FFU使用说明书维护手册.docx
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FFU使用说明书维护手册
注意：
敬请用户在操作使用M-RFFU风机过滤机组之前，必须详细阅读使用说明书！
并妥善保存。
M-RFFU风机过滤机组
执行标准：
Q/320500BSK010-2004
使用/维护说明书
本企业已通过干净行业协会质量体系认证
欢送使用FFU风机过滤单元
由衷地感您参加本公司的用户队伍！
FFU‧层流罩‧通用
安装‧使用‧维护说明书
请详细阅读本说明书，并妥善保存，以备日后维护时参考。
1.概述
1-1风机过滤器单元3
1-2构造及特点4
2.重要平安事项
2-1安装使用环境5
2-2运送与安装5
2-3安装‧使用本卷须知5
3.使用说明
3-1运转前点检事项6
3-2运转时本卷须知6
4.维护说明
4-1日常维护7
4-2定期维护7
4-3故障排除8
附录9
本说明书容包含风机过滤器单元的安装‧使用‧维护‧方法，本机体是安装在干净区域天花板上，藉由滤网捕捉室空气中的尘埃，为能平稳且平安地发挥机体性能，使用前请详细阅读此说明书。
注：
本公司为了提高产品质量和性能，在不断改良和创新中，本产品
如有更新或更改，我公司随时更改本说明书，恕不另行通知。
1.概述
1-1风机过滤器单元
风机过滤器单元〔FFU〕是一种自带动力、具有过滤成效的模块化的末端送风装置。
风机从FFU顶部将空气吸入并经HEPA过滤，过滤后的干净空气在整个出风面以0.45m/s±20%的风速均匀送出。
广泛用于半导体、液晶制造业、电子、生物制药.等行业。
●使用环境
‧周围温度：
5℃～40℃
‧湿度：
低于85%RH（没有湿气凝结状态下）
‧周围空气：
一般室空气
‧清净度：
100-10级
‧请防止连续反复ON/OFF操作机体
如果在未符合上述条件的环境下使用风机滤网机组，将会影响制品性能，并可能会发生电气短路现象，造成电气部件损坏，缩短制品使用寿命。
为能平安且有效地使用风机过滤器单元请参阅第4页的〝重要平安事项〞。
FFU
图解：
1-2构造及特点
（1）主要部件
图1标准品例
（2）表1.部件明称及功能（参考图1）
No.
部品名称
功用
备注
1
初效滤网
可有效拦截粒径≥5um的灰尘
根据环境可用可不用
2
外壳
设备外壳
可选优质冷轧板喷塑,镀锌铝钢板,铝板及不锈钢板等材料
3
把手
方便搬运
4
吊环
机体吊装
选配件
5
导流消声装置
引导气流及消除噪声
6
风机系统
为设备提供动力
风机选用美日合资M-R电机
7
高效滤网
可过滤微小粒径的灰尘
效率99.99%0.3um
可选各种效率的滤网
8
控制系统
调速及开关电源
2.重要平安事项
不当使用风机过滤器单元组将会造成制品性能降低，使用时请务必遵守以下事项：
2-1安装使用环境
●风机过滤器单元的安装应远离加热器、火炉或其它热源。
●设置风机过滤器单元场所不可放置易燃物，以免发生火灾。
●请勿在机体附近使用具爆炸性或挥发性的化学物品，如果机体吸入这些化学物品将有可能会导致火灾或爆炸等事故发生。
●请勿于机体附近使用含硫酸、盐酸、漂白剂及其它具腐蚀性化学药品，如果使用这些化学药品将有可能会导致机体腐蚀及损坏。
2-2运送与安装
●请在风机过滤器单元包装完好的状态下搬运制品，搬运时务必保持水平，如果使用轻便推车等工具运送时，请选用车台超过机体包装宽度的推车。
●机体安装后，机体上方至少须预留30公分以上的空间，以利将来机体维修，未预留足够的维修空间，机体将无法进展维修及部件更换。
●试运转前，请先撤除吸入口上及均流板下附着的保护膜。
2-3安装‧使用本卷须知
●风机过滤器单元安装于无尘室时，请务必遵守以下指示
‧当进入无尘室时
请穿着防尘衣以免携带灰尘进入室。
请以酒精清理工具以免携带灰尘进入室。
请以酒精清理衣柜未保护处以免携带灰尘进入室。
点检时请使用防尘纸及原子笔作记录以免再产生灰尘。
●切勿直接重压风机过滤器单元机体，以免造成机体变形。
●请勿以沾湿的手操作机体，以免发生触电危险。
●请勿遮蔽机体吸入口及吹出口，机体吸入口及吹出口被遮蔽，将导致机体性能无常发挥，造成机体功能异常或电气部件损坏。
●实施第三种接地工事，以防止电击产生之危险。
3.安装使用
3-1运转前检查事项
运转前请先检查以下本卷须知：
●机体外部电源是否连接，电源供给是否妥当。
●机体接地工事是否已实施。
●机体上方空气吸入口及下方滤网的保护膜是否已取下。
3-2运转时本卷须知
（1）开场运转
●当电源开启后，机体即开场运转。
●机体运转后请确认是否有异常现象。
当有以下情形发生，机体无常运转时，请向经销效劳人员反映。
●机体部有异物，机体离心风扇无常旋转。
●机体部电线脱落，接头松脱。
●机体部电气部件，如过电源插头、马达损坏。
（2）停顿运转
●运转后如发现异常现象，请即切断电源，停顿机体运转。
4.维修‧点检
●自购置日起进展定期检查，请勿自行检查，以免造成触电或火灾等事故发生。
●除了维修人员外，请勿自行拆解、修理或变更规格，以免造成触电或火灾的发生。
●当更换滤网等部件时，请注意不要损坏滤纸。
●维修‧点检时，请务必先切断电源，停顿机器运转后再实施，以免发生触电或伤害危险。
●当安装‧维修‧点检完成后，在机体起动前，请确定机体根底稳固。
4-1日常维护
每天工作开场之前请依表2.点检以下各项，当发现有不正常的情形，立即切断电源并采取改正措施。
表2.日常维护
NO.
