AS镀膜培训报告总结2.ppt

AS镀膜培训报告总结2.ppt

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AS培训报告,报告人：

何维娜报告日期：

2010.12.31,气之作用,氩气：

轰击之作用氧气：

氧化镀膜材料之作用氮气：

清洁设备之作用氦气：

检漏之作用,AS镀膜分类,AS镀膜为三大分类：

蒸发镀膜.溅射镀膜.离子镀膜蒸发镀膜：

在高真空中通过加热蒸发方式使镀料转化为气体凝聚在镀物表面溅射镀膜：

在高真空中利用荷能粒子轰击镀料表面，使被轰击出的粒子在基片上沉积的一种技术离子镀膜：

用一定能量的离子轰击靶材，分子脱离其表面，使靶材分子输运到衬底上的一种成膜方法,AS镀膜机台部位名称,AS操作面板项目,操作面板九大项目（日.英.中）,监視（生产线监视）,成膜炉数设定,成膜炉数,真空大气时间,ST7低真空壓力,ST2ST6低真空、高真空压力,装载室、鍍膜室、卸载室,玻璃输运地带.流程,ST1高真空.低真空压力,此画面主要是对整条镀膜线的监测.真空时间.大气时间.ST2ST6的成膜数.自动运转许可显示,全体（真空动作监视）,DP.铜管状态,镀膜室内照明,装载室.镀膜室.运行动作完成时的警报,开始.自动停止按钮,手动.自动切换按钮,设备排气系统,主要是对设备局部运行的监视显示，该画面可做关机动作（auto-stop）镀膜室灯的控制按钮（start-light）时间设定自动开机操作（点击time进行设定）,搬送（产品输送）,ST2ST6镀膜室，每室可放一套伞具,产品输送进口一次可进5层,手.自动切换,产品进料数显示地带,输送操作系统,非真空半自动输送操作,手动操作输送.可倒走,该画面是机械内部输送运行的监视.可自动/手动运转.手动可逆行.自动不能,成膜（成膜步骤）,镀膜时间,真空时间,大气时间,ST2ST6腔体镀膜时高真空压力.高电压.低电流.成膜速率的画面,镀膜操作画面,个体炉腔镀膜操作画面（开始.停止.中止）显示.当其中一个发生故障，便会自动停止.也可手动操作,镀膜室运行时（真空度.高电压.低电流.成膜速率）的监测显示该画面为镀膜操作时的重要一步（输入镀膜程序IDstart）,（处方模块）,多层膜程序,离子清洗程序,材料程序,该画面为（多层膜.清洗.材料程序的相关电流.电压.压力）数据显示,管理（程序管理）,清洗,登陆口令程序,操作口令,语言调整,ST2ST6成膜设定画面,ST1程序设定画面,仓体产品显示画面,ST7程序设定画面,开机时间设定,各个腔体伞具的状态显示,该画面是针对机械內部.部份程序（真空时间、腔体清洗、charge口令、语言、ID）的管理,（警报）,排气、输送系统警报画面,ST2ST6警报显示画面,警报问题显示：

当问题解释后.再按左下方的复位键,该画面针对三个问题报警（排气系统.输送系统.ST2ST6镀膜室运行）,（冷却水系统）,中央阀门,冷却水通往ST2ST6各设备的管道画面,当机械需进行烘烤时.可点击此处.进入烘烤程序,冷却水动流画面显示.（可手动.自动）,（保养）,消耗进度,排气系统耗材名称,已消耗时间,每个仓体需保养的画面,当保养完毕后.可点此键.消耗进度可恢复为0,可消耗时间,MEP与RP介绍及保养,MEP与RP性能：

出抽真空,MBP：

油量消耗极少，1年/次添加（专用型号-R4）,RP：

油量消耗大.只剩3/1程度需立即添油（专用型号R-7）添加量不能高于油圈上线范围，每周一/六确认油的份量RP：

油易变脏，需常检查，当油色变脏/水进入油中，需全部更换,MBP与RP共6个,蓝色管道：

冷却水.成膜过程中达到降温效果,冷却机,冷却机性能：

通过铜管在机器内制冷凝结室内气体.达到真空效果,冷却机：

3个,4个异常灯：

1.压力不足2.压力过高3.压力太低4.水温过高（20左右正常）,2#测水温（13.0值低）3#测铜管温度.压力4#入口.出口往返温度9#冷却机本体温度,4个制冷灯：

1.除霜完了2.除霜中3.排气中4.COOL制冷,当温度达到-130时勿碰黑铜管，易破损,离子源保养,钨丝和电极.石英碗为主要保养对象当操作面板发出警报信号，显示IB（钨丝已到保养时间或者烧断的情况下）可进行保养钨丝：

通常20H需更换一次，保养及更换工作完成后，进入操作面板画面切换Fi12运转即可电极：

用相应的治具-砂纸打磨，把表面的污渍擦干净，用无尘布蘸酒精把电极擦拭干净，再用万用表测试它的绝缘性（重点：

电极有大小之分，上面有英文标注，治具也有英文标注，需对应进行）石英碗：

防破，防灰尘，轻拿轻放保养进行前必须确定离子源电源已断开保养时所需的治具、砂纸、酒精、无尘布（菜瓜布）内六角、万用表、备品钨丝及图纸,离子源,离子源性能：

清洗玻璃基片-提高成膜质量/加速电流产生动能-辅助成膜稳固,钨丝：

分内圈钨丝以及外圈钨丝,石英碗一个,电极：

2个.上下层各一个，6000炉需更换1次,钨丝电源三根,上下层2个电极,离子源原理：

氩离子通过气体管进入RF（射屏）使气体表面变成离子进入石英管，被负电子吸引再加速而正电子在磁场作用下迅速加速透过电极与NT产生电子结合产生粒子加速电流产生动能打在玻璃膜层起到清洁.稳固作用,传送带,操作面板解说：

开启方式：

打开电源绿灯按钮全体（出现异常情况下，按键可看到异常原因）红.黄.绿灯性能：

红灯：

切断电源，停止运行黄灯：

暂时停止绿灯：

1-10个绿灯全按后，操作画面版按启动键，传送带就可开始运行,RH高温电阻蒸发机,药丸全自动给材系统,26根装载药丸的小钢管，1根可装9个药丸,给材1：

药丸全自动给材系统（药丸：

80mg）给材2：

钼舟蒸发系统钼舟热蒸发系统有6组，每镀膜一炉后废料通过除材系统排出，可镀234炉.成膜216次后.6组钼舟需更换新的,电子枪,电子枪性能：

蒸发源.促进成膜过程电子枪原理：

钨丝加热产生电流.在磁场作用下形成电子束轰击SIO2,电子枪分为：

正.负磁极（此处为正磁极负磁极在腔内）,防尘铁板：

需常保持干净.用菜瓜布擦拭,内有电子灯丝.用久后.需定期更换,通电后产生电磁场.起到引导电流作用,坩埚,坩埚：

放置SIO2材料,前次使用未融化回收的SIO2放在底下.占用比率3/2.表面再放新的SIO2后.确认平坦度.加满一次可镀膜216炉,