MB264单晶切割作业指导书.docx

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MB264单晶切割作业指导书

文件编号：

MB切片机单晶切割操作规范

版本号：

A/1

页码：

第1页共12页

生效日期：

2009年1月1日

一、目的：

规范切片车间操作流程，保证产品的质量，制定本操作规程。

二、适用范围：

MB-264切片机操作。

三、依据：

DS-264-4型线切机使用说明书

四、权责单位：

切片车间

五、作业流程：

六、作业内容：

1、作业前准备：

a）进入切片车间需穿好专用工作服，劳保鞋；

b）准备好毛巾，手套工具箱等工作过程中会用到的工具；

2、编网程序

文件编号：

单晶切割操作规范

版本号：

A/1

页码：

第2页共12页

生效日期：

2009年1月1日

（1）用普通胶带一根，绕在导轮上，强力胶面要向外，拴紧，不能松动。

注意：

胶带如果紧贴在导轮上，会影响线网。

（2）切线固定在胶带上（普通胶带），把Wirebreak（断线）接地功能按钮关闭（F15、F8）。

（3）在操作面板进入（F15S10）将张力改为15N以下。

（4）在控制面板上接F3键，进入绕线模式。

a）启动右绕线轮（无需要不可用自动运行方式）。

b）启动主要驱动器，开始运动速度为慢速，需要可通过手柄平调节运行速度，一下一下按时慢加减速度，只要按键保持按下状态，切割线速度，将按

文件编号：

单晶切割操作规范

版本号：

A/1

页码：

第3页共12页

生效日期：

2009年1月1日

1%的比率增降。

c）将第一根切线，固定胶带上，绕几圈后，用刀片固定机器方向离线导只有1厘米的地方（或直到切线入口，滑轮矫正好后）贴上胶布，把线头包紧。

d）不能用手操作，否则有受伤的危险。

e）把线放入第一槽左导轮为第2根线，把第一根切线放入槽内，把绕在导轮上的线按顺序对好拨到槽内。

f）当导轮上排好30-50mm宽的线网后，可以把胶带取下。

g）把线头和靠近它的线网粘在一起，绕线模式进行线网编织即可。

3、切割准备

1、领硅棒、上棒

a）先到粘胶房领取硅棒，领取时注意配棒，保证一刀长度范围为：

750mm-790mm，注意硅棒至少要粘胶12h后才能领取。

领取后要认真填好记录。

b）线网编好后，用电动升降车将硅块安装到工作机台上，保证硅块的粘胶合适，也就是说保证切割时不会脱落。

c）将硅块插入槽中，当它达到底部时，启动工件夹持，将工件锁紧。

硅块及工件槽都要非常干净，否则污染浆料。

d）按F13启动手动模式，将硅块下降到与线网紧贴，按S14将硅块位置置零，按S3将工件自动提升2mm到起始切割位置。

文件编号：

单晶切割操作规范

版本号：

A/1

页码：

第4页共12页

生效日期：

2009年1月1日

2、换收、放线轮

a）检查收放线轮的上的线是否符合下一刀的切割要求：

放线轮上至少要有327km的钢线，收线轮上废线不能超过450km，按F15就可以看到。

b）换线轮，如线轮上的线都不符合要求，则要进行更换，准备好工具，活动扳手、烙铁，焊锡等必须用品。

一定要对准！

3用手动形式走线，观察砂帘是否有断帘，如有则清洗砂嘴。

4、关闭所有门，将门锁达到OFF侧，锁上门按F15双向走线形式热机，至少需要5分钟。

停机后打开门锁，打开侧门及挡板检查是否有跳线。

如有应及时处理，处理完后再次进行热机直到不再出现跳线。

5、检查水、气压力、砂浆及控制各参数准确，关闭双向走线，按F15后再按F6检查走线方向是否正确，激活断线检测装置、按F15再按F8。

6、在控制面上按S5观察切割条件是否全部符合切割要求。

文件编号：

单晶切割操作规范

版本号：

A/1

页码：

第5页共12页

生效日期：

2009年1月1日

7、待班组长，点检确认后，进入自动模式，输入切割日记后，按自动模式切割开始。

8、在切割过程中，操作人员及班组长应每隔30分钟检查机器的切割情况、如各部位的温度、线弓、张力臂等是否正常，并作记录。

4、切割结束后操作

（1）、由自动模式切换到准备模式由钥匙切换到ON打开切割室的门并检查硅块是否切透，

否则视情况加切。

加切时只要在切割距离上加上要切的距离即可，并按“+”按钮加速。

（2）、切割完成后，提升工件台。

注意在提升时，开始时工件台上升速度不能超过10mm/min，而且要保证工件台上升时钢线不被带起，否则会断线或者影响片子的质量。

当硅块提离线网后，按F13、S2自动提升至设定的高度。

文件编号：

单晶切割操作规范

版本号：

A/1

页码：

第6页共12页

生效日期：

2009年1月1日

（3）、松开工件夹紧，取出工件，在把硅棒拉出时要注意：

