多晶装料操作流程Word下载.docx
《多晶装料操作流程Word下载.docx》由会员分享，可在线阅读，更多相关《多晶装料操作流程Word下载.docx（28页珍藏版）》请在冰点文库上搜索。
2、劳保
无尘手套、作业手套、防护面具、口罩、鞋套、连体服。
3、辅料
待装料的坩埚、石墨护件、钼丝、PE膜、无尘纸、无水乙醇。
4、表单
《硅碇追踪单》《多晶操作记录表》
六、作业前点检
1、装料房间清洁卫生的确认。
装料房要求清洁、整洁、无尘房间。
批准
审核
编制
修改履历
页码
内容
状态
备注
2、装料前温湿度确认。
装料房要求除湿机24小时运行，装料时的湿度保持在30%-40%之间。
3、物料确认。
在装料之前，当班班长对来料实物和物料配送单进行核对，保证物料种类、掺杂剂、重量相同。
4、石墨件的检查。
（1）、要求石墨件不能有较大裂纹、缺口，缺口长度不能超过4cm（如图中的护板就不能使用，直接报废）。
（图一）
（图一）
（2）、石墨板上不能有残留的硅液。
如果硅液较多则不能使用。
（图二）
（图二）
（3）、薄护板容易变形、弯曲，如严重变形的石墨件不能使用，弯曲度超过1cm不能再使用，直接报废。
5、坩埚的检验。
（1）、检验喷涂好的坩埚是否已经烧结。
（2）、检验坩埚涂层是否有脱落、起皮、开裂、油污等。
如果有以上情况不能使用。
七、装料流程
1、准备石墨地板。
（1）、将装料平台放置在可称重的叉车上，再将石墨底板放在平台上，目测是否处于平台中间位
置，并调整。
（2）、用工业百洁布将石墨地板上的氧化物打磨干净。
（图三）
（图四）
（3）、用吸尘器将打磨下来的氧化物清理干净。
（图五）
2、准备坩埚。
（1）、将复检好的坩埚放在石墨地板上。
（2）、注意放坩埚时一定要轻，不能受到大幅度的碰撞和震动。
（3）、此时应该带上干净的无尘手套，手不能触摸坩埚内壁，防止破坏氮化硅涂层。
3、坩埚定位。
（1）、将放有坩埚的石墨地座轻轻放在大理石石块上。
（2）、将坩埚调整至石墨地板的中间位置。
（图六）
（图六）
（3）、注意叉车在下降的时候一定要慢，不能让坩埚受到震动。
（4）、进入装料房时一定要穿戴好劳保防护用品。
如果没有洁净鞋，一定要带上鞋套（图七）
（图七）
4、坩埚内杂质的处理。
（1）、用干净的吸尘器吸去散落在坩埚内的氮化硅及杂质。
（图八）
（图八）
（2）、注意在吸杂质时吸尘器出风口与涂层之间要保持3-5cm的距离，防止涂层被破坏。
（3）、将地磅清零，保证装料的准确性。
（图九）
（图九）
5、贴护片。
（1）、注意在放护片之前要换干净的手套，并保证第一层是作业手套，第二层是无尘手套。
防止汗水及杂质污染硅料。
（图十）
（2）、取出防护喷涂层的硅片（单晶或多晶片）给装料人员，装料人员开始沿坩埚底部平整铺上一层硅片。
（图十一）
（3）相邻的硅片之间可有0.5-1cm左右的空隙，每次放置重叠的两片硅片，防止不规则形状的块状硅料直接接触坩埚的氮化硅涂层，而破坏涂层。
（4）硅片与硅片之间尽可能接近且要摆放整齐，平铺过程中注意小心轻放，一旦放下即不可再挪
动。
坩埚底层铺完后，再用硅片将硅片之间的间隙盖上。
（图十二）
（5）注意的是放硅片时要轻，要平，最重要是放硅片时不要在坩埚里拖拉，防止划伤涂层，一旦放手就不能再移动硅片。