点检专案
判断标准
1
离心风扇及马达
‧离心风扇必须旋转平顺，没有产生异常声音，假设听到异常声音，请确认送风机有无异物以及马达轴承的声音是否异常，假设马达有问题，请更换马达。
2
滤网
‧滤网外表有无损伤、污点、肮脏….等
3
机体外观
‧机体外观有无损伤
4-2定期维护
使用风机过滤器单元一段时间后，因使用环境及使用状况之差异，为了防止意外及确保风机过滤器单元的正常运转，请务必实施以下定期点检。
4-2.1定期维护
（1）定期维护工程请依表3.所示，对风机过滤器单元实施定期点检，当部件寿命已至时，请立即进展部件更换。
（部件寿命指一般使用状况下之寿命，会因使用环境及使用状况而有所差异）。
（2）当由于不可抗力（如地震、电击…..等）或化学药品的泄漏（腐蚀气体…..等）意外发生，停机再启动后，请务必实施一样的检查。
表3.定期维护工程
部件位置
征兆及可能原因
评价标准，确认点
检查频率
部件寿命
马达
（1）轴承损坏而使马达运转不平顺或死锁。
（2）绝缘不良造成过热、过载导致线圈烧损。
（3）电源连接或端子的绝缘不良，而造成异常发热、接地错误、层间短路…..等。
‧确认马达有无异音、振动及味道，用耳朵确认轴承有无异常声音。
‧绝缘阻抗须大于5MΩ以上。
‧检查电缆线及端子有无破损或锈蚀，更换不良部件。
一年一次
5年以上
离心风扇
（1）因灰尘迭积或破损使得运转不平衡而损坏。
‧检查离心风扇有无异音、振动及破损，更换不良部件。
一年一次
5年
其它的电气部件及配线材料
（1）绝缘不良，端子螺丝松脱而造成过热、短路或烧损。
（2）配线表皮破损而造成短路、漏电或损伤。
‧检查有无过热、锈蚀、暴露的导体，配线表皮破损…..等。
‧绝缘阻抗须大于5MΩ以上。
‧锁紧端子螺丝（每三年一次）更换不良部件。
一年一次
5年
滤网
（1）因阻塞而造成风速减低。
（2）因化学药品而造成滤网材质、迫紧、阻隙材不良而使灰尘泄漏。
（3）因外部热源造成滤网材质不良。
‧目视检查滤网材质、迫紧、阻隙有无刮伤、褪色、变形。
‧检查泄漏更换不良部件。
一年一次
（视不同使用场所需要而定）
外箱
及其它组件
因化学药品而使部件腐蚀或生锈产生灰尘。
‧目视检查部件有无不良、褪色….等。
一年一次
其它部件8年
表4消耗性部件的更换期间（我司建议）
部品
更换期间
滤网
1-2年（室清净度100,000级的场所）注
初效滤网
每3个月（不同场所而有所区别）
马达
5年以上
注：
滤网更换期间会因不同使用场所的差异而有所不同。
4.2.2点检完成
点检完成后，清洁工作场所及确认风机过滤器单元在正常运转状况；保存点检报告，当部件更换或机体更新时作为参考。
4-3故障排除
‧假设有以下现象发生，连络本公司并告知机身编号、机型、电压及不良现象（尽可能详细），然后慎重的调查问题的起因及采取适合的改善措施。
现象
可能原因
改善措施
离心风扇不运转
‧电源未翻开
‧马达束心
‧电器件损坏
‧马达不良
‧翻开电源
‧撤除外表的异物
‧更换电器件
‧更换马达
离心风扇产生异常者（运转中）
‧马达外壳与离心风扇接触
‧连络经销商及采取适合的改善措施
●非效劳技术人员请勿拆解、修理或修改风机过滤器单元，以防止造成严重的意外，例如触电或火灾。
附录
易损件规格表：
序号
名称
规格型号
单位
单台数
备注
1
风机
M-R风机
台
1
保修期:
三年
2
电容
4uf,500V
只
1
3
玻纤无隔板过滤器
个
1
99.99%o.3um
4
初效过滤器
个
1
可清洗
●当需要更换效劳备品时，请务必依本说明书中表1.所列之部件名称提供予效劳人员。
●任何未经认可之代用品，不仅可能会影响风机过滤器单元的性能，同时可能造成火灾、触电或其它危险。
磊
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市美日净化科技
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