不能晃动太大，第二根硅棒拉出时不能和第一根发生碰撞。

（4）检查导轮、滑轮是否损坏，如导轮有损坏，让工艺师确定是否需更换；滑轮损坏后立即更换。

在没有异常损坏的情况下，检查使用时间，滑轮寿命是100h，导轮1200h。

按F15，再按S3就可以查看。

（5）、清理线网。

把线网上的碎硅片、残胶等杂质清理干净。

表面的杂物清理干净后还要用压缩空气吹线网，此时要让线以缓慢的速度走，线速不能超过1m/s。

（6）、清理导轮。

线网清理干净后，再用压缩空气吹导轮，方法和吹线网相同。

文件编号：

多晶切割操作规范

版本号：

A/1

页码：

第7页共12页

生效日期：

2009年1月1日

（6）、清洗工件。

切割完成后要及时清洗过滤槽和喷嘴，用手推车把要洗的工件拿到专门的清洗房清洗，洗干净后一定要用压缩空气吹干净。

吹干后拿回车间，安装好。

七、断线处理

1、在切割过程中，排线轮原因引起断线。

打开马达电控柜，找到N2501Gain进行调整。

2、张力臂摆动异常，按F15、S2对线轮进行复位。

3、硅块切不透或钢线原因引起断线。

1、硅块切不透导致接地（但线没有断）停机，把切不透部位敲碎，再继续切割，如在收线轮处切不透，可把收线处剪断。

绕过切不透部位，继续切割。

2、放线处断线，如小于40mm可抬起布新线网，把硅块进行下压，同时打开砂浆系统，慢速走线。

文件编号：

多晶切割操作规范

版本号：

A/1

页码：

第8页共12页

生效日期：

2009年1月1日

3、导轮前部断线，切割超过40mm时，只能留前半部分，继续切割。

4、尾部断线，查明断线原因后，接起即可切割。

注：

在发生常规报警时，在控制面板提示如A、S、S10、S11输入对应的数值，将出现中文故障处理信息。

八、检查及维护

1、切割前检查项目

1、收放线轮检查

收放线轮的参数（F15/S2）及实际的排线运行状况检查并得到确认（直径/线长/左右间距等）

2、清洁/清理跳线、搭线

1、对于导轮上的杂物，用气管对导轮进行反复清理，使其导轮上面的碎硅片等异物脱落，确保线网和导轮清洁。

2、用胶布处理线网上的跳线，交叉线。

3、线网尽量不要同时贴多块胶布，防止忘记撕下而留在线网上。

4、注意线网的头和尾是否损伤，否则换槽。

整理好跳线及线网，同时自上而下的清理机器内的异物及碎片，如有必要可彻底清洁机器。

5、如须更换切割线，换好焊上接头跑5km线。

以确保线头不留在线网上。

⑶、浆料喷嘴检查

打开浆料（F11），检查浆料喷嘴有无堵塞现象.否则应进行清洁;逐步将浆料加到工艺的最大流量后，检查F11-S10界面内的过滤袋的压力是否接近报警点，如砂浆过滤低袋压力高，须更换。

一般情况在热机砂浆流量7500时压力不得超过1000mpa。

否则更换过滤袋;喷嘴确保每刀清洗，保证排砂均匀，不能断帘，冒泡。

⑷、热机检查

打开断线检测，双向走线，进行热机至少20分钟以上。

热机时务必确认机器的一切工作处于正常状态（轴承/水温/张力/流量/压缩空气/断线检测/密度等），否则一定要联络你的上司。

并一定要在切割前再次检查线网有无跳线；检查放线排轮排线情况，用线是否垂直顺畅，排线的距离是否正常。

⑸、工件装夹检查

装载晶棒前要确认铁条/玻璃板/晶棒有无变形或断裂/晶棒粘胶处有无多余的胶水等现象，螺钉是否拧紧，工件加紧的燕尾槽内是否清洁，确认晶棒推到底后正确夹紧工件（确认铁条之间可靠接触，不要有胶等异物夹在其中，并正确对刀，设定零点后回到开始切割的位置（F13）。

文件编号：

多晶切割操作规范

版本号：

A/1

页码：

第9页共12页

生效日期：

2009年1月1日

⑹、工艺参数检查

确认F11/F12/F13/F14/F15界面内的所有设定工艺参数，并得到你的上司的确认。

2、切割过程中的检查项目

1、F11

浆料的密度/流量/温度是否稳定，浆料马达的电流功率等是否正常，并做好巡检纪录（每半小时）。

2、F14

冷却水的进水温度/压力差/流量是否在正常范围内；马达轴承电控柜的温度情况是否在设定的范围内，并做好巡检纪录。

3、F15

张力波动情况，用线量是否足够，各个马达的功率/温度/电流/扭矩是否正

文件编号：

单晶切割操作规范

版本号：

A/1

页码：

第10页共12页

生效日期：

2009年1月1日

常；并做好巡检纪录

4、线网线弓

要一直小心的监控切割室及左右收放线室的情况，线弓是否正常，有无压线及晶棒的状况，收放线状态是否正常，有无断线/搭线等情况，如有异常可汇报你的上司。

5、记录

所有的检查情况必须做好记录，并得到你的上司的签字确认。

3、切割结束时的检查项目

1、是否切透

确认切割终了时，晶棒是否完全切透，如果没有把握，汇报给班长，可适当修改F13里的终点坐标后继续自动切割或手动切割完成.

