一种铁电复合膜及其制作的原型器件.docx
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一种铁电复合膜及其制作的原型器件
专利申请信息确认表
说明书摘要
本发明公开了一种光致伸缩复合膜及其制成的光驱动器,该复合膜依次由衬底层、下电极层、压电材料层、中间电极层、光伏材料层和顶电极层六层组成,将压电材料和光伏材料制成薄膜形式,有利于减小光驱动器的尺寸;将压电薄膜和光伏薄膜制成复合膜,有利于提高光驱动器的光致伸缩效应。
本发明的光驱动器的下电极层的截面设计为L形,将压电材料层、光伏材料层和顶电极层设置在L型腔内并与下电极连接,实现底电极和顶电极的无导线导通,进一步有利于减少光驱动器的尺寸,可使光驱动器更美观。
摘要附图
请描述各层的作用:
上电极:
将光照下光伏层PLZT产生的电压输送到压电层PZT上。
此时光伏层PLZT相当于电源,上电极起导线的作用。
为了让更多的光透射到光伏层PLZT,我们选择透明的ITO作为上电极。
光伏材料层:
光伏层起电源的作用,能产生电压。
铁电材料具有反常光生伏打效应,在光照下能产生电压。
所以我们选择具有较高光成电压的铁电材料PLZT作为光伏层。
中间电极层:
起导线的作用。
与上电极一起,将光照下光伏层PLZT中产生的电压传输到压电层PZT上。
压电材料层:
产生形变。
将光照下光伏层PLZT产生的电压传输到压电层上。
利用压电层的逆压电效应,使压电层在电场作用下产生形变。
为了产生更大的形变,我们选择具有压电系数较大的PZT作为压电层。
底电极层:
为了测量光伏层的光生电压和压电层的压电性能,需要导电性良好的底电极材料。
衬底层:
由于光伏层、压电层、电极层等,都是薄膜,而薄膜必须制备在平整的“片”状材料上才能存在,这就是衬底(也叫基片)。
如果将SRO单晶作为衬底的话,则衬底STO可以不要。
考虑到SRO单晶比较昂贵,而STO比较廉价,所以我们选择STO作为衬底。
底电极的结构为L形正是本发明专利的创新点之一,直接用底电极将顶电极ITO和底电极SRO导通,而不用导线连接,这无论从尺寸上和美观上都是有利的。
——也就是说压电材料PZT和光伏材料PLZT可以设计为不需要与底电极导通
权利要求书
1.一种光致伸缩复合膜,其特征在于:
包括六层,依次为:
一衬底层;
一底电极层,设置在衬底层上;
一压电材料层,设置在底电极层上;
一中间电极层,设置在压电材料层上;
一光伏材料层,设置在中间电极层上;
一顶电极层,设置在光伏材料层上,用于将光线透射到光伏材料层。
2.根据权利要求1所述的一种光致伸缩复合膜,其特征在于:
所述衬底层采用SrTiO3,SrTiO3(STO)与SrRuO3(SRO)均属于钙钛矿型氧化物,与PZT的晶格匹配程度较好,且导电性优良,以SRO作为衬底和底电极,易制备出结晶度好、漏电流小、抗疲劳性能高的PZT取向薄膜。
是否可用其他材料替换。
可以用其它材料替换,只是,选择合适的材料,得到的伸缩效应会更大。
3.根据权利要求1所述的一种光致伸缩复合膜,其特征在于:
所述底电极层和中间电极层采用SrRuO3制成,也可以采用与PZT晶格匹配好,导电性好的钙钛矿型LaNiO3等。
是否有其他材料替换。
4.根据权利要求1所述的一种光致伸缩复合膜,其特征在于:
所述压电材料层选用锆钛酸铅(Pb(ZrxTi1-x)O3),也可采用钛酸铅(PbTiO3)、(压电性钛酸钡(BaTiO3)等,但后两者的压电性能比Pb(ZrxTi1-x)O3差。
是否有其他材料替换中的一种制成,x取值范围0.52,0.53,在此比例,易形成准同型相界,压电性能达到最大值,其中x为0.52最佳,所以优选Pb(Zr0.52Ti0.48)O3。
5.根据权利要求1所述的一种光致伸缩复合膜,其特征在于:
