.3技术支持
7.3.4检修
7.4校准
7.4.1基础
7.4.2CAO
7.4.3CAF
7.4.4校准单位
8贮存和废物处理
8.1包装
8.2贮存
8.3废物处理
附录
转换表
重量
压强
线性测量
温度转换
缺省参数
文献资料
索引
质量保证书
1前言
1.1.1件号
本文件用于下列产品:
件号
产品
398-020
398-021
VGC402
VGC403
在仪器一侧的型号标签上标有件号。
1.1.2固件版号
本说明书是基于固件版号302-534。
如仪器未按说明工作，请检查是否已装备这个固件版号。
见5.4.2节，固件版号（Pnr），27。
1.1.3型号标签
仪器的一侧带有型号标签。
与INFICON联系时，请告知型号标签上的信息。
为此，请将信息复制如下:
图1-1型号标签（例）
1.2用途
VGC402和VGC403真空规控制器是用于显示和控制INFICON制造的真空规。
它与INFICON真空规PSG，PCG，PEG，CDG，BPG和HPG系列一起用于总压强测量。
真空规必须按它们的说明书操作使用。
下面，将VGC402和VGC403真空规控制器称为«
真空规控制器»
，将真空规称为«
规管»
。
1.2.1责任与保修
如最终用户或第三方发生以下情况，INFICON将不承担赔偿责任和保修将不再有效。
·
不顾本说明书中的信息。
不适当地使用产品。
对产品作任何干预（修改，修理等）
产品使用非产品说明中所列附件。
我们保留无事先通知的技术更改权。
图例是无约束的。
1.3产品型号
真空规控制器有两种型号:
VGC402和VGC403。
两种产品的区别如下:
测量通道的数量
开关功能的数量
功耗
见第2章技术参数，7。
本说明书同时说明:
1.4安全
本说明书中所述的全部工作必须由经技术培训和有经验或经产品的最终用户授权的人员执行。
1.4.2使用符号
本说明书中使用的安全符号如下:
防止任何危及人身的信息.
防止任何损伤设备的信息.
正确掌握使用的信息.不注意将导致误功能或
不严重的设备损伤.
注:
表示特别重要,但非有关安全的信息.
1.4.3一般安全要求
全部要做的工作均必须遵守相应的安全规程.
并且要遵守本说明书中给出的全部安全注意事项.将信息告知本产品的其它使用人员.
尤其要遵守下列安全注意事项:
电源电压.
当将任何物件插入仪器或任何液体渗入仪器.
接触带电的部件是极其危险的.
确保无物价伸入通风孔和保持仪器的干燥.
图1-2不要将物价伸入通风孔和保持仪器的干燥.
不正确的使用.
不正确的使用将损坏真空规控制器.
按制造厂规定的用途使用真空规控制器.见第
1.2节用途,
5.
不正确的安装和运行参数.
不正确的安装和运行参数可损坏真空规控制器
严格遵守规定的安装和运行参数.
2技术参数
2.1一般参数
2.1.1机械参数
尺寸宽度:
106.3毫米
高度:
128.5毫米（3HE）
深度:
207毫米
见图2-1,
7
重量VGC402:
1.04公斤
VGC403
1.16公斤
使用桌上式
控制屏安装
机架安装
图2-1尺寸（毫米）
2.1.2环境
温度贮存:
-20...+60℃
工作:
+5..+50℃
相对湿度最大80%（高至31℃）
减至
最大50%（40℃以上）
使用仅室内
海拔最高2000米NN
污染等级II
保护类型IP20
2.1.3运行
手动通过面板上的4个控制按钮
遥控通过RS232C接口
符合有关用于在一定电压范围限度内的电气设备规程73/23/EWG
符合有关电磁兼容性的规程89/336/EWG
符合国际/国家标准和规范:
EN61010-1（用于测量,控制和实验室电气设备的安全规范）
EN61000-6-2（电磁兼容性通用放射标准）
EN61000-6-3（电磁兼容性通用抗干扰标准）
电压90...250VAC
频率50...60Hz
功耗VGC402:
最大45W
VGC403:
最大65W
过压类型II
保护等级1
连接欧洲仪表连接件
IEC320C14
2.2通道
2.3.1规管连接
通道数量VGC402:
2
3
每通道的
规管连接RJ45（FCC68）
D-Sub,15脚,插座
（平行连接）
兼容规管皮拉尼:
PSG400,PSG400-S,
PSG100-S,PSG101-S
皮拉尼/电容规:
PCG400,PCG400-S
冷阴极:
PEG100
电容规:
CDG025,CDG045,
CDG100
热电离/皮拉尼:
BPG400
HPG400
电压+24VDC±
5%
电流500mA
（短时间750Ma）
保险丝900mA通过PTC元件
仪器off或拔下规管
插头后自复位
电源符合超低压接地
保护的要求（SELV-E
按EN61010标准）
测量范围与规管有关
测量误差增益误差:
≤0.005%FS
偏离误差:
≤0.01%FS
测量速率50次/s
显示速率10次/s
筛选时间常数慢:
约1.0s（fg=0.16Hz）
正常:
约0.3s（fg=0.53Hz）
快:
约0.06s（fg=2.65Hz）
测量单位毫巴,帕,乇,微米汞柱
可能的调整线性规管（CDG）:
调零
对数传感（PSG,PCG,
PEG,BPG,HPG）:
对氮,氩,氢固定的校正因素,
或在0.10...9.99范围内
可变的校正因素
A/D变换器分辨率>
16位
BPG/HPG测量用数字传输.