（6）、目前铺护片时只铺坩埚底部，侧壁不再铺护片。
6、硅料袋开封。
（1）、在开袋之前，要仔细检查硅料袋是否有破损、水珠、袋口未封严等现象，如果有不能开袋。
第一时间通知相关部门或领导。
（2）、在割袋子时要注意一刀到底，不要把塑料碎片掉进硅料里，防止杂质的引入。
（3）、割好袋子后将外面一层塑料袋拿掉，轻轻的放在装料平台上。
（图十三）
（4）、在割袋子时要保证先割边体料、碎料、颗粒硅、或者是碎硅片，还要注意大小料搭配，保
证装料人员能得心应手，保证装料质量和速度。
（图十三）
7、装料。
装料的具体方法是根据物料的种类及形状不断变化的，下面介绍几种有代表性的装料方法。
★★大块料+边体料+碎硅片。
（1）、将平整光滑的边体料轻轻的放在坩埚底部的硅片上，边体料之间要留2-3cm的间隙，防止膨胀时涨裂坩埚。
（图十四）
（图十四）
（2）、为了不浪费边皮料之间的空间、降低装料高度。
用碎硅片或小块料填充边体料之间的间隙。
特别注意对不规则的料要进行特别处理。
（图十五）
（图十五）
（3）、用边体料依次将坩埚四周贴好，中间同样保持2-3cm的间隙，坩埚转角处要留出4-6cm的间隙。
（图十六）
（图十六）
（4）、将不规则的大块料小心的放在底部的边体料上，大块料不能放的太集中。
中间用小料填充。
坩埚边沿及转角处不能放大块料，特别是转角处只能用小料填充，如果没有小块料就可以留上一定的空隙。
（图十七）
（图十七）
（5）、碎硅片可以用来填坩埚转角处和大料之间的间隙，在装料时要合理安排。
由于碎硅片重量轻、体积大，在开袋之前尽量砸碎，这样可以降低装料高度。
（图十八）
（图十八）
（6）、当装到坩埚一半时，再将坩埚四周贴上光滑的边体料。
方法与上面相同，如果没有足够的边体料，再用表面比较光滑的大料贴在坩埚壁上，注意一定不能破坏涂层。
（图十九）
（图十九）
（7）、当硅料装到坩埚2/3处，将掺杂剂均匀的放在硅料上，一定要核对掺杂剂的重量是否与要求相符。
（图二十）
（图二十）
（8）、装料距顶部3-5cm时应特别注意中部装料尽量放块状料、大料，且坩埚上沿要注意留出四周2到3cm的间隙，表面的硅料一定要装平整。
（图二十一）
（图二十一）
（9）、料装完时不能高出坩埚6cm，同时不能把较小的碎料和硅粉放在坩埚的顶部，防止抽真空时被抽走。
★★大块料+硅颗粒+碎硅片。
（1）、将硅颗粒平铺在硅片之上，如果颗粒较多，底部可以铺30-40kg，防止大块料直接与坩埚接触。
（图二十二）
（图二十二）
（2）、将大块料轻轻的放在坩埚底部，尽量垒成小山状。
（图二十三）
（图二十三）
（3）、将颗粒硅倒在大料四周，保护氮化硅涂层不被破坏。
（图二十四）
（图二十四）
（4）、碎硅片可以和硅颗粒搭配着装，节省装料空间。
（5）、装到1/2—2/3时放如掺杂剂，平铺在坩埚中。
（6）、硅颗粒不能装到坩埚最顶部，快装完时要留30-40kg大料，盖住硅颗粒。
（图二十五）
（图二十五）
★★全是大块料+硅粉。
（1）、待底部护片贴好之后，选取比较平的大块料放在坩埚底部。
特别要注意轻拿轻放。
（2）、将坩埚四周贴上护片，防止氮化硅涂层被破坏。
（图二十六）
（图二十六）
（3）、在堆放大料时，还是保持中间高，四周底。
防止不规则的料碰坏氮化硅涂层。
（图二十七）
（图二十七）