2、取棒抬升/移出

工件时一定要注意安全并小心操作，切忌不要切换到F15的界面里，且不要有大的震动以免掉片或棒.

3、清点跳线位置及数量/掉片位置及数量，并严格做好记录.

4、切割结束不要立即关断冷却水/压缩空气，要保持2小时左右，以延长设备的寿命.

5、根据此次切割的质量及下次准备切割的情况确认工艺是否变动等.

4、维护项目

1、收/放线室的清洁

特别是对收放线室的排线装置上沉积的浆料要及时清理干净。

2、切割室的清洁

应定期对内部自山上而下进行清洁，两层过滤网的清洁，特别是对工件的夹紧部位的清洁。

3、管路的清洗

应定期对浆料管路进行清洗；并及时更换过滤袋；完好的过滤袋不可无限次的重复使用。

4、滑轮及轴承的检查更换

滑轮/轴承是有寿命的，如果不及时确认并更换，断线的几率将提高。

5、压缩空气

应及时检查各个压缩空气点的压力是否在允许范围内压力6-8巴流量约20m3/h，检查气压的稳定情况，并及时更换过滤芯，确认气体是否干燥且干净。

文件编号

单晶切割操作规范

版本号：

A/1

页码：

第11页共12页

生效日期：

2009年1月1日

6、冷却水

应经常检查冷却水的温度，流量，压差是否在允许的范围内，安装完毕后，供水管和回流管内的压差不得小于2巴。

7、润滑

定期对丝杆/线性导轨进行润滑，应使用专用的油脂，并严格按照手册的方法进行润滑。

定期对活动/固定轴承润滑，应使用专用的油脂及油枪，并严格按照手册的方法，清洁加油口后进行润滑。

每年定期对搅拌齿轮箱更换专用润滑油。

8、机械/皮带部位松动

平时对一些机械部位固定的螺钉是否松动进行检查确认；对皮带的松紧度/磨损应定期确认或更换。

9、张力传感器的校正

应定期对张力传感器按手册进行零点（OFFSET）及增益（GAIN）的校正。

10、排线跟随的传感器的校正

应定期对排线跟随传感器按手册进行零点（OFFSET）及增益（GAIN）的校正。

11、参考点的复位

应定期或在长时间停机后，应对工件进给单元（F13-S15）/左右收放线单元（F15-S7/S15）进行参考点的复位。

12、碳刷/IPC电池的更换

每年应对主控制器的电池及碳刷按照手册定期进行更换。

13、导轮的更换

严格按照手册，安全的进行导轮的更换，更换前必须对球面进行清洁及专用润滑油的润滑，并检查导轮端面的5个塑料圈进行润滑，是否破损检查并更换;同时小心活动轴承侧的调节丝杆等部位的检查，损坏后应及时更换.在使用液压工具拧紧螺母时，应确保各接头处连接可靠，压力绝不可高于或低于700Bar。

14、延长弹簧/塑料膜的寿命

在机器较长时间停机状态下，应将工件处于夹紧状态（插入定位铁条），以延长夹紧弹簧的寿命。

文件编号

单晶切割操作规范

版本号：

A/1

页码：

第12页共12页

生效日期：

2009年1月1日

在浆料灌长时间不搅拌或不通电的情况下，应保证F11-F6/F7处于激活（打开）状态，以延长塑料膜的寿命。

15、备品/备件的准备

应考虑机器的实际情况，可订购一些易损的备品备件，做到及时更换。

九、注意事项：

1、线切割操作人员安全生产要点：

1、作业时应佩戴防护眼睛；

2、处理跳线时有必要可停止线网的运行；在清洁线网、导轮表面时，应停止线网的运行；

3、在安装收放线轧时，应注意吊装过程的安全，以免受伤；

4、运行线网前确认有无其他人员在设备周围；

5、注意机器的上有危险电源插座及电缆，不可随意拆卸或造成破损；

6、在打开机器有高压气体/液压的地方请小心作业，必须严格按照作业手册.

2、线切割设备安全生产要点：

1、在切割前确认UPS（如有）是否有报警；

2、确认是否有钢线（跳线）搭接在非安全的地方；

3、确认气压/水压是否波动异常；

4、在切割前必须确认浆料管的连接/工件的夹紧可靠；

5、在走线网时，必须确认左右两侧排线装置在作为放线时的线的垂直度；

6、左右收放线轧的内侧边缘不得有毛刺，并严格确认他们的行程高度。

3、线切割工艺参数安全要点：

1、在切割前必须确认所有参数设定是否正确。

2、在切割前必须双向走线喷浆料进行热机确认设备是否有异常（张力/轴承/温度/流量等）。

3、在切割过程中必须监控设备的运行。