开关功能
的数量VGC402:
4
6
配置不能配置
反应延迟与筛选时间常数有关
调整范围与规管有关
滞后性线性规管（CDG）:
≥1%FS
对数传感（PSG,PCG,
≥10%测量
触点类型换向型触点,浮动
负载（Ω）最大60VDC,0.5A
最大30VAC,1A
寿命机械:
107次
电气:
最大负载下105次
连接件D-Sub,25脚,插座
见图3-8,
13
2.4.2误差信号继电器
数量1
延迟时间≤20ms
数量每通道1个
电压范围0...10VDC
显示值的偏差±
50mV
内阻47Ω
电压与压强
之间的关系与规管有关
连接件D-Sub,9脚,插座
见图3-9,
数量1个
分辨率1mV
精度±
20mV
内阻3300Ω
之间的关系可编程
连接件D-Sub,9脚,插头
标准RS232C
协议ACK/NAK
ASCII带3-字符助记,
双向数据流,
讯号仅使用TXD和RXD
传输率9600,19200,38400波特
连接件D-Sub,9脚,插座
见图3-10,
14
名称
数量
真空规控制器
电源电缆
橡皮条
橡皮脚
凹槽螺丝
塑料套管
1
2
4
3安装
1目测运输的包装,是否有外伤的迹象.
2将真空规控制器开箱,留下包装材料
保存包装材料以便以后使用.真空规控制器的贮存和运输必须使用原始包装材料.
3检查真空规控制器的完整性
4目测真空规控制器是否有损坏的迹象.
损坏的产品.
运行损坏的产品是很危险的.
切勿运行损坏的产品.确保损坏的产品不会被
无意地使用.发一个损坏报告给运输公司或
保险商.
真空规控制器可使用如下:
作为桌上式仪器，安装入控制屏中或安装在19″机架上。
在安装中必须遵守下面的安全事项:
室温.
超过允许的最高室温可导致仪器的损坏.
确保不超过最高允许室温和气流可自由地
通过通风孔.切勿将仪器直接暴露于阳光下.
为将真空规控制器用作为桌上式仪器，请执行下列步骤:
1将真空规控制器底部向上，如图3-1,
2将供应的橡皮条插入面板的底缘
3将供应的橡皮脚粘在机箱的底部
图3-1产品用作桌上式仪器
4将真空规控制器翻回至正常方位，放置在需要的位置上。
3.2.2安装在控制屏中
为将仪器安装入控制屏中需用下面所示的开口板:
图3-2控制屏开口板（单位:
毫米）
1将真空规控制器插入开口板中
2用4个M3螺丝固定住仪器
为减小面板上的应力，建议支撑仪器的底部。
真空规控制器设计于安装在19″,3U机架（DIN41494）上。
用供应的4个开槽螺丝和塑料套管紧固。
机架的保护等级.
如产品安装在机架上,很可能会降低机架的
保护等级（防止外来物体或水）.开关机箱规程
EN60204-1.
为使机架达到保护等级的要求,采取适当的
措施.
图3-3仪器安装入机架中
为减小面板上的机械应力，最好在机架配件上装有导轨。
为安全与容易地安装重的机架配件，最好在机架框上装有滑轨。
1将机架配件安装在机架上
2将真空规控制器插入机架配件中
3用供应的4个开槽螺丝和塑料套管将真空规控制器紧固在机架配件上
3.3.1设备的后面
图3-4，
11表示VGC403的后面。
在VGC402中无通道3（项C）的连接件。
图3-4VGC403的后板
A规管连接件,通道1
B规管连接件,通道2
C规管连接件,通道3
DCONTROL连接件
E程序传送模式的开关
FRS232C连接件
G电源连接件
H电源开关
I接地螺丝
JRELAY连接件
K内部保护导线的螺丝.切勿松动这个螺丝!
内部保护导线的螺丝.
内部保护导线用螺丝（项K）连接至机箱.
切勿拧动或松动这个螺丝.