所述光伏材料层采用PLZT(Pb1-xLaxZr1-yTiyO3),其他铁电材料如钛酸钡(BaTiO3)、铁酸铋(BiFeO3)等,但与PLZT相比,BaTiO3光伏效应弱,而BiFeO3具有铁磁性,会对光驱动器产生电磁干扰。
已有文献报道,掺La量为0.03时,可获得较大的光生电压。
是否有其他材料替换铁电材料中的一种制成,优选Pb0.97La0.03Zr0.52Ti0.48O3。
6.根据权利要求1所述的一种光致伸缩复合膜,其特征在于:
所述顶电极层采用铟锡氧化物(ITO)制成,其它如锡氟氧化物(FTO)、锌铝氧化物(AZO)。
是否有其他材料替换。
7.一种光致伸缩复合膜的光驱动器,其特征在于:
包括衬底层,其上设置有底电极;所述底电极截面设置为L形,底电极的L型腔内平行于其底面依次设置有压电材料层、中间电极层、光伏材料层和顶电极层,且底电极的竖直面分别与压电材料层、光伏材料层和顶电极层的一侧面连接;底电极层的竖直面不与所述中间电极层的任一侧面连接。
8.根据权利要求7所述的一种光致伸缩复合膜,其特征在于:
所述衬底层采用SrTiO3。
9.根据权利要求7所述的一种光致伸缩复合膜,其特征在于:
所述底电极层和中间电极层采用SrRuO3制成。
10.根据权利要求7所述的一种光致伸缩复合膜,其特征在于:
所述压电材料层选用锆钛酸铅(Pb(ZrxTi1-x)O3)中的一种制成,x取值范围……优选Pb(Zr0.52Ti0.48)O3。
11.根据权利要求7所述的一种光致伸缩复合膜,其特征在于:
所述光伏材料层采用PLZT铁电材料中的一种制成,优选Pb0.97La0.03Zr0.52Ti0.48O3。
12.根据权利要求7所述的一种光致伸缩复合膜,其特征在于:
所述顶电极层采用铟锡氧化物(ITO)制成。
说明书
一种光致伸缩复合膜及其制作的光驱动器
技术领域
本发明属于光驱动器领域,具体涉及一种光致伸缩复合膜及其制作的光驱动器。
背景技术
与电、磁驱动相比,光驱动器由于具有无电磁噪音干扰和无需外加电/磁场,且可实现无线远程控制、便于器件的轻量化、小型化、集成化等优点而备受青睐,可用于微机电与微光机电系统驱动。
光驱动器基于材料的光致伸缩效应工作,该类材料主要有半导体、铁电陶瓷、有机聚合物。
其中,铁电陶瓷具有制备简单、成本较低、光致伸缩效应较强等优点,其光致伸缩效应是光伏效应与逆压电效应的耦合(即在光照下由于铁电材料的光伏效应而产生光生电压,然后在该电压提供的电场作用下,由于铁电材料的逆压电效应而产生形变)。
光致伸缩驱动器通过组成调控、尺寸调控、测试条件优化等可以在一定程度上提高铁电材料的光致形变,但为了进一步提高光驱动器的性能以满足飞行器等的要求,大幅增强铁电材料的光致伸缩效应(增大光生电压和压电系数)仍是一个重要而且急待解决的问题。
光生电压和压电系数对材料尺度的要求是矛盾的,这是造成铁电材料光致伸缩效果不显著的重要原因。
发明内容
为了提高光驱动器的光致伸缩性能,本发明提供了一种光致伸缩膜以及其制成的光驱动器。
为了实现上述目的,本发明采用以下技术方案:
一种光致伸缩复合膜,包括六层,依次为:
一衬底层;
一底电极层,设置在衬底层上;
一压电材料层,设置在底电极层上;
一中间电极层,设置在压电材料层上;
一光伏材料层,设置在中间电极层上;
一顶电极层,设置在光伏材料层上,用于将光线透射到光伏材料上。
进一步,所述衬底层采用SrTiO3。
进一步,所述底电极层和中间电极层采用SrRuO3制成。
进一步,所述压电材料层选用锆钛酸铅(Pb(ZrxTi1-x)O3)中的一种制成,x取值范围……优选Pb(Zr0.52Ti0.48)O3。
进一步,所述光伏材料层采用PLZT铁电材料中的一种制成,优选Pb0.97La0.03Zr0.52Ti0.48O3。
进一步,所述顶电极层采用铟锡氧化物(ITO)制成。