（4）、将相对规则的大料放在坩埚的边上，注意不能损坏护片。
（5）、当装到1/2时将硅粉平铺在大料上。
（图二十八）
（图二十八）
（6）、硅粉中杂质较多，不能让硅粉粘在坩埚壁上，防止粘埚。
（7）、在装到一半时要采取四周高中间底的装料方法，这样可以防止大料滚动砸到氮化硅涂层。
（图二十九）
（图二十九）
（8）、硅粉和小料一样不能装在坩埚的最底部。
装完料时表面不能看见有硅粉。
★★提纯料和全是边体料。
（1）、待底部护片铺好之后，将较规则的边体料平铺在硅片之上。
（2）、将规则的边体料整齐的放在坩埚的中间，（图三十）
（图三十）
（3）、边体之间不能堆放过紧，留出一定空间用碎料填充。
（4）、大块的边体料不能放在坩埚的角落和四周，防止受热膨胀。
（5）、如果碎料不够填充空隙，一定要将大块料砸碎。
（6）、提纯料基本上是较薄的顶皮料，尽量把速度放慢，争取多装。
8、高度及斜度要求。
（1）、装料高度控制在6cm以下，越低越好，如果高度超出安全高度，即使有料也不能再装（剩料不能剩原生硅，只能剩循环料。
）（图三十一）
（图三十一）
（2）、装完了时要保证硅料不能超出坩埚边沿（图三十二）如果像（图三十三）就不符合要求。
（图三十二）（图三十三）
（3）、靠近坩埚的硅料要证一定斜率，防止硅料因震动滑落。
（图三十四）
（图三十四）
9、对散落硅料的处理。
当装完所有硅料时要检查坩锅四周、石墨底座和地面上是否有不小心散落的硅料，要用吸尘器把这些硅料吸干净。
注意不能让吸管与硅料直接接触。
（图三十五）
（图三十五）
10、数据的记录。
记录好装料重量，填写再《硅碇追踪单上》
11、绑护板。
（1）、当散落的硅料清理干净后将石墨护板装上，装护板时要一块顺着一块围在坩埚四周，两名装料人员扶好护板，防止护板摔破。
（图三十六）
（图三十六）
（2）、一名装料人员沿护板中间的凹槽上圈钼丝，用老虎钳拧紧，护板上下也用钼丝固定（固定挡板时钼丝需拧得松紧适中，防止坩埚因热膨胀涨断钼丝，而引起坩埚在使用时破裂，发生硅漏）。
（图三十七）
（图三十七）
（3）、连接钼丝的地方是距离坩埚编号最近的位置。
（4）、新型护板共绑12道钼丝，将相邻的两块护板串连在一起，用老虎钳将钼丝拧紧。
（图三十八
（图三十八）
12、收尾工作。
（1）、再一次确认装料是否符合要求。
（2）、用干净的PE膜盖住坩埚并用橡皮筋套牢，防止灰尘进入污染硅料。
（图三十九）
（图三十九）
13、卫生清理。
（1）、每装完一埚料就必须进行现场卫生清理，收集并称重被污染的硅料，将其与中转箱一起退回仓库。
（图四十）
（图四十）
（2）、检查装塑料袋的垃圾桶里是否有硅料，确认无误后将垃圾倒如垃圾场。
（3）、将用过的钼丝、PE膜、吸尘器、垃圾桶等工具放置到指定位置，摆放整齐。
八、注意事项。
（1）、装料时一定要保护氮化硅涂层，轻拿轻放。
（2）、不同的料采取不同的装料方法。
尽可能多装，尽量降低装料高度。
（3）、装料的过程中如果无尘手套有破损或受到严重污染，要及时更换。
（4）、注意每个细节，防止外界杂质的引入。
九、记录保存年限：
在多晶二厂生产技术科保存时间为两年
十、使用表单：
QR-WE-18A《多晶坩埚装料点检表》
QR-19-01《多晶炉操作记录表》
QR-19-06《多晶硅碇追踪单》
升级会员 