所述连接件的配置在下面章节中说明。
3.2.2电源连接件
电源连接件（图3-4，
11，项G）用于连接在设备侧面包含欧洲仪表接头的电源电缆。
仪器带有电源电缆。
如插头与您墙上的插座不匹配，就必须更换合适的电源电缆:
•带保护接地线的三芯电缆
•导线截面3×
1.5平方毫米或大于此截面
图3-5带保护接地线的三芯电缆
电源
不可靠接地的设备在出现故障时是极危险的
采用三线电源和带有保护接地线的延伸电缆
仅将电源电缆插入带有保护接地的墙插座中
无电源保险丝
真空规控制器未装备电源保险丝.
墙插座必须用保险丝（最大10A）保护.
1将带有欧洲仪表连接件的电源电缆连接至仪器的电源连接件上。
2将电源电缆的插头插入墙插座中。
如仪器安装在开关柜中，应通过中央配电箱供应和接通电源。
接地螺丝（图3-4，
11，项I）用于将真空规控制器与泵组的保护接地连接。
1必要时：
将泵组的保护接地与接地螺丝连接。
用一根保护导线。
3.3.4SENSOR（规管）
SENSOR连接件用于连接规管。
对于每个通道，有两个平行连接的接座:
一个是8-脚RJ45仪表插座,另一个是15-脚D-Sub仪表插座.见
11，项A...C。
接脚分配
图3-6SENSOR仪表插座（RJ45）
1+24VDC5讯号-GND
2PGND6状态
3讯号7HV_L
4标识6HV_EMI
图3-7SENSOR仪表插座（D-Sub,15-脚）
1EMI-状态9未连接
2讯号10标识
3状态11电源_CTR
4HV-EMI12讯号-GND
5PGND13RXD
6未连接14TXD
7除气15机壳
8电源_ITR
不适当的规管
在真空规控制器上使用不适当的规管可损坏
仪器.
仅使用适当的规管与真空规控制器一起工作
见第2.3.1节规管连接件，
8。
多连接.
每个通道仅允许连接一个规管.否则连接
的规管将被损坏.
一个通道上切勿连接一个以上的规管.
连接
1通道1:
将规管连接至CH1-A或CH1-B.采用1:
1屏蔽电缆
2通道2:
将规管连接至CH2-A或CH2-B.采用1:
3通道3:
将规管连接至CH3-A或CH3-B.采用1:
3.3.5RELAY（继电器）
开关功能和误差监测系统影响真空规控制器内某些继电器的状态。
RELAY连接件（图3-4，
11，项J）允许为开关目的利用继电器触点。
继电器触点是无电位（浮动）的。
图3-8RELAY仪表插座（D-Sub，25-脚）
1GND14误差闭合触点（NO）
2未连接15误差公共触点
3误差断开触点（NC）16SP4断开触点（NC）
4SP1断开触点（NC）17SP4公共触点
5SP1公共触点18SP4闭合触点（NO）
6SP1闭合触点（NO）19SP5断开触点（NC）
7GND20SP5公共触点
8SP2断开触点（NC）21SP5闭合触点（NO）
9SP2公共触点22SP6断开触点（NC）
10SP2闭合触点（NO）23SP6公共触点
11SP3断开触点（NC）24SP6闭合触点（NO）
12SP3公共触点25+24VDC，200Ma
13SP3闭合触点（NO）符合超低压接地保护
要求（SELV-E按EN-
61010标准）
n.c.未连接
NC常闭
NO常开
脚25用于供应带有一个高击穿电容器电源的继电器。
电源触点用带有PTC元件的200mA保险丝保护。
元件是当仪器电源off或拔下RELAY连接件后自复位的。
危险性电压.
电压高于60VDC或30VAC存在电击的危险.
RELAY连接件仅用于最大60VDC或30VAC
的开关电压.这些电压必须符合超低电压保护接地的要求（SELV-E按EN61010标准）.
1连接带RELAY连接件的外围设备,用屏蔽电缆。
3.3.6CONTROL（控制）
CONTROL连接件（图3-4，
11，项D）包含下列讯号接脚:
•用于各个通道讯号的模拟输出
•记录仪输出。
这是可编程的模拟输出可分配至三个通道中的一个。
•HV-EMI。
用于开关PEG规管高真空电路的on和off。
讯号电压：
On=+24V。
Off=0V。
见参考资料[4]。
图3-9CONTROL仪表插头（D-Sub，9-脚）
1模拟输出16模拟输出2
2模拟输出37记录仪输出
3GND8GND
4HV-EMI39HV-EMI2
5HV-EMI1
1用屏蔽电缆连接带CONTROL连接件的外围设备。
RS232C串列接口（图3-4，
11，项F）允许通过计算机或终端遥控仪器。
见第6章计算机接口，
30。
此外，接口可用于更新固件。
见7.2节程序传送模式，
42。
图3-10RS232C仪表插座（D-Sub，9-脚）
1未连接/SUP6DSR
2TXD7未连接
3
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