无尘洁净室尘埃粒子检测标准操作规程Word文档格式.doc
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5.2测定标准
洁净度
级别
悬浮粒子最大允许数／立方米（a）
频次
静态（b）
动态（b）
≥0．5μm（d）
≥5μm
≥0．51μm（d）
100级
3500
1
一次／月
10000级
350000
2000
100000级
3500000
20000
300000级
不作规定
5.3测试方法
5.3.1仪器开机,预热至稳定后,方可按说明书的规定对仪器进行校正。
5.3.2采样管口置采样点采样时，在确认计数稳定后方可开始连续读数。
5.3.4采样管必须干净、严禁渗漏。
5.3.5采样管的长度应根据仪器的允许长度，除另有规定外，长度不大于1.5m。
5.3.6计数器采样口和仪器工作位置应处在同一气压和温度下，以免产生测量误差。
5.3.7必须按照仪器的检定周期，定期对仪器作检定，以保证测试数据的可靠性。
5.4测试规则
5.4.1测试条件
5.4.1.1温度和湿度：
洁净室的温度和相对湿度应与其生产及工艺要求相适应，温度控制在18～26℃，相对湿度控制在45～65%之间为宜。
5.4.1.2压差：
空气洁净度不同的洁净室（区）之间的压差应≥5Pa，空气洁净度级别要求等高的洁净室（区）对相邻的空气洁净度级别低的洁净室（区）一般要求呈相对正压。
5.4.2测试状态：
有静态测试和动态测试。
5.4.2.1静态测试时室内空调系统已处于正常运行状态，测试人员不得多于2人。
尘埃粒子数必须符合规定。
5.4.2.2动态测试时已处于正常生产状态，所产生粒子不影响最终产品的作业，可允许超出标准，但当操作完成10分钟后，粒子水平必须恢复到以洁净区尘粒最大允许数范围之内，应定期监控动态条件下的洁净状况。
5.4.2.3测试报告中应标明测试时所采用的状态。
5.4.3测试时间：
对单向流，测试应在净化空调系统正常运行时间不少于30分钟后开始。
5.4.4悬浮粒子计数
5.4.4.1采样点数目及其布置
5.4.4.1.1采样点数目及其布置应根据产品的生产及工艺关键操作区设置。
5.4.4.1.2采样点布置要求均匀，避免采样点在某局部区域过于稀疏。
5.4.4.1.3采样点一般在工作台面上0.2m高度的平面上均匀布置。
5.4.4.2采样点的限定：
对于任何小洁净室或局部空气净化区域，采样点的数目不得少于2个，总采样次数不得少于5次。
每个采样点采样次数可以多于1次，但不同采样点的采样次数可以不同。
最少采样点数目
面积m2
洁净度级别
100
10000
100000
<
10
≥10＜20
≥20＜40
≥40＜100
≥100＜200
≥200＜400
≥400＜1000
≥1000＜2000
2～3
4
8
16
40
80
160
400
800
2
20
200
3
6
13
32
63
注：
表中的面积，对于单向流洁净室，是指送风面积，对于非单向流洁净室，是指房间面积。
5.4.4.3采样量：
最小采样量
采样量,升/次
≥0.5μm
300000
5.66
2.83
_
8.5
5.4.4.4采样注意事项
5.4.4.4.1在确认洁净室（区）送风和压差达到要求后,方可进行采样。
5.4.4.4.2对于单向流，计数器采样管口朝向应正对气流方向，对于非单向流，采样口宜向上。
5.4.4.4.3布置采样点时，应避开回风口。
5.4.4.4.4采样时，测试人员应在采样口的下风侧。
5.4.4.4.5悬浮粒子浓度的采样数据应按下述步骤作统计计算。
5.5结果计算
C1+C2+------+CN
5.5.1采样点的平均粒子浓度A=————————
N
式中：
A--某一采样点的平均粒子浓度，粒/m3；
Ci--某一采样点的粒子浓度（i=1，2，---，N），粒/m3；
N--某一采样点上的采样次数，次。
A1+A2+---+AL
5.5.2平均值的均值M=————————
L
式中
M——平均值的均值，即洁净室（区）的平均粒子浓度，粒/m3；
Ai——某一采样点的平均粒子浓度（i=1,2，---，L）,粒/m3；
L——某一洁净室（区）内的总采样点数，个。
5.5.3标准误差SE=
式中
SE——平均值的标准误差，粒/m3。
5.5.4置信上限
UCL=M+t×
SE
UCL——平均值均值的95%置信上限，粒/m3；
t——95%置信上限的t分布系数。
95%置信上限的t分布系数
采样数L
5
7
9
>
t
6.31
2.92
2.35
2.13
2.02
1.94
1.90
1.86
-
当采样点多于9点时，不需要计算UCL。
5.6结果评定：
判断悬浮粒子洁净度级别应依据下述二个条件。
5.6.1每个采样点的平均粒子浓度必须低于或等于规定的级别界限，即Ai≤级别界限。
5.6.2全部采样点的粒子浓度平均值的均值的95%置信上限必须低于或等于规定的级别界限，即UCL≤级别界限。
5.7当连续三次样品测试结果超过警戒指标,或单位样品的结果特别高时，应着手采取措施。
5.8用标有页码记录本记录洁净室悬浮粒子测试实验，内容包括：
部门、试状态、测试时间、标准、测试结果、结果计算、结果评定等所有记
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