一种光致伸缩复合膜的光驱动器,包括衬底层,其上设置有底电极;所述底电极截面设置为L形,底电极的L型腔内平行于其底面依次设置有压电材料层、中间电极层、光伏材料层和顶电极层,且底电极的竖直面分别与压电材料层、光伏材料层和顶电极层的一侧面连接;底电极层的竖直面不与所述中间电极层的任一侧面连接。
进一步,所述衬底层采用SrTiO3。
进一步,所述底电极层和中间电极层采用SrRuO3制成。
进一步,所述压电材料层选用锆钛酸铅(Pb(ZrxTi1-x)O3)中的一种制成,x取值范围……优选Pb(Zr0.52Ti0.48)O3。
进一步,所述光伏材料层采用PLZT铁电材料中的一种制成,优选Pb0.97La0.03Zr0.52Ti0.48O3。
进一步,所述顶电极层采用铟锡氧化物(ITO)制成。
本发明的有益效果:
本发明的光致伸缩复合膜,光致形变大则需电场大,压电系数大。
而电场等于光生电压与厚度之比,因此需材料在光照下能产生高的光生电压,对于光伏层来说,增大膜厚可获得高的光生电压,对于压电层来说,减小压电层膜厚,则可获得大的电场强度和压电系数,从而获得大的形变。
因此,将光伏层与压电层进行复合,能够提高压电层的光致伸缩效应,即光致形变;本发明的光致伸缩复合膜的光驱动器,不仅能有较高的光致力伸缩效应;同时底电极的截面设计为L形将压电材料层、光伏材料层和顶电极层连接,实现底电极和顶电极的无导线导通,有利于减小光驱动器的尺寸,也使光驱动器更加美观;同时压电材料和光伏材料为薄膜形式制作成光驱动器,也有利于减小光驱动器的尺寸。
附图说明
图1是本发明的光致伸缩膜;
图2是本发明的光驱动器的剖视图。
附图标记
1、1’-衬底层;2-下电极层;2’-下电极;3、3’-中间电极层;
4、4’-压电材料层;5、5’-中间电极层;6、6’-顶电极层。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明作详细描述。
如图1所示,一种光致伸缩复合膜,包括六层,依次为:
一衬底层1;
一底电极层2,设置在衬底层1上;
一压电材料层3,设置在底电极层2上;
一中间电极层4,设置在压电材料层3上;
一光伏材料层5,设置在中间电极层4上;
一顶电极层6,设置在光伏材料层5上,用于将光线透射到光伏材料层。
所述衬底层1采用SrTiO3。
所述底电极层2和中间电极层4采用SrRuO3制成。
所述压电材料层3选用锆钛酸铅(Pb(ZrxTi1-x)O3)中的一种制成,x取值范围……优选Pb(Zr0.52Ti0.48)O3。
所述光伏材料层5采用PLZT(全化学式)铁电材料中的一种制成,优选Pb0.97La0.03Zr0.52Ti0.48O3。
所述顶电极层6采用铟锡氧化物(ITO)制成。
如图2所示,一种光致伸缩复合膜的光驱动器,包括衬底层1’,其上设置有底电极2’;所述底电极2’截面设置为L形,底电极的L型腔内平行于其底面依次设置有压电材料层3’、中间电极层4’、光伏材料层5’和顶电极层6’,且底电极2’的竖直面分别与压电材料层3’、光伏材料层5’和顶电极层6’的一侧面连接;实现底电极2’和顶电极层6’的无导线导通,有利于减小光驱动器的尺寸,同时光驱动器也更加美观。
底电极层2’的竖直面不与所述中间电极层的任一侧面连接4’。
所述衬底层1’采用SrTiO3。
所述上电极层6’、光伏材料层5’、中间电极层4’、压电极层3’和下电极层2’
所述底电极层和中间电极层采用SrRuO3制成是否有其他材料替换。
所述压电材料层选用锆钛酸铅(Pb(ZrxTi1-x)O3)中的一种制成,x取值范围……优选Pb(Zr0.52Ti0.48)O3。
所述光伏材料层采用PLZT(全化学式)铁电材料中的一种制成,优选Pb0.97La0.03Zr0.52Ti0.48O3。
所述顶电极层采用铟锡氧化物(ITO)制成。
说明书附图
图